【課題】分光素子において、大きさの縮小化と、分光素子と受光素子の位置合わせの高精度化を可能にするとともに、感度を向上させた分光素子を実現する。
【解決手段】上方に開口した孔部を有する金属板からなる分光素子。孔部の水平断面は、互いに平行でない少なくとも一対の対向面を有する多角形である。孔部の内側面は鏡状の反射面となっており、開口から孔部に入射した偏光を、反射面において反射することによる干渉によって、孔部の内部に定在波を生じさせて、前記入射光を複数の波長帯に分光する。入射光が分光した分光分布の局在位置となる分光素子の下面に受光素子を配置することによって、分光分布を電気信号に変換する。 （もっと読む）

【課題】分光エリプソメータにおいて、高精度なフォーカス調整を実現する。
【解決手段】分光エリプソメータ１では、光源３１からの光が、照明部３の光学系を介して基板９の測定面９１へと傾斜しつつ入射し、受光部４の光学系を介して受光デバイス４２２へと導かれ、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の分光強度に基づいて偏光解析が行われる。また、分光エリプソメータ１のフォーカス調整では、受光デバイス４２２により取得された測定面９１からの反射光の所定の波長帯の合計光量に基づいて測定面９１のフォーカス位置が求められる。このように、分光エリプソメータ１では、偏光解析に利用される光学系とフォーカス調整に利用される光学系とを共通とすることにより、温度変化等による光学系の変化の影響を排除し、より高精度なフォーカス調整を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 チャネルド分光偏光計測装置において、計測原理に起因する系統誤差を低減する。
【解決手段】 光源と、偏光子と、第１の移相子と、第２の移相子とを含む投光光学系と、測定対象領域において反射又は透過した光を透過させる検光子と、検光子を透過した光の分光光量を求める手段とを備え、第１の移相子の厚みをD₁、第２の移相子の厚みをD₂としたときに、D₁とD₂との比が、17/7≦D₁/D₂≦7、9/7≦D₁/D₂≦5/3、17/7≦D₂/D₁≦7、9/7≦D₂/D₁≦5/3のいずれかを満たすようにした。 （もっと読む）

【課題】小さい位相差を簡便に精度よく測定できる位相差測定装置の提供。
【解決手段】光源、偏光子、試料台、検光子、及び分光器がこの順に配置されている光学系と、計算手段とを含む位相差測定装置であって、波長板が、偏光子と検光子の間に配置されており、かつ測定波長域内の２つ以上の波長それぞれにおいて、該波長板のレターデーション値を０．５以上の整数または半整数で除算した値が該波長と一致する位相差測定装置。 （もっと読む）

制御偏光子（Ｐ２）及びビーム偏光子（Ｐ）を、任意に介在する制御補償子（Ｃ）と併用して適用することにより、電磁ビームの強度を波長スペクトルにわたって制御する、エリプソメーター又はポラリメーターのシステム及びその方法。
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【課題】内視鏡等の医療機器に好ましく適用される波長可変フィルタ分光装置を提供する。
【解決手段】被観察部４からの光を受光する複数のレンズからなる結像レンズ系５の内部に波長可変フィルタ１５を具備し、前記受光した光が前記波長可変フィルタを透過してなる分光画像が、前記結像レンズ系により固体撮像素子６上に結像し、該固体撮像素子から順次出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】波長分解能と測定精度の両方を向上させることが可能なであり、また、機械的な駆動部を必要とせず、小型かつ軽量の分光計測器を提供すること。
【解決手段】透過スペクトルが順次異なる複数の微小フィルターを列状に配置してなり、一定の透過波長帯域を有するユニットフィルターを一列或いは複数列有する複合型の分光フィルター１０５と、個々の前記微小フィルターに光学的に対応した画素を有し、微小フィルターを透過した光を受光する光電変換素子１０５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐環境性および低コスト性に優れ且つ小型化が可能な光学式分光偏光計測装置を提供する。
【解決手段】光学式の偏光フィルタ２１をインナースリーブ８１の内側に同芯状態で取り付け、第２回転駆動装置２２のステッピングモータ２２bの出力ギヤ２２aをインナースリーブ８１の外周面に配設された入力ギヤ８１aと噛み合わせ、ステッピングモータ２２bが回転駆動されると偏光フィルタ２１が光軸の回りに回転するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多波長光信号と基準信号とを、波長により、多数のスペクトルチャネルと基準スペクトル成分とに分離する新規な方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準スペクトル成分を所定の位置に位置合わせすることにより、スペクトルチャネルは、同時に、例えば、スペクトルアレイに基づいて位置させられたビーム受信素子のアレイ上のような指定された位置の上に衝突する。基準スペクトル成分を、さらに、サーボ制御により所定の位置に維持して、これによりスペクトルチャネルが指定された位置に位置合わせされた状態のまま留まるようにすることを確実にすることができる。本発明は、ＷＤＭ光通信用途のために、スペクトルパワーモニタ、及び光学マルチプレクサ／デマルチプレクサを含むサーボをベースにした光学系の新しいラインを構成するのに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】迷光除去率よく、所望の波長をもつ直線偏光を抽出することのできる偏光分光器を提供することを目的とする。
【解決手段】偏光分光器１０は、一軸性の複屈折結晶プリズム２０と、プリズム２０へ入射光を平行光とするコリメータ光学系１８と、プリズム２０からの出射光を集光する集光光学系２２と、を備える。プリズム２０は底面が三角形の三角柱形状で、該三角形の一辺を含む側面が入出射面、該三角形の他の一辺を含む側面が反射面であり、プリズムの光学軸は底面に垂直である。そして、プリズム２０の入出射面から出射する常光と異常光とが、コリメータ光学系１８とプリズム２０とを結ぶ光軸に対して互いに反対側方向へ出射するように、プリズム２０との配置及び入出射面の角度が設定され、集光光学系２２は常光もしくは異常光の一方を集光するよう配置される。 （もっと読む）