【課題】エキシマレーザーリソグラフィー装置のレンズ、プリズム、ビームスプリッター等の照明系、投影系に使用する内部透過率の高いＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィー用合成石英ガラス部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】高純度の合成石英ガラスを均質化処理工程、成型工程及び除歪処理工程を経て合成石英ガラス部材に形成した後、波長２６０ｎｍ以下の連続紫外線を５０時間以上照射し波長１９３．４ｎｍに対する内部透過率を９９.８％以上とすることを特徴とするＡｒＦエキシマレーザーリソグラフィー用合成石英ガラス部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】複数のレーザビームを出射させることができるレーザを提供する。
【解決手段】本発明に係る２次元フォトニック結晶レーザは、活性層と１１、第１周期で周期的屈折率分布を有する第１フォトニック結晶層１２１と、前記第１周期とは異なる第２周期で周期的屈折率分布を有する第２フォトニック結晶層１２２と、を含む積層構造を有する。この２次元フォトニック結晶レーザによれば、２次元フォトニック結晶層に垂直な方向に進行する主ビームと、主ビームに対して傾斜した方向に進行する副ビームとを得ることができる。このようなビームは、例えば光ディスクによる記録／再生装置において、主ビームを記録／再生用に、副ビームをトラックへの追従のために、それぞれ用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造用の液浸式露光装置のラストレンズ等として有用な、光を透過させる主軸方向が＜１００＞方向のＢａＬｉＦ_３単結晶体からなり、かつ屈折率均質性が良好なる光学部材を安定的に、簡便かつ安価に得る。
【解決手段】 チョクラルスキー法にて＜１２３＞方向に結晶を育成してインゴットを得、このインゴットを斜め方向に切断するなどして｛１００｝面からなる平行２面を有する板状体を得る。＜１００＞方向に育成して水平に切断して得た板状体よりも応力分布（歪）等が均一となり、屈折率均質性に優れる部材を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光路中に樹脂よりなる光学素子を用いたとき、この光学素子に紫外光が集光するのを軽減し、樹脂よりなる光学素子の光学特性の劣化を防止し、良好なる光学性能が得られる光学系及びそれを有する撮像装置を得る。
【解決手段】 本発明の光学系は、樹脂よりなる光学素子を光路中に含む光学系において、前記樹脂よりなる光学素子よりも光線の入射側の光学面のうち少なくとも１つに、可視光の波長以下の大きさの複数の凹凸部が繰り返し構造を持たないで形成されていること、またはランダムな配列間隔を持つように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い反射防止抑制効果を有する反射防止構造体を提供する。
【解決手段】拡散板１は、所定の波長以下の周期で規則的に配列された複数の微小凹凸部１１が形成された表面１０を有する。表面１０は、所定の波長よりも大きな表面粗さである。且つ表面１０の粗さ形状の接平面１３の法線ベクトルＮ_２と表面１０の基準面１２の法線ベクトルＮ_１とのなす角の大きさは６２度以下である。 （もっと読む）

【課題】コーナーキューブアレイの形状精度を高めて、再帰性反射率を向上させる。
【解決手段】（Ａ）少なくとも表面部分が立方晶系の結晶材料からなり、結晶材料の｛１１１｝面と実質的に平行な表面を有する基板であって、表面に、所定のパターンを有する立体形状要素６３が設けられている基板を用意する工程と、（Ｂ）立体形状要素６３が形成された基板に対して、結晶材料に含まれる元素を含む第１活性種を供給することによって、結晶面方位によって成長速度が異なる異方性の結晶成長を行う工程と、（Ｃ）基板の露出表面のうち結晶材料の｛１００｝面以外の不要な面７１、７３を減少させることにより、基板の露出方面の形状を調整する工程とを包含し、工程（Ｃ）は、基板の露出表面の一部を除去する工程と、結晶材料に含まれる元素を含み、第１活性種と同じまたは異なる第２活性種を供給することによって、異方性の結晶成長を行なう工程とを含む。 （もっと読む）

フォトニック結晶の製造のためのポリマー粒子の使用が記載されており、この際、このポリマー粒子は膜を形成せず、フォトニック結晶中のそれらの接触点に、格子間相の体積を３０％より多く減少させることなしに物理的又は化学的結合による粒子の結合を可能とする結合部位を有している。 （もっと読む）

【課題】良好な反射抑制性能等の光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、光入射側から順に、第１の層１４、第２の層１５及びベース部材１１とを有する。第１の層は、入射光の波長λよりも小さいピッチで凸部１４ａと凹部１４ｂが交互に形成された凹凸構造を有し、第２の層は、互いに屈折率が異なる複数の層１３，１２を含む。 （もっと読む）

【課題】良好な光学性能を有し、かつ設計自由度の高い光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子は、光入射側から順に、第１の層０１２と、第２の層０１３と、ベース部材０１１とを少なくとも有する。第１の層は、それぞれ入射光の波長λよりも小さいピッチで凸部０１２ａと凹部０１２ｂが交互に形成された凹凸構造を有し、第２の層は、以下の条件を満足する。


ただし、ｎｓは第１の層の等価屈折率であり、ｎｂはベース部材の屈折率であり、ｎＡ及びｄＡはそれぞれ第２の層の屈折率及び厚さである。 （もっと読む）

本発明は、Ｍをカルシウム、バリウム、マグネシウム若しくはストロンチウムまたはこれらの混合物として、化学式ＭＦ_２の金属フッ化物単結晶から作製される光学素子の表面を、保護材料の膜で被覆する処理に先立って、洗浄する方法に向けられる。方法は、少なくとも以下のステップ、（ａ）少なくとも１つの選択された液体に、ＭＦ_２単結晶の光学素子を浸し、メガソニック周波数で音波処理を行って微粒子を除去し、かつ、スラリーの残留物および前記光学素子の損傷した上面を磨くステップ、（ｂ）気相洗浄プロセスで洗浄を行い、光学素子の表面から紫外線／オゾン洗浄を用いて炭化水素を除去するステップ、および、（ｃ）気相プロセスにおいて、光学素子の表面を、真空雰囲気中でアルゴンおよび酸素を含む低エネルギー・プラズマにさらすステップを含む。
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