【課題】駆動信号生成部および信号検出部の精度や安定性を向上させることなく、温度変動等の特性変化による影響を低減することができる計測方法および計測装置を実現する。
【解決手段】センサに駆動信号を供給するとともに測定対象の物理量変化に対応したセンサ出力信号を検出する計測方法において、前記駆動信号および前記センサ出力信号を選択的に切り替える切替ステップと、前記切替ステップにより選択された前記センサ出力信号の信号レベルを検出する第１の演算ステップと、前記切替ステップにより選択された前記駆動信号の信号レベルを検出する第２の演算ステップと、前記第１および第２の演算ステップの出力を利用して補正された測定出力信号を得る補正演算ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 質量流量制御装置を有する半導体制御装置にあって、質量流量の検定動作自動的に行うようにした半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 流体供給路に質量流量制御装置４０、開閉弁Ｖを有し、末端に排気装置Ｐを有する半導体製造装置１であって、前記半導体製造装置１は、前記質量流量制御装置４０、前記開閉弁Ｖ、前記排気装置Ｐ等の動作に係る制御を司る制御装置Ｃを有し、前記質量流量制御装置４０は、流量制御の検定機能を有した質量流量制御装置であることを特徴とする半導体製造装置でなる。 （もっと読む）

【課題】水蒸気が含有されているにもかかわらず、ガスのみの流量を計測できる高精度流量計を形成する方法の提供。
【解決手段】管体に取り付けられた第１流量計により流量値が検出されるガス供給経路にあって、第１流量計の下流側の管体に、第１流量計よりも測定精度が優れる第２流量計を取り付け、第２流量計の検出出力から水蒸気を含まないガスの流量を演算し、流量の演算結果から第１流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第１流量計の出力値とし、第２流量計に替えて第３流量計を取り付け、第１流量計の出力値から第３流量計により検出された流量値を補正し、この補正された流量値を第３流量計の出力値とし、第１流量計における補正された流量値および第３流量計における補正された流量値はいずれも水蒸気を含まないガスの流量値に相当する値となっているとともに、管体から取り外した第３流量計を高精度流量計として得る。 （もっと読む）

【課題】処理が迅速であり、耐久性が高く、測定精度の高い流量測定装置を提供する。
【解決手段】電空レギュレータ２１から供給される圧縮空気によって、ダイヤフラム３３は均一かつ微小に変形し、ダイヤフラム３３の変形に応じた流量の試験流体が測定通路へ供給される。これにより、流体供給装置３０から測定通路へ供給される試験流体は精密に流量が調整される。したがって、流量精度確認装置２０の精度が向上し、流量測定装置による燃料噴射弁の漏れ測定精度が向上する。燃料噴射弁の漏れを測定するとき、ダイヤフラム３３は電空レギュレータ２１から供給された圧縮空気から受ける力と自身の弾性変形力とが釣り合う位置で停止する。そのため、ダイヤフラム３３の移動にともなう測定通路の容積の変化は生じない。これにより、燃料噴射弁１の漏れの測定時に、測定通路から流量精度確認装置２０を切り離す必要はない。 （もっと読む）

【課題】中空部の形成のために必要とされる一定圧力の加圧ガスを確実に導入することを可能にし、しかも、簡素な構造を有する加圧ガス導入装置を提供する。
【解決手段】加圧ガス導入装置は、加圧ガス供給源１０と、加圧ガス計量部２０と、加圧ガス供給源１０から加圧ガス計量部２０に加圧ガスを供給するための第１加圧ガス供給路３０と、加圧ガス計量部２０から金型に設けられたキャビティ内の溶融樹脂内に加圧ガスを導入するための第２加圧ガス供給路３２と、加圧ガス計量部２０と第１加圧ガス供給路３０との間に配置された加圧ガス供給弁３１と、加圧ガス計量部２０と第２加圧ガス供給路３２との間に配置された加圧ガス排出制御弁３３から構成され、加圧ガス計量部２０は配管から成る。 （もっと読む）

【課題】被試験水道メータにおける始動流量の大きさを知ることができるとともに、パイロットの回転に応じたパルス信号を発生するパイロット検出部を、被試験水道メータの指示部に精度よく取りつけることのできる水道メータ試験装置を実現する。
【解決手段】被試験水道メータの指示値と通水量とを比較して、被試験水道メータの計量精度を検出する水道メータ試験装置において、被試験水道メータが挿入された試験用配管に水を流す給水部と、試験用配管に流れる水の瞬時流量を測定する基準流量計と、パイロットの回転に応じたパルス信号を発生するパイロット検出部と、パイロット検出部より得られるパルス信号を計数して被試験水道メータにおける計量値を求めるとともに、この計量値を基準流量計の出力から求められる通水量と比較して、被試験水道メータにおける計量精度を算出する比較判定部とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 精度の高い基準体積を得ることができる基準体積管を提供する。
【解決手段】 多重型基準体積管３１は、内部に試験液が流れ運動子４０が内部の所定区間を移動する主管部内管３２ａ、及び他の内管３３ａ、３４ａ、３５ａ、３６ａ、４３ａと、これらの内管全体を覆う外管３２ｂ、３３ｂ、３４ｂ、３５ｂ、３６ｂ、４３ｂと、外管の内部に流体を流して内管の外部全体を流体により晒す流体供給手段３８とを備える。多重型基準体積管３１は、流体を試験液の流れる方向に対して逆方向に流すような構成とするとともに、運動子４０が移動する所定区間を直線となる直管式のものとして構成する。 （もっと読む）

【課題】 測定した静電容量を補正して対応する検出値を取得することで、精度の高い液体レベルの検出を行うことができる液体レベル検出装置の補正方法および液体レベル検出装置を提供する。
【解決手段】
基準センサ部を用い、尿素水溶液のレベルと静電容量との変位関係である基準変位直線Ａを算出しておく。液体レベルセンサの製造過程では、尿素水溶液のレベルをｌ１としたときのセンサ部の静電容量Ｃ_１（ｌ１）を測定する。次に静電容量のゼロ値（０，０）と、測定値（ｌ１，Ｃ_０（ｌ１））とをパラメータとし、最小二乗法を用いてそのセンサ部の変位直線Ｂを算出する。そして変位直線Ｂを基準変位直線Ａに一致させるための補正値を算出する。完成した液体レベルセンサでは、この補正値を用い、測定される静電容量を補正することで、精度の高いレベル検出を行う。 （もっと読む）

【課題】面倒な校正、調整作業を行うことなく、各種の供給気体の質量流量制御を高精度で行うことのできる気体供給装置を提案すること。
【解決手段】気体供給装置１では、重量計測部１３によって材料の重量変化量ΔＷ、すなわち実際の材料消費量を測定し、これに基づき算出した実際の質量流量Ｑｍが目標質量流量Ｑｍｒｅｑに収束するように、流量制御部６に設定されている設定質量流量Ｑｍｓｅｔを補正している。材料の実際の消費重量に基づき、流量制御部６を適宜、校正することができる。校正、調整作業を定期的に行うことなく、また、取り扱う供給気体の種類、使用する流量制御部６の制御精度に左右されることなく、再現性良く、質量流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高精度な校正処理を行うことができる液量管理システムを提供すること。
【解決手段】液体貯蔵タンク１の液面レベルと液量との関係を規定する変換テーブルを校正するにあたって、計量機３の器差データにより計量データを補正して計量機３により給液された給液量（ΔＱ）を求め、この給液量と液面検出機２により検出された給液前後の液面レベル変化（ΔＨ）とから液量勾配（ΔＱ／ΔＨ）を算出し、この液量勾配のデータを用いて校正処理を行う。液量勾配から校正後の液量を算出する際は、液体貯蔵タンク１の全容量の半分に対応する液面レベルを求め、この液面レベルにおける液量を液体貯蔵タンク１の全容量の半分と設定し、これを基準として各液面レベルにおける校正後の液量を算出する。 （もっと読む）