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国際特許分類[G01J3/14]の内容

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【課題】コンパクトで波長分解能の高い分光ユニット、及び、この分光ユニットを有する走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】走査型顕微鏡に用いられる分光ユニット140は、光を略平行光束にするコリメータ光学系141と、この略平行光束を複数の光束に分割する光路分割部148と、光路分割部148により分割された複数の光束を分光する分光素子である回折格子143(1431〜1433)と、この分光素子で分光された分光光を受光する受光器であって、分光光の波長分散方向と該波長分散方向に直交する方向に複数の受光素子が2次元状に配置された受光器145と、分光素子からの分光光を受光器145の受光素子面に結像させる集光光学系144と、を有する。 (もっと読む)


【課題】 温度変化が生じても分散特性の変化が十分に小さい分光装置などを提供すること。
【解決手段】順方向の光線が入射する順に、第1群の分散素子と、第2群の分散素子を有し、第1の温度Tにおける順方向の光線の第1群の分散素子からの出射角をθ、第1の温度Tとは異なる第2の温度Tにおける順方向の光線の第1群の分散素子からの出射角をθ’、出射角の差分θ'−θをΔθ、第1の温度Tにおける順方向の光線が第2群の分散素子から出射する光路に沿った光線であって、かつ第2の温度Tにおける逆方向の光線の第2群の分散素子からの出射角をθ”、第1の温度Tにおける順方向の光線の第2群の分散素子への入射角をθ、出射角および入射角の差分θ”−θをΔθ、とそれぞれするとき、ΔθとΔθが略等しいことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】被写体の画像と被写体の任意の箇所におけるスペクトルデータの両方を、簡易な構成で精度良く取得可能な光学装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被写体からの光を結像させる結像光学系と、結像光学系により結像された光を受光する撮像部と、撮像部の撮像領域において、所定の領域を覆う反射型分光素子と、反射型分光素子により反射された光の分光スペクトルを検出するスペクトル検出部と、を含む光学装置とする。 (もっと読む)


【課題】本発明の目的は、プリズムの回折格子と対向する面の外側に回転可能のミラーを設置し、このミラーの角度を調整することで、例えばCバンドやLバンド等、異なる波長帯の測定光においても同一のプリズムを使用して光スペクトルの解析を行うことのできる分光装置を実現することにある。
【解決手段】本発明は、測定光をプリズムにより波長分散し、この波長分散光を受光部によって受光して測定光の光スペクトルを解析し、前記プリズムは、前記測定光を入射する入射面と、この入射面と隣接する回折格子面とを有する分光装置において、前記回折格子面と対向する面の外側近傍に任意の角度に回転可能であるミラーを備え、前記プリズムの入射面から入射した測定光は、前記回折格子面により波長分散され、前記回折格子面と対向する面から出射し、前記ミラーに反射して前記回折格子面と対向する面から入射し、前記回折格子面により再び波長分散され、前記入射面から出射し、前記受光部によって受光されることを特徴とする分光装置。 (もっと読む)


【課題】真空紫外線領域で透過率の高いグリズムを提供する。
【解決手段】 プリズムと、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子とを備えているグリズムを提供する。このグリズムでは、プリズムは、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第1光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子は、フッ化リチウム、フッ化マグネシウムからなる群から選ばれる少なくとも一種である第2光学材料を用いて形成されており、バイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値(rms値)は、5nm以下である。このグリズムは、フッ化リチウムおよびフッ化マグネシウムの屈折率が大きく変化する200nmから短波長側の吸収端波長までの真空紫外線領域で好適に利用できる。 (もっと読む)


【課題】真空紫外線領域で利用する分光器を提供する。
【解決手段】スリット40、第1色消しレンズ20、グリズム10、第2色消しレンズ30、検出器50を備える分光器で、第1色消しレンズ20と、グリズム10と、第2色消しレンズ30は、LiF、MgF2から選ばれて形成される。第1色消しレンズ20は、第1屈折レンズ21と複数のバイナリ型回折格子を有する第1回折レンズ22とを有する。第2色消しレンズ30は、第2屈折レンズ32と複数のバイナリ型回折格子を有する第2回折レンズ32とを有する。グリズム10は、第1色消しレンズ20と第2色消しレンズ30との間に設置され、プリズム11と、複数のバイナリ型回折格子を有する回折格子12とを有する。第1回折レンズ22のバイナリ型回折格子と、第2回折レンズ32のバイナリ型回折格子と、グリズム10の回折格子のバイナリ型回折格子の表面粗さの平均二乗偏差値は5nm以下である。 (もっと読む)


【課題】光学要素の移動を伴わない簡単な構成でありながら、分光精度・分光再現性の高い小型の分光光学装置と分光分析装置を提供する。
【解決手段】分光光学装置10は、遮光板5と可変焦点レンズ6と受光部9を有する。遮光板5は、光軸AXを含む軸上領域A2に対する入射光を遮り、光軸AXから離れた軸外領域A1に対する入射光の少なくとも一部を透過させる。可変焦点レンズ6は、遮光板5を透過した光を収束させる正の屈折力を可変に有する。受光部9は、可変焦点レンズ6の屈折力の強さにかかわらず可変焦点レンズ6に対する相対位置が固定であって、可変焦点レンズ6から射出した光を軸外側から光束規制して受光する。 (もっと読む)


【課題】入射光の方向と射出光の基準方向を平行に維持しつつ、コンパクトな構成で高い分散角と高い光の利用効率を実現する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】分光器11は、直視プリズム15で屈折により波長毎に光を分散させて、分散した光を反射部材(16、17)で反射して、再度、直視プリズム15で屈折させる。 (もっと読む)


【課題】光センサの波長依存性によらず、昼夜認識の精度を高めることが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の表示装置は、表示部と、入射光を波長毎に分光して光電変換することにより、波長毎の光エネルギーの分布を示す分布情報を生成する分光取得部とを備えている。また、複数の所定波長の光エネルギーの比率を分布情報に基づいて算出する比率算出部を備えている。また、算出された比率に基づいて入射光の光源の種別を判別する光源判別部を備えている。また、この判別の結果と分光取得部が受光した受光量とに基づいて、表示部の発光量を制御する表示制御部を備えている。表示制御部は、判別の結果が自然光を示す場合に、表示部の発光量を増加させるよう制御する。また判別の結果が人工光を示す場合に、表示部の発光量を低減させるよう制御する。 (もっと読む)


検出光路と、少なくとも1つの第1の結像光学系(2、5)とを備えるレーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器であって、第1の結像光学系が、スペクトル分散されたプローブ光をフーリエ面に結像し、それにより、フーリエ面で、プローブ光の個々のスペクトル成分が空間的に互いに分離され、フーリエ面にはマイクロミラーアレイ(4)が設けられ、マイクロミラーの制御により、検出光線のスペクトル選択性偏向が行われ、検出器光線の有用光成分が検出器に達する、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器において、スペクトル選択を向上するために、少なくとも1つの第2のマイクロミラーアレイ(15)が提供され、第2のマイクロミラーアレイへの第1のマイクロミラーアレイの1対1結像が提供されるか、または同じマイクロミラーアレイを光が少なくとも2回通過し、光学手段を通る第1の通過と第2の通過の間の光路内で、少なくともマイクロミラーアレイ上での第1の通過時と第2の通過時の光線の空間的なずれが生成される、レーザ走査顕微鏡又はスペクトル検出器。
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