【課題】 投影光学系のフォーカス位置を調整し、基板の平坦度の影響を低減して原版のパターンを基板上に投影する投影光学系を提供する事を目的とする。
【解決手段】 本発明の投影光学系は、原版のパターンの像を基板上に投影する投影光学系であって、投影光学系は、複数の光学透過素子を備えており、複数の光学透過素子の表面形状は、連続的であって、互いに異なる周期を有し、複数の光学透過素子の少なくとも１つを周期方向にシフトさせることでフォーカス調整を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、全方位の画像情報と指定領域の拡大画像情報とを１つの撮像光学系によって取得することができ、且つ、指定領域については、高解像度の拡大画像情報を取得することができる新規なビジョンシステムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のビジョンシステムは、全方位撮像モードにおいては、撮像光学系の光軸を曲面ミラーの回転対称軸に一致させて全方位画像を取得する一方、ズーム撮像モードにおいては、撮像光学系の光軸が曲面ミラー上の指定位置を通るように撮像光学系または曲面ミラーの少なくとも一方を駆動制御して両者の相対位置を変更し、曲面ミラー上の指定位置に写ったズーム対象の虚像を撮像光学系が光学ズームにより撮像する。 （もっと読む）

【課題】主走査方向および副走査方向の結像倍率が異なる小型の結像装置を提供する。
【解決手段】画像読み取り装置１は、原稿に光を照射する照明ランプ１５と、照明ランプ１５の副走査方向ｘの位置を移動させるフルレートキャリッジ１３と、副走査方向ｘに対応するｘｚ断面のパワーが主走査方向ｙに対応するｙｚ断面のパワーよりも大きい第１自由曲面によって原稿からの反射光を反射する第１曲面ミラー３２と、ｙｚ断面のパワーがｘｚ断面のパワーよりも大きい第２自由曲面によって第１曲面ミラー３２からの反射光を反射する第２曲面ミラー３４と、主走査方向ｙに複数の受光素子を並べて構成された受光素子列を、副走査方向ｘに複数並べて構成され、第２曲面ミラー３４からの反射光を、各々の受光素子列にて受光する受光ユニット４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単で低コストな構成でありながら、主鏡と副鏡の位置合わせを行うことができるアライメント装置を提供する。
【解決手段】 光軸ＡＸ上に形成された開口１０ａを有する主鏡１０と、主鏡１０の光軸ＡＸ上に対向配置された副鏡２０とを有する光学系において、主鏡１０と副鏡２０の位置合わせをするためのアライメント装置であって、光の反射機能を備えた光学部材３０と、主鏡１０の開口１０ａから光軸ＡＸに平行な平行光束の状態で入射し、副鏡２０の反射面２１および主鏡１０の反射面１１を順に経て、光学部材３０で反射して折り返され、主鏡１０の反射面１１および副鏡２０の反射面２１を順に経て、主鏡１０の開口１０ａから射出したアライメント光に基づいて、主鏡１０と副鏡２０との位置ずれを検出する検出系４０とを有する。 （もっと読む）

【課題】結像光学器械を提供する。
【解決手段】結像光学器械（８）は、対物面の物体視野を像面の像視野内に結像する。結像光学器械（８）及びこの結像光学器械を含む投影露光装置（１）は、特にフラットパネルディスプレイの生産に適している。結像光学器械（８）は、テレセントリックとすることができる。結像光学器械の結像光を誘導する少なくとも最初のミラー及び最後のミラーは、湾曲反射面を有する。結像光学器械（８）は、結像光を誘導する湾曲ミラーの視野関連の対を有することができる。この視野関連の対は、結像光学器械の全トラック長の６０％よりも小さい関連視野からの距離のところに配列される。別の実施形態では、結像光学器械は、１の倍率βを有する。この結像光学器械のミラー配列は、結像光が偶数回の反射を受けるようなものである。結像光学器械のこの実施形態の全てのミラーは、湾曲反射面を有する。 （もっと読む）

本発明は、原子状水素を含むことが好ましい洗浄ガスを汚染層（１５）に接触させることによって、ＥＵＶ反射光学要素（１４）の光学面（１４ａ）から汚染層（１５）を少なくとも部分的に除去するための方法に関し、本方法は、汚染層（１５）から物質を除去するために、汚染層（１５）に向けて洗浄ガスの噴流（２０）を送るステップと、汚染層（１５）の厚さを表す信号を生成するために、汚染層（１５）をモニタするステップと、汚染層（１５）の厚さを表す信号をフィードバック信号として使用して、光学面（１４ａ）に対して洗浄ガス噴流（２０）を移動させることによって、洗浄ガス噴流（２０）を制御するステップとを含んでおり、さらに対応する洗浄構造（１９〜２４）に関する。本発明は、洗浄ガス噴流（２０）を生成するための方法、ならびに対応する洗浄ガス生成構造にも関する。
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【課題】慣用の干渉リソグラフィシステムの整合の複雑さのない、調整可能な解像力を備えたシステムを提供する。
【解決手段】レーザビーム１０６を出力するレーザと、レーザビーム１０６を複数のビーム１０７に分割するビームスプリッタ１０３と、複数のビームを使用して基板上に干渉フリンジを形成するプリズム１０１とが設けられており、リソグラフィシステムの解像力が、リソグラフィシステムの光路におけるあらゆる光学コンポーネントを交換することなく調整可能である。 （もっと読む）

【課題】遮蔽物によって損なわれる視界を回復する光学素子を提供する。
【解決手段】本発明による光学素子（１０１，１１１，１２１）は、光を遮蔽する遮蔽物（２０１）を挟持するように、一方の側面に凹部を有する一対の光学部材（１０３および１０５，１１３および１１５，１２３および１２５）より構成され、前記光学部材の各々に入射した光が、前記一対の光学部材に挟持された前記遮蔽物を回避して進行し、前記入射した光と同一方向に前記光学部材の各々から射出するように構成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高い光学性能を保ちつつ観察倍率が大きく、大きなファインダー像の観察ができ、しかもアイレリーフを十分に長く確保することのできるファインダー光学系及びそれを用いた撮像装置を得ること。
【解決手段】 撮影レンズにより形成される物体像からの光を該物体像側へ反射する屋根型形状の第１ミラーと、該第１ミラーで反射した光を観察側に反射する第２ミラーと、該第２ミラーからの光が入射する接眼レンズとを有し、前記第２ミラーは回転非対称面であり、前記接眼レンズは回転非対称面を少なくとも１面有し、前記接眼レンズの回転非対称面の１つは、前記第２ミラーに最も近いレンズに設けられていることを特徴とするファインダー光学系。 （もっと読む）

【課題】 比較的小さい撮像素子を用いる一眼レフカメラにも対応可能で、コンパクトなリレー式ファインダー光学系とそれを用いた一眼レフカメラ。
【解決手段】 対物光学系２により１次結像位置１２に形成された被写体像を２次結像位置１７に再結像させるリレー光学系と、その像を観察する接眼光学系２７〜２９とを備えたファインダー光学系であり、１次結像位置と２次結像位置の間に、第Ｆ３反射面１３ｂ、第Ｆ２反射面１３ｃ、第Ｆ１反射面１４、第Ｒ１反射面１５の少なくとも４つの反射面を有し、第Ｆ１反射面１４と第Ｒ１反射面１５の間に少なくとも１枚の正レンズが配置され、第Ｆ２反射面１３ｃから射出する光軸方向の横方向成分が、接眼光学系を射出する光軸方向とは反対方向であり、Ｒ１反射面１５から射出する光軸方向の横方向成分が、接眼光学系を射出する光軸方向とは反対方向であるファインダー光学系。 （もっと読む）