フォトニック結晶（ＰｈＣ）構造体の形成方法及びその方法を用いて形成されたＰｈＣ構造体。前記方法は、Ｓｉ系ホスト層にホールを形成すること、前記Ｓｉ系ホスト層の表面がＳｉ系酸化物で直接覆われるように、高密度プラズマ（ＨＤＰ）堆積のＳｉ系酸化物を前記ホールに充填すること、及び、得られたＰｈＣ構造体の表面が平坦化されるように、前記Ｓｉ系酸化物をエッチングするための少なくとも選択的ウェットエッチング工程を実行すること、を備えている。 （もっと読む）

【課題】反射防止特性に優れた光学素子およびそれを作製するための光学素子作製用原盤の製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子は、凸部または凹部からなる構造体が基体表面に多数配置された構成を有している。構造体の配置ピッチが３８０ｎｍ〜６８０ｎｍであり、構造体のアスペクト比が０．６２〜１．０９である。各構造体は、基体表面において複数列の円弧状トラックをなすとともに、準六方格子パターンをなすように配置されている。各構造体は、円弧状トラックの円周方向に長軸方向をもつ楕円錐形状または楕円錐台形状である。楕円錐形状または楕円錐台形状は、頂部の傾きが緩やかで中央部から底部に徐々に急峻な傾きを有する。 （もっと読む）

【課題】すべて光学的なメモリラッチを提供する。
【解決手段】すべて光学的なメモリラッチは、第1入力信号と第3入力信号とCW光とを受信するべく構成された第1論理ゲートであって、第1論理ゲートは、第1及び第3入力信号のバイナリ論理レベルに関する論理演算を実行して第1出力信号を生成する第1非線形素子と、第1出力信号とCW光のバイナリ論理レベルに関する論理演算をこれらの合成強度の非線形弁別を通じて実行するべく共振周波数にチューニングされた強度に依存した屈折率の材料から構成された光学共振器を有する第2非線形素子と有し、第2非線形素子はCW光を使用して第1出力信号の更に強力なバイナリ論理レベルを回復する第1論理ゲートと、第2入力信号と第4入力信号とCW光とを受信して第2出力信号を出力する第2論理ゲートと、を有し、第1出力信号は第2論理ゲートに第4入力信号として導波され、第2出力信号は第1論理ゲートに第3入力信号として導波される。 （もっと読む）

【課題】原料溶融液中へ落下する落下物を減少させて、泡や負結晶などの結晶欠陥の少ない高品質のフッ化金属単結晶体を製造しやすい単結晶引上げ装置を提供する。
【解決手段】天井板０１９と、ヒーター００９とチャンバー００８との間に配設された断熱壁０１０とに囲まれた単結晶引上げ室の上方の側部方向に、ガスが室外へ流出できるガス流通路０２３を設ける。これにより、単結晶０１８の引上げ中に原料溶融液００４から揮発したフッ化金属ガスが天井板０１９の下面で凝結・固化し、何らかの要因で剥離して原料溶融液００４中に落下することを大幅に減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＢａＬｉＦ_３単結晶体を融液成長法で製造した際に、結晶中心部と周辺部で真空紫外光の透過率が異なりやすいという問題を解決し、真空紫外光透過用の光学部材を作製するための原材料として用いることの可能な、光透過率の均一性に優れたＢａＬｉＦ_３単結晶体の製造方法を提供する。
【解決手段】ＢａＦ_２とＬｉＦとＫＦとからなり、これらの含有比率がモル基準で、Ｌｉ／（Ｂａ＋Ｌｉ＋Ｋ）が０．５２〜０．６５の範囲にあり、かつＫ／（Ｂａ＋Ｋ）が０．００２〜０．０４０の範囲にある原料溶融液を用いてＢａＬｉＦ_３単結晶体を育成する。得られる単結晶体は、通常、Ｋ／（Ｂａ＋Ｋ）が０．００１〜０．０１０の範囲でＫを含む。 （もっと読む）

【課題】座屈による光学特性の劣化を抑制することのできる光学素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板と、シリコン基板と一体的に形成され、シリコン基板の上面に立設されたシリコン酸化物からなる少なくとも１つの柱構造体とを備え、柱構造体に光を透過させるようにした光学素子であって、柱構造体の形状を、柱構造体の長手方向の両端部を結んでなる仮想直線に対して少なくとも一方に凸の連続した曲線形状とした。 （もっと読む）

【課題】優れた光学収差性能を発揮するレンズ作用を有するフォトニック結晶を提供する。
【解決手段】このフォトニック結晶は、光軸（ｚ軸）を中心として左右対称に段階的または連続的に屈折率の勾配を有する。具体的には、ｚ軸に位置する空孔１の直径が最も大きく、ｚ軸と直交するｘ軸方向に沿ってｚ軸から離れ、開口の周辺に行くに従って空孔１の直径がより小さくなるようにして、ｚ軸上で有効屈折率ｎが最小となるようにしている。これにより、例えば近有限距離または遠有限距離に置かれた光源から発するガウシアンや矩形波の光を等周波数面の勾配に沿って入射することで、優れた収差性能を発揮するレンズ作用を有することとなる。 （もっと読む）

【課題】 結晶構造起因の複屈折を有する硝材をボトムレンズ群に用いても、その複屈折性による光学性能への悪影響が低減され、かつ像高間の複屈折均一性及び解像力が優れた投影光学系を提供する。
【解決手段】 本発明は、複数のレンズ群を含み、第１物体の像を第２物体の上に投影する投影光学系である。複数のレンズ群の中で第２物体に最も近い位置に配置されるボトムレンズ群は、屈折率が１.６以上の等方性結晶硝材で構成され正の焦点距離を持つ。ボトムレンズ群の第１物体側の面の曲率半径Ｒ（ｍｍ）及び中心肉厚ｄ（ｍｍ）は、３．０＞Ｒ／ｄ＞１．２及びｄ＜６０の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】マイクロ・リソグラフィー投影露光装置のための光学システム、特に、対物レンズまたは照明システムに関するもので、高い屈折率の結晶材料をしても、映像特性における固有複屈折の影響を低減できるものを提供する。
【解決手段】固有複屈折材料のレンズを有する少なくとも２つのレンズグループ（１０〜６０）を有し、前記各レンズグループ（１０〜６０）は、それぞれ、（１００）方位の複数のレンズを有する第１のサブグループと、（１１１）方位の複数のレンズを有する第２のサブグループとを有し、前記各サブグループの複数のレンズは、レンズ軸に関し、相互に相対的に回転した位置関係で配置されている、光学システム。 （もっと読む）

【課題】光路分割手段を用いることなく、合焦時間が短い焦点検出機能をもつ撮像装置を提案する。
【解決手段】撮影レンズ１が装着可能な撮像装置において、撮像素子３を備え、撮像素子３は２次元に配列された複数の画素と、各画素に対応するオンチップレンズ４と、を有し、各画素は、離散的に配置される少なくとも２つの画素集合Ａ，Ｂを有し、オンチップレンズ４は、それぞれの画素集合Ａ，Ｂが撮影レンズ１の異なる領域からの光束を受光するように構成され、２つの画素集合Ａ，Ｂからの出力を比較することで撮影レンズ１のフォーカス量を算出でき、全体の画素情報から画像形成を行うことを特徴とする。 （もっと読む）