本発明は、集積回路（１０、１２、１３）上に堆積される、強誘電性Ｐ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）共重合体の高感度層を用いたマトリックスセンサの製造に関する。
製造を単純化し、かつ歩留まりを改善するために、最初にチタンの第１の層（１１６）が集積回路上に堆積され、この層がエッチングされて、集積回路に電気的に接続された電極のマトリックスアレイを形成するようにする。次に、Ｐ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）共重合体の接着に有利な、約１〜１０％の小さな割合の第２の重合体を含むＰ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）共重合体が、集積回路上に堆積される。この重合体は、Ｐ（ＶＤＦ／ＴｒＦＥ）の下にあるか、またはそれと混合される。共重合体およびその接着促進剤は、単一ステップでエッチングされ、最後に、第２の導電層（１２０）が堆積され、それが、マトリックスアレイ全体のための対向電極を形成するためにエッチングされる。
用途：超音波画像センサ。 （もっと読む）

【課題】可撓性感圧体に余剰な張力を印加させることなく均一に満遍なく分極させることで、特性ばらつきのない安定した特性を得ることを目的とする。
【解決手段】芯電極２に周設された可撓性感圧体３と、前記可撓性感圧体３の全周で接触するように導電性繊維で構成された導電体４と、前記芯電極２と前記導電体４に接続された電圧印加手段８と、前記可撓性感圧体３を加熱する加熱手段５と、前記導電体４を前記可撓性感圧体３に接触しながら移動させる移動手段６とを設けることによって、可撓性感圧体３に均一に導電体を接触させ、全周囲から均一に満遍なく分極するようにした。このため、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】スパッタ法などのエピタキシャル成長法或いは配向成長法よって好ましい圧電素子を作製する圧電素子製造方法及び液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０の上面１２に下部電極１４を成膜し、下部電極１４上にスパッタ法で圧電体膜１６を成膜し、圧電体膜１６の上面に上部電極１８を成膜する。ここで、１００℃以上キュリー点以下の温度環境下で下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電体膜に電界を印加する。この状態を１分間以上保持した後に、温度を７０℃以下まで下げてから電界を解除する。圧電体膜１６の成膜時は下部電極１４から上部電極１８に向かう方向の分極方向となっているが、分極反転工程を経て圧電体膜１６の分極方向が反転するので、下部電極１４をグランドとして上部電極１８に正電圧を印加して圧電素子２０を吐出方向に変形させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】誘電率が高く、電歪型アクチュエータに用いた場合に低電圧で大きな変位量が得られるアクリルゴムを提供する。また、そのようなアクリルゴムを、架橋時間を短縮して製造することのできる方法を提供する。
【解決手段】電歪型アクチュエータ用アクリルゴムは、エポキシ基含有アクリル酸エステル系重合体と、イオン性光酸発生剤と、を含むアクリルゴム組成物を架橋して得られる。また、電歪型アクチュエータ用アクリルゴムの製造方法を、エポキシ基含有アクリル酸エステル系重合体と、イオン性光酸発生剤と、を含むアクリルゴム組成物を調製するアクリルゴム組成物調製工程と、前記アクリルゴム組成物に光を照射して架橋させる架橋工程と、を有するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】常温でもＩ型結晶構造を多く含む強誘電性の積層体とその製造方法を提供する。
【解決手段】フッ化ビニリデン系ポリマーを含むポリマー層の片面に、フッ化ビニリデン系オリゴマーを含むオリゴマー層が積層されてなる積層体。 （もっと読む）

【課題】 電歪型アクチュエータにおいて大きな電圧を印加することができ、大きな変位量が得られるアクリルゴムを提供する。また、そのようなアクリルゴムを用いて変位量の大きな電歪型アクチュエータを提供する。
【解決手段】 電歪型アクチュエータ用アクリルゴムは、重量平均分子量が７０万以上２００万以下のアクリル酸エステル系重合体を主成分とする。また、電歪型アクチュエータを、重量平均分子量が７０万以上２００万以下のアクリル酸エステル系重合体を主成分とするアクリルゴム製の誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電体や蛍光体等として有用なペロブスカイト酸化物において結晶の方位を揃えて結合した単結晶を得ることのできる技術を提供する。
【解決手段】 一般式ＭＴｉＯ₃：Ｘで表されるペロブスカイト酸化物（Ｍは、Ｂａ、Ｃａ、ＳｒもしくはＰｂ、またはそれらの混合系を表し、Ｘは、存在するときは、ＰｒまたはＥｕを表す）の単結晶を製造する方法であって、（１）上記酸化物ＭＴｉＯ₃：Ｘのナノ結晶粒子、または（２）Ｔｉのアルコキシド、上記金属Ｍのアルコキシド、水酸化物、ハロゲン化物、ジケトネートもしくは硝酸塩、および、Ｘが存在するときは、Ｘのアルコキシドから成る混合物を、水およびアルコールを含む媒質に分散させて70°〜200℃の温度下に水熱処理する工程を含む方法。ナノメートルサイズの結晶がエピタキシャル結合しているペロブスカイト酸化物単結晶が得られる。 （もっと読む）

【課題】電極層の損傷や、電極層と誘電層との剥離が生じにくい誘電性ゴム積層体を提供する。
【解決手段】誘電性ゴム積層体は、一対の電極層１，１の間に誘電層２が介装されてなる３層構造を有している。電極層１は、接着性を有するベースゴムと導電性フィラーとを含有する導電性ゴム組成物で構成されている。また、誘電層２は、ベースゴムと誘電性フィラーとを含有する誘電性ゴム組成物で構成されており、その厚さは１０μｍ以上３００μｍ以下である。 （もっと読む）

本発明は、圧電繊維アレイを含む複合材料を作製する方法であって、（ａ）圧電材料又は圧電材料の前駆体及び第１のキャリアを含む複数の第１のストリップと、分解可能な材料及び第２のキャリアを含む複数の第２のストリップとを用意するステップと；（ｂ）前記複数の前記第１及び第２のストリップを互いの上に交互に配置してスタックを形成するステップであって、前記第１のストリップの少なくとも一部は第２のストリップによって隣接した第１のストリップから分離させるステップと；（ｃ）前記スタックを加熱して、前記第１及び第２のキャリア並びに前記分解可能な材料を除去することを含む加熱ステップと；（ｄ）前記スタックにフィラー材を含浸して圧電ストリップの複合スタックを形成するステップと、（ｅ）前記スタックを切断して圧電繊維アレイを含む複合材料を形成するステップとを含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 低延伸率でも絶縁破壊強度が高く、電歪型アクチュエータを構成した場合にクリープや劣化等の少ない誘電体エラストマー膜を提供する。また、そのような誘電体エラストマー膜を簡便に製造することのできる方法を提供する。
【解決手段】 電歪型アクチュエータ用誘電体エラストマー膜の製造方法を、未加硫の誘電体エラストマー材料を延伸して延伸膜とする延伸工程と、延伸状態を保持したまま前記延伸膜を加硫する加硫工程と、を有するよう構成する。 （もっと読む）