【課題】描画部材の尖鋭部先端の先鋭度の低下を抑制し、描画距離を従来よりも伸長させるとともに、描画線幅の均一化を図ることができる描画物製造方法を提供し、更に、先鋭度の低下を抑えた描画部材及び当該描画部材を備えた描画装置を提供する。
【解決手段】基板Ｋが載置される基台２、基台２を移動させる基台移動機構３、内層としての金層と外層としての白金層が形成された尖鋭部を有する描画部材１０、描画部材１０を支持する支持部材４、支持部材４を介して描画部材１０を移動させる描画部材移動機構５、基板Ｋと描画部材１０に電圧を印加する電圧印加機構６など備えた描画装置１を用いて、電子線レジスト上にフッ素含有化合物を含む被膜を形成させた基板Ｋに描画処理を施す。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム電流のロスが無く、高精度でスループットの高い、原盤露光用ビーム記録装置及び記録方法の提供。
【解決手段】基板１５を回転させつつ、基板上に形成されたレジスト層に露光ビームを照射することのよって潜像を形成する原盤露光方法において、スペースパターンを形成する場合に、露光ビームをブランキングさせるか（３１）、もしくは、次に記録すべき潜像へ露光ビームを偏向させるか（３３）、の何れかを選択的に実行する。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造デバイスを作製する方法を提供する。
【解決手段】方法は、複数の化学的にコントラスト付けされたアライメント構造を有する基板を提供する工程と、基板の少なくとも一部に自己集合化材料を堆積させる工程とを含み、自己集合化材料の実質的に球形又は円筒形のドメインの位置および／又は向きは、ナノ構造パターンを形成するようにアライメント構造によって誘導され、またアライメント構造の周期は、球形又は円筒形ドメインの周期の約２倍から約１０倍の間にある。この方法に従って作製される装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】ステージ移動において速度変動やディスク原盤製造装置内外で発生する振動等でステージが理想的な移動が出来ない場合でも、電子ビーム照射軌跡で作られる同心円トラックの開始点と終点にはズレがなく、且つ同心円トラック間隔に変動がないディスク原盤製造装置を提供する。
【解決手段】ディスク原盤製造装置１０は、移動ステージ１６の位置を検出するリニアエンコーダ１８と、ターンテーブル１４の回転角度を検出するロータリエンコーダ１８と、ターンテーブル１４の１回転を検出する原点検出手段と、ターンテーブル１４の１回転の中での所定回転角度ごとのステージ移動量を求めるステージ移動量算出手段２１と、前記所定回転角度ごとにステージ移動量算出手段２１で求められたステージ移動量分を電子ビーム偏向電極３５における電子ビームＥＢの偏向に反映させてディスク原盤１２への照射位置を調整する電子ビーム照射位置調整手段２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルスケールで制御して金属膜をエッチングしてデータを記憶することが可能なデータ記憶方法及びデータ記憶装置を提供する。
【解決手段】上面に金属膜２０が形成された基板１００を調製する段階と、金属膜２０の上方にマイクロチップ５０を配置する段階と、金属膜２０とマイクロチップ５０との間に所定の電圧を印加してマイクロチップ５０から電子ビーム３０を発生させる段階と、電子ビーム３０により金属膜２０の表面を所定のパターンにエッチングする段階とを含む。マイクロチップ５０に負のバイアスを印加することにより、従来のように機械的な強い力を加えずに、所定電圧を印加したマイクロチップ５０から発生された電子ビーム３０による加熱及び溶解を実行する方式を用いて、情報を表すエッチングパターンを所望の形状と大きさに制御して形成することが容易となる。 （もっと読む）

【課題】大量の記録データを高密度でしかも確実かつ容易に記録し得るデータ記録方法を提供する。
【解決手段】情報記録媒体用基材（基材１０）の一面における複数の記録位置Ｐａ１，Ｐｂ１・・のうちから記録すべき記録データのデータ内容に対応して規定した第１の記録位置Ｐｂ１，Ｐｄ１・・に凹部４を形成する凹部形成処理と、記録マーク形成用ガスを一面に吹き付けると共に各記録位置Ｐａ１，Ｐｂ１・・のうちからデータ内容に対応して規定した第２の記録位置Ｐａ１，Ｐｂ１・・に記録用ビームを照射して記録用ビームの照射領域に記録マーク形成用ガス中の記録材料を堆積させることで一面とは電気抵抗値が相違する記録マーク５を第２の記録位置Ｐａ１，Ｐｂ１・・に形成するマーク形成処理とを実行することによって情報記録媒体用基材に記録データを記録する。 （もっと読む）

【課題】低圧中又は真空中で用いられ、記録媒体に対し安定した浮上を行うスライダーにより、電子線による安定した高密度記録が可能な情報記録装置を提供。
【解決手段】情報記録装置は、記録媒体に対し電子線を照射する電子線源と、媒体の記録面と略平行に配置される静電極板とを有するスライダーと、大気圧より低圧力の雰囲気に保持されたスライダー周辺に、静電極板の略法線方向の電界を生じさせる機構と、スライダーを記録媒体方向に付勢する機構とを備え、スライダーは、静電極板に帯電する電荷が電界によって力を受けることにより、記録媒体に対して所定距離離れた位置に浮上する。これにより、スライダーは、付勢機構による付勢力によるバランスによって浮上するため、情報記録装置は安定した高密度記録を行うことができる。また、情報記録装置は、真空中又は低圧中で電子線の照射を行っているため、電子線源の酸化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】記録媒体を担持するターンテーブルの回転に使用されるスピンドル・モータの正確な制御を提供し、また単一のエンコーダシステムの欠点を克服した正確なクロック信号、位置信号または速度信号を提供すること。
【解決手段】本発明によれば、電子ビーム記録装置などの回転記録デバイスが二重エンコーダ構造を備えている。第１のエンコーダはスピンドル・モータ・コントローラとして使用され、スピンドルの第１の端部に配置される。第２のエンコーダは、記録表面に隣接してターンテーブルに取り付けられ、パターンを基板に記録するための位置源、速度源またはクロック源として使用される。ディジタル位相固定ループを使用したディジタル・クロック発生システムによって、より正確に取り付けられたスピンドル制御エンコーダに対して、第２のエンコーダの取付けの偏心が測定および補償される。 （もっと読む）

データを光学的媒体へ書き込むための方法は、イオン源からのイオンビームの断続的なパルスを、光学的媒体上に表面の特徴を形成するために、制御されたパターンで光学的媒体に向けることを含み、表面の特徴はデータを表す。この方法を実行するためのシステムは、一実施形態にしたがって、光学的媒体を保持するための媒体受け取り部分、媒体受け取り部分上の光学的媒体にイオンビームを放射するためのイオン源、および、制御された方法で光学的媒体にイオンビームを向けるためのステアリング機構を含む。イオンビームは、断続的なパルスで光学的媒体上の表面の特徴を形成するために、光学的媒体を打つ。
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【課題】簡単な構成で安価に、大電流かつ微小ビーム径の電子ビームを発生し、高速に描画を行うことができる電子ビーム照射装置およびこれを用いた描画装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置は、試料の表面上に情報を記録するために、電子ビームを試料の表面上に照射するもので、電子ビームを放射する熱電界放射型の電子源と、電子源の直下に配置され、電子源から放射される第１の開口角の範囲の電子ビームを、第１の開口角よりも小さい第２の開口角の範囲に集束させる集束電極となる電界レンズと、電界レンズの下流側に配置され、電界レンズにより第２の開口角の範囲に集束される電子ビームをクロスオーバポイントに集束させる集束レンズと、集束レンズの下流側に配置され、集束レンズによりクロスオーバポイントに集束される電子ビームを試料の表面上に集束させる対物レンズとを備えている。 （もっと読む）