【課題】生成されるイオンビームのエネルギーが即座に判り、かつ、レーザー照射を行いながら、リアルタイムでイオンビームの計測が可能なイオンビーム検出器を実現する。
【解決手段】本発明のイオンビーム検出器１は、イオン３に混在するＸ線を透過させ、かつイオン３を光に変換する光変換部７と、光変換部７にて変換されたイオン３由来の光を電気信号として検出する光検出部９と、イオン３が光変換部７に到達するまでの飛行時間を計測する飛行時間計測部１０とを有し、光変換部７がイオン３を受光する側に、イオン３に混在する電子を除去する電子除去部５と、イオン３に混在する光を遮光する遮光部６とを備えるとともに、光変換部７と光検出部９との間に、光変換部７に入射するイオン３の光軸に対し湾曲した湾曲部８が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多重周回可能な周回軌道を利用してイオン等の荷電粒子の運動エネルギーを高い分解能で以て測定する。
【解決手段】複数のトロイダル電場Ｅ１、Ｅ２を用いてイオンが２周回する毎に、イオンの初期位置及び初期角度について時間的に収束する一方、イオンが持つ運動エネルギーについて時間的に収束しない周回軌道を形成する。また、周回軌道を含む水平面内でイオンを初期位置、初期角度及び初期運動エネルギーに拘わらず２周回毎に空間収束させるとともに、垂直面内でも発散しない軌道とすることにより高いイオン透過率を達成する。これにより、飛行時間は運動エネルギーにのみ依存し、周期軌道を周回させるほどエネルギー分解能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は荷電粒子線偏向装置に関し、個々の偏向コイルを個別に軌道修正することができる荷電粒子線偏向装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 複数の偏向コイルを組み合わせて荷電粒子の軌道を曲げることが可能となるように構成された荷電粒子線偏向装置において、それぞれの偏向コイルをパスさせるためのスイッチ４ａ〜４ｃと、パスされた偏向コイルのインピーダンスを等しくした疑似負荷５ａ〜５ｃと、偏向方向を微調整することが可能な調整コイル３ａ〜３ｄを設け、これら偏向コイルにビーム検出器２ａ〜２ｃを設け、このビーム検出器２ａ〜２ｃの検出出力が最大値となるように、前記調整コイル３ａ〜３ｄを調整する。 （もっと読む）

【課題】 簡易かつ廉価に、電子−電子−イオンコインシデンス分光、電子−電子コインシデンス分光及び電子−イオンコインシデンス分光を高効率で測定し得る新規な電子−電子−イオンコインシデンス分光器と、電子−電子−イオンコインシデンス分光法、電子−電子コインシデンス分光法及び電子−イオンコインシデンス分光法とを提供する。
【解決手段】 同軸対称形状外電極２２、同軸対称形状内電極２１、ピンホール２３、電子検出器２４及び補助電飾２５を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器２０内に、円筒形状外電極３２、円筒形状内電極３１、ピンホール３３及び電子検出器３４を含む円筒鏡電子エネルギー分析器３０を配置し、円筒鏡電子エネルギー分析器３０内に、イオン加速電極４１、イオンドリフト電極４２及びイオン検出器４３を含む飛行時間型イオン質量分析器４０を配置して、電子−電子−イオンコインシデンス分光器１０を構成する。 （もっと読む）

【課題】 超伝導スペクトロメータ内部に余計な装置を設けることなしに，散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別することが可能な平行磁場型ラザフォード散乱装置を提供すること。
【解決手段】 イオンビームが超伝導スペクトロメータ内に入射される前にイオンビームをパルス化し，前記イオンビームをパルス化してから，試料に散乱された散乱イオンが検出器に検出されるまでの時間を測定することにより，前記散乱イオンの飛行時間を測定し，前記飛行時間から前記散乱イオンのサイクロトロン周回数を判別する平行磁場型ラザフォード散乱装置として構成される。 （もっと読む）

【課題】タングステンを減速材として用いた場合と同等又はそれ以上のビーム強度を有し、かつエネルギー分布の幅が狭い低速陽電子ビームを発生することができるタングステンに替わる減速材を用いた陽電子ビーム装置を提供する。
【解決手段】結晶化されたニッケルメッシュを減速材２として用いる。ニッケルメッシュは、直径１μｍ以上１００μｍニッケル単線からなることが好ましく、ニッケル単線は、酸溶液によるエッチングで線径を細くしたものであることが更に好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電荷粒子のための画像生成型エネルギフィルタに関する。
【解決手段】第１のエネルギ分析器（３０）の出口面（５）と第２のエネルギ分析器（４０）の前記入口面（６）との間には、トランスファレンズ手段（２０）が設けられている。これにより、サンプル（１）の表面（１´）の、検出器（１０）への、エネルギ濾過された、収差のない結像が可能となる。
（もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、荷電粒子測定の位置有感飛行時間測定における検出効率を飛躍的に向上させる装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明による装置は、静電場を用いて荷電粒子を外部ダイノードに衝突させ、生成した２次電子を不均一磁場で制御してＭＣＰと位置有感型検出器により検出することにより、歪の少ないズーム画像を得ることをおよび、２次電子に変換して検出するために、ＭＣＰの感度を向上させることを特徴とする。 （もっと読む）