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国際特許分類[H01S3/1055]の内容

国際特許分類[H01S3/1055]に分類される特許

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【課題】ArFエキシマレーザに使用され、長期の使用にわたって回折効率を維持することが可能なエシェル型回折格子を提供すること
【解決手段】各格子は厚さ2μmから10μmを有する樹脂層11と当該樹脂層の上に形成され、厚さ120nmから500nmを有し、アルミニウムから構成された反射膜層12を有するエシェル型回折格子1はリトロー配置を有し、頂角が85°以上90°未満であり、ブレーズ角は、波長193.3nmの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第1のブレーズ角よりも小さい第2のブレーズ角を初期値として有し、前記第1のブレーズ角をbd、前記第2のブレーズ角をbaとすると0.25°≦bd−ba≦1.2°を満足することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも3つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】周波数安定度の高い原子発振器を得ることが可能な原子発振器用の光学モジュールを提供する。
【解決手段】光学モジュール2は、量子干渉効果を利用する原子発振器用の光学モジュールであって、所定の波長を有する基本波F、当該基本波Fの側帯波W1,W2、を含む光L1を出射する光源10と、光源10からの光L1が入射し、当該入射した光L1のうち側帯波W1,W2を透過させる波長選択部20と、アルカリ金属ガスを封入し、波長選択部20を透過した光が照射されるガスセル30と、ガスセル30に照射された光のうちガスセル30を透過した光の強度を検出する光検出部40と、を含み、
波長選択部20は、ファイバーブラッググレーティング20aと、ファイバーブラッググレーティングの温度を制御する温度制御部20bと、を有する。 (もっと読む)


【課題】周波数安定度の高い原子発振器を得ることが可能な原子発振器用の光学モジュールを提供する。
【解決手段】光学モジュール2は、量子干渉効果を利用する原子発振器用の光学モジュールであって、所定の波長を有する基本波F、当該基本波Fの側帯波W1,W2、を含む光L1を出射する光源10と、光源10からの光L1が入射し、当該入射した光L1のうち側帯波W1,W2を透過させる波長選択部20と、アルカリ金属ガスを封入し、波長選択部20を透過した光が照射されるガスセル30と、ガスセル30に照射された光のうちガスセル30を透過した光の強度を検出する光検出部40と、を含み、波長選択部20は、ファイバーブラッググレーティング20aと、ファイバーブラッググレーティング20aに電圧を印加する電圧印加部20bと、を有する。 (もっと読む)


【課題】レーザ装置のスペクトル幅調整の可能な範囲を向上する。
【解決手段】レーザ装置は、(1)レーザ媒質をレーザゲイン空間において励起する励起源と、(2)レーザゲイン空間を通る光路の一方の側に配置されたアウトプットカプラと、レーザゲイン空間を通る光路の他方の側に配置された波長分散素子と、を含む光共振器と、(3)レーザゲイン空間と波長分散素子との間の光路にビーム幅を拡大又は縮小する少なくとも1つのビーム幅変更素子を出し入れし、又は、上記光路において少なくとも1つのビーム幅変更素子の向きを反転させることにより、ビーム幅の拡大率又は縮小率を切り換える切換機構と、を含んでもよい。 (もっと読む)


【課題】テラヘルツ波を生成する光繊維レーザーを提供する。
【解決手段】レーザーは、ポンプ光源34による励起でレーザー光を発振するレーザー光源30と、前記レーザー光を第1及び第2波長に共振させる第1共振器10及び第2共振器20と、レーザー光源30から発振される前記レーザー光を第1共振器10及び第2共振器20に分離して入射させ、第1共振器10及び第2共振器20から各々共振される第1及び第2波長のレーザー光を再びレーザー光源30にフィードバックするカプラー40を含む。 (もっと読む)


レーザ光源(10)のレーザビーム(14)のスペクトルバンド幅(Δλ)を設定するための狭帯域化モジュール(1)であって、レーザビームの伝播方向に対して横方向にレーザビームを拡大するビーム拡大モジュール(18)と、反射型回折格子とを備え、狭帯域化モジュールの第1コンポーネント(32)を、狭帯域化モジュールの光軸に対して横方向の第1軸を中心とした円筒形部分を有する擾乱をレーザビームの波面に印加することができるよう構成した、狭帯域化モジュール。本発明によれば、第1光学コンポーネントは、第1軸と平行な旋回軸(35、43)を中心に旋回可能であるよう具現する。第1光学コンポーネント(32)は、1つの軸に沿った波面収差を制御するよう旋回させる(43)シリンドリカルレンズであり得る。バンド幅は、回折格子(28)により制御され、シリンドリカルレンズはプリズム(40)に組み込むことができる。 (もっと読む)


【課題】改変されたリットマン構成を有する周波数ステップ・レーザー・システム及び当該システムを用いる方法を提供する。
【解決手段】共通の光軸を有するレーザー共振器104及び外部共振器110を有するレーザーと、外部共振器110内に固定された反射回折格子214と、レーザー共振器104及び反射回折格子間のコリメータ・レンズ112と、外部共振器110の一端を画定し、該固定された反射回折格子214に光学的に結合され、該固定された反射回折格子214の位置のまわりにピボット回転する調整可能な反射ミラー220と、を有する波長チューナブル・システム及びその使用方法。 (もっと読む)


【課題】グレーティングを従来の微細な溝構造による問題点を解消した構造とすると共に、グレーティングのあおり角を容易且つ正確に調節できるようにしたVHG固定装置を提供する。
【解決手段】VHG装着体は、両側裁断球状部を揺動軸支部として他端の柱状部の揺動操作だけによって容易にあおり角を調節できるように、一端を回動可能な両側裁断回転部(例えば、両側裁断球状部)に形成し、該部に円筒部を連設する。基体に両側裁断回転部を適切な回動位置に位置決め固定する粗調整ネジを設け、リングガイドに柱状部を適切な回動位置に位置決め固定する微調整ネジを設ける (もっと読む)


【課題】より安定な軸対称偏光レーザーが発振可能な方法及びそのための装置を提供すること。
【解決手段】軸対称偏光レーザー発振装置として、励起光を発するレーザーダイオードと、前記励起光を増幅するレーザー増幅器と、前記レーザー増幅器を挟んで配置される全反射ミラー及び偏光選択性回折格子ミラーを備え、レーザー光を発振する共振器と、前記共振器内に配置される1/4λ板を有することとする。また、軸対称偏光レーザーの発振方法において、レーザーダイオードにより光を励起し、前記励起した光を1/4λ板に入射し、前記1/4λ板から透過した光を偏光選択性回折格子ミラーに入射することとする。 (もっと読む)


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