【課題】
微小な欠陥を検出すること、検出した欠陥の寸法を高精度に計測することなどが求められる。
【解決手段】
光源から出射した光を、調整する照明光調整工程と、前記照明光調整工程により得られる光束を所望の照明強度分布に形成する照明強度分布制御工程と、前記照明強度分布の長手方向に対して実質的に垂直な方向に試料を変位させる試料走査工程と、照明光が照射される領域内の複数の小領域各々から出射される散乱光の光子数を計数して対応する複数の散乱光検出信号を出力する散乱光検出工程と、複数の散乱光検出信号を処理して欠陥の存在を判定する欠陥判定工程と、欠陥と判定される箇所各々について欠陥の寸法を判定する欠陥寸法判定工程と、前記欠陥と判定される箇所各々について、前記試料表面上における位置および前記欠陥の寸法を表示する表示工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法。 （もっと読む）

【課題】小形化を図りつつ長期に亘って高い検出精度を維持する。
【解決手段】赤外線センサ３と、高屈折率層１１〜１３を備えてセンサ３と一体的に形成された赤外線シャッター機構２とを備え、各高屈折率層１１〜１３は、赤外線ＩＲを透過可能な導電性材料で形成されると共に、高屈折率層１１，１２の間および高屈折率層１２，１３の間に電圧が印加された状態において各高屈折率層１１〜１３が光学的に一体化し、かつ電圧が印加されない状態において高屈折率層１１，１２の間および高屈折率層１２，１３の間に空気層１６ａ，１６ｂが形成されるように配設されて、各高屈折率層１１〜１３が光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ３に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に各高屈折率層１１〜１３の間に空気層１６ａ，１６ｂが形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ３に対する赤外線ＩＲの入射を規制する。 （もっと読む）

【課題】常に安定にレーザ光の出力を検出可能な紫外線レーザ装置用エネルギー測定装置を提供する。
【解決手段】レーザ光の出力を検出する光検出器(37)と、光検出器(37)の前方に配置され、光検出器(37)に入射するレーザ光を拡散させる拡散板(36)とを備えたレーザ装置用エネルギー測定装置において、紫外線光を予め照射し、拡散板(36)の透過率の変化を略飽和させた拡散板を用いることを特徴とする、レーザ装置用エネルギー測定装置。 （もっと読む）

【課題】 新たな部品を追加することなく、回路基板とセンサ素子の間隔を高い精度で保つことができる焦電型赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 焦電体基板に形成された焦電素子を少なくとも１個有するセンサ素子１１と、このセンサ素子１１の下方に空隙を介して配置された回路基板８と、この回路基板８を搭載する樹脂ホルダー１６と、この樹脂ホルダー１６を覆い受光面側に開口部を有するシールドケース１８と、このシールドケース１８の開口部に装着された赤外線集光レンズ１９とを有し、回路基板８はセンサ素子１１の出力信号をインピーダンス変換して出力するためのＦＥＴおよび出力端子１７とを備え、樹脂ホルダー１６は回路基板の搭載面から上方に突出する２個の支持部１３を有し、支持部１３は回路基板８に設けた貫通穴８ａを下方から上方に通過して、センサ素子１１の裏面の一部に当接して支持固定することにより前記空隙の大きさを制御している。 （もっと読む）

【課題】速い動作速度、固定位置の対象物、光学測定センサーを用いて光学測定時間を短縮することで、ディスプレイ装置の大面積化、複数の対象物集合体化による製品検査コストの上昇を最小化する高速光学測定装置を提供する。
【解決手段】複数の測定位置を持つ対象物または複数の対象物集合体全体の光の大きさを調節して入射させる対物レンズ部、対物レンズ部から入射した光の光経路を変更する光経路部、光の進行方向を変更する制御信号を出力する制御回路部、入射光を測定する測定センサー、及び前記光経路部で進行方向が変更された光を前記測定センサーの大きさと位置と一致させる接眼レンズ部でなる。 （もっと読む）

【課題】量子型の赤外線検出器および反射型の光学系を備えた赤外線撮像装置であって、迷光の入射を抑制して、高画質な赤外線画像を撮像可能な赤外線撮像装置を得る。
【解決手段】開口絞り１は、被写体から入射する光線の径を決定し、光学系２は、共通な対称軸５に対して回転対称な形状の一部をそれぞれ切り出した形状を有する複数の反射鏡２ａ〜２ｃで構成され、内部に中間結像点６を有するとともに、開口絞り１を通過した光線を赤外線検出器４上に結像し、コールドシールド３は、光学系２からの光線を入射する開口部を有するとともに、壁面が冷却されて、内部に格納された赤外線検出器４を冷却し、赤外線検出器４は、光学系２によって結像された被写体の像を電気信号に変換して、被写体の赤外線画像を撮像し、コールドシールド３上に結像した開口絞り１の共役像の開口径と、開口部の開口径とを互いに一致させたものである。 （もっと読む）

【課題】気密性を確保しつつ、光学フィルタ膜の割れや剥れを抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】赤外線検出素子１およびＩＣ素子２をパッケージ本体４に実装する。その後、赤外線透過部材６の周部とパッケージ３における開口部５ａの周部との間に介在させた低融点ガラス７ａをレーザ光ＬＢにより加熱して溶融させることで赤外線透過部材６とパッケージ３における開口部５ａの周部とを低融点ガラス７ａからなる第１の接合部７を介して気密的に接合する接合工程を行う。この接合工程では、レーザ光ＬＢを赤外線透過部材６側から照射して低融点ガラス７ａを加熱して溶融させる。 （もっと読む）

【課題】干渉フィルタを用いて高い精度で所望の分光応答度特性を得ることのできる測光機器の受光装置を提供する。
【解決手段】測定目的に応じた所定の分光応答度特性を有するように設計される測光機器の受光装置１０である。入射光を拡散する拡散板１２と、その拡散板１２により拡散された入射光の波長成分を制限する干渉フィルタ１５と、その干渉フィルタ１５と拡散板１２との間に配置され、干渉フィルタ１５の入射面１５ｂにおける入射光の入射角度を制限する入射角度制限部材（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デザインの自由度の向上や大きさ寸法の低減を可能としつつ高い精度で所望の斜入射光特性を得ることのできる測光機器の受光装置を提供する。
【解決手段】受光箇所への光軸方向に対する入射光の入射角度の変化に対する感度の変化度合いを示す斜入射光特性を所定のものとすべく設計される測光機器の受光装置１０である。完全拡散面に近い拡散性能を有する拡散板１２と、その拡散板１２により拡散された入射光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光部材（１７）と、その受光部材と拡散板１２との間に配置され、受光部材の入射面（１７ａ）における入射光の入射角度を制限する入射角度制限部材（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化可能な光学センサー及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】光学センサーは、半導体基板１０上に形成された、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２と、フォトダイオードの受光領域に対する入射光の入射角度を制限するための角度制限フィルター４１、４２と、を含む。角度制限フィルター４１、４２は、フォトダイオード用の不純物領域３１、３２の上に半導体プロセスによって形成された遮光物質（光吸収物質または光反射物質）によって形成される。 （もっと読む）