プラズマ処理システムの反応室における実ガス流量を決定する方法が提供される。方法は、質量流量コントローラ（ＭＦＣ）で制御されるガス流量供給システムによってガスを反応室の上流に位置するオリフィスに供給することを含む。また、方法は、ガスを加圧してオリフィス内にチョーク流れ状態を作り出すことを含む。さらに、方法は、一組のガスの上流圧力値を一組の圧力センサによって測定することを含む。さらに、方法は、一組の較正係数の較正係数を適用して実流量を決定することを含む。較正係数は一組の上流圧力値の平均値と一組の最良上流圧力値の平均値との比であり、一組の最良上流圧力値の平均値はＭＦＣの指示流量に関連している。 （もっと読む）

【課題】検定用タンクを組み込んで装置自体で質量流量の検定動作を行うようにした質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流体を流す流路６に、該流路に流れる流体の質量流量を検出して流量信号を出力する質量流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって質量流量を制御する流量制御弁機構１０とを介設し、外部から入力される流量設定信号と前記流量信号とに基づいて前記流量制御弁機構を制御する制御手段１８を設けてなる質量流量制御装置において、前記流路に、該流路を開閉する検定用バルブ部４２と、所定の容量を有する検定用タンク部４４と、前記流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４６とをそれぞれ設け、前記検定用バルブ部と前記検定用タンク部と前記圧力検出手段とを用いて質量流量検定動作を行うように制御する検定制御手段４８を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ガスフローを測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】一実施形態において、ガス制御のための較正回路を用いて、特に、裏側冷却、処理ガス分配、パージガス分配、クリーニング剤分配、キャリアガス分配及び修復ガス分配に利用されるガスフローを検証及び／又は較正する。 （もっと読む）

【課題】往復流を含む圧縮性流体の非定常流量を連続して高精度に発生する。
【解決手段】圧縮性流体の流入量を計測する流量計１２と、流入量を規制する第１サーボ弁１３と、圧縮性流体を等温状態に保持する第１等温化圧力容器１４と、第１等温化圧力容器１４内の圧力を計測する第１圧力計１５と、真空源により真空状態に保持される第２等温化圧力容器１６と、第２等温化圧力容器１６内の圧力を計測する第２圧力計１７と、第１等温化圧力容器１４からの流出又は第２等温化圧力容器１６への流入を選択的に規制する第２サーボ弁１８と、第２サーボ弁１８の外方の圧力を測定する第３圧力計１９と、流入量と第１等温化圧力容器１４内の圧力とに基づき第２サーボ弁１８からの流出量を制御すると共に第２等温化圧力容器１６内の圧力と第２サーボ弁１８の外方の圧力とに基づき第２サーボ弁１８からの圧縮性流体の流入量を制御する流量制御手段２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】比較的経済的に製造できるピペット又は供給システムを較正する装置と、測定される液体の密度を前もって知らなくても使用できるピペット又は供給システムを較正する装置と較正方法を提供する。
【解決手段】ピペット又は供給システムを較正し、プレート２を具備する装置１に関し、前記プレート２は、少なくとも一つのチャネル３を具備し、前記チャネル３は、少なくとも一つのチャネルの一端にテスト液量を受け取る挿入ポート４と少なくとも一つのチャネルのもう一端に開口５を有し、前記少なくとも一つのチャネル３は毛管として構成される。 （もっと読む）

【課題】粉体をフィードタンクから高い精度の排出速度で切り出し、炉に吹き込むことのできる粉体吹込み方法を提供する。
【解決手段】フィードタンク内に粉体受け入れを行っていないときに、前記タンクに設置のロードセルによる重量測定値を用いて粉体流量計の校正を行うことにより、同タンクへの粉体受け入れ時にも高精度で粉体排出速度を測定し制御する粉体吹込み方法。さらに、前記タンク内圧力と粉体輸送配管内圧力との差圧が所定値未満の場合には差圧制御により、また、差圧が所定値以上の場合には粉体流量調節弁の開度制御により、高精度で粉体排出量を制御する。本制御方法によれば、ロードセルまたは粉体流量計のいずれか一方が使用不能となった場合でも、差圧制御と使用可能なロードセルまたは粉体流量計を用いた粉体流量調節弁の開度制御との組み合わせにより、安定した粉体吹込みを継続できる。 （もっと読む）

流体送達被試験デバイス（ＤＵＴ）による測定値を検証するための流量検証器が、ＤＵＴからの流体の流れを収容するように構成されるチャンバと、チャンバ内の気体温度を与える少なくとも１つの温度センサと、チャンバ内の気体圧力を与える少なくとも１つの圧力変換器と、ＤＵＴからチャンバへの流体の流路に沿ってチャンバの上流に位置決めされる臨界ノズルとを備える。臨界ノズル及び流量検証過程は、ノズルを通る流体の流量を臨界流条件に保持するように構成され、それによって、特定の流量検証時間中に、ノズルを通る流量が実質的に一定であり、且つノズルの下流のチャンバ内のいかなる圧力の変動にも実質的に影響を及ぼされないようになる。それゆえ、流量検証時間中にチャンバ圧力が変化しても、ＤＵＴの下流圧力には実質的に影響がなく、流量検証器とＤＵＴとの間の外部体積は流量検証計算に実質的に無関係である。 （もっと読む）

封鎖容器（１）内の流体レベルを表示するための較正可能な垂直流体レベルゲージ（２）は、フロート部（６）およびゲージ部（４）を含む。フロート部（６）は封鎖容器（１）内に配置され、フロート（１０）の垂直方向の変位を第一回転部材（２６）の回転方向の変位に変換する。ゲージ部（４）は封鎖容器（１）の外に配置され、第二回転部材（３４）、ポインタ（３８）、クラッチ機構（４２）を含む。ゲージ部（４）は、第二回転部材（３４）が第一回転部材（２６）と回転可能に連結されるように、フロート部（６）に対して配置されている。クラッチ機構（４２）は選択的に、ポインタ（３８）と第二回転部材（３４）を係合させるか、あるいはポインタ（３８）と第二回転部材（３４）との係合を解除する。この係合解除状態では、第二回転部材（３４）に対するポインタ（３８）の動きを許容し、ゲージ（２）の較正を可能にする。
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【課題】小型でデッドボリュームが少なくて、しかも作動気体の圧力が低くても確実に全閉動作を行うことができる遮断弁装置を提供する。
【解決手段】内部に一時的に気体が溜る弁室３６を有する弁ブロック体８０と、弁室に対して気体を流入させる流入路３４と、弁室から気体を流出させる流出路４０と、流入路の流入口と流出路の流出口の内のいずれか一方よりなる弁口４２に設けられた弁座４４と、弁座に対向させて弁室を区画するように配置されると共に、弁座に屈曲可能に当接して弁口を遮断する金属製のダイヤフラム弁体３８と、ダイヤフラム弁体を押圧するための押圧手段８２とを備え、押圧手段は、弁室の反対側にダイヤフラム弁体に対向するように配置された弾性体よりなるアクチュエータ板８４と、アクチュエータ板により区画されて作動気体が給排される作動室８６と、作動室内へ作動気体を給排させる作動気体給排機構８８とにより構成される。 （もっと読む）

【課題】液体貯留部における液位検出の異常を発見する。
【解決手段】液体貯留部２における液位検出システム１であって、前記液体貯留部２内のＨ液位またはＬ液位における出力状態の変化に基づいて、前記Ｈ液位または前記Ｌ液位を検出する接点出力式液位検出手段６と、前記液体貯留部２内の液位に対応する出力に基づいて連続して液位を検出する伝送出力式液位検出手段７と、前記接点出力式液位検出手段６および前記伝送出力式液位検出手段７が正常であるか否かを判定する判定手段８とを備え、この判定手段８は、前記接点出力式液位検出手段６および前記伝送出力式液位検出手段７のうち、いずれか一方の液位検出結果に基づいて、他方が正常であるか否かを判定することを特徴とする。 （もっと読む）