【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】簡易に半導体基板上に形成でき、差動型で動作する半導体装置ならびにこれを用いた発振器、アンテナシステムおよび送受信システムを提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板と、複数の音響波伝播層と、分離層と、音響波反射層と、第１のコンタクトと、第２のコンタクトとを備える。前記複数の音響波伝播層は、前記半導体基板に、互いに離間して形成される。前記分離層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層を互いに電気的に分離するが、音響波は通過させる。前記音響波反射層は、前記半導体基板に形成され、前記複数の音響波伝播層内に前記音響波を閉じ込めるように形成される。前記第１のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の１つに形成され、第１の差動信号が入力または出力される。前記第２のコンタクトは、前記複数の音響波伝播層の他の１つに形成され、前記第１の差動信号とは位相が異なる第２の差動信号が入力または出力される。 （もっと読む）

調節可能な共振周波数を有し、大きな信号を扱うことができる調整可能なＭＥＭＳ共振器が説明される。１つの例示的設計では、調整可能なＭＥＭＳ共振器は、（ｉ）キャビティおよび支柱を有する第１の部分と、（ｉｉ）支柱の下に配置された可動プレートを含み、第１の部分と対になった第２の部分とを含む。各部分は、もう一方の部分と対向する表面上を金属層で覆われていてもよい。ＭＥＭＳ共振器の共振周波数を変化させるために、可動プレートを、直流電圧で機械的に動かすことができる。キャビティは、長方形または円形の形状を有してもよく、空であっても、誘電材料で満たされていてもよい。支柱は、キャビティの中央に位置してもよい。可動プレートは、第２の部分に、（ｉ）１つのアンカーによって取り付けられて片持ち梁として働いてもよく、あるいは、（ｉｉ）２つのアンカーによって取り付けられてブリッジとして働いてもよい。
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【課題】共振中心周波数、帯域幅の調整が容易な結合共振器アレイ及びそれを使用したフィルタ並びに発振器を提供する。
【解決手段】結合共振器１６_ｉのアレイ１０は、入力電気信号Ｖｅを供給するための手段１２と、この入力電気信号を使用してアレイのＮ個の結合共振器１６_ｉを電気的に励起するための手段１４とを備える。電気励起手段１４は、これらＮ個の結合共振器１６_ｉのそれぞれに関して、入力電気信号に従ってこの結合共振器を作動させるために入力電気信号供給手段１２に接続された作動手段１８_ｉと、この結合共振器１６_ｉを作動させるための結合共振器固有の可変利得入力増幅手段２０_ｉとを備える。さらに、それらは、入力増幅手段２０_ｉのそれぞれの可変利得の特定の設定を制御するための手段２２を備える。 （もっと読む）

【課題】バイアス電圧によるＭＥＭＳレゾネータの共振周波数の変動態様を制御することのできる共振回路を実現する。
【解決手段】本発明の共振回路３０は、基板と、該基板上に形成された固定電極、及び、該固定電極の少なくとも一部に対向する可動部を備えた可動電極を有するＭＥＭＳレゾネータ１０と、前記ＭＥＭＳレゾネータの第１の端子１０ａに接続された第１の入出力部３０ａと、前記ＭＥＭＳレゾネータの第２の端子１０ｂに接続された第２の入出力部３０ｂと、少なくとも前記第１の端子１０ａに電位Ｖｐを供給して前記ＭＥＭＳレゾネータの前記第１の端子と前記第２の端子の間にバイアス電圧Ｖｃを印加する電圧印加手段２０と、前記第１の端子１０ａと第１の入出力部３０ａの間に接続され、両端の電位差の変化で容量値が変化する可変設けられた結合容量Ｃｃ１と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】振動モードにおいて結合部が非対称に歪むのを防止し、良好なフィルタ特性を得ることのできるＭＥＭＳ技術を用いた電気機械フィルタを提供する。
【解決手段】電気機械フィルタを構成する結合部に対し、対称な外部力を加えることで結合部の振動モードに影響をもたらすことがなく結合部のばね定数が変化し、共振モード間の結合係数を調整し、周波数帯域を変化させる。また当該結合部に静電力を印加する制御部を具備することにより、構造に応力をもたせてばね定数を変化させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、高周波数帯域において低損失且つ高Ｑ値のマイクロ波フィルタ及び高Ｑ値の高周波振動子を提供する。
【解決手段】 Ｑ値の高い同一の水晶基板１上に振動子２とバンドパスフィルタ３とを設け、振動子２の高次オーバトーンを利用して、振動子２の出力端子に接続するバンドパスフィルタ３のマイクロストリップライン４のオーバーラップ部分の長さを、所望の通過周波数のλg／４の電気長となるよう形成したマイクロ波フィルタ及び高周波振動子である。 （もっと読む）

【課題】低損失、低インピーダンス、インピーダンス整合が容易、超小型かつ周波数選択性に優れた電気機械フィルタを実現すること。
【解決手段】エネルギー変換部１（例えば、導電性のカーボンコイル）は、入力信号によるローレンツ力によって自身が振動し、電気エネルギーを、機械的な振動エネルギーに変換する。その振動エネルギーが微小構造の振動子３に伝達され、振動子３が励振される。振動子３はバイアス部４によって直流バイアスされており、したがって、振動検出部５は、振動子３の振動による寄生容量（Ｃ１）の変化に応じた電流信号を、取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を可変としつつも所望の特性を得ることができる。
【解決手段】本発明の一態様としての共振回路は、基板と、帯状電極と、前記帯状電極の両端において前記帯状電極を基板面から所定の高さに支持する複数の支持部材と、前記帯状電極の一部を押さえる複数の押さえ部と、各前記押さえ部を前記帯状電極の長さ方向にそれぞれ異なる移動範囲で移動させる移動機構と、第１の一端から受ける入力信号を第１の他端に伝送する、前記第１の他端は前記帯状電極の長さ方向における一方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する入力線路と、第２の一端から受ける出力信号を第２の他端に伝送する、前記第２の一端は前記帯状電極の前記一方の側面と反対側における他方の側面のうち前記移動範囲同士の間の部分に近接する出力線路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カプセル封止の電気機械素子の高信頼性化を図る。
【解決手段】下部電極６２、６３と可動子３５を有する電気機械素子本体６４と、電気機械素子本体６４を空間３７を保持して封止したオーバーコート膜３８とを備え、オーバーコート膜３８と可動子３５との間に支柱５２が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）