【課題】遅延ユニットの温度特性に基づくＡＤ変換データのバラツキを抑制するＡＤ変換装置を提供する。
【解決手段】ＤＣＯ２０は、ＴＡＤ１０を構成するリングディレイライン（ＲＤＬ）１１と同じ温度特性を有するＲＤＬ２１を用いて、ＲＤＬ２１の駆動電圧が指定電圧Ｖ＿DCOの時に、ＲＤＬ２１を構成する遅延ユニットをＤｐ段数だけ通過するのに要する時間を周期Ｔ＿ＣＫとするサンプリングクロックＣＫを生成し、ＴＡＤ１０は、そのサンプリングクロックＣＫの周期Ｔ＿ＣＫを測定期間としてＡＤ変換を実行する。つまり、ＲＤＬ１１を構成する遅延ユニットでの遅延時間は、温度によって変化するが、その変化に応じた分だけ、サンプリングクロックＣＫの周期Ｔ＿ＣＫ、即ち、ＴＡＤ１０での測定時間も変化させている。 （もっと読む）

【課題】入力信号の温度変化をキャンセルするときの増幅利得の歪み及びバラツキを低減する。
【解決手段】デジタル信号生成回路１０は、増幅ユニット１２と、基準電圧生成回路１４２と、変調器１４０と、を備える。増幅ユニット１２は、温度Ｔに線形依存する信号レベルを有するアナログ入力信号Ａｉｎを増幅する。基準電圧生成回路１４２は、温度Ｔに線形依存させて基準電圧Ｖｒｅｆを生成する。変調器１４０は、基準電圧Ｖｒｅｆに基づいて、増幅ユニット１２が増幅したアナログ入力信号（増幅信号Ａｉｎ´）をデジタル出力信号Ｄｏｕｔに変換する。 （もっと読む）

【課題】温度情報出力装置の面積を増やさなくとも動作可能な温度範囲を増やすことができる、温度情報出力装置の温度情報出力方法を提供する。
【解決手段】温度を感知し、当該温度に対応する第１の電圧ＶＴＥＭＰを出力するステップと、第１の電圧ＶＴＥＭＰと第２の電圧ＤＡＣＯＵＴとを比較するステップと、この比較結果に基づいて、デジタルコードＤＩＧＩＴＡＬ＿ＣＯＤＥを加減するステップと、デジタルコードＤＩＧＩＴＡＬ＿ＣＯＤＥによって変化する第２の電圧ＤＡＣＯＵＴを生成するステップとを含み、デジタルコードＤＩＧＩＴＡＬ＿ＣＯＤＥによって変化する第２の電圧ＤＡＣＯＵＴの変化幅が温度区間別に異なる。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑制しつつ、温度ドリフトに対する出力値を補正することが可能なアナログユニットを提供する。
【解決手段】入力値を出力値に変換する変換回路１２と、前記変換回路の温度が初期状態から定常状態に至る間の２つの時点における前記入力値と出力値との関係を示す設定値を記憶する記憶部１４と、前記記憶部に記憶された設定値に基づいて、前記変換回路の出力値を校正する校正部１３とを備え、時間経過に基づいて設定値を補間する。 （もっと読む）

【課題】帰還抵抗に対して予め当該帰還抵抗が設けられているＤＡＣアンプに対して設定される最大値の電圧を印加しその発熱状態を標準状態とすることで、出力電圧の変化が生じても電子ビームに対する影響を最小限に抑え高精度な描画処理を行うことができる荷電粒子ビーム描画装置及びＤＡＣアンプの安定化方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームＢを用いて移動可能なステージ上に載置される試料にパターンを描画する描画部２と、荷電粒子ビームＢの光路に沿って配置される偏向器に電圧を印加するＤＡＣアンプ３４，３５と、ＤＡＣアンプ３４，３５に対する制御を行うＤＡＣアンプ制御部３１ｊを備える制御計算機３１と、から構成される制御部３と、を備え、ＤＡＣアンプ制御部３１ｊは、ＤＡＣアンプ３４，３５に印加する電圧を当該ＤＡＣアンプ３４，３５に対して設定される最大値で継続して印加する。 （もっと読む）

【課題】低照度から高照度までの入力に対してリニアな出力を得ることが可能であるとともに、フォトダイオードの出力電流の温度依存性を補正することができる光センサを実現する。
【解決手段】光センサ（１）において、第１のアナログ−デジタル変換回路（１１）に、第１のフォトダイオード（ＰＤ１）の出力電流の温度依存性を補正する温度係数を有する抵抗を備えた第１の基準電流源が備えられ、第２のアナログ−デジタル変換回路（１２）に、第２のフォトダイオード（ＰＤ２）の出力電流の温度依存性を補正する温度係数を有する抵抗を備えた第２の基準電流源が備えられ、第１の基準電流源を用いて出力された第１の検出結果（ＡＤＣＯＵＴ１）と、第２の基準電流源を用いて出力された第２の検出結果（ＡＤＣＯＵＴ１）とから、第２のフォトダイオード（１２）による可視波長域の受光強度を検出することによって照度を測定する。 （もっと読む）

【課題】ポテンショメータの抵抗値や電流源による電流が変化した場合でも、製造バラツキや使用環境等の影響を受けないデジタル出力を得ることができるＡＤ変換器を提供する。
【解決手段】被第１積分電圧Ｖｉｎが入力されているときに被第１積分電圧Ｖｉｎと基準電圧Ｖｃｏｍとの差分の電圧を積分する第１積分を行い、第１積分の実行後、被第２積分電圧Ｖｒｅｆが入力されているときに被第２積分電圧Ｖｒｅｆと基準電圧Ｖｃｏｍとの差分の電圧を積分する第２積分を行い、少なくとも第２積分に応じた積分電圧を出力する積分器１２と、第２積分を開始してから積分電圧と基準電圧Ｖｃｏｍとが等しくなるまでの時間を計測して出力するコンパレータ１３及びＬＯＧＩＣ１４と、を備えた２重積分型ＡＤコンバータ１０と、被第１積分電圧Ｖｉｎを変化させるとともに、被第２積分電圧Ｖｒｅｆ及び基準電圧Ｖｃｏｍを変化させる抵抗−電圧変換回路３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】温度変化にかかわらず高い変換精度を得る。
【解決手段】第１パルス周回回路６はアナログ入力電圧Ｖinで動作し、第２パルス周回回路７は規定電圧Ｖｃとアナログ入力電圧Ｖinとの差電圧で動作する。第３パルス周回回路８は参照電圧Ｖｒで動作する。クロック信号ＣＬＫの周期ごとに、カウンタ２３〜２５は各パルス周回数をカウントし、ラッチ＆エンコーダ１７〜１９は各パルス位置をラッチする。パルス周回数とパルス位置とからなる周回データの今回値と前回値の差分値を演算してデジタルデータＤ１、Ｄ２、Ｄ４（＝Ｙｒ）とし、Ｄ１−Ｄ２よりＤ３（＝Ｙ）を演算する。その後、Ｙ／（Ｙｒ−Ｙ０）を演算してＡ／Ｄ変換データを得る。Ｙ０はＲＯＭから読み出され、パルス周回回路６、７、８の温度特性が０となる電圧に対する周回データである。 （もっと読む）

【課題】遅延素子の伝搬遅延時間の立ち上がりと立ち下がりとの特性に影響されることなく、リニアリティ精度を向上したデジタル出力値を得ることができるＡ／Ｄ変換装置、Ａ／Ｄ変換方法および固体撮像装置を提供する。
【解決手段】アナログ入力信号の大きさに応じてパルス信号を遅延させて伝播する遅延ユニットを円環状にｎ（ｎ：自然数、１≦ｎ）個連結したｎ段のパルス遅延回路と、遅延ユニットの出力信号に基づいて所定のサンプリング時間内の周回数および遅延ユニットの位置を取得するパルス位置取得回路と、サンプリング時間が終了したときの周回数と遅延ユニットの位置とに応じたデジタル信号を生成するパルス位置数値化回路と、デジタル信号に基づいてパルス信号を伝播させるサンプリング時間を変更し、該変更したサンプリング時間での周回数に基づいて、アナログ入力信号の大きさに応じたデジタル出力値を生成するサンプリング制御回路と、を備える。 （もっと読む）