【課題】小型、高感度で、さらに対象物体の電位のみならずその極性も検知することのできる表面電位センサを提供する。
【解決手段】半導体基板のダイアフラム２５の上面に、金属膜２６とエレクトレット膜２７からなるエレクトレット電極２８を設ける。ダイアフラム２５には４つのピエゾ抵抗２９ａ、２９ｂ、２９ｃ、２９ｄを形成してあり、これらのピエゾ抵抗でブリッジ回路を組んで歪み量検出部３２を構成している。対象物体の電位に応じてエレクトレット電極２８との間に働く静電力が変化し、それに応じてエレクトレット電極２８が撓むので、エレクトレット電極２８の歪み量を歪み量検出部３２で計測することによって対象物体の電位を知ることができる。 （もっと読む）

【課題】テープ本体に対するカバーテープの剥離強度測定を行うと共に、カバーテープをテープ本体から剥離する際の静電気も測定することができるようにする。
【解決手段】
長さ方向に一定間隔をあけて多数の物品収納用凹部が形成されたテープ本体と、テープ本体の上側に接着されて、物品収納用凹部を閉止するカバーテープとで構成されたエンボスキャリアテープにおける前記カバーテープの剥離強度を測定する剥離強度測定装置であって、テープ本体からカバーテープを剥離する剥離点に対して静電センサーを前後左右および上下に移動させ、また角度変更を行うことで、静電センサーを適切に配置してカバーテープ剥離時の静電気を正確に測定する。 （もっと読む）

【課題】高い空間分解能を有し、高周波特性が良好で、製造が容易な電界プローブを提供する。
【解決手段】センサ電極４４と、センサ電極に接続された信号線３８と、センサ電極及び信号線を挟む一対のグラウンド層３４，３８と、一対のグラウンド層の一方と信号線との間の層に設けられ、一対のグラウンド層に電気的に接続されたシールドパターン３６，４０とを有し、シールドパターンは、少なくともセンサ電極と対向し、信号線のうちのセンサ電極の近傍の部分を除く部分に対向していない。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電磁干渉を効果的に抑えることができる静電気発生器の検査装置を提供する。
【解決手段】待機中の静電気発生器の性能を検査する静電気発生器の検査装置において、開口を有する収容部が設けられた本体と、前記本体の一つの側面に設けられ、前記収容部に嵌め合わせられて、外部の高電磁シールド部材の干渉を抑制させる検査環境を形成させる蓋板とを有するシールド部材と、前記収容部に設けられ、前記電波受信部材と連接し、待機中の前記静電気発生器を通して送られてきた前記電波受信部材が受信した静電気信号の波形に対して検査または分析し、前記静電気発生器が基準を満たしているかどうかを判定するオシロスコープと、前記本体に設けられ、待機中の前記静電気発生器と前記オシロスコープに連接される電波受信部材と、を備えることを特徴とする静電気発生器の検査装置。 （もっと読む）

【課題】繊維を監視する装置および方法の提供。
【解決手段】コンピュータベースの繊維製造監視システムは、少なくとも１つのセンサーと、該センサーと通信するコンピュータサーバーとを備える。各センサーは、それぞれが、それぞれの糸経路に関連し、繊維が糸経路上のセンサーを通過してボビンに巻回されるときに、繊維の少なくとも１つの物理的特性の測定結果を提供する、データパケットを提供するように構成される。コンピュータサーバーは、測定結果から糸経路単位および／またはボビン単位で、物理的特性の解析を提供するように構成される。センサーは、電界センサーとして構成され、絶縁基板と、その基板に配置される非接触電極と、その基板を通って横に延在するバイアとを備える。電極は、互いに交絡する。バイアの一方の部分は電極の一方の部分に接続され、バイアの他方の部分は電極の他方の部分に接続される。 （もっと読む）

【課題】 帯電物体との測定距離の依存性がなく、正確な測定ができる表面電位測定装置を提供すること。
【解決手段】 帯電物体Ｔの表面までの距離Ｌを計測する距離センサ４と、帯電物体の表面電位であって、帯電物体との距離に応じて減衰する減衰曲線に沿った電位を検出する電位検出手段３と、演算手段２とを備え、演算手段２は、距離Ｌ、定数ａ，ｂとするとともに予め設定された基準距離Ｌｂにおいて１となり、上記減衰曲線の距離依存性をなくすための補正係数αを算出する演算式としてα＝ａ×Ｌ＋ｂを記憶し、距離センサ４で検出した距離Ｌに基づいて上記補正係数αを演算し、電位検出手段３で検出した電位Ｖｍに、上記補正係数αを乗算してこの乗算結果を上記帯電物体の表面電位として出力する。 （もっと読む）

【課題】計測の難しい状況にある製造現場に最適であって、簡便かつ高精度で電子部品・機械部品などの静電気量を計測する静電気量計測装置および静電気量計測方法を提供する。
【解決手段】本発明の静電気量計測装置１は、計測対象物１０に与えられた振動によって生じる仮想電磁波を受信する受信部２と、受信部２が受信した仮想電磁波の強度、周波数および位相の少なくとも一つを測定する測定部３と、測定部３の測定結果に基づいて、計測対象物１０の静電気量を算出する算出部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定感度を向上させることが可能な非接触式の電位測定装置を提供する。
【解決手段】電位測定装置１０は、帯電物体に対向配置される検出電極１４と、開口スリット１９が形成され検出電極１４を覆う固定シャッタ１５と、開閉方向に往復動して開口スリット１９を開閉させる可動シャッタ２１とを有し、可動シャッタ２１に、開口スリット１９に対向する全開位置と開口スリット１９からずれる遮断位置とに移動する主スリット３１を形成し、さらに全開位置と遮断位置とに移動する副スリット３２を主スリット３１の往復動方向端の外側に少なくとも１つ形成し、可動シャッタ２１が１往復させられる間に、可動シャッタ２１は、主スリット３１のみにより電界を通過させる第１の全開位置と、主スリット３１と共に副スリット３２により電界を通過させる第２の全開位置とに位置可能としている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで電力供給が不要な受動最大加速度および電圧測定装置を提供する。
【解決手段】第１の絶縁層１０５の上面の導電性プレート１１０と、前記導電性プレート１１０の上面の第２の絶縁層１３０と、第２の絶縁層１３０の開口１３５に掛けわたされた導電性ナノチューブ１８０を有する。導電性プレート１１０の面に垂直な加速度により、前記ナノチューブ１８０は湾曲し、導電性プレート１１０と接触してファンデルワールス力により保持される。 （もっと読む）