【課題】パターン欠陥修正を良好に行なうとともに修正効率の向上を図ることが可能なパターン欠陥修正方法およびパターン欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】パターン欠陥修正方法は、基板上に形成されたリブ８３の欠損部３２にベース部３１を塗布する塗布ステップと、塗布されたベース部３１を整形するステップと、整形されたベース部３１を焼成するステップと、焼成されたベース部３１の上に、さらに修正ペーストを塗布するステップと、さらに塗布された修正ペーストを焼成するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で修正液の溶媒の臭気の拡散を防止することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置１では、修正液２０の溶媒の臭気を吸引するための吸引管３７を設け、吸引管３７の一方端の吸引口３７ａを塗布ノズル３０の近傍に配置し、吸引管３７の他方端を工場の排気ダクトに接続する。したがって、パターン修正装置１全体をカバーで密閉する必要はないので、装置構成の簡単化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上させ得る電界放出表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブ４ａから電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図る処理のうちの少なくとも一部の処理が、真空状態を形成するための封止工程前に行なわれる。少なくとも一部の処理は、カソード基板１とアノード基板との間の空間に酸素を含む雰囲気が充填されている状態で、ゲート電極６に基準電位を与えるとともに、カソード電極３に正電位を与える工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】修正作業開始の可否の判断を容易に行なうことが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置では、噴霧部１５における修正液２０の霧化の開始時に、マスフローコントローラ５１から噴霧ノズル２１に流れるアトマイズガスの圧力を圧力センサ５２で検出し、その検出値の変化率が基準値以下になったことを検出することにより、塗布ノズル３０から霧状の修正液２０が噴射され始めたことを検出する。したがって、修正作業開始の可否の判断を容易に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】冷却水を用いない乾式方法によってガラス基板の表面に形成された塗膜を効率よく除去する方法と装置を提供する。
【解決手段】円周部に押圧刃を有するスクライブホイール１５と、スクライブホイール１５を回転自在に保持しつつ押圧刃をガラス基板１２に形成された塗膜１１に押圧しながら転動させるホイールホルダ１７と、スクライブホイール１５をガラス基板１２上で走行させるスクライブホイール走行手段となる走行機構１９を有し、スクライブホイール１５によってガラス基板１２の表層を破砕して塗膜を剥離除去させる。 （もっと読む）

【課題】 水銀ランプの再使用を実現し得る、輝度回復方法を提供する。
【解決手段】 表示画面が暗い又は映らない等のＬＣＤ表示障害を有する端末モニタ１を用意する。そして、端末モニタ１を分解してＬＣＤモジュール２を取り出し、ＬＣＤモジュール２を分解してバックライトの冷陰極管５を取り出す。続いて、冷陰極管５に接続されている被覆リード線３を、コネクタ４とともに取り外す。そして、残った冷陰極管５を恒温槽６に入れ、一定時間の加熱を施す。その時間の経過後、冷陰極管５に被覆リード線３を再接続して、これらをＬＣＤモジュール２に組み込むことにより、再度モジュール化する。最後に、ＬＣＤモジュール２の表示画面の輝度が復活したことを確認後、そのＬＣＤモジュール２を端末モニタ１に組み込む。これにより、再び端末モニタ１の使用が可能となる。 （もっと読む）

【課題】欠陥部を確実に加熱して修正液を安定に堆積することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】このパターン修正装置の基板加熱部６は、修正対象のリブ欠け欠陥部３５ａが存在するリブ３５を通り、かつ基板３４に垂直な平面に沿って、レーザ光αをリブ欠け欠陥部３５ａに照射して加熱する。したがって、リブ欠け欠陥部３５ａに隣接する正常なリブ３５によってレーザ光αを遮られることなく、リブ欠け欠陥部３５ａの底まで加熱することができる。 （もっと読む）

【課題】 特定の欠陥が後の工程で問題となることを防止し、歩留まりを向上させることができる欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】 欠陥修正装置１は、ワークＷを載置するステージ２を有し、ワークＷの表面をＣＣＤカメラ６で観察すると共に、レーザ光源７からのレーザ光で欠陥を除去できるように構成されている。欠陥修正装置１の制御装置２０には、次工程のパターンのデータが格納されたレシピデータベースを有し、ＣＣＤカメラ６で取り込んだ実際の画像と、次工程のパターンとから後に問題となる欠陥を判定する。 （もっと読む）

【課題】 長時間連続して装置を安定使用することを可能とするパターン修正方法を提供する。
【解決手段】 このパターン修正方法では、噴霧部１５の容器１９内に注入する修正液２０の粘度を２００ｍＰａ・ｓ以下にする。これにより、塗布ノズル３０や噴霧ノズル２１のノズル詰まりが生じにくくなる。したがって、長時間連続して装置を安定使用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 長時間連続して安定使用することが可能なパターン修正装置を提供する。
【解決手段】 このパターン修正装置では、ヘッド部１８と塗布ノズル部１８ａとを一体形成する。下部ヘッド４４は、下方に向かってその開口幅が小さくなる凹型のテーパ状の内周面４４ｂ、および上部ヘッド４３の貫通孔４３ａを介して上方から流れてくる霧粒子が通る貫通孔４４ａを有する。したがって、ノズル詰まりが生じにくくなるため、長時間連続して安定使用することが可能になる。 （もっと読む）