低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】検定満期警告機能を有する計量器に、警告または予告通信する日時（発呼日時）を任意の日時に設定可能とする通信日時制御手段を設けることで、警告または予告通信が集中することがなく、センター側のシステムの対応負荷が軽減できるような計量器を提供する。
【解決手段】計量器として、例えば流量計１は、カレンダー手段１５の現在の日付と検定期限記憶手段１６に記憶された検定期間満了年月とを比較手段１７によって比較し、検定期間満了年月より前のある所定の時期となったとき、または、検定期間満了年月切れとなったときに、通信日時制御手段１８で定められた任意の日時に検定期間満了の予告情報、または、警告情報を通信手段１４によって外部に通信する。任意の日時としては乱数を用いて決定したり、流量計の固有の値、例えば製造番号から定まるようにしている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】検出対象物の大きさや材質の変更、部品の経時変化によって感度や精度が変動する度に人手による調整をし直す必要が無く、ガラスや合成樹脂等の絶縁体でできた容器に入った少量の薬液の液面を検出する場合にも長期にわたって安定的に運用できる静電容量型近接センサを提供する。
【解決手段】検出用電極と対象物との間に生ずる静電容量とインダクタとからなる共振回路に可変容量ダイオードを組み込み、この可変容量ダイオードのバイアス電圧をマイクロプロセッサ等により制御する手段と当該マイクロプロセッサが参照できるようにデータ化した可変容量ダイオードの電圧対静電容量特性図を備え、励振電圧と共振電圧の位相を観測することにより誤検出を引き起こす最大と最小の対象物の静電容量を求め、その平均の静電容量が運用時の可変容量ダイオードの静電容量となるように制御する。 （もっと読む）

【課題】流量検定の信頼性を向上させることができる流量検定故障診断装置を提供すること。
【解決手段】複数の流量制御機器４Ａ，４Ｂ，４Ｃと、圧力測定手段１２が測定した圧力に基づいて前記各流量制御機器４Ａ，４Ｂ，４Ｃ…の流量を測定し、流量異常を検知する流量検定ユニット１０と、を備えるガス供給配管系２５に用いられ、前記流量検定ユニット１０が流量異常を検知した場合に、前記圧力測定手段１２の故障を診断するモードを備える故障診断手段２１を有する流量検定故障診断装置８。 （もっと読む）

本発明は、燃料タンク（１）内での燃料の量を測定するために用いられる較正表を作成する方法および装置に係り、上記装置は少なくとも１つのレーザー距離測定デバイス（２）、少なくとも１つのメインシャフト（１４）および少なくとも１つの傾斜計（１４）を含んでおり、上記レーザー距離測定デバイス（２）は、上記燃料タンク（１）内に配置され、レーザー距離測定デバイス（２）と、上記燃料タンク（１）との内壁間の距離を測定し、上記メインシャフト（１４）は、円方向Ｂにおける３６０°以下、および、上方−下方の方向Ａにおける２７０°以下にて、上記レーザー距離測定デバイス（２）へ環状の回転動作をもたらし、上記傾斜計（１４）が表面（９）に位置しており、上記傾斜計（１４）が、上記燃料タンク（１）と、上記用地との間の角度Ｘを測定する。
（もっと読む）

【課題】流量計の現場較正用のシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】流量計用の較正システムは、流れシミュレータを含み、この流れシミュレータは、流量計変換器信号を流量計から受信するように構成される受信機を含む。シミュレーションサブシステムは、シミュレートした伝搬時間信号パルスを生成し、予め選択された時間間隔でシミュレートした伝搬時間信号パルスを流量計に対して送信するように構成される。較正サブシステムは、シミュレートした伝搬時間信号パルスに基づいて流量計により生成される伝搬時間差分値を流量計から受信し、較正係数を流量計に対して出力するように構成される。 （もっと読む）

【課題】流路の流量を高い信頼性で高精度に検出できるマイクロチップ検査システムを提供する。
【解決手段】流体を流路からマイクロチップに注入するポンプと、流体の流路に沿って配置された発熱抵抗体と温度検出部材とを備えて流体の流量に対応する信号を出力する熱式流量センサと、熱式流量センサの出力に基づいて流量を算出する第１の流量算出手段と、流路の所定の２個所における流体の有無を検知して検知信号を出力する流体検知手段と、流体検知手段から得られた検知信号に基づいて校正流量を算出する第２の流量算出手段と、第２の流量算出手段の算出した校正流量と第１の流量算出手段の算出した流量とに基づいて補正係数を算出する補正係数算出手段と、補正係数を記憶する補正係数テーブルと、を有することを特徴とするマイクロチップ検査システム。 （もっと読む）

電磁流量計の解析回路７００が診断動作条件を提供し、サンプル区間においてコイル電流が一定となる診断動作条件を一つもしくは一つより多数特定する。診断動作条件は電極電圧のノイズフロア測定に基づいて測定動作条件として選出される。
（もっと読む）

本開示の実施形態は、各々が異なる選ばれたサイズを有する複数の体積を用いることにより、広い流量範囲にわたり質量流速の高精度測定に有用であり、ソフトウエア実施を含むシステム、方法、及び装置で行われる。単一の圧力計の使用は、費用削減を容易にでき、質量流量検証装置又は関連する被試験体の全範囲内の分担流領域に従う大きさの複数チャンバー体積の使用は、流量測定におけるノイズの有害な効果を減らす一方、高精度を提供できる。 （もっと読む）