【課題】異なる試料位置のエネルギースペクトルを同時に分離して計測する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の試料と前記電子線を結像させるレンズ群との間に、電子線の有するエネルギー量により、該電子線を分光する電子分光器を備え、かつ分光された該電子線の該電子分光器のエネルギー分散方向と、該エネルギー分散方向と直交する方向での、分光された電子線の収束位置が異なっていること。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的はマルチマイクロコラムの制御を容易で効率よく具現することができるように、マルチマイクロコラムにおいて、それぞれの単位マイクロコラムの電子放出源から電子を放出させて電子ビームを形成し、この電子ビームを効率よく制御する方法を提供することにある。
【解決手段】電子放出源、レンズ部、及びデフレクターを備えた単位マイクロコラムをｎ×ｍ行列に含むマルチマイクロコラムにおける電子ビームの制御方法を開示する。それぞれの電子放出源またはそれぞれのエクストラクターには同一または相異なる電圧が印加される。電子ビームを偏向させるために、それぞれのデフレクターの制御分割区域の座標上の区域に同一または相異なる制御電圧が印加される。単位マイクロコラムの電子ビームを効率よく制御するために、エクストラクターに相当しないレンズ層が集団でまたは個別的に制御される。また、この方法を使用するマルチマイクロコラムを提供する。 （もっと読む）

【構成】第１、第２、第３、第４の四極子レンズ11,12,13,14 と前記第１四極子レンズの前に配置された第１開口電極21、第１と第２四極子レンズ間に配置された第２開口電極22、第２と第３四極子レンズ間に配置された第３開口電極23、第３と第４四極子レンズ間に配置された第４開口電極24、第４四極子レンズの後に配置された第５開口電極25とからなり、荷電ビームを第３開口電極23付近で線状に集束させるように四極子レンズを励起する手段と第１〜第５開口電極21〜25の励起によって誘起される八極子レンズ作用で開口収差を補正制御するための電圧を印加する手段を具備した荷電ビーム用レンズ。
【効果】比較的弱いレンズ励起強度によって開口収差を規制する４つの収差係数を任意に制御でき、特に倍率１で、作動距離の長いプローブ形成用レンズにおいて開口収差０のレンズ系が実現することができる。 （もっと読む）