【課題】製品として求められる目標精度に比べて梁の膜厚ばらつきに起因する共振周波数のばらつきが大きくても、目標精度内の共振周波数を有するＭＥＭＳ振動子が高い歩留りで得られるＭＥＭＳ構造体を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、基板上に複数のＭＥＭＳ振動子３０ａ〜３０ｄを配置したＭＥＭＳ構造体であって、前記複数のＭＥＭＳ振動子それぞれは、梁構造を有しており、前記複数のＭＥＭＳ振動子は、それぞれの梁構造が異なることによって共振周波数が異なるＭＥＭＳ構造体である。 （もっと読む）

【課題】小型で高精度な振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において支持部に対して錘部が振動するように連結しているとともにｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において前記支持部に対する前記錘部の振動に伴って撓む扁平な弾性部と、前記錘部を前記支持部に対してｚ軸方向に励振するｚ軸励振部と、ｙ軸励振部と、前記錘部のｘ軸方向の振動を検出するｘ軸検出部と、ｙ軸検出部と、が形成されている積層構造体と、前記錘部の励振方向をｙ軸とｚ軸方向との間で所定の時間間隔で交互に切り換える励振切換手段と、切り換えてから所定時間経過後に前記錘部のｘ軸方向の振動からｙ軸周りの角速度を導出し、ｙ軸方向の振動からｘ軸周りの角速度を導出し、前記錘部の励振方向をｚ軸方向からｙ軸方向に切り換えてから所定時間経過後に前記錘部の前記ｘ軸方向の振動からｚ軸周りの角速度を導出する角速度導出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数を改善した、屈曲振動を利用する圧電振動子、および、安定した感度が得られる振動ジャイロ装置の提供を図る。
【解決手段】振動ジャイロ装置１は、圧電基板３と上面電極２と下面電極４とを備え、上面電極２と下面電極４との電位差に応じて主面法線方向に振動する。下面電極４は、電気機械結合係数が下限極値となる値から外した電極厚である。ここで、上面電極２には周波数信号が印加されるものであり、下面電極４は基準電位に接続されるものである。この振動ジャイロ装置の電気機械結合係数は下面電極４の電極厚を変更することで変化して電気機械結合係数の下限極値を示し、電気機械結合係数が下限極値となる値から下面駆動電極の電極厚が外れると、電気機械結合係数がクリップする値まで急峻に立ち上がる特性を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 ２つの振動片を備えた圧電素子であっても、薄く形成することができ且つ電界の影響を小さくした小型な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス（１００）は、第１圧電振動片とこの第１圧電振動片を囲む第１枠状部とが一体的に形成されてなる第１圧電振動フレーム（２０）と、第２圧電振動片とこの第２圧電振動片を囲む第２枠状部とが一体的に形成されてなる第２圧電振動フレーム（４０）と、第１圧電振動フレームと第２圧電振動フレームとの間に配置され金属膜が中央領域に形成されたスペーサ板（３０）と、第１圧電振動フレームに接合するリッド部材（１０）と、第２圧電振動フレームに接合するベース部材（５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】周波数安定性の高い圧電振動子及びこの圧電振動子を用いた感知センサを提供する。
【解決手段】圧電振動子１は、第１の発振周波数を取り出すために圧電片１００に設けられた第１の振動領域１０５と、第２の発振周波数を取り出すために、弾性的な境界領域１０７を介して第１の振動領域１０６とは異なる領域１０５に設けられた第２の振動領域と、を有し、これらの各振動領域１０５、１０６に、前記圧電片１００を挟んで一面側と他面側とに設けられた励振電極１０１〜１０３を備えており、第１の発振周波数と第２の発振周波数との周波数差は、これらの発振周波数の０．２％以上、２．２％以下である （もっと読む）

【課題】共通の水晶片に２つの振動領域が設けられた水晶振動子を用いた水晶発振回路において、不要な周波数成分が低減された周波数信号を得ることのできる水晶発振回路及びこの回路を利用した感知装置を提供する。
【解決手段】互いに異なる発振周波数を取り出すための２つの振動領域１０５ａ、１０５ｂを共通の水晶片１００上に設けた水晶振動子１０を備えた水晶発振回路１１ａ、１１ｂは、各振動領域１０５ａ、１０５ｂより取り出される周波数信号中に含まれる相手側の振動領域１０５ｂ、１０５ａの発振周波数に相当する周波数成分を低減するためのバンドエリミネーションフィルタを備えている。 （もっと読む）

【課題】共通の圧電片に互いに異なる周波数を出力するための第１及び第２の振動領域を備えた圧電振動子において、振動領域間における電気的結合あるいは弾性波の影響を抑えて、信頼性の高い発振を行うことのできる圧電発振回路を提供すること。
【解決手段】圧電片上に設けられた第１の振動領域及び第２の振動領域と、前記第１の振動領域に設けられ、当該第１の振動領域を励振させて当該第１の振動領域から第１の発振周波数を取り出すための第１の電極と、前記第２の振動領域に設けられ、当該第２の振動領域を励振させて当該第２の振動領域から第２の発振周波数を取り出すための第２の電極と、前記第１の電極と第２の電極との間に接続され、これら電極間の容量成分と並列共振を起こさせるためのインダクタと、を備えるように圧電発振回路を構成し、第１の振動領域と第２の振動領域とを電気的に分離する。 （もっと読む）

【課題】増強された近接周波数阻止特性を有し、所望周波数又は周波数範囲を阻止する為にフィルタ減衰特性を調整する様に設計され得る音響共振子フィルタの提供。
【解決手段】帯域通過フィルタは、入力端子５０５及び出力端子５５５と、第１、第２の音響共振子５１０，５２０と、音響結合層５３０とを含む。第１の音響共振子５１０は、第１、第２の電極５１２，５１４とこれら第１及び第２の電極間の圧電層５１６とを含む。第１の音響共振子の第１の電極は入力端子に接続され、第２の音響共振子５２０は、第１、第２の電極５２２，５２４と、これら第１及び第２の電極間の圧電層５２６とを含む。音響結合は、第１の音響共振子の第２の電極と第２の音響共振子の第１の電極間に与えられ、出力端子は第２の音響共振子の第２の電極に接続される。入力端子と出力端子間にはコンデンサ５５０が延びる構成で、フィルタの周波数応答は少なくとも２つの伝送ゼロを含む。 （もっと読む）

【課題】 周波数を安定させ、外部の影響を排除できる、緩急調整システムで使用される結合された共振器を提供すること。
【解決手段】 本発明の結合共振器は、低周波の第１共振器１と高周波の第２共振器２とを有する。この第１共振器と第２共振器は、永久的な機械的結合手段を有する。前記第１共振器は、テンプ・スプリング１であり，前記第２共振器は、同調フォーク２である。前記同調フォーク２は、脚部８により連結された複数のアーム４，６を有し，前記一方のアーム６は、テンプ・スプリング１の外側最終巻き７に結合され、前記他方のアーム４は、片持ちはりである。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕを内部電極の導電材料として用いた場合にも高い圧電歪特性を有する圧電磁器組成物を提供する。
【解決手段】（Ｐｂ_ａ−ｂＭｉ_ｂ）［（Ｚｎ_１／３Ｎｂ_２／３）_ｘＴｉ_ｙＺｒ_ｚ］Ｏ_３（ただし、０．９６≦ａ≦１．０３、０≦ｂ≦０．１、０．０５≦ｘ≦０．１５、０．２５≦ｙ≦０．５、０．３５≦ｚ≦０．６、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１、ＭｉはＳｒ、Ｃａ、Ｂａから選ばれる少なくとも１種）で表される複合酸化物を主成分とし、主成分に対して、第１副成分として、Ｃｏ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＧａから選ばれる少なくとも１種を酸化物換算で０．５ｗｔ％以下（ただし、０は含まず）、第２副成分として、希土類金属元素を酸化物換算で０．１５ｗｔ％以下（ただし、０は含まず）、第３副成分とて、ＡｇをＡｇ_２Ｏ換算で０．３５ｗｔ％以下（ただし、０は含まず）を含有する圧電磁器組成物。 （もっと読む）