【課題】環境温度が高温になっても高精度な検出が可能な物理量検出回路を提供する。
【解決手段】第１実施形態の物理量検出回路１００では、環境温度が高温になり、演算増幅器１０２の負帰還電流が設定電流値よりも少なくなる度に、各スイッチ１０９〜１１１が順番に開かれ、各ダイオード１０５〜１０７が順番に演算増幅器１０２の負帰還経路に接続されて高抵抗の負帰還抵抗として機能するため、各ダイオード１０４〜１０７の直列接続による合成抵抗値（負帰還抵抗の抵抗値）が自動的に補正・調整されて増大し、その合成抵抗値の増加分だけ負帰還電流も増大する。従って、環境温度が高温になって各ダイオード１０４〜１０７にリーク電流が発生しても、各ダイオード１０４〜１０７の直列接続による合成抵抗値が増加するため、物理量検出回路１００が検出可能な周波数帯域が狭くならずに高精度な検出が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能であって、導電性部材が小さいものであっても、高分解能で高精度に変位を測定できる。
【解決手段】 対向している記導電性部材１８との距離が変化する集積回路２の上面に、インダクタンスパターン４を形成し、このインダクタンスパターン４の端に導電性部材１８と対向する容量電極１２、１６とを設けてある。インダクタンスパターン４のインダクタンスと、容量電極１２、１６及び導電性部材１８による静電容量との合成インダクタンスが誘導性となるようにインダクタンスパターン４及び容量電極１２、１６が構成されている。 （もっと読む）

【課題】静電容量式センサが異常状態にあるか否かを検出することにより、被測定物の状態の誤検知を防止することができる静電容量式センサの異常検出装置を提供する。
【解決手段】コンデンサを構成するレベル検出部に波形が正弦波形状をなす測定信号を入力し、出力される検出信号の信号値をサンプリングする。検出信号の波形の形状の特徴が基準信号の波形の形状の特徴と一致しなければ検出信号の信号値を巡回シフトし、あらためて両信号の波形の形状の特徴を比較する。巡回シフトによりずらした位相が、初回の検出信号の位相から９０度以上ずれても両信号の波形の形状の特徴が一致しなければ、レベルセンサに異常が生じたと判定する。 （もっと読む）

【課題】オフセットをなくし、検出精度を向上させることが可能な容量型検出回路を提供すること。
【解決手段】二つの容量素子Ｃ１０、Ｃ２０と全差動アンプ１３１の二つの入力端子Ｔ１１、Ｔ１２との間の設けられた切替回路１４０と、全差動アンプ１３１の二つの出力端子Ｔ１３、Ｔ１４と容量型検出回路の出力端子Ｔ２０、Ｔ３０との間に設けられた切替回路１５０とによる切替により、全差動アンプ１３１に接続された電荷検出を行う２つの帰還キャパシタＣ３０、Ｃ４０の容量差がある場合のオフセットをなくす。 （もっと読む）

【課題】移動ストロークを最大限活用しながら、位置検出の精度の良い、小型の慣性駆動アクチュエータを提供する。
【解決手段】固定部材１と、振動基板３と、移動手段２と、導電体からなる移動体４と、移動体４と対向する振動基板３の面に設けられた電極３１、３２と、移動体４と電極との間に介在する絶縁膜３１０と、移動手段２を往復運動させるための電圧を印加するとともに、移動体４と電極との間に静電気力を作用させることにより振動基板３と移動体４との間に生じる摩擦力を制御するための電圧を印加する駆動手段と、移動体４と電極３１、３２の対向部分の静電容量に基づいて振動基板３に対する移動体４の位置を検出する位置検出手段７と、移動体４側面の移動方向に対して設置され、移動体４側面と電極３１、３２との静電容量の影響を遮断する静電遮断手段６とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な回路構成により、的確に物理量を検出することができる容量型検出装置を提供する。
【解決手段】加速度センサＣＳ２は、容量変換部２０、増幅部４０、検出素子部５０、信号制御部６０を備えている。容量変換部２０は、オペアンプ２１、スイッチ２２及びコンデンサ２３から構成され、固定電極（５１、５２）と可動電極５３からなる差動容量の変化を電圧に変換する。本実施形態では、オペアンプ２１の非反転入力端子には、参照電圧として〔（Ｖ１＋Ｖ２）／２〕が入力される。信号制御部６０は、検出素子部５０の固定電極（５１、５２）に印加する電圧を供給する。更に、信号制御部６０は、バイアス供給部６１を備える。このバイアス供給部６１は、このテストモードにおいては、固定電極（５１、５２）に対して、所定のバイアス電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】物理量を静電容量の変化として検出するものにあって、全差動型のＣ−Ｖ変換回路を用いて低ノイズ化を図りながらも、自己診断機能の実行を可能とする。
【解決手段】 一対の固定電極部とそれらの間に配置される可動電極部とを有するセンサチップ１２からの信号を処理するための信号処理回路１３を、全差動型のＣ−Ｖ変換回路２６、制御信号発生回路２５、第１〜第６のスイッチ３１〜３６を制御する制御回路２５等から構成する。通常時には、可動電極部に搬送波Ｐ１が印加される。自己診断時には、スイッチ３１〜３６の切替えにより、固定電極部と可動電極部との間に静電気力を発生させる第１の期間と、容量変化を検出するための第２の期間とを周期的に有する自己診断用信号Ｐ２，Ｐ３，Ｐ３Ｂが、固定電極部と可動電極部との間に印加される。 （もっと読む）

静電容量型センサを、路上走行車用の障害物警告システムの近接検出器として、例えば車が後退するときに使用する。デジタル信号処理装置１１は、センサＲＣ回路１、７を介して正弦波を送信する。センサプレート３はセンサコンデンサ１の１つのプレートとして作用し、障害物４５は別のプレート５として作用する。車４３と障害物との間の距離の変化は、センサコンデンサ１の静電容量を変化させ、センサＲＣ回路から出力される正弦波の振幅及び位相を変化させる。基準信号回路１７、１９、２１で生成される基準正弦波は、減算器１５でセンサ出力信号から減算される。基準信号は、センサ信号の位相オフセットを有するので、差信号の振幅はセンサ信号の位相変化に対して非常に敏感である。センサ信号と等価の付加信号は、結合コンデンサ４１によってセンサＲＣ回路の出力と結合される。これは、センサ信号を妨害せずに高周波ノイズにグランドへの経路を提供する。 （もっと読む）

ＭＥＭＳシステムを含む電子システムにおける低周波エラーを除去するためのシステム及び方法を以下に説明する。システムは１つ又は複数のスイッチに結合される第１の回路を備える。１つ又は複数のボンディングワイヤがスイッチ及び第２の回路に結合される。制御信号がスイッチに結合され、該制御信号は、第１の回路の、第２の回路への結合をスイッチを介して制御して、第１の回路の出力における、ボンディングワイヤによって引き起こされる変動オフセットを除去するように構成される。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出可能なステージの位置変動検出装置を提供する。
【解決手段】固定体に設けられた第１の固定電極と、前記ステージに設けられた第１移動電極とで構成された第１コンデンサ部、前記固定体に設けられた第２の固定電極と、前記ステージに設けられた第２移動電極とで構成された第２コンデンサ部、および、前記第１コンデンサ部および前記第２コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源、を備え、前記第１コンデンサ部の電気容量と前記第２コンデンサ部の電気容量とのうち、いずれか一方の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に対して前記ステージを移動させたとき、前記第１コンデンサ部の出力波形と前記第２コンデンサ部の電出力波形の位相がずれるように構成される。 （もっと読む）