【課題】誘電体多層膜フィルタを用いた波長多重光信号の分波で、波長間隔が狭くても受信に十分な実装精度を確保することが可能な光分波が可能な光受信装置と光受信方法を提供する。
【解決手段】波長多重により伝送された波長の異なる複数の信号光（λ１〜λ４）を、それぞれの波長の信号光に分波して受信するものであって、波長多重された複数の信号光を、透過信号光（λ１，λ３）と反射信号光（λ２，λ４）に分波するエタロン１３と、透過信号光と反射信号光のそれぞれを、波長の異なる複数の信号光に分波する誘電体多層膜フィルタ１５ａ，１５ｂと、分波された波長の異なる複数の信号光をそれぞれ受光する受光素子（１８ａ〜１８ｄ）と、受光素子で受光した信号を増幅する増幅器（１９ａ〜１９ｄ）を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数の成膜バッチを連続して安定に行うことができる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜プロセス領域及び反応プロセス領域が配置される成膜室に対し、開閉可能な隔絶手段１１ｂを介して接続されたロードロック室１１Ｂには、内壁面より内側を加熱可能な加熱装置９０が設けられ、ロードロック室１１Ｂ内を排気可能な真空ポンプ１５’が接続されている。ロードロック室１１Ｂには、ロードロック室１１Ｂの内部に浮遊する不純物成分としての水分を凝結捕捉可能なガス凝結捕捉装置７０を設ける。ガス凝結捕捉装置７０は、ロードロック室１１Ｂの内壁面付近に配置され、低温流体の、ロードロック室外からの導入とロードロック室内での循環を許容する配管７２を含み、低温流体を配管７２に導入し循環させることによって低温化した配管７２の外側表面にロードロック室１１Ｂの内部に浮遊する不純物成を凝結捕捉させる。 （もっと読む）

【課題】対向する光学膜の貼り付きを防止する。
【解決手段】第１基板２０と、第１基板２０に対向する第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１光学膜４０と、第２基板３０に設けられ、第１光学膜４０と対向する第２光学膜５０と、を含み、第１光学膜４０は、所望波長帯域の光に対する反射特性および透過特性を有し、第１光学膜４０の最表面の誘電体膜４３は第１光学膜４０の周端部４３ａにおいて、第１光学膜４０に光が入射する光入射部４３ｂよりも厚みが厚く形成されている。 （もっと読む）

【課題】波長選択性を有しながら、液晶表示装置に用いたときに、輝度を増強する機能を有する光学フィルム、面光源装置及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る光学フィルム１０は、第１及び第２の層３１_ｉａ，３１_ｉｂが積層された基本対３１_ｉを複数有するスタック３０_ｉを備える。スタック数、第１及び第２の層間の所定方向の屈折率差|Δｎ_ｉ|、第１及び第２の層の厚さ及び基本対の数は、光学フィルム１０による反射スペクトルが目標反射スペクトル５０に合うように設定される。目標反射スペクトルは、波長範囲４００〜７００ｎｍ内の第１の偏光光の反射スペクトル５１において所定波長幅内に５０％以上の反射率を有するスペクトル領域５１Ａａを含む反射ピーク領域５１Ａを有しかつ上記波長範囲内の第２の偏光光の反射スペクトル５２において反射率が２０％以下である、スペクトルである。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】Ｎａ、Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓから選ばれる１種以上の成分及びＮｂ、Ｔａから選ばれる１種以上の成分を含有するペロブスカイト型（ＡＢＯ_３）酸化物材料は、光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特にその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ_３にＳｒＺｒＯ_３を添加したＳｒ（Ｔｉ_１−Ｘ，Ｚｒ_Ｘ）Ｏ_３複合酸化物材料は、光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特に０．２０＜Ｘ＜０．６９の範囲においてはその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】光通信、光集積回路基板に利用可能な光路長の温度依存性が小さい材料を提供する。
【解決手段】ＳｒＴｉＯ_３にＹＡｌＯ_３を添加した（Ｓｒ_１−Ｘ，Ｙ_Ｘ）（Ｔｉ_１−Ｘ，Ａｌ_Ｘ）Ｏ_３複合酸化物材料は、０＜Ｘ＜０．５０の範囲において光路長温度係数（ＯＰＤ、ここでＯＰＤ＝１／Ｓ・ｄＳ／ｄＴ＝ＣＴＥ ＋ １／ｎ・ｄｎ／ｄＴであって、Ｓが光路長、ＣＴＥが線熱膨張係数、ｎが屈折率、ｄｎ／ｄＴが屈折率の温度係数である）が制御可能であり、特に０．０４＜Ｘ＜０．５０の範囲においてはその絶対値が６ｐｐｍ／℃以下と光路長の温度依存性が極めて小さく、光通信用フィルター、光集積回路基板などに利用可能である。 （もっと読む）

【課題】斜め入射に対して偏波依存性が少なく、２面反射によるゴースト発生などの問題を解消する。
【解決手段】対象光に対し透明な基板と、基板の片面にのみに形成される、バンドパス特性における短波長側の立ち上がり部と反射帯域を形成するＬＷＰＦ部と、バンドパス特性における長波長側の立ち下がり部と反射帯域を形成するＳＷＰＦ部と、対象光の斜め入射により前記ＬＷＰＦ部及び前記ＳＷＰＦ部がそれぞれ形成する立ち上がり部及び立ち下がり部に生じる、Ｐ波とＳ波の分離を制御する偏波依存性改善部と、を備え、ＬＷＰＦ部、ＳＷＰＦ部、及び偏波依存性改善部は、第１誘電体で形成された高屈折率層と、この第１誘電体より屈折率が低い第２誘電体で形成された低屈折率層と、を交互に複数積層した構造を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で分解能の低下を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、平坦な固定対向面５１Ａを有する固定基板５１と、固定対向面５１Ａに対向する平坦な可動対向面５２Ａを有する可動基板５２と、固定対向面５１Ａに設けられた固定電極５６１と、可動対向面５２Ａに設けられ、電極間ギャップＧ２介して固定電極５６１に対向する可動電極５６２と、可動対向面５２Ａに設けられ、固定対向面５１Ａ及び可動対向面５２Ａと平行で、かつ固定対向面５１Ａに対向する平坦な反射膜固定面５７Ａを有し、固定電極５６１より厚み寸法が大きい中間層５７と、反射膜固定面５７Ａに設けられた可動反射膜５５と、固定対向面５１Ａに設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して可動反射膜５５に対向する固定反射膜５４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）