分光エリプソメーター、及び分光リフレクトメーター／エリプソメーター複合システムを開示している。分光エリプソメーターシステム部分は、データ収集の期間中は、回転された位置に固定されたままである偏光子素子（Ｐ）及び検光子素子（Ａ）と、前記電磁放射線のビームに、連続的に変化するのではなく、複数のシーケンシャルで離散的な偏光状態をもたらすことができる、段階的に回転可能な補償子（ＤＳＰ）電磁ビーム透過手段とを含む。さらに、前記分光エリプソメーターシステムの数学的モデルを提供すること及び数学的回帰法手順の適用と併せて、複数のエリプソメトリック的に区別されるサンプルシステムそれぞれのために、複数のシーケンシャルなで離散的な電磁放射線ビームの偏光状態における分光分析データを収集することを含む、本発明の前記分光エリプソメーターシステム部分の作動手順を開示している。
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【課題】迷光除去率良く、単色の直線偏光を抽出する偏光分光器を提供すること。
【解決手段】波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第１プリズム１２と、第１プリズム１２を透過した光を受け、波長および偏光方向に応じた方向へ光を出力する第２プリズム１６とを備えた偏光分光器１０。第１プリズム１２および第２プリズムは一軸性の結晶プリズムであり、第１プリズム１２の光学軸および第２プリズム１６の光学軸は共に各プリズム内での光路に直交し、かつ第２プリズム１６の光学軸が、第１プリズム１２からの出力光のうち、第１プリズム１２の光学軸に直角に偏光した直線偏光成分の偏光方向を向いている。 （もっと読む）

【課題】波長走査型ＯＣＴやフーリエドメインＯＣＴ等の光断層画像化装置の波長走査型光源、モノクロメーター、分光器等の較正を、オシロスコープや干渉フィルター等の特殊機材を使用するすることなく行えるようにする。
【解決手段】時間的に波長を走査する波長走査型光源２を有する光コヒーレンストモグラフィーの波長走査型光源２を較正する場合に、光コヒーレンストモグラフィーにより波長走査型光源２をモニタリングしてスペクトル干渉信号を時間信号として検出し、このスペクトル干渉信号から走査波長の時間依存性を求め、波長走査型光源２の走査波長の時間依存特性を較正する。 （もっと読む）

【課題】円二色性を十分な精度で測定のできる光学系付属品、およびそれを用いた分光高度計を提供すること。
【解決手段】 ダブルビーム型分光光度計の試料室に着脱自在な、円二色性を測定するための光学系付属品１１０であって、該光学系付属品１１０は、一方の光束の光路上に設置され、該光束を直線偏光とする第１の偏光子１１２ａと、他方の光束の光路上に設置され、該光束を直線偏光とする第２の偏光子１１２ｂと、第１および第２の偏光子１１２ａ，１１２ｂからの直線偏光を互いに逆向きの円偏光とする４分の１波長板１１４と、該４分の１波長板からの左右円偏光が照射される試料を保持する試料保持手段１１８とを備え、前記４分の１波長板１１４を透過した光が試料保持手段１１８に保持される試料の略同一点に照射するように、前記第１、第２の偏光子、および前記４分の１波長板を配置している。 （もっと読む）

【課題】本開示は概略的に、多重波長作像分光器に対する方法および装置に関する。より詳細には、一実施例において本開示は、光子を貫通通過させる光学フィルタに関する。
【解決手段】前記フィルタは、第１フィルタ・ステージおよび第２フィルタ・ステージを含む。前記第１フィルタ・ステージは、第１リターダ要素と第１液晶セルとを含み得る。前記第１要素は、入力面および出力面を含み得る。前記第１要素の各面のひとつは、当該フィルタを貫通通過する光子の軌跡に対して実質的に直交しては配向されない。

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【課題】 放射または反射された光の角度情報と分光強度情報とを同時に測定可能な分光測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象物の一点に焦点位置を有し、放射または反射された光を平行光化する第一のレンズ群と、平行光化された光を二次元分光器のスリットの位置に結像させる第二のレンズ群と、スリットを通過した光を分光し二次元分光画像とする二次元分光器と、撮像手段と、データ処理装置とを有し、放射（反射）角度と分光強度を同時に測定する。なお、反射光を分光測定する場合には、光源と、レンズとピンホールとの組み合わせになる光学系とを有し、光源からの光をスポット光とする照射手段を備えることが好ましい。また、偏光特性を測定する場合には、光源からの光に偏光を与える偏光子を照射手段の光路上に備え、かつ第一のレンズ群と二次元分光器の間の光路上に検光子を配設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測法において、移相子のリタデーションが試料の状態により様々に変動することによって生ずる試料の分光偏光特性を表すパラメータの計測誤差を効果的に除去する。
【解決手段】 移相子のリタデーションを一定なものとするには、移相子を通過する光の入射方向を安定させればよいということに着目して、移相子を試料に対して光源側に配置し、計測誤差に関係する試料による光線方向の変動等の影響を効果的に除去した。 （もっと読む）

【課題】 幅広のコアパターンに発生するクラックを視認化し、クラック不良を効率よく識別しうる方法及びこれを用いたポリマー光導波路の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板上に、下部クラッド層、及びコアを有するポリマー光導波路のコアに沿って発生したクラックを偏光顕微鏡により観察することを特徴とするポリマー光導波路の検査方法、及びこれを用いたポリマー光導波路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】PMD・PDL補償と共に、光信号強度の正確な計測、小型化、組立の簡略化、偏光変換の問題の解消、低コスト化、波長分解能の向上等が可能な波長モニタ装置の提供。
【解決手段】コリメートレンズ、複屈折素子、ファラデー回転子、溝部又は凸部が形成された回折格子、PMD補償素子、リニアイメージセンサとで波長モニタ装置を構成し、複屈折素子の結晶軸と回折格子とを位置決めし、更に、WDM装置からの光信号を複屈折素子で常光線と異常光線とに分離し、常光線のみをファラデー回転子に透過させて偏光方向を90度回転させて常光線と異常光線の偏光方向を同一方向にすると共に、常光線と異常光線との間で発生するPMDをPMD補償素子に異常光線を透過させて補償し、常光線と異常光線の偏光成分を同一の前記溝部若しくは凸部で回折させてリニアイメージで光信号の強度和を出力する。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測法が有する様々な特徴を継承しつつ、移相子のリタデーションが温度変化その他の要因により変動することによって生じる分光偏光状態を示すパラメータの計測誤差を効果的に低減すること。
【解決手段】 チャネルドスペクトルＰ（σ）中に含まれる各振動成分から方程式を解くことにより、基準位相関数φ_１（σ）、φ_２（σ）が求められることに着目し、分光ストークスパラメータＳ_０（σ），Ｓ_１（σ），Ｓ_２（σ），Ｓ_３（σ）の測定と同時に、基準位相関数φ_１（σ）とφ_２（σ）を較正するようにした。 （もっと読む）