【課題】エッチング処理時に素子分離層を越えて隣接する赤外線検出領域までエッチングしてしまうオーバーエッチングの量を低減させる。
【解決手段】シリコン基板２６、ＢＯＸ層２８、ＳＯＩ層３０がこの順に積層された半導体層を準備する。ＳＯＩ層３０には、赤外線検出部としてのシリコンダイオード部１２を形成する。更に、素子分離部１６を、ＳＯＩ層３０からＢＯＸ層２８を介してシリコン基板２６の所定の深さまで延在するように形成すると共に、シリコンダイオード部１２が形成される領域を取り囲み、ＳＯＩ層３０表面において円形または正五角形以上の正多角形の形状を有するよう形成する。更に、ＳＯＩ層３９表面に保護膜３２を形成した後、保護膜３２、ＳＯＩ層３０、ＢＯＸ層２８を貫通するエッチングホール１８を形成し、エッチングホール１８を用いて、素子分離部１６で取り囲まれた領域に対応するシリコン基板２６をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】画素領域の熱容量を低減しつつ、回路領域の多層配線において十分な耐圧を確保できる赤外線撮像素子を提供する。
【解決手段】赤外線撮像素子の製造方法が、半導体基板を準備する工程と、画素領域に赤外線検知部を形成する工程と、回路領域と画素領域とを覆うように絶縁膜を形成する工程と、回路領域の絶縁膜上に第１配線層を形成する工程と、回路領域と画素領域とを覆うように第１層間膜を形成する工程と、回路領域の第１層間膜を残しながら、画素領域の絶縁膜および第１層間膜を除去する工程と、回路領域と画素領域とを覆うように第２層間膜を形成する工程と、第２層間膜の上に第２配線層を形成し、第１層間膜と第２層間膜とを介して第１配線層と第２配線層とが積層された多層配線部を回路領域に形成する工程と、半導体基板をエッチングして凹部を形成し、支持脚と、支持脚によって中空に保持された中空構造部とを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 コスト増大につながる単位画素面積の増大を伴わずに、熱型赤外線固体撮像素子のNETD低減による性能向上を実現する熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】 赤外線固体撮像素子は、断熱構造と赤外線吸収構造を有したダイオード２３と、第１のトランジスタ２６と、第２のトランジスタ３０とを含む画素が２次元配列されてなる画素アレイを備える。赤外線固体撮像素子はさらに、行リセット線３１と、行選択線３２と、列信号線２７とを備える。行リセット線３１に電圧パルスを印加して、第１のトランジスタ２６のゲート電極を所定電位に設定するリセット動作を行い、リセット動作から所定時間経過後に、行選択線３２に所定電圧を印加し、第２のＭＯＳトランジスタ３０をオンさせ、第２のＭＯＳトランジスタ３０に接続された列信号線２７の電位を画素からの出力として読み出す。 （もっと読む）

【課題】イメージセンサにおいて、例えば耐熱サイクル性や感度などの特性を劣化させることなく、バリができるだけ発生しないようにしながら、表面配線を容易に形成できるようにし、バンプの数を減らして、多画素化による高解像度化を実現できるようにする。
【解決手段】イメージセンサは、二次元的に配列された複数の画素１と、複数の画素１を分離する複数の画素分離溝２と、複数の画素１の全てを接続するように表面側に形成された金属配線３とを備え、金属配線３が、画素分離溝２の表面においては画素分離溝２の側面及び底面の一部分のみに形成されている。 （もっと読む）

【課題】更なる高感度を達成する。
【解決手段】熱型赤外線センサは、伝達された熱量に応じた電気信号を発生すると共に、基板２４の主面に形成された複数の空洞２６の各々の内部に配置された熱電変換素子としてのダイオード１７を各々含む複数の小型熱型赤外線センサ１４と、吸収した赤外線の熱量を複数の空洞２６の各々の内部に配置されたダイオード１７の各々に伝達するように配置された赤外線吸収膜２０と、複数の小型熱型赤外線センサ１４の各々に含まれるダイオード１７の各々を電気的に直列接続する接続配線１５と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線カメラ画像の煩雑な画像処理を伴うことなく、温度測定のための熱画像データを得る。
【解決手段】表面に熱電変換素子（８）とこの熱電変換素子両端に発生する起電力を測定する電極（８０ａ、８０ｂ）とを形成した基板（１００）を赤外線カメラ（１０２）で撮像し、撮像した画像（１１０）から熱電変換素子と電極との接触部付近の画像データを獲得し、獲得した画像データに基づいて前記接触部付近の温度を算出する熱電変換素子の温度測定装置において、評価用基板の所定部分が赤外線カメラの画面上で表示される位置にマーカを表示し、かつ、所定部分とマーカとが一致するように評価用基板と赤外線カメラとを位置合わせした時に、赤外線カメラの画面上の接触部付近が表示される領域を予め測定領域（１２０ａ、１２０ｂ）に設定し、位置合わせ後の画面の測定領域から獲得した画像データに基づいて温度を算出する。 （もっと読む）

前平衡弾道電荷キャリア屈折方法を用いた方法とシステムは、１つまたは複数の固体発電機を作製する工程を有する。固体発電機は、化学的励起固体発電機および熱電変換型固体発電機の１つまたは複数を含む。第１の電荷キャリア有効質量の第１材料は、固体接合に用いられる。第１の電荷キャリア有効質量より大きい第２の電荷キャリア有効質量の第２材料は、固体接合に用いられる。第２の有効質量と第１の有効質量との電荷キャリア有効質量比は２以上である。 （もっと読む）

【課題】 検出素子の支持体としてマイクロエアブリッジ構造体を有し、感度の向上、特性劣化の改善、チッピング不良の改善を図った熱型赤外線検出装置、およびその製造方法を得る。
【解決手段】 熱型赤外線検出装置のセンサ部は、ＳＯＩ基板２７上にＩＣＰドライエッチングプロセスによってマイクロエアブリッジ構造体１１を形成し、その活性領域１２に複数のｐｎ接合ダイオードからなる半導体ダイオード部１８を形成し、その上面に金属反射膜１５および赤外線吸収層１４を順に設ける。前記金属反射膜１５は、ｐｎ接合ダイオードの特性劣化の改善のためのアニール時の発熱体として用いると共に、照射赤外線を前記赤外線吸収層１３に集光して感度を高める反射膜としても使用する。また前記センサ部を有するウェハの切断線上の配線には基板内部に設けた拡散抵抗配線３３、３４を用い、金属薄膜による配線を追放することで切断時のチッピング不良を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、テラヘルツ帯をはじめとする長波長光を、輻射熱揺らぎの影響を受けることなく、電気信号に変換し、おもに映像信号として出力する固体撮像素子及びその製造方法並びに撮像装置を提供する。
【解決手段】セル部１０は、入射された電波を受信することにより電気信号を生成するアンテナ部１４２と、アンテナ部に電気的に接続され、電気信号に応じたジュール熱を生成することにより、セル部の温度を変化させる電気抵抗１２と、支持構造配線部１１１と電気的に接続されると共に、アンテナ部及び電気抵抗と電気的に絶縁され、かつ電気抵抗と熱的に接続され、セル部の温度変化を検出することにより、電気信号を生成する熱電変換素子３１とを有し、セル部のうち電波の入射面側は、遠赤外線を反射する材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】可視光画像の解像度が高く、赤外光画像の感度が高く、可視光撮像と赤外光撮像を同時に行なうことができ、冷却が不要であり、画素補間などの画像処理が不要な２波長イメージセンサを提供する。
【解決手段】この２波長イメージセンサでは、複数の可視光検出器１と複数の非冷却型赤外光検出器３を均一に分散配置し、１つの可視光検出器１で可視光検出用画素２を構成し、直列接続された４つの赤外光検出器３で熱赤外光検出用画素５を構成する。したがって、可視光画像の解像度は熱画像の解像度の４倍になる。また、赤外光画像の１画素当りの受光面積を４倍に高めることができ、熱赤外光画像の温度分解能が向上する。 （もっと読む）