本発明は電子ビーム発生装置の電子出口窓組立体に窓箔（２０６）を配置する方法に関するものであって、この方法は、電子ビーム発生装置のハウジングに箔支持プレート（２０８）を配置する段階と、窓箔（２０６）を連続した接着線（２１０）に沿って箔支持プレート（２０８）に接着する段階と、接着線（２１０）より半径方向外方へ伸長する前記窓箔（２０６）のスカート部分（２１２）を連続した取付け線に沿ってハウジングに取付ける段階とを含んで成る。本発明はまた、電子ビーム発生装置の電子出口窓組立体にも関するものである。
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本発明は電子ビーム発生装置の電子出口窓組立体を組立てる方法に関するものであって、この方法は、電子ビーム発生装置のハウジングに箔支持プレート（２０８）を配置する段階と、窓箔（２０６）を少なくとも１本の連続した接着線（２１８）に沿ってフレーム（２１４）に接着して、出口窓副組立体（２１６）を作り上げる段階と、出口窓副組立体（２１６）をハウジングに取付ける段階とを含んで成る。本発明はまた、電子出口窓組立体にも関するものである。
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【課題】 大気中の生体試料を電子顕微鏡などで観察可能とする耐久性のある非晶質膜の電子透過膜であり、より低加速電圧で使用可能な電子透過膜を提供すること。
【解決手段】 電子顕微鏡などにおいて、電子を発生させる電子線源の設置された真空筐体から、大気中に定置した生体などの試料に対して、大気を透過せず電子を透過させるとともに、大気圧差に対する耐久性、人体への生体適合性を有する電子透過膜の実現化及び電子線源小型化などのための一層の低加速電圧化で使用可能な電子透過膜の実現化に対し、電子透過膜の材質として従来使用されている元素であるチタン、シリコンよりも軽元素であり、軽元素を含む材料の性質に着目し、軽元素としての炭素を含む材質からなる薄膜として、炭素を主成分とする非晶質の薄膜、好ましくはアモルファス炭素の薄膜にし、電子透過膜の形状を平板状又は凸形状にすれば課題解決できる。 （もっと読む）

【課題】 冷陰極と支持基板との密着性が問題にならず良好な電子放出特性を実現可能な冷陰極によって放出された電子線の特性を維持して照射する技術を提供する。
【解決手段】 表面に凹凸が形成されたグラファイトによって形成される冷陰極１２と、冷陰極１２から電子の放出が可能となる所望の電圧を冷陰極１２に対して印加する第１の電源と、冷陰極１２に対する陽極となり冷陰極１２から放出された電子を誘引し透過する膜１６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】大気中の大面積に対して電子線を照射できる電子放出管技術を提供する。
【構成】電子線透過窓を備えた電子放出管は、電子線透過窓１が複数の薄層電子線透過窓部分２と透過窓支持部品３とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム出射窓を構成する部材自身で、電子ビーム透過領域のエッジ部分に電子ビームが当たらないように遮蔽することを可能にする。
【解決手段】電子ビーム出射窓が形成された真空容器の内部に電子ビーム発生器が設けられた電子ビーム管において、前記電子ビーム出射窓は、少なくとも前記電子ビーム発生器側からＳｉからなる第１層１２と、第１層の上に形成されたＳｉＯ_２からなるエッチングストップ層１３と、エッチングストップ層の上に形成されたＳｉからなる第２層１４と、第２層の上に形成された電子ビームが透過するＳｉ化合物からなる電子ビーム透過層１５とからなり、第１層、エッチングストップ層、及び第２層をそれぞれエッチング処理により電子ビームが通過する貫通孔１６を形成し、第１層の貫通孔を形成する側面１７を、第２層の貫通孔を形成する側面１９より、貫通孔の中心側に突出させる。 （もっと読む）

【課題】 フィラメント軸方向の中央側である窓部材中央領域における窓の発熱を抑制して、窓部材中央領域の窓の破損を防止するとともに、各窓から放射される電子ビーム出力を均一化する。
【解決手段】 真空容器の内部に電子を放出するフィラメントが直線状に配置され、電子を透過する窓２４ａがフィラメント軸Ｘ−Ｘに沿って複数個形成された窓部材２４を有する電子ビーム管において、それぞれの窓２４ａは同じ形状であって、フィラメント軸方向の中央側である窓部材中央領域Ａにおいては、隣合う窓のフィラメント軸に沿った離間距離が、フィラメント軸方向の窓部材周辺領域Ｂにおける隣合う窓のフィラメント軸に沿った離間距離より、大きくなっている。 （もっと読む）