【課題】構造が簡単で量産性が高い流量センサを提供する。
【解決手段】流量センサは、水が内部を軸方向に流れる筒状の本体１と、本体１内に固定的に設けられた整流子２と、本体１内において上記軸方向に移動可能に配置され、水が本体１の内部を通過する流量に応じて静止位置から上記流体が流れる下流方向に移動する可動子３と、一端が整流子２に取り付けられ、かつ、他端が可動子３に取り付けられて、可動子３を静止位置に付勢するコイルバネ４と、可動子３が静止位置から上記軸方向に移動した距離を測定するレーザフォーカス方式変位センサ５とを備えている。この変位センサ５による距離の測定は非接触で行われるので、可動子３と変位センサ５の物理的な接続構造を設けなくてもよく、流量センサの構造を簡単できる。 （もっと読む）

【課題】 画像センサから被写体となるフロートまでの距離を短縮して小型化を可能とし、フロート位置に対する精度の良い電気信号出力を得る。
【解決手段】 透光性材料から成るテーパ管１３が鉛直方向に向けて配置され、テーパ管１３内にはフロート１４が挿入されている。テーパ管１３の長手方向に沿って照明手段１５が配置され、テーパ管１３の側方には、複数組の光学レンズ１６、画像センサ１７から成る画像センサユニット１８が配置されている。複数組の画像センサユニット１８を設けることにより、フロート１４の検出範囲が長手方向に分担され、画像センサ１７とテーパ管１３との距離が短縮される。画像センサ１７で得られたフロート１４の像の位置を基に、テーパ管１３に対するフロート１４の位置を求め、流量を検出できる。 （もっと読む）

【課題】 作業者によらず液漏れを防止可能な流量検出ユニットを提供することである。
【解決手段】管中を流れる液体の流量を検出する流量検出ユニットであって、管と、該管中を流れる液体の流量を検出する流量計と、該管と該流量計とを接続する接続部材とを具備し、該流量計は、流入端から流出端に向けて断面積が拡大するテーパ状内周面を有する円筒状本体と、該本体内に収容されたフロートと、該本体の外周端部に形成された雄ねじ部と、該外周端部の端面から僅かに突出した状態で該端面に配設されたＯリングとを含み、該接続部材は、該管の端部に固定される固定端部と、該流量計と接続される接続端部とを備え、該接続端部は、該流量計の該雄ねじ部が螺合する雌ねじ部と、該流量計の該雄ねじ部が該雌ねじ部に螺合することで該Ｏリングが圧接される接触端面とを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】過大な流量でも計測することができる流量計を提供する。
【解決手段】流路１１１に位置する指標部材１２０が流体の流動の浮力により浮遊する。指標部材１２０の上方に一方の極性を指標マグネット１３０が発生する。流路本体１１０の上部に位置する本体マグネット１４０が指標マグネット１３０に斥力を発生させる。このため、指標部材１２０が流路１１１の下方に位置する状態では、流量のみに対応した位置に浮遊する。しかし、指標部材１２０が流路１１１の上方に位置する状態では、流量だけでなく指標マグネット１３０と本体マグネット１４０との斥力に対応した位置に浮遊する。 （もっと読む）

【課題】工場設備などで特に多い水平方向の配管の途中に接続する場合において、配管の手間を少なくでき、また取付け場所について適応範囲が広い面積式流量計を提供する。
【解決手段】面積式流量計のテーパ管１に平行して平行管路３を設け、前記平行管路の一端をテーパ管の一端に連通させ、テーパ管および平行管路の他端への２つの流体出入口１９、２０を同じ高さ位置に設けるとともに、テーパ管および平行管路の他端とそれぞれの流体出入口との間に流路変更板１６を設け、流路変更板の取付け方向を板面内で９０度回転することにより、どちらの流体出入口に通ずるかを相互に切替えるようする。さらにテーパ管は、取り外して一端と他端とを逆向きに付け替えられる構造にしてもよい。 （もっと読む）

【課題】管の内側に配置された磁界発生手段が発生する磁界を検出することで、流体の流量を測定する流量センサであって、磁界発生手段が流体の流れる方向に交差する方向に移動し、管を流れる流体の流量の測定精度が低下することを抑制する流量センサを得る。
【解決手段】流量センサ１０は、鉛直方向上方に流体が流れるように鉛直方向に配置され、かつ当該流体が流れる進行方向に内径が変化している管１２の内側に、当該流体が流れる進行方向及び進行方向と逆方向の逆行方向に移動可能に配置され、当該流体の流量に応じて移動すると共に磁界を発生するフロート１４と、進行方向に交差する交差方向におけるフロート１４の位置を予め定めた範囲内に制限するためにフロート１４を囲む囲い１６と、管１２の外側に配置され、フロート１４が発生した磁界の大きさを検知する磁気センサ１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定開始時の気体流量の急激な増大に対してフロートのハンチングを防止する。
【解決手段】 テーパ管１１内に被測定流体Ｆの気体が流入していない状態においては、フロート１２は自重により下降しており、ピストン１８はシリンダ１５の底部にほぼ密着し、ピストン１８の上部のシリンダ１５内に気体が入り込んでいる。ここで、管路のバルブを全閉から全開にすると、被測定流体Ｆが急激にテーパ管１１内に流入する。流量に応じてフロート１２も上昇しようとするが、シリンダ１５内のピストン１８の下方の空間が一時的に負圧になり、フロート１２の引き上げに対する大きな制動力として作用する。このダンパ機構１６の制動力により、フロート１２にはハンチングが発生することが少ない。しかし、時間の経過と共にピストン１８の下側にも被測定流体Ｆが廻り込むので、ダンパ効果は減少し、測定が正常に行われることになる。 （もっと読む）

【課題】測定開始時の気体流量の急激な増大に対しても、損傷等を生ずることなく、対処を可能とする。
【解決手段】テーパ管１１の内部にはフロート１２が挿入され、テーパ管１１の上部にはストッパ１６が配置され、ストッパ１６の上方には空間部１７が設けられている。また、空間部１７の上部の隔壁１８には絞り孔１９が形成され、空間部１７内には上下に浮遊可能で急激な被測定流体の気体流量の増大があると、上昇して絞り孔１９を閉塞する絞り弁２０が配置されている。
測定開始時に管路のバルブが開かれ、気体が急激にテーパ管１１内に流入すると、フロート１２も上昇するが、絞り弁２０も急上昇し、絞り弁２０は絞り孔１９を閉塞する。これにより、気体の流入が阻止されるので、フロート１２のストッパ１６への衝撃値が小さくなり、テーパ管１１等が損傷することがなくなる。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】加工、組立誤差、配管応力による管体の歪みによる流量測定精度の低下を回避し、組立を容易にする面積流量計を提供すること。
【解決手段】フロートロッド２のロッド部２１は、流量計測管部１４の内部を通っている。フロート部２２は、流量計測管部１４の内部においてロッド部２１に取り付けられ、流量の増減に応じてロッド部２１とともに昇降するものであって、貫通孔２２１を有している。貫通孔２２１は、内径Ｄ１がロッド部２１の外径ｄ１よりも大きく、ロッド部２１を貫通させ、ロッド部２１の径方向への遊動が許容される。 （もっと読む）