この発明は、単結晶シリコン基板（１）に積層され、温度安定性に優れたタイムベースを作製することのできる１組の共振器であって、異なるタイプのモードで、かつ、それらの周波数差における少なくとも一次熱係数αがゼロ又はゼロに近くなるような寸法で、振動するように設計された第１の共振器（２）と第２の共振器（３）とを少なくとも含むことを特徴とする１組の共振器に関する。二次熱係数βは大きく減少されてもよい。 （もっと読む）

本発明は、多層高剛性キャップを有するシール空洞内に微細機械構造を製造するための方法を含む。キャップに用いられる高剛性材料は、パッケージングプロセスに内在する破壊的環境的影響力、及び環境的損傷から下にある微細構造体を保護する。
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【課題】 基材の上に形成された水晶薄膜と基材を利用した水晶振動子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による水晶振動子の水晶振動片２は、基材結晶５の表面にエピタキシャル成長させられた水晶薄膜１を加工して形成される。前記水晶振動片２を励振するのに必要な電極３ａ等は金属の蒸着膜で形成できる。前記基材１となる結晶は単元素半導体、化合物半導体または酸化物結晶とすることができる。基材を半導体として、そこに半導体回路を設け振動子と一体にモジュール化して利用することもできる。 （もっと読む）

【課題】 水晶フィルタや水晶共振子などの圧電素子において、製造後の調整処理をしなくても最終的な設計仕様を満足させる改善された圧電素子及び素子の設計検証方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子の設計検証法は、圧電素子の応力成分をその圧電素子の第1の素子構成要素のひずみ成分の重み付けとして表す圧電素子モデルを作成することからなる。そのモデルを解析して、圧電素子、もしくはその第2の素子構成要素が設計仕様を満足しているかどうかを検証する。例えば、モデルを解析して圧電素子（或いはその電極）が適切なスチフネスを有するかどうかを検証することができるし、さらに実物大或いはその他の尺度で圧電素子（或いは電極）のスチフネスの質を検証することができる。 （もっと読む）

【課題】発振子に対する気密性が向上し、さらに小型化できる。さらに製造コストを低減させる。
【解決手段】圧電磁器板１４と、圧電磁器板１４の両主面上に設けた一対の振動電極１５、１６と、双方の振動電極１５、１６上にそれぞれ配した封止用基板２０、２１とが、それぞれ振動電極１５、１６を気密封止せしめるエアギャップ２２、２３が形成されるように、同時に一体焼成されてなる圧電磁器発振子１３。 （もっと読む）

【課題】 １個の空中超音波送受波器で、しかも１０Ｖ程度の低電圧で駆動が可能で昇圧用のトランスが不要の空中超音波送受波器を提供することである。
【解決手段】 空中超音波送受波器は、空中超音波送受波器の電気的等価回路がＬ，Ｌ，Ｃ，Ｒで表される直列共振回路の両側にほぼ等しい値の静電容量Ｃ_d が並列に共通端子に接続された対称３端子回路で表されることを特徴とする。圧電屈曲振動子として、圧電セラミック矩形板の少なくとも一方の面に、この圧電セラミック矩形板１１の長さ方向と平行な交差指電極を７本備える。 （もっと読む）

【課題】 収納部品、とりわけ圧電振動子の不正配置を防止し得る圧電部品を提供する。
【解決手段】 ケース４は 一面側を開口させた収納部１１を有し、収納部は内部に段部１２を有する。段部１２から立ち上がる側壁１３のうち、少なくとも１つは、段部１２に対して垂直となる方向を基準にして、ケース外側方向に２０°以上８０°未満の角度で傾斜している。圧電振動子２は収納部１１の内部に配置され、端部が段部１２によって受け止められ、かつ、支持されている。 （もっと読む）

【目的】フィルタの群遅延時間特性の乱れを低減し、スプリアス特性の悪化を防止し、さらに、ディスクリミネータの歪率特性に乱れが生じない小型の圧電共振子を提供することにある。
【構成】略四角形状板の圧電基板の両表面に、振動電極を対向して設け、振動部を形成してなるエネルギー閉じ込め形厚み縦振動の圧電共振ユニットからなる圧電共振子において、前記振動部の外部で、圧電基板内の一部に、未分極部を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）