【構成】 第１対向電極対２を支持する第１ポスト６ａ、および第２対向電極対３を支持する第２ポスト７ａは、真空容器１に立設されており、これらの立設方向は互いに異なっている。第１ポスト６ａと第２ポスト７ａとを接続する真空容器１の内壁の距離（Ｂ₁ ＋Ｂ₂ ）は、これらのイオン加速方向の間隔Ｅよりも長くなる。
【効果】 第１ポスト６ａおよび第２ポスト７ａの高さＨや幅Ｗ、およびこれらのイオン加速方向の間隔Ｅが従来と同じであっても、共振空洞のインダクタンスをより大きくでき、共振周波数を低くできる。即ち、共振周波数が同じであれば、従来よりも装置の小型化を図れるので、取扱い易く、製作コストおよび真空のガスロードを小さくできる。 （もっと読む）