【課題】空間の大きさに関わらず、簡単な構造で空間の温度を高精度に検出する温度検出装置を提供する。
【解決手段】温度検出装置１０は、マイクロホン１７で取得する音の振幅すなわち音圧または音量が最小となる最小振幅周波数ｆｍｉｎを探索することにより、検出対象の部屋１１の温度Ｔを特定する。マイクロホン１７までの距離が異なる第一スピーカ２１および第二スピーカ２２から同一の周波数かつ同一の位相を発し、その周波数を変化させると、行路差によって二つのスピーカから発せられる音の位相が反転する周波数が存在する。このとき、マイクロホン１７で取得する音の振幅は最小となる。音の速さは空間の温度すなわち部屋１１の温度Ｔに相関するため、最小振幅周波数ｆｍｉｎに基づいて音の速さを算出することにより、部屋１１の温度Ｔが求められる。 （もっと読む）

【課題】従来技術から知られている較正装置の欠点が、少なくとも部分的に回避され、とりわけ障害なしに、それにもかかわらず通流媒体の温度を高精度に検出することのできる、流量測定装置用の較正装置を提供することである。
【解決手段】この較正装置ではとりわけ、温度測定装置（６）が超音波温度測定装置（８）として構成されており、求められた媒体中の速度により媒体温度を決定することによって、障害が少なく、高精度に通流する媒体の温度を検出することができ、超音波温度測定装置（８）が被検体測定区間（２）の通流断面に突き出ておらず、したがって被検体測定区間（２）内の流れは超音波温度測定装置から、とりわけ流量測定装置被検体の領域で実質的に影響を受けない。 （もっと読む）

【課題】非接触式の超音波測定手法を用いて媒体の表面又は内部における二次元又は三次元の温度分布を精度良く測定する方法を提供する。
【解決手段】超音波の速度と温度との関係式ｖ（Ｔ）が予め求められた媒体２に超音波を励起し、媒体２を伝播した超音波を非接触的に検出して、媒体２の二次元又は三次元温度分布を算出する超音波を用いた温度測定方法である。この方法においては、超音波の検出点Ｄを固定しつつ超音波の励起点Ｅ_１〜Ｅ_７を移動させて、励起点と検出点Ｄとの間の超音波の伝播時間ｔ_Ｌを算出する。また、媒体２の二次元又は三次元温度分布を算出するために、励起点の各点Ｅ_１〜Ｅ_７と検出点との間の一次元温度分布を数値解析によって夫々算出する。数値解析では、関係式ｖ（Ｔ）と伝播時間ｔ_Ｌとが利用される。 （もっと読む）

【課題】振幅変動の影響を受けにくく、かつ実用的に超音波受波時刻を測定可能にすることで安定した測定が可能な温度測定方法及び温度測定装置の提供を目的とする。
【解決手段】送波器から送波された超音波を、送波器と同一又は異なる受波器で受波し、測定対象となる領域を伝搬する伝搬時間を測定することで超音波の伝搬速度を算出し、当該領域の温度を測定する方法であって、受波側の包絡線ピーク点を受波時刻の基準点に設定し、所定時間正位相波を送信した後に、振幅および波数が制御された逆位相波を送信することで、受波時刻の検出精度を向上させ、温度測定の精度を向上させたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】波動の伝搬時間の測定において、少ない送受波子数及び少ない測定回数で高精度の測定を実現する伝搬時間測定装置、伝搬時間測定方法を提供する。
【解決手段】Ｎ個の長さＭのベクトルＶ１とＮ次の直交行列Ｕ１とのクロネッカ積に基づくベクトルＶ２同士を加算してベクトルＶ３を生成するベクトル生成部と、ベクトルＶ３と搬送波に基づいて変調を行う変調部と、変調部の出力が伝搬路を伝搬した信号を復調してベクトルＶ４とする復調部と、Ｎ次の直交行列Ｕ２とＭ次の単位行列とのクロネッカ積により得られる行列Ｕ３を用い、ベクトルＭ３及び行列Ｕ３の乗算に基づいてベクトルＶ５を算出するベクトル算出部と、ベクトルＶ５とベクトルＶ１との相関演算を行ってベクトルＶ６を算出する相関演算部と、ベクトルＶ６同士を加算してベクトルＶ７を算出する加算部と、ベクトルＶ７内のピークに基づいて伝搬時間を検出する検出部とを有する。 （もっと読む）

【課題】電磁超音波法により材料に非接触で超音波を導入して、音速と板厚とを同時に高精度で測定し、得られた音速から材料の温度（表面温度や内部温度）を計測する。
【解決手段】本発明の電磁超音波法による測定装置は、材料２の内部に電磁超音波を送信可能なメアンダ型のコイル４を備えた送信センサＴと、送信センサＴと同一平面上で且つ送信センサＴからの距離が異なる位置に配備された２つの受信センサＲ１，Ｒ２と、各受信センサＲ１，Ｒ２への電磁超音波の到着時刻と各受信センサＲ１，Ｒ２の位置情報とに基づいて、材料２の内部の音速と材料厚さとを測定する内部音速測定部３１と、内部音速測定部３１で測定された内部の音速を基に、材料２の内部の平均温度を算出する内部温度測定部３２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な機構、演算で空間の温度を測定できるようにする。
【解決手段】超音波発信器が超音波を発信してから、交差点Ｌ４、Ｌ５にて２つの差音が検出器１０に到達して検出されるまでの到達時間の差をｔｄ、音の伝搬経路差をｄとしたとき、前記測定対象空間内における音速Ｖを伝搬経路差ｄ／時間差ｔｄにより測定し、（音速Ｖ−３３１．５［ｍ／ｓ］）÷０．６１の計算式を用いて測定対象空間Ｒ内における２つの交差点Ｌ４およびＬ５間の温度Ｚを算出する。 （もっと読む）

【課題】各種の処理が施される半導体ウェハ等の処理対象物の温度を，汚染を回避しつつ高精度で測定することができること。
【解決手段】ウェハステージ２上の処理ウェハ１と，参照ウェハ支持部２ｘ上の参照ウェハ１ｘ（処理ウェハ１と同じ材質）とのそれぞれに対し，両者の温度が同等の安定状態で超音波を出力し，反射超音波の検出信号の特徴量（共振周波数，超音波伝播時間，位相等）を検出し，それらの特徴量から処理ウェハ１の厚みの調整値を算出し，処理中の処理ウェハ１における反射超音波の検出信号の特徴量と，前記厚みの調整値とに基づいて，処理ウェハ１の温度を算出する。また，前記定常状態での参照ウェハ１ｘの検出温度と前記特徴量とに基づいて，処理ウェハ１における温度と超音波伝播速度との関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】非接触で内部温度を測定する。
【解決手段】材料が既知である測定対象物１の表面にレーザ光を照射してその内部を伝播する超音波を励起させると共に、測定対象物１の内部を伝播して表面に達した超音波を二光波混合型レーザ干渉計３によって検出し、検出した超音波の伝播速度ｖ’をその伝播距離と伝播時間から求め、測定対象物１の材料における伝播速度と温度との関係５に基づいて測定対象物１の内部温度Ｔを求める。 （もっと読む）

【課題】媒体内に超音波を伝播することにより該媒体内の温度分布を測定できる超音波を用いた温度測定方法を提供する。
【解決手段】板材２中の一定距離を伝播する超音波の伝播時間と板材２の既知のデータとから板材２中の温度分布を測定する。既知のデータには、温度に対する超音波の速度のデータや温度伝導率などを用いる。超音波の板材２内の速度が温度に依存することを利用し、超音波の伝播速度とに関する既知のデータから板材２内の温度分布を測定することが可能となる。また、従来の温度測定法より、時間応答性に優れたものになる。 （もっと読む）