【課題】 圧縮性流体の動特性試験や空気圧機器などの流量特性試験に有用な圧縮性流体の連続非定常流量発生装置および連続非定常流量発生方法、ならびにそれを用いた流量計検定装置。
【解決手段】 流体供給源から供給される圧縮性流体の流入量を計測する流量計と、前記流量計を通って導入される前記圧縮性流体を等温状態に保持する等温化圧力容器と、前記等温化圧力容器内の圧縮性流体の圧力を計測する圧力計と、前記等温化圧力容器から導出される圧縮性流体の流出を規制するサーボ弁と、前記流量計によって計測された圧縮性流体の流入量と、前記圧力計によって計測された等温化圧力容器内の圧縮性流体の圧力とに基づいて、前記サーボ弁からの圧縮性流体の流出量を制御する流量制御手段とを備える。 （もっと読む）

流量計における実際の流量と測定流量との間の時間遅延（２０２）を決定する方法及び装置が開示される。時間遅延は、試験装置又は校正系によって測定された実際の流量と対応するよう、流量計によって測定された流量をシフトさせる。このようにして、流量計によって測定された流量と試験装置によって提供される流量との間で、正確な比較が行われる。
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本発明の実施形態は流通装置（３０）の高速較正のためのシステム（２００）と方法を提供する。流通装置には製造者または第三者より較正流れ曲線（例えば、ｎ次多項式で表される）が与えられる。較正曲線は、プロセス流体や１つまたは複数の補正因子を使用して流通装置が実際にインストールされているシステムに対して調整できる。補正因子は簡単な実験的テストまたはプロセス流体の流体特性に基づく流れ曲線に対して決定され得る。補正された流れ曲線はその次に、将来の流れ制御に使えるよう流通装置に保存される。
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音響流量計の校正方法及びサンプリング装置は、温度の上昇による音響変換器の遅延時間のばらつきを解決するためのものである。第１の方法としては、変換器の送受信器間の距離の校正と、広範囲の温度における変換器の遅延時間の校正とを最適化する。第２の方法では、流量計の出力は、流量計の排ガス温度に基づき温度補正される。これら２つの方法は、それぞれ単独で超音波流量計において実施されてもよいし、それらを組み合わせて超音波流量計において実施されてもよい。
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【課題】 各種燃料に応じた計量器の検査を熟練者でなくても的確に実施可能とするため、検査の実施に際して人の判断事項を極力減らして、対象となる計量器の選別や検査手順を自動化しうる方法を提供する。
【解決手段】 石炭その他の燃料の受け入れ量を計量する燃料計量装置の検査方法であって、燃料の種類に応じて使用する燃料計量装置について予め定められた検査手順を選択（提示）するステップと、選択（提示）された検査手順に従って、対応する燃料計量装置の検査項目をチェックするステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 検定用タンクを組み込んで装置自体で質量流量の検定動作を行うようにした質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構１０とを介設し、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段１８を設けてなる質量流量制御装置において、前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部４２と、所定の容量を有する検定用タンク部４４と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４６とをそれぞれ設け、前記検定用バルブと前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段４８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 動力源を別途用意することなく、高圧又は大流量でガス流通機器の評価を行う。
【解決手段】 高圧パイプライン１１とこの高圧パイプライン１１にガバナ１２０を介して接続された低圧パイプライン１３とを備えたガス供給パイプライン１を用い、高圧パイプライン１１と低圧パイプライン１１の圧力差によって流れるガス流が供給される接続管２０を設け、接続管２０に基準流量計２２と評価対象のガス流量計２１とを直列に挿入する。 （もっと読む）

【課題】 設置スペースの増大や製造コストの増大を招くことなく、従来に較べて正確にガス流量を検定及び較正することができ、正確なガス流量で精度の良い処理を行うことのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 処理ガスを供給するガス供給系の処理室１１の入口近傍に設けられた開閉弁１３ｄ，１４ｄの上流側から分岐し、排気配管１７に接続された分岐配管１８が設けられている。この分岐配管１８には、ガス流量検出機構１９が介挿され、流路を処理室１１側と分岐配管１８に切換えるための開閉弁１３ｈ，１４ｈが設けられている。ガス流量検出機構１９は、抵抗体にガスを通流させその両端の圧力を測定して圧力差からガス流量を検出する。この検出値によって、マスフローコントローラ１３ａ，１４ａを検定又は較正する。 （もっと読む）

【課題】 基準（標準）体積流量を求めることなく得られかつ体積流量の測定を可能にするアタッチ型流量測定装置の音響較正係数Ｋａの較正方法の提供。
【解決手段】 ２つの音響トランスデューサの夫々の放射面が、互いに対し平行な面に音響的に対向して夫々配置される、アタッチ型超音波流量測定装置の較正方法において、前音響トランスデューサの相互間の摺動によって位置差が得られ、及び該位置差と関係付けられる伝播時間差が測定されると共に、ａ）相互間の距離ｘ０＋ｘｄの場合における前記音響トランスデューサの位置決め及びこの位置における該音響トランスデューサ間の音響伝播時間ｔ１の測定を実行すること、ここに、ｘ０は該２つの音響トランスデューサの最適な音響結合のための距離であり、ｘｄはこの位置からのずれであって偏位と表されること、ｂ）距離ｘ０＋ｘｄ＋Δｘの場合における前記音響トランスデューサの相互間の位置決め及びこの位置における該音響トランスデューサ間の音響伝播時間ｔ２の測定を実行すること、ｃ）式Ｋａ＝Δｘ／Δｔを用いて、距離差Δｘ及び時間差Δｔ＝ｔ２−ｔ１から音響較正係数Ｋａの計算を実行することを特徴とする。 （もっと読む）

試験装置（３００）は容器（３０８）内のレベルを感知する導波管（３０２）用である。試験装置は導波管を橋絡して模擬レベルを模擬する試験位置（３１２）を有するブリッジ（３１０）を含んでいる。ブリッジはさらに格納位置（３１６）を有する。試験装置はさらにブリッジに接続されて該ブリッジを試験位置および格納位置の間で移動させるアクチュエータ（３１８）を有する。
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