【課題】板状の圧電素子と、金属板と、支持部材を備え、金属板は支持部材により支持されている圧電デバイスに於いて、薄型化を可能とし、加速度センサとして好適な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】板状の圧電素子１、金属板２、支持部材３を備え、金属板２の片面にのみ圧電素子１及び支持部材３が固定され、金属板２は支持部材３により支持されることで、金属板２の厚さと圧電素子１または支持部材３の厚さを加算した厚さとなる。 （もっと読む）

【課題】ＸＹＺ軸方向の振動検知を一つのセンサ及び一つの系統の回路で行うことで、簡易な構成により容易に待機状態の機器の消費電力の抑制を行い、コスト低減が可能な振動検知装置を提供する。
【解決手段】可撓性及び導電性を有し十字形状の起歪体部、起歪体部の梁部の表面上に２個ずつ非接触でそれぞれの自発分極方向が予め定められた所定方向となるように形成され、圧縮、引張が印加されると電荷を発生する圧電体部、導電性を有し梁部のそれぞれの先端部が電気的に絶縁されて固定される固定枠、起歪体部の中央領域の他方の表面上に設けられた重錘体部を有する加速度センサ１１、電荷伝送手段２１、増幅器１２、振動を検知したことを示す振動検知信号を出力する基準電圧比較器１３、振動検知信号を与えられ、出力端子に接続された機器１５の待機状態を動作状態に切り替える状態切替信号を出力する状態切替装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる技術を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化と水晶板２の変形とを発振回路１４の発振周波数の変化として捉える。また、外力の加わる方向と外力が加わる前における水晶板２の長さ方向に沿った可動電極５の向きとのなす角度θを３０°〜６０°、より好ましくは４０°〜５０°に設定して測定する。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を簡易な構造で高精度に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶板２の発振周波数の変化として捉える。更に水晶板２において、励振電極３１、４１に挟まれている電極形成部位２１の厚さよりも薄状部位２２の厚さを小さくすることにより、電極形成部位２１の撓みを抑えているため、水晶板２の撓みによる発振周波数の変化を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサに関する。
【解決手段】本発明による慣性センサ１００は、絶縁領域１２３と通電領域１２５とに区画された配線層１２０を含むメンブレン１１０と、メンブレン１１０の中央部分１１３の下部に備えられた質量体１３０と、メンブレン１１０を支持するようにメンブレン１１０の縁１１５の下部に備えられて質量体１３０を包むポスト１４０と、を含む構成を有しており、メンブレン１１０を安価のメタルコアで形成することにより、慣性センサ１００の全体的な製造コストを低減するだけでなく、寄生容量を減少させることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる効果がある。また、メンブレン１１０から延長された質量体１３０を金属で形成することにより、質量体１３０の質量密度を高めることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる長所がある。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性が高く、また、大きな衝撃が負荷されても不感状態からの復帰が早く、加速度検出素子の構造が簡便で小型化に適した加速度センサを提供する。
【解決手段】変位（振動速度）が増加すると弾性定数が大きくなる硬いばね特性を示す圧電体セラミックス２２，２４を貼り合わせたバイモルフ構造の加速度検出素子２０を利用し、加速度センサ１０を作製する。加速度センサ１０は、加速度検出素子２０の一方の端部が狭持体１２，１４に支持された片持ち梁構造であってもよいし（図１(A)）、両端が狭持体１２Ａ，１４Ａに支持された両持ち梁構造（図１(B)）であってもよい。加速度センサ１０は、加速度検出素子２０に印加される加速度を圧電効果により検知する。大きな衝撃を印加したとき、加速度検出素子２０の弾性定数が上昇することで、該素子の変位が抑制され、破壊靭性も向上し、不感状態からの復帰が早くなる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、低周波の振動を高い感度で検出することのできる加速度センサ、振動子、鳥インフルエンザ監視システムを提供することを目的とする。
【解決手段】加速度センサ２１０Ａの振動子２１１を、外力印加による振動により高調波成分で振動する性質を有する構成とすることにより、振動子２１１において高調波を検出し、振動子２１１の共振周波数よりも低い周波数帯域の振動を検出する。
また、複数本の振動子２１１を設け、これら複数本の振動子２１１間において、その共振周波数Ｆが互い異なるようにしてアレイ化することによって、５〜１５Ｈｚといった帯域を網羅して振動を検出する。
振動子２１１は、錘支持部２１５ａよりも幅寸法ｗが大幅に小さく、Ｓ字状、あるいはジグザグ状に形成されたビーム部２１５ｂを備えてものとするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】加速度の検出時、検知電極に加えて加振電極を利用することにより、加速度の測定感度を向上させる慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサは、可撓基板部に変位可能に浮遊状態で支持される駆動体と、駆動体の変位を検出する検知電極１１１ａ、１１１ａ’、１１１ｂ、１１１ｂ’を有する変位検出部と、駆動体を加振させる加振電極１１２ａ、１１２ａ’、１１２ｂ、１１２ｂ’を有する加振部と、検知電極及び加振電極が連結される差動増幅器ＤＡと、差動増幅器に連結され、加速度及び角速度を算出する回路部と、を含み、検知電極と加振電極を利用して加速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】低背化を実現可能な新規な構造を有する圧電式加速度センサを提供すること。
【解決手段】
圧電式加速度センサ１−１は、回路基板１０ａと圧電振動子２０とを備えている。回路基板１０ａは、支持部１２と、支持部１２に隣接して設けられた開口からなる振動許容部１４と、支持部１２上に少なくとも部分的に位置するように設けられている第１導電パターンとを有している。圧電振動子２０は、第１主面３２及び第２主面３４を有する圧電セラミック板３０と、第１主面３２上に形成された第１電極４２と、第２主面３４上に形成された第２電極４４とを備えている。支持部１２は、圧電振動子２０の第１電極４２の一部を直接支持している。第１導電パターンは、支持部１２による第１電極４２の直接支持により、第１電極４２と電気的に接続されている。支持部１２に支持された圧電振動子２０は、振動許容部１４により振動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】絶縁体層において基板の一方の面と同じ側の面に電極層を形成した際に基板と電極層との間（絶縁体層）で発生する寄生容量を従来よりも低減できるセンサ用構造体、該センサ構造体を用いたセンサ及びアクチュエータを得る。
【解決手段】基板１は、ケイ素などの半導体からなるものであり、一方の面に形成された矩形状の凹部１ａと、他方の面において、絶縁体層２における基板１の一方の面と同じ側の面と反対側の面が露出するように形成された開口部１ｂと、を有したものである。絶縁体層２は、二酸化ケイ素などの絶縁体からなる層であり、基板１の凹部１ａの内部に形成されているものである。また、絶縁体層２の厚さは、２μｍより大きい寸法を有したものである。このような構成のセンサ構造体は、センサ及びアクチュエータに用いることができる。 （もっと読む）