【課題】 支持基板に反りが発生したとしても、可動電極部と固定電極部の相対的な位置関係が維持されるＭＥＭＳ構造体を提供すること。
【解決手段】加速度センサ１０は、支持基板２１と、変位部４１と、可動電極部５１と、固定電極部５２と、第１梁部４２と、第１固定部４３と、第２梁部５３と、第２固定部５４とを備えている。固定電極部５２は、第２梁部５３を介して支持基板２１に支持されている。第１固定部４３と第２固定部５４の間の距離は、第１固定部４３と固定電極部５２の間の距離よりも短い。 （もっと読む）

【課題】 小型かつ低価格でありながら、誤差の少ない信頼性の高い検出を可能にする。
【解決手段】 装置筐体３０内に、２つの重錘体１０Ａ，１０Ｂを収容し、それぞれを可撓性をもった接続部材２０によって装置筐体３０に接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂは所定の自由度をもって各座標軸Ｘ，Ｙ，Ｚの方向に移動できる。重錘体１０Ａ，１０Ｂ間は、可撓性をもった接続部材２５によって相互接続する。各重錘体１０Ａ，１０Ｂを互いに逆位相となるようにＸ軸方向に往復運動させた状態とし、所定の検出時において、各重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力をＺ軸およびＹ軸方向への変位として検出する。両重錘体１０Ａ，１０Ｂに作用したＺ軸およびＹ軸方向のコリオリ力の差により角速度を求め、和により加速度を求める。 （もっと読む）

【課題】1/fノイズを低減したMEMS又はNEMSセンサを提供する。
【解決手段】所定方向の力を検出するMEMS又はNEMS装置であって、支持部(4)と、測定される力の影響下で、この力の方向に移動可能な振動質量体であって、少なくとも1つの旋回軸リンクにより上記支持部に対して連結された少なくとも1つの振動質量体(2)と、この振動質量体の運動を検出する手段(10)と、上記旋回軸リンクの軸線(Z)と前記振動質量体に対する力の働きの重心(G)との間の距離を変化させることができる手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】パッケージへ伝達された熱や応力に対して安定した動作が可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体加速度センサ装置１は、内部にキャビティ２１ｃを有するパッケージ２１と、所定の素子を有する半導体チップ１０と、上面の所定領域３２ａに半導体チップが固着されたスペーサ３２と、スペーサ３２の下面における所定領域３２ａ下以外の領域とキャビティ内のパッケージの底面２１ａとを接着する接着部３３とを備え、半導体チップに形成された第１電極パッド１６と、パッケージに形成され、少なくとも一部がキャビティ内部で露出された配線パターン２３と、パッケージの底面に形成され、配線パターンと電気的に接続された第２電極パッド２２と、第１電極パッドと、露出された配線パターンとを接続する金属ワイヤ２６とをさらに有する。 （もっと読む）

【課題】検出対象の転倒を検出するためのシステム、装置、方法およびプログラムを提供すること。
【解決手段】情報処理装置１１０は、並進加速度データおよび角速度データを受け取ってサンプリング時刻における各軸についての前記並進加速度データの絶対値が最大の並進加速度データを抽出して並進加速度の絶対最大値を更新する加速度最大値抽出部３１０と、角速度データから絶対最大値角速度データを抽出してサンプリング時刻における角速度の絶対値が最大の角速度データを抽出して角速度の絶対最大値を更新する角速度最大値抽出部３１４と、抽出した並進加速度データおよび角速度データの絶対最大値の両方が加速度しきい値および角速度しきい値を超えた場合に、検出対象が転倒したことを判断する転倒判断部３１８とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加や処理負荷の増大を抑え、集積化に好適な物理量測定装置及び電子機器等を提供する。
【解決手段】物理量測定装置は、測定すべき物理量に応じて、互いに検出軸が異なる検出信号を所与の基準電位を基準に出力する複数のセンサーと、複数のセンサーを構成する各センサーに対応して設けられ、各センサーからの検出信号の高周波数帯域を通過させる、各々がスイッチトキャパシター回路を用いて構成された複数のハイパスフィルターとを含み、複数のセンサーのうち少なくとも１つのセンサーの基準電位と、複数のハイパスフィルターの各ハイパスフィルターを構成する回路の接地電位とが同電位に設定されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で多種類の運動パラメータを検出することが可能なセンサを提供する。
【解決手段】一対のポリマーセンサ素子１１，１２の一端をそれぞれ、固定用部材１３によって互いに電気的に絶縁しつつ固定する。算出部１６は、ポリマーセンサ素子１１において得られる電圧Ｖ１と、ポリマーセンサ素子１２において得られる電圧Ｖ２とに基づいて、加速度ａおよび角加速度αを検出する。具体的には、加速度ａが生じている場合と角加速度αが生じている場合とで、発生する電圧Ｖ１，Ｖ２の極性の組み合わせが異なることを利用して検出を行う。従来のような複雑な構造を用いることなく、加速度ａおよび角加速度αをそれぞれ区別して検出することができる。 （もっと読む）

【課題】可動部と固定部との間の間隙部の断面形状がテーパ状になった場合にも、その間隙部の干渉部分が破損するのを抑制できる半導体物理量センサを得る。
【解決手段】断面テーパ状となった間隙部δ３の幅狭となる側の端部に、当該間隙部δ３の対向壁部Ｔｗが干渉した際に面接触する面接触部８を形成する。 （もっと読む）

【課題】機能上有効な部位の加工精度を高めることのできるＭＥＭＳ構造体を得る。
【解決手段】支持基板２に接合した半導体基板３をエッチング加工することで形成される可動部４０および固定部５０を備え、当該可動部４０および固定部５０は、第１の間隙６２をもって対向配置される可動電極４１および固定電極５１をそれぞれ有し、当該固定電極５１に対する可動電極４１の相対変位に基づいて物理量を検出するＭＥＭＳ構造体１において、半導体基板３の支持基板２と当接する領域に、網目状溝部１０を形成した。 （もっと読む）

【課題】
信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供する。
【解決手段】
基体と、力の印加により形状または物性値が変化する支持体と、前記支持体上に配置された重錘体と、前記支持体の変形または物性値の変化に応じた信号を検出する検出電極と、を有し、その下面を前記基体上に接触させた状態で配置された検出部と、を有し、前記検出電極は、互いに離間して配置された第１検出電極と第２検出電極とで構成される、加速度・角速度検出素子。加速度・角速度検出素子である。これにより、信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供することができる。 （もっと読む）