【課題】高周波機械振動子の振動を効率よく増幅する。
【解決手段】例えば振動子を梁構造とし、梁側面に空隙を介して電極を近接させ配置する。両者間に交流電圧を加えて静電力で振動子を励振する一方で、交流信号周波数と同一または２倍の周波数の信号を利用して振動子のばね性に変調を加え、パラメトリック共振の原理により振動を増幅する。励振力とばね性の変調の位相を最適にすることで効率よく振動子の振幅を増幅することができる。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１個のモード形状を有するＭＥＭＳ共振器に関し、表面（１２）および共振器構造（１）を有する基板（２）を備え、共振器構造（１）は基板（２）の一部であり、共振器構造（１）は第１クローズドトレンチ（３）および第２クローズドトレンチ（３）によって画定することを特徴とする。第１クローズドトレンチ（３）は第２クローズドトレンチ（３）の内側に位置し、基板（２）内にチューブ状構造（１）を形成し、また共振器構造（１）を表面（１２）から表面に平行な方向にのみ離れるようにする。本発明は、さらに、ＭＥＭＳ共振器の製造方法に関する。
（もっと読む）

【課題】簡単な素子構造で高周波領域の電気信号の加工を行うことができる、微小電気機械デバイスを提供するものである。
【解決手段】基板１１上に複数の電極１２、１３と、この電極１２、１３に対面して静電駆動で振動する梁１５とを有する振動子素子であって、複数の電極１２、１３と梁１５のうちの、何れかの組み合わせに高周波信号の入出力が加えられて成る。 （もっと読む）

【課題】振動微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）共振器を備える改良されたクロックト・データ変換器を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ共振器は、アナログ・ディジタル変換器あるいはディジタル・アナログ変換器の一部として用いられる。ＭＥＭＳ共振器は、オン・チップ共振器に用いることもできるし、あるいは、外部クロックによって駆動される帯域フィルタとして用いることも可能である。 （もっと読む）

【課題】 静電駆動するビーム型の共振子からなる微小共振器における、寄生容量を介しての信号漏洩の抑制を図る。この微小共振器を用いたバンドパスフィルタの広い帯域化を図る。この微小共振器を備えた半導体装置、通信装置の高信頼性化を図る。
【解決手段】 ビーム型の共振子３１１からなり、共振子３１１の振動部となるビーム３６中に高抵抗部分または絶縁性部分３６１ａを有して成る。 （もっと読む）

【課題】 微小共振子の構造を異ならせることなく、共振周波数の異なる微小共振子を作成し、Ｑ値の低い微小共振器を提供するものである。
【解決手段】 直流電圧が印加される並列に配置された複数のビーム型の振動子素子を具備し、前記振動子素子間の直流電圧を異ならせるように微小共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】 振動子素子が形成されている領域に発生する不要振動の領域周囲部分への伝達を抑制する。
【解決手段】 １又は複数の振動子素子が形成されている領域４０が、この領域と異なる音響インピーダンスを有する障壁で囲われた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 単一構造で互いに逆位相の２つの共振周波数の信号を出力でき、併せて異なる共振周波数を独立に調整できるようにした微小共振器を提供する。
【解決手段】 支持部８〔８Ａ，８Ｂ〕で中空に保持された振動部６と、中空を挟んで振動部６と対向する下部電極となる入力電極３及び出力電極４とを有し、入力電極３及び出力電極４が、振動部６と交差する線上に沿って互いに対向して配置され、振動部６がねじれ振動とたわみ振動を起こすようになし、この異なる共振モードによる互いに近接した２つの共振周波数の出力信号が互いに１８０°位相を異にして成る。 （もっと読む）

【課題】 例えば信号フィルタ等に適用される微小振動子において、その対地容量を低減して信号出力の損失の抑制を図る。
【解決手段】 基板上に、下部電極４３、４４に対向して静電駆動する梁４７を有した振動子素子３３が形成され、梁４７に接続された直流バイアス給電線４５の線幅Ｗ１が、梁４７の幅Ｗ２よりも狭い幅で形成されている （もっと読む）

【課題】 中心周波数のばらつき、隣接している振動子素子間の干渉などを抑え共振特性に優れた微小振動子、この微小振動子を備えた半導体装置、及びこの微小振動子による帯域フィルタを用いた通信装置を提供する
【解決手段】 微小振動子は、複数のビーム型の第１の振動子素子３３が並列接続され、隣合う前記第１の振動子素子３３間に非共振のビーム型の第２の振動子素子３４が配置されて成る。 （もっと読む）