【課題】小型化を実現し、距離バタツキや水平方向角度バタツキや垂直方向角度バタツキに対する耐性を付与することにより、例えば半導体製造プロセスやＦＰＤ製造プロセス等におけるインライン計測に好適な分光計測装置を提供すること。
【解決手段】透過位置によって透過光波長を次第に変化させる光干渉式の分光素子を前記光電変換部アレイ手段の直前に備えると共に、試料からの反射光の偏光状態の変化を検出する機能を有する受光側光学系と、前記光電変換部アレイ手段の各光電変換部から得られる一連の受光量データに基づいて偏光解析し、実測波形と理論波形とのフィッティングにより膜厚または膜質を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光器に関し、より詳細には、エタロンベースの分光器に関する。
【解決手段】第１の複光路エタロンベース分光器が開示される。好ましい実施形態において、第１の複光路エタロンに適合する第２のエタロンが使用され、極めて正確なフリンジデータを生成する。拡散ビームのスペクトル成分は、エタロンを通って透過される時に角度的に分離される。再帰反射器は、透過された成分を該エタロンを通して反射して戻す。２度透過されたスペクトル成分は、第２のエタロンを通って進み、第２の好ましい実施形態ではフォトダイオード・アレーである光検出器上に集束する。該分光器は、非常にコンパクトであり、きわめて正確なフリンジデータを生成し、Δλ_FWHM及びΔλ_95%の両方に関してマイクロリソグラフィーに必要な精度を伴う帯域幅測定を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 光学計測システム３００は、フィルタ１３０と画像センサ１５０とを自動制御し、目的とする波長と偏波面変位角および対象物の向きと傾きとに対して精度の高い画像データを連続的に取得することを目的とする。
【解決手段】 偏光分光放射計１００では、光を入射し、フィルタ１３０が、入射した光を選別し、画像センサ１５０が、光から画像データを取得する。偏光分光放射計１００に対して、偏光分光放射計制御装置２００で、フィルタ電圧制御部２１０は、フィルタ１３０にかける電圧を制御し、フィルタ１３０にかけた電圧により選別する波長を出力する。フィルタ回転制御部２２０は、フィルタの回転を制御し、フィルタ１３０の回転により選別する偏波面変位角を出力する。センサ制御部２３０は、フィルタ電圧制御部２１０が出力した波長と、フィルタ回転制御部２２０が出力した偏波面変位角とに対する駆動量に基づいて画像センサ１５０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】 放射光の損失を伴うことなくかつ簡易な構成で放射光の偏光を可能とした赤外光放射装置を提供する。
【解決手段】 パルス励起光が照射されて光キャリアを生成する光伝導膜２２と、光伝導膜２２上に間隙３２を介して形成され、赤外光を放射する一対の第１アンテナ電極膜２１ａと、第１アンテナ電極膜２１ａに対して角度を有しかつ間隙３２を介して光伝導膜２２上に形成された、赤外光を放射する一対の第２アンテナ電極膜２１ｂと、第１アンテナ電極膜２１ａおよび第２アンテナ電極膜２１ｂに対して、それぞれ独立に電圧を印加する制御部とを備えていることを特徴とする。第１アンテナ電極膜２１ａに印加する電圧と、第２アンテナ電極膜２１ｂに印加する電圧は、それぞれ選択的に異なる時刻に印加することとしても良く、あるいは、同時に異なる位相で印加することとしても良い。 （もっと読む）

【課題】
光信号対雑音比（ＯＳＮＲ）を測定する。
【解決手段】
光バンドパスフィルタ（ＯＢＰＦ）２０が、測定対象の波長又はチャネルの信号光成分を抽出する。光スプリッタ２２は、ＯＢＰＦ２０の出力光を７つに等分割する。偏光子２４，２８，３２，３６及びフォトダイオード２６，３０，３４，３８により、水平方向、垂直方向、＋４５度方向及び−４５度方向の各直線偏光成分の光強度Ｐ_１，Ｐ_２，Ｐ_３，Ｐ_４を得る。１／４波長板４０，４６、偏光子４２，４８及びフォトダイオード４４，５０により、右回り及び左回りの各円偏光成分の光強度Ｐ_５，Ｐ_６を得る。フォトダイオード５２により測定対象の信号光の光強度Ｓ_０を得る。減算器５４、５８，６２が、Ｓ_１（＝Ｐ_１−Ｐ_２）、Ｓ_２（＝Ｐ_３−Ｐ_４）及びＳ_３（＝Ｐ_５−Ｐ_６）をそれぞれ算出する。演算装置６８はＳ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_０から偏光度（ＤＯＰ）を算出し、換算装置７０はＤＯＰをＯＳＮＲに換算する。 （もっと読む）