インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法
【課題】気泡によって接着剤の外面に窪みが形成されることを抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、アクチュエータと、接着剤と、導電パターンとを備える。前記基材は、実装面を有する。前記アクチュエータは、前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る一対の側面と、を有する本体と、複数の溝と、前記本体の側面に設けられ、前記基材の実装面に向く接着面を有する接着剤充填部とを有する。前記接着剤は、前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定し、前記本体の側面に連続する外面を有する。前記複数の導電パターンは、前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられる。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、アクチュエータと、接着剤と、導電パターンとを備える。前記基材は、実装面を有する。前記アクチュエータは、前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る一対の側面と、を有する本体と、複数の溝と、前記本体の側面に設けられ、前記基材の実装面に向く接着面を有する接着剤充填部とを有する。前記接着剤は、前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定し、前記本体の側面に連続する外面を有する。前記複数の導電パターンは、前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドにおいて、インクを吐出するためのアクチュエータは、接着剤によってベースプレートに取り付けられる。この接着剤は、ベースプレートに対向するアクチュエータの底面に一様に塗布される。
【０００３】
アクチュエータには複数の圧力室を形成する複数の溝が設けられている。この溝、溝が開口するアクチュエータの側面、アクチュエータとベースプレートとの間に介在する接着剤、およびベースプレートに、連続する導電パターンが形成される。この導電パターンに電圧が印加されることで、アクチュエータがシェアモード変形し、圧力室内のインクが吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９５６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の導体パターンが形成される前に、アクチュエータの側面は、傾斜するように切削加工される。同時に、アクチュエータとベースプレートとの間で硬化した接着剤も切削される。
【０００６】
アクチュエータの底面に塗布された接着剤は、アクチュエータがベースプレートに取り付けられる際、空気を取り込むおそれがある。この空気は、接着剤の内部に気泡を形成する。もし切削された接着剤の外面に、気泡によって形成された窪みが存在すると、導電パターンの形成に影響が生じ得る。
【０００７】
本発明の目的は、気泡によって接着剤の外面に窪みが形成されることを抑制できるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、アクチュエータと、接着剤と、導電パターンとを備える。前記基材は、実装面を有する。前記アクチュエータは、本体と、複数の溝と、接着剤充填部とを有する。前記本体は、前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨るとともに前記第２の面との角度が鈍角となるように傾斜された一対の側面と、を有する。前記複数の溝は、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並ぶ。前記接着剤充填部は、前記本体の側面に設けられ、前記基材の実装面に向く接着面を有する。前記接着剤は、前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定するとともに、前記本体の側面に連続する外面を有する。前記複数の導電パターンは、前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを分解して示す斜視図。
【図２】第１の実施形態のインクジェットヘッドを図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図。
【図３】第１の実施形態のベースプレートおよびアクチュエータの一部を拡大して示す斜視図。
【図４】第１の実施形態のベースプレートに搭載されたアクチュエータを拡大して示す断面図。
【図５】第１の実施形態のベースプレートの一部と加工前のアクチュエータとを示す断面図
【図６】第１の実施形態のベースプレートに固定された加工前のアクチュエータを示す断面図。
【図７】第１の実施形態の加工前のアクチュエータの一部を拡大して示す断面図。
【図８】第１の実施形態の加工されたアクチュエータを示す断面図。
【図９】第２の実施の形態に係るベースプレートに搭載されたアクチュエータを示す断面図。
【図１０】第２の実施形態のベースプレートに固定された加工前のアクチュエータを示す断面図。
【図１１】第３の実施の形態に係るベースプレートに搭載されたアクチュエータを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、第１の実施の形態について、図１から図８を参照して説明する。図１は、インクジェットヘッド１を分解して示す斜視図である。図２は、図１のＦ２−Ｆ２線に沿ってインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。
【００１１】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドであり、例えばプリンタのキャリッジに搭載される。インクジェットヘッド１は、ベースプレート１１と、一対のアクチュエータ１２と、枠部材１３と、ノズルプレート１４とを備えている。ベースプレート１１は、基材の一例である。また、図２に二点鎖線で示すように、インクジェットヘッド１は、マニホールド１５と、フィルムキャリアパッケージ（以下、ＦＣＰと称する）１６とを備えている。
【００１２】
図２に示すように、一対のアクチュエータ１２と、枠部材１３とは、ベースプレート１１に取り付けられている。ノズルプレート１４は、枠部材１３に取り付けられている。インクジェットヘッド１の内部に、ベースプレート１１、枠部材１３、およびノズルプレート１４によって囲まれたインク室１７が形成されている。
【００１３】
図１に示すように、ベースプレート１１は、例えばアルミナのようなセラミックスによって矩形の板状に形成されている。図２に示すように、ベースプレート１１は、平坦な実装面２１と、取付面２２と、外縁２３とを有している。取付面２２は、実装面２１の反対側に位置している。外縁２３は、実装面２１と取付面２２との間に跨っている。取付面２２は、マニホールド１５に固定されている。
【００１４】
ベースプレート１１の実装面２１には、複数の供給口２６と、複数の排出口２７とが開口している。図１に示すように、複数の供給口２６は、ベースプレート１０の中央部において、ベースプレート１０の長手方向に並んでいる。供給口２６は、インク室１７に開口するとともに、マニホールド１５を介してインクタンクに接続される。前記インクタンクに貯蔵されたインクは、供給口２６からインク室１７に供給される。
【００１５】
複数の排出口２７は、一列に並んだ供給口２６を挟むように、ベースプレート１１の長手方向に沿って二列に並んでいる。排出口２７は、インク室１７に開口するとともに、マニホールド１５を介して前記インクタンクに接続される。インク室１７のインクは、排出口２７を通って前記インクタンクに回収される。
【００１６】
枠部材１３は、例えば接着剤によって実装面２１に固定されている。枠部材１３は、矩形の枠状に形成されている。枠部材１３は、複数の供給口２６および複数の排出口２７を囲んでいる。
【００１７】
枠部材１３は、ニッケル合金製の複数のプレートを例えば拡散接合することによって形成されている。なお、接合には、拡散接合に限らず、陽極接合や他の真空接合のような他の接合方法が用いられても良い。
【００１８】
ノズルプレート１４は、ポリイミド製の矩形のフィルムによって形成されている。なお、ノズルプレート１４はこれに限らず、レーザ加工が可能な他の樹脂材料によって形成されても良い。
【００１９】
ノズルプレート１４は、例えば接着剤によって枠部材１３に固定され、インク室１７を塞いでいる。ノズルプレート１４は、ベースプレート１１の実装面２１と対向している。
【００２０】
ノズルプレート１４に、複数のノズル２８が設けられている。ノズル２８は、インク室１７にそれぞれ開口した孔である。複数のノズル２８は、ノズルプレート１４の長手方向に沿って二列に並んでいる。
【００２１】
図３は、ベースプレート１１および一つのアクチュエータ１２の一部を拡大して示す斜視図である。図４は、ベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を拡大して示す断面図である。図３において、アクチュエータ１２の一部は切断されて示されている。一対のアクチュエータ１２は互いに同様の構成および機能を有するため、以下では一つのアクチュエータ１２について代表して説明する。
【００２２】
図１に示すように、アクチュエータ１２は、一列に並んだ複数の供給口２６と、複数の排出口２７の一方の列との間に挟まれている。アクチュエータ１２は、複数のノズル２８の一方の列に対応して配置されている。図２に示すように、アクチュエータ１２は、インク室１７の内部に配置され、ベースプレート１１とノズルプレート１４との間に挟まれている。
【００２３】
図３に示すように、アクチュエータ１２は、本体３１と、複数の溝３２と、一対の接着剤充填部３３，３４とを有している。本実施形態において、接着剤充填部３３，３４は、いわゆる切欠である。
【００２４】
本体３１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成された板状の二つの圧電体によって形成されている。前記二つの圧電体は、分極方向がその厚さ方向に互いに逆向きになるように貼り合わされている。
【００２５】
図２に示すように、本体３１は、第１の面３５と、第２の面３６と、一対の側面３７，３８とを有している。第１の面３５は、ベースプレート１１の実装面２１に対向する面である。第１の面３５は、平坦に形成されており、実装面２１に当接している。
【００２６】
第２の面３６は、第１の面３５の反対側に位置している。第２の面３６は、ノズルプレート１４に対向している。第２の面３６は、例えば接着剤によってノズルプレート１４に固定されている。第２の面３６の幅は、例えば１ｍｍである。第１の面３５から第２の面３６までの高さは、例えば５００μｍである。
【００２７】
一対の側面３７，３８は、本体３１の幅方向の側面である。一対の側面３７，３８は、第１の面３５から第２の面３６に進むに従って、互いに近づく方向に傾斜している。言い換えると、一対の側面３７，３８は、第２の面３６との間の角度が鈍角となるように傾斜している。一対の側面３７，３８と第２の面３６との間の角度は、例えば１３５°である。図２に示すように、本体３１は、略台形状の断面を有する。
【００２８】
一方の側面３７は、他方の側面３８よりも、ベースプレート１１の外縁２３および枠部材１３に近い。一方の側面３７は、第１の面３５の幅方向における一方の端部と、第２の面３６の幅方向における一方の端部との間に跨っている。
【００２９】
他方の側面３８は、一方の側面３７よりも、ベースプレート１１の中央部に近い。他方の側面３８は、第１の面３５の幅方向における他方の端部と、第２の面３６の幅方向における他方の端部との間に跨っている。
【００３０】
図３に示すように、複数の溝３２は、本体３１の長手方向に並んで設けられている。複数の溝３２は、本体３１の第２の面３６、および一対の側面３７，３８に連続して開口している。溝３２の幅は、例えば８５μメートルである。溝３２の底面から第２の面３６までの高さは、３００μｍである。溝３２は本体３１の幅方向に対して僅かに傾斜するように形成されるが、図３において溝３２は本体３１の幅方向に沿うように示される。
【００３１】
アクチュエータ１２が供給口２６と排出口２７との間に配置されるため、供給口２６からインク室１７に供給されたインクは、複数の溝３２にそれぞれ流入する。各溝３２に流入したインクは、アクチュエータ１２によって吐出されるか、排出口２７から前記インクタンクに回収される。
【００３２】
複数の溝３２によって、アクチュエータ１２に複数の壁部４１が形成される。壁部４１は、隣り合う溝３２を仕切るとともに、溝３２の内面の一部を形成する。
【００３３】
図２に示すように、複数の溝３２は、複数のノズル２８に対応して設けられている。ノズル２８は、対応する溝３２に向かって開口している。なお、溝３２の個数とノズル２８の個数とは異なっていても良い。例えば、ノズル２８の個数は、一対のアクチュエータ１２の溝３２の個数よりも少ない。
【００３４】
一方の接着剤充填部３３は、一方の側面３７に設けられている。他方の接着剤充填部３４は、他方の側面３８に設けられている。一対の接着剤充填部３３，３４は、アクチュエータ１２の長手方向における一端から他端まで延びている。
【００３５】
図４に示すように、一対の接着剤充填部３３，３４は、接着面４３と他の接着面４４とによってそれぞれ形成されている。接着面４３と他の接着面４４とは、それぞれ本体３１の一部である。接着面４３は、一対の側面３７，３８とそれぞれ交差している。接着面４３は、ベースプレート１１の実装面２１と対向する平坦な面である。実装面２１から接着面４３までの高さは、例えば５〜１０μｍである。なお、図２ないし図８において、実装面２１から接着面４３までの高さは、便宜上、大きく描かれている。
【００３６】
他の接着面４４は、接着面４３と第１の面３５との間に跨って設けられた平坦な面である。他の接着面４４は、接着面４３と直交するとともに、第１の面３５と直交している。なお、他の接着面４４は、第１の面３５に対して傾斜していても良い。
【００３７】
一対の接着剤充填部３３，３４に、それぞれ接着剤４６が充填されている。接着剤４６は、例えば熱硬化性のエポキシ系接着剤である。接着剤４６は、一対の接着剤充填部３３，３４の接着面４３および他の接着面４４と、ベースプレート１１の実装面２１とにそれぞれ付着している。接着剤４６は硬化しており、アクチュエータ１２の本体３１を、ベースプレート１１の実装面２１に固定している。
【００３８】
接着剤４６は、一対の外面４８，４９を有している。一方の外面４８は、本体３１の一方の側面３７に連続して形成されている。他方の外面４９は、本体３１の他方の側面３８に連続して形成されている。このため、一対の外面４８，４９は本体３１の第２の面３６に対して、本体３１の一対の側面３７，３８と同じく、例えば１３５°傾斜している。なお、一対の外面４８，４９と第２の面３６との間の角度は、本体３１の一対の側面３７，３８と実装面２１との間の角度と異なっていても良い。
【００３９】
ベースプレート１１と一対のアクチュエータ１２とに、複数の導体パターン５１が設けられている。導体パターン５１は、例えば無電解メッキによって形成されたニッケル薄膜によって構成されている。複数の導体パターン５１は、電極５２と、配線５３とをそれぞれ有している。
【００４０】
電極５２は、複数の溝３２のそれぞれの内面に設けられている。配線５３は、本体３１の一方の側面３７、接着剤４６の一方の外面４８、およびベースプレート１１の実装面２１に連続して設けられている。配線５３の一方の端部は、電極５２に接続されている。図２に示すように、配線５３は、ベースプレート１１の実装面２１と枠部材１３との間を通り、ベースプレート１１の外縁２３に至るまで延びている。
【００４１】
ベースプレート１１の実装面２１において、配線５３にＦＣＰ１６が接続されている。ＦＣＰ１６は、パターンが形成されるとともに可撓性を有するフィルムと、前記フィルムに実装された駆動ＩＣと、を含んでいる。
【００４２】
ＦＣＰ１６の前記駆動ＩＣは、配線５３を介して電極５２に駆動電圧を印加する。これにより、壁部４１がシェアモード変形し、溝３２の容積が大きくなる。電極５２に印加されていた電圧が解放されると、壁部４１が元の位置に復帰する。このため、溝３２に流入していたインクが加圧され、溝３２に対応するノズル２８から吐出される。
【００４３】
以下に、図５ないし図８を参照しながら、インクジェットヘッド１の製造工程の一部である、ベースプレート１１にアクチュエータ１２を搭載する方法について例示する。図５は、ベースプレート１１の一部と加工前のアクチュエータ１２Ａとを示す断面図である。図６は、ベースプレート１１に固定された加工前のアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。図７は、加工前のアクチュエータ１２Ａの一部を拡大して示す断面図である。図８は、加工されたアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。上記のように、製造工程の途中にあるアクチュエータ１２をアクチュエータ１２Ａと称する。
【００４４】
図５に示すように、アクチュエータ１２Ａは、本体３１Ａと、接着剤４６とを備えている。このように、製造工程の途中にある本体３１を本体３１Ａと称する。本体３１Ａの断面は、略矩形状に形成されている。本体３１Ａは、一対の側面５５，５６を有している。一対の側面５５，５６は、第１の面３５と第２の面３６との間に跨っている。一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の側面５５，５６にそれぞれ設けられている。
【００４５】
まず、接着剤４６を一対の接着剤充填部３３，３４に充填する。接着剤４６は、接着剤充填部３３，３４のそれぞれの容積よりも僅かに多く充填される。このため、接着剤４６は、第１の面３５から僅かに飛び出る。
【００４６】
次に、図５の矢印に示すように、本体３１Ａの第１の面３５を、ベースプレート１１の実装面２１に押圧する。図６に示すように、第１の面３５が実装面２１に押圧されることで、接着剤４６が実装面２１に付着する。図７に示すように、接着剤４６は、第１の面３５を実装面２１に押圧する力や、実装面２１の濡れ性によって、実装面２１の上で広がる。このように、接着剤４６が実装面２１に付着することによって、本体３１Ａが実装面２１に固定される。次に、接着剤４６を、例えば１２０℃で加熱することにより、熱硬化させる。
【００４７】
次に、本体３１Ａおよび硬化した接着剤４６の外側を切削加工する。なお、本体３１Ａおよび接着剤４６は、切削加工に限らず、研削加工されても良い。図８に示すように、本体３１Ａおよび接着剤４６の一部が削られ、一対の側面３７，３８および、一対の外面４８，４９が形成される。すなわち、本体３１Ａおよび接着剤４６を削ることで、本体３１の一対の側面３７，３８を第２の面３６との間の角度が鈍角となるように傾斜させる。なお、図６および図７に、加工後に形成される一対の側面３７，３８および一対の外面４８，４９の位置を二点鎖線で示す。すなわち、図６および図７の二点鎖線は、本体３１Ａおよび接着剤４６の削られる部分Ｐ１と、削られずに残る部分Ｐ２とを区切っている。削られる部分Ｐ１は、残る部分Ｐ２の外側に位置する。
【００４８】
図７に示すように、接着剤４６の中に、複数の気泡Ｂが存在する場合がある。気泡Ｂは、例えば、本体３１Ａがベースプレート１１に押圧される際、接着剤４６が本体３１とベースプレート１１との間の空気を取り込むことによって形成され得る。また、気泡Ｂは、接着剤４６に含まれていた空気や水蒸気によって形成され得る。
【００４９】
気泡Ｂは、接着剤４６が広がることに伴い、外に向かって移動する。また、気泡Ｂは、加熱された接着剤４６の粘度が下がることにより、外に向かって移動する。すなわち、気泡Ｂは、接着剤４６の削られる部分Ｐ１に向かって移動する。削られる部分Ｐ１に位置する気泡Ｂは、上記のように硬化した接着剤４６が切削加工されることにより除去される。
【００５０】
次に、図８に示すように、本体３１Ａを、例えばＩＣウェハーの切断等に用いられているダイシングソーのダイヤモンドホイールによって切削し、複数の溝３２を形成する。続いて、無電解メッキにより、ベースプレート１１の実装面２１およびアクチュエータ１２Ａの表面に、ニッケル薄膜を形成する。例えばレーザ照射によるパターニングによって、前記ニッケル薄膜を分割するとともに、余計な部分を除去する。これにより、図４に示す複数の導体パターン５１が形成される。以上より、アクチュエータ１２がベースプレート１１に搭載される。
【００５１】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、アクチュエータ１２の一対の接着剤充填部３３，３４に、接着剤４６が充填されている。一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の側面３７，３８にそれぞれ設けられている。すなわち、接着剤４６が充填される一対の接着剤充填部３３，３４は、外に近い位置に設けられる。接着剤４６は、接着剤充填部３３，３４のような狭い範囲に充填される。
【００５２】
図７に示すように、ベースプレート１１にアクチュエータ１２を搭載する工程において、接着剤４６の中に存在する気泡Ｂは、外に向かって移動する。すなわち、気泡Ｂは、接着剤４６の削られる部分Ｐ１に向かって移動する。
【００５３】
接着剤充填部３３，３４の最も内側に位置する部分は、他の接着面４４である。この他の接着面４４から接着剤４６の削られる部分Ｐ１までの距離は、第１の面３５の中央から削られる部分Ｐ１までの距離よりも短い。このため、接着剤４６が第１の面３５に塗布された場合に比べ、気泡Ｂが削られる部分Ｐ１まで移動し易い。
【００５４】
以上より、もし接着剤４６の中に気泡Ｂが存在したとしても、接着剤４６が熱硬化する前に、気泡Ｂが接着剤４６の削られる部分Ｐ１まで移動する。したがって、気泡Ｂは接着剤４６の外面４８，４９が形成される位置から失せるため、気泡Ｂによって接着剤４６の外面４８，４９に窪みが形成されることを抑制できる。これにより、気泡Ｂの窪みによって、配線５３が途中で欠損したり、隣り合う配線５３同士が短絡したりすることを防止できる。
【００５５】
接着剤４６は、接着面４３と他の接着面４４とによって形成された接着剤充填部３３，３４に充填される。これにより、接着剤４６とアクチュエータ１２との接触面積を大きく取ることができ、アクチュエータ１２をベースプレート１１の実装面２１に強く固定することができる。
【００５６】
本体３１の第１の面３５は、ベースプレート１１の実装面２１に当接している。これにより、接着剤４６が第１の面３５と実装面２１の間に入り込むことにより気泡Ｂが削られる部分Ｐ１まで移動し難くなることを抑制できる。
【００５７】
次に、図９および図１０を参照して、第２の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する複数の実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付す。さらに、当該構成部分については、その説明を一部または全て省略することがある。
【００５８】
図９は、第２の実施の形態のベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を示す断面図である。図１０は、ベースプレート１１に固定された加工前のアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。
【００５９】
図９に示すように、一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の接着面６１によって形成されている。一方の接着面６１は、一方の側面３７と第１の面３５の幅方向における一方の端部との間に跨る平坦な面である。他方の接着面６１は、他方の側面３８と第１の面３５の幅方向における他方の端部との間に跨っている。
【００６０】
一対の接着面６１は、第１の面３５との間の角度が鈍角となるように傾斜している。接着面６１と第１の面３５との間の角度は、例えば１６５°である。言い換えると、ベースプレート１１の実装面２１と接着面６１との間の角度は１５°である。
【００６１】
第２の実施形態のアクチュエータ１２をベースプレート１１に搭載する工程において、図１０に示すように、本体３１Ａの第１の面３５がベースプレート１１の実装面２１に押圧される。図１０の矢印Ｄで示すように、一対の接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６は、接着面６１によって外に向かって押される。
【００６２】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、一対の接着剤充填部３３，３４は、一方の側面３７と第１の面３５との間に跨る平坦な面である接着面６１によって形成されている。すなわち、第２の実施形態の接着剤充填部３３，３４は、互いに直交する接着面４３および他の接着面４４によって形成された第１の実施形態の接着剤充填部３３，３４と異なり、角になる部分が無い。このため、接着剤充填部３３，３４に接着剤４６を充填する際に、接着剤充填部３３，３４と接着剤４６との間に空気が残ることを抑制できる。
【００６３】
一対の接着面６１は、第１の面３５との間の角度が鈍角となるように傾斜している。本体３１Ａの第１の面３５が実装面２１に押圧される際に、接着剤４６は、外に向かって押される。これにより、接着剤４６が第１の面３５と実装面２１との間に入り込むことを抑制できる。
【００６４】
次に、第３の実施の形態について、図１１を参照して説明する。図１１は、第３の実施形態のベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を示す断面図である。
【００６５】
図１１に示すように、第３の実施形態の接着剤４６の一部は、本体３１の第１の面３５と、ベースプレート１１の実装面２１との間に介在する。第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部の厚さは、接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６の一部の厚さよりも小さい。
【００６６】
第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部は、アクチュエータ１２がベースプレート１１に搭載される前に、第１の面３５に塗布される。なお、第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部は、接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６の一部が第１の面３５と実装面２１との間に入り込むことで形成されても良い。接着剤４６は、第１の面３５の全域に限らず、第１の面３５の一部に付着していても良い。
【００６７】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、接着剤４６の一部が、本体３１の第１の面３５と、ベースプレート１１の実装面２１との間に介在する。これにより、アクチュエータ１２をベースプレート１１に強く固定することができる。
【００６８】
なお、上述した実施形態において、接着剤充填部３３，３４は一対の側面３７，３８にそれぞれ設けられていたが、接着剤充填部はこれに限らない。接着剤充填部は、アクチュエータの本体の一方の側面にのみ設けられても良いし、本体の幅方向の側面のみならず長手方向の側面に設けられても良い。
【００６９】
以上述べた少なくとも一つの実施形態のインクジェットヘッドによれば、アクチュエータは、本体の側面に設けられた接着剤充填部を有する。さらに、接着剤が、前記接着剤充填部に充填されて前記本体を基材の実装面に固定し、前記本体の側面に連続する一対の外面を有する。これにより、気泡によって前記接着剤の前記外面に窪みが形成されることを抑制できる。
【００７０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７１】
１…インクジェットヘッド、１１…ベースプレート、１２，１２Ａ…アクチュエータ、２１…実装面、３１，３１Ａ…本体、３２…溝、３３，３４…接着剤充填部、３５…第１の面、３６…第２の面、３７，３８，５５，５６…側面、４３，６１…接着面、４４…他の接着面、４６…接着剤、４８，４９…外面、５１…導体パターン。
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドにおいて、インクを吐出するためのアクチュエータは、接着剤によってベースプレートに取り付けられる。この接着剤は、ベースプレートに対向するアクチュエータの底面に一様に塗布される。
【０００３】
アクチュエータには複数の圧力室を形成する複数の溝が設けられている。この溝、溝が開口するアクチュエータの側面、アクチュエータとベースプレートとの間に介在する接着剤、およびベースプレートに、連続する導電パターンが形成される。この導電パターンに電圧が印加されることで、アクチュエータがシェアモード変形し、圧力室内のインクが吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１９５６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の導体パターンが形成される前に、アクチュエータの側面は、傾斜するように切削加工される。同時に、アクチュエータとベースプレートとの間で硬化した接着剤も切削される。
【０００６】
アクチュエータの底面に塗布された接着剤は、アクチュエータがベースプレートに取り付けられる際、空気を取り込むおそれがある。この空気は、接着剤の内部に気泡を形成する。もし切削された接着剤の外面に、気泡によって形成された窪みが存在すると、導電パターンの形成に影響が生じ得る。
【０００７】
本発明の目的は、気泡によって接着剤の外面に窪みが形成されることを抑制できるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基材と、アクチュエータと、接着剤と、導電パターンとを備える。前記基材は、実装面を有する。前記アクチュエータは、本体と、複数の溝と、接着剤充填部とを有する。前記本体は、前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨るとともに前記第２の面との角度が鈍角となるように傾斜された一対の側面と、を有する。前記複数の溝は、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並ぶ。前記接着剤充填部は、前記本体の側面に設けられ、前記基材の実装面に向く接着面を有する。前記接着剤は、前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定するとともに、前記本体の側面に連続する外面を有する。前記複数の導電パターンは、前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドを分解して示す斜視図。
【図２】第１の実施形態のインクジェットヘッドを図１のＦ２−Ｆ２線に沿って示す断面図。
【図３】第１の実施形態のベースプレートおよびアクチュエータの一部を拡大して示す斜視図。
【図４】第１の実施形態のベースプレートに搭載されたアクチュエータを拡大して示す断面図。
【図５】第１の実施形態のベースプレートの一部と加工前のアクチュエータとを示す断面図
【図６】第１の実施形態のベースプレートに固定された加工前のアクチュエータを示す断面図。
【図７】第１の実施形態の加工前のアクチュエータの一部を拡大して示す断面図。
【図８】第１の実施形態の加工されたアクチュエータを示す断面図。
【図９】第２の実施の形態に係るベースプレートに搭載されたアクチュエータを示す断面図。
【図１０】第２の実施形態のベースプレートに固定された加工前のアクチュエータを示す断面図。
【図１１】第３の実施の形態に係るベースプレートに搭載されたアクチュエータを示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、第１の実施の形態について、図１から図８を参照して説明する。図１は、インクジェットヘッド１を分解して示す斜視図である。図２は、図１のＦ２−Ｆ２線に沿ってインクジェットヘッド１の一部を示す断面図である。
【００１１】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、いわゆるサイドシュータ型のインクジェットヘッドであり、例えばプリンタのキャリッジに搭載される。インクジェットヘッド１は、ベースプレート１１と、一対のアクチュエータ１２と、枠部材１３と、ノズルプレート１４とを備えている。ベースプレート１１は、基材の一例である。また、図２に二点鎖線で示すように、インクジェットヘッド１は、マニホールド１５と、フィルムキャリアパッケージ（以下、ＦＣＰと称する）１６とを備えている。
【００１２】
図２に示すように、一対のアクチュエータ１２と、枠部材１３とは、ベースプレート１１に取り付けられている。ノズルプレート１４は、枠部材１３に取り付けられている。インクジェットヘッド１の内部に、ベースプレート１１、枠部材１３、およびノズルプレート１４によって囲まれたインク室１７が形成されている。
【００１３】
図１に示すように、ベースプレート１１は、例えばアルミナのようなセラミックスによって矩形の板状に形成されている。図２に示すように、ベースプレート１１は、平坦な実装面２１と、取付面２２と、外縁２３とを有している。取付面２２は、実装面２１の反対側に位置している。外縁２３は、実装面２１と取付面２２との間に跨っている。取付面２２は、マニホールド１５に固定されている。
【００１４】
ベースプレート１１の実装面２１には、複数の供給口２６と、複数の排出口２７とが開口している。図１に示すように、複数の供給口２６は、ベースプレート１０の中央部において、ベースプレート１０の長手方向に並んでいる。供給口２６は、インク室１７に開口するとともに、マニホールド１５を介してインクタンクに接続される。前記インクタンクに貯蔵されたインクは、供給口２６からインク室１７に供給される。
【００１５】
複数の排出口２７は、一列に並んだ供給口２６を挟むように、ベースプレート１１の長手方向に沿って二列に並んでいる。排出口２７は、インク室１７に開口するとともに、マニホールド１５を介して前記インクタンクに接続される。インク室１７のインクは、排出口２７を通って前記インクタンクに回収される。
【００１６】
枠部材１３は、例えば接着剤によって実装面２１に固定されている。枠部材１３は、矩形の枠状に形成されている。枠部材１３は、複数の供給口２６および複数の排出口２７を囲んでいる。
【００１７】
枠部材１３は、ニッケル合金製の複数のプレートを例えば拡散接合することによって形成されている。なお、接合には、拡散接合に限らず、陽極接合や他の真空接合のような他の接合方法が用いられても良い。
【００１８】
ノズルプレート１４は、ポリイミド製の矩形のフィルムによって形成されている。なお、ノズルプレート１４はこれに限らず、レーザ加工が可能な他の樹脂材料によって形成されても良い。
【００１９】
ノズルプレート１４は、例えば接着剤によって枠部材１３に固定され、インク室１７を塞いでいる。ノズルプレート１４は、ベースプレート１１の実装面２１と対向している。
【００２０】
ノズルプレート１４に、複数のノズル２８が設けられている。ノズル２８は、インク室１７にそれぞれ開口した孔である。複数のノズル２８は、ノズルプレート１４の長手方向に沿って二列に並んでいる。
【００２１】
図３は、ベースプレート１１および一つのアクチュエータ１２の一部を拡大して示す斜視図である。図４は、ベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を拡大して示す断面図である。図３において、アクチュエータ１２の一部は切断されて示されている。一対のアクチュエータ１２は互いに同様の構成および機能を有するため、以下では一つのアクチュエータ１２について代表して説明する。
【００２２】
図１に示すように、アクチュエータ１２は、一列に並んだ複数の供給口２６と、複数の排出口２７の一方の列との間に挟まれている。アクチュエータ１２は、複数のノズル２８の一方の列に対応して配置されている。図２に示すように、アクチュエータ１２は、インク室１７の内部に配置され、ベースプレート１１とノズルプレート１４との間に挟まれている。
【００２３】
図３に示すように、アクチュエータ１２は、本体３１と、複数の溝３２と、一対の接着剤充填部３３，３４とを有している。本実施形態において、接着剤充填部３３，３４は、いわゆる切欠である。
【００２４】
本体３１は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）によって形成された板状の二つの圧電体によって形成されている。前記二つの圧電体は、分極方向がその厚さ方向に互いに逆向きになるように貼り合わされている。
【００２５】
図２に示すように、本体３１は、第１の面３５と、第２の面３６と、一対の側面３７，３８とを有している。第１の面３５は、ベースプレート１１の実装面２１に対向する面である。第１の面３５は、平坦に形成されており、実装面２１に当接している。
【００２６】
第２の面３６は、第１の面３５の反対側に位置している。第２の面３６は、ノズルプレート１４に対向している。第２の面３６は、例えば接着剤によってノズルプレート１４に固定されている。第２の面３６の幅は、例えば１ｍｍである。第１の面３５から第２の面３６までの高さは、例えば５００μｍである。
【００２７】
一対の側面３７，３８は、本体３１の幅方向の側面である。一対の側面３７，３８は、第１の面３５から第２の面３６に進むに従って、互いに近づく方向に傾斜している。言い換えると、一対の側面３７，３８は、第２の面３６との間の角度が鈍角となるように傾斜している。一対の側面３７，３８と第２の面３６との間の角度は、例えば１３５°である。図２に示すように、本体３１は、略台形状の断面を有する。
【００２８】
一方の側面３７は、他方の側面３８よりも、ベースプレート１１の外縁２３および枠部材１３に近い。一方の側面３７は、第１の面３５の幅方向における一方の端部と、第２の面３６の幅方向における一方の端部との間に跨っている。
【００２９】
他方の側面３８は、一方の側面３７よりも、ベースプレート１１の中央部に近い。他方の側面３８は、第１の面３５の幅方向における他方の端部と、第２の面３６の幅方向における他方の端部との間に跨っている。
【００３０】
図３に示すように、複数の溝３２は、本体３１の長手方向に並んで設けられている。複数の溝３２は、本体３１の第２の面３６、および一対の側面３７，３８に連続して開口している。溝３２の幅は、例えば８５μメートルである。溝３２の底面から第２の面３６までの高さは、３００μｍである。溝３２は本体３１の幅方向に対して僅かに傾斜するように形成されるが、図３において溝３２は本体３１の幅方向に沿うように示される。
【００３１】
アクチュエータ１２が供給口２６と排出口２７との間に配置されるため、供給口２６からインク室１７に供給されたインクは、複数の溝３２にそれぞれ流入する。各溝３２に流入したインクは、アクチュエータ１２によって吐出されるか、排出口２７から前記インクタンクに回収される。
【００３２】
複数の溝３２によって、アクチュエータ１２に複数の壁部４１が形成される。壁部４１は、隣り合う溝３２を仕切るとともに、溝３２の内面の一部を形成する。
【００３３】
図２に示すように、複数の溝３２は、複数のノズル２８に対応して設けられている。ノズル２８は、対応する溝３２に向かって開口している。なお、溝３２の個数とノズル２８の個数とは異なっていても良い。例えば、ノズル２８の個数は、一対のアクチュエータ１２の溝３２の個数よりも少ない。
【００３４】
一方の接着剤充填部３３は、一方の側面３７に設けられている。他方の接着剤充填部３４は、他方の側面３８に設けられている。一対の接着剤充填部３３，３４は、アクチュエータ１２の長手方向における一端から他端まで延びている。
【００３５】
図４に示すように、一対の接着剤充填部３３，３４は、接着面４３と他の接着面４４とによってそれぞれ形成されている。接着面４３と他の接着面４４とは、それぞれ本体３１の一部である。接着面４３は、一対の側面３７，３８とそれぞれ交差している。接着面４３は、ベースプレート１１の実装面２１と対向する平坦な面である。実装面２１から接着面４３までの高さは、例えば５〜１０μｍである。なお、図２ないし図８において、実装面２１から接着面４３までの高さは、便宜上、大きく描かれている。
【００３６】
他の接着面４４は、接着面４３と第１の面３５との間に跨って設けられた平坦な面である。他の接着面４４は、接着面４３と直交するとともに、第１の面３５と直交している。なお、他の接着面４４は、第１の面３５に対して傾斜していても良い。
【００３７】
一対の接着剤充填部３３，３４に、それぞれ接着剤４６が充填されている。接着剤４６は、例えば熱硬化性のエポキシ系接着剤である。接着剤４６は、一対の接着剤充填部３３，３４の接着面４３および他の接着面４４と、ベースプレート１１の実装面２１とにそれぞれ付着している。接着剤４６は硬化しており、アクチュエータ１２の本体３１を、ベースプレート１１の実装面２１に固定している。
【００３８】
接着剤４６は、一対の外面４８，４９を有している。一方の外面４８は、本体３１の一方の側面３７に連続して形成されている。他方の外面４９は、本体３１の他方の側面３８に連続して形成されている。このため、一対の外面４８，４９は本体３１の第２の面３６に対して、本体３１の一対の側面３７，３８と同じく、例えば１３５°傾斜している。なお、一対の外面４８，４９と第２の面３６との間の角度は、本体３１の一対の側面３７，３８と実装面２１との間の角度と異なっていても良い。
【００３９】
ベースプレート１１と一対のアクチュエータ１２とに、複数の導体パターン５１が設けられている。導体パターン５１は、例えば無電解メッキによって形成されたニッケル薄膜によって構成されている。複数の導体パターン５１は、電極５２と、配線５３とをそれぞれ有している。
【００４０】
電極５２は、複数の溝３２のそれぞれの内面に設けられている。配線５３は、本体３１の一方の側面３７、接着剤４６の一方の外面４８、およびベースプレート１１の実装面２１に連続して設けられている。配線５３の一方の端部は、電極５２に接続されている。図２に示すように、配線５３は、ベースプレート１１の実装面２１と枠部材１３との間を通り、ベースプレート１１の外縁２３に至るまで延びている。
【００４１】
ベースプレート１１の実装面２１において、配線５３にＦＣＰ１６が接続されている。ＦＣＰ１６は、パターンが形成されるとともに可撓性を有するフィルムと、前記フィルムに実装された駆動ＩＣと、を含んでいる。
【００４２】
ＦＣＰ１６の前記駆動ＩＣは、配線５３を介して電極５２に駆動電圧を印加する。これにより、壁部４１がシェアモード変形し、溝３２の容積が大きくなる。電極５２に印加されていた電圧が解放されると、壁部４１が元の位置に復帰する。このため、溝３２に流入していたインクが加圧され、溝３２に対応するノズル２８から吐出される。
【００４３】
以下に、図５ないし図８を参照しながら、インクジェットヘッド１の製造工程の一部である、ベースプレート１１にアクチュエータ１２を搭載する方法について例示する。図５は、ベースプレート１１の一部と加工前のアクチュエータ１２Ａとを示す断面図である。図６は、ベースプレート１１に固定された加工前のアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。図７は、加工前のアクチュエータ１２Ａの一部を拡大して示す断面図である。図８は、加工されたアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。上記のように、製造工程の途中にあるアクチュエータ１２をアクチュエータ１２Ａと称する。
【００４４】
図５に示すように、アクチュエータ１２Ａは、本体３１Ａと、接着剤４６とを備えている。このように、製造工程の途中にある本体３１を本体３１Ａと称する。本体３１Ａの断面は、略矩形状に形成されている。本体３１Ａは、一対の側面５５，５６を有している。一対の側面５５，５６は、第１の面３５と第２の面３６との間に跨っている。一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の側面５５，５６にそれぞれ設けられている。
【００４５】
まず、接着剤４６を一対の接着剤充填部３３，３４に充填する。接着剤４６は、接着剤充填部３３，３４のそれぞれの容積よりも僅かに多く充填される。このため、接着剤４６は、第１の面３５から僅かに飛び出る。
【００４６】
次に、図５の矢印に示すように、本体３１Ａの第１の面３５を、ベースプレート１１の実装面２１に押圧する。図６に示すように、第１の面３５が実装面２１に押圧されることで、接着剤４６が実装面２１に付着する。図７に示すように、接着剤４６は、第１の面３５を実装面２１に押圧する力や、実装面２１の濡れ性によって、実装面２１の上で広がる。このように、接着剤４６が実装面２１に付着することによって、本体３１Ａが実装面２１に固定される。次に、接着剤４６を、例えば１２０℃で加熱することにより、熱硬化させる。
【００４７】
次に、本体３１Ａおよび硬化した接着剤４６の外側を切削加工する。なお、本体３１Ａおよび接着剤４６は、切削加工に限らず、研削加工されても良い。図８に示すように、本体３１Ａおよび接着剤４６の一部が削られ、一対の側面３７，３８および、一対の外面４８，４９が形成される。すなわち、本体３１Ａおよび接着剤４６を削ることで、本体３１の一対の側面３７，３８を第２の面３６との間の角度が鈍角となるように傾斜させる。なお、図６および図７に、加工後に形成される一対の側面３７，３８および一対の外面４８，４９の位置を二点鎖線で示す。すなわち、図６および図７の二点鎖線は、本体３１Ａおよび接着剤４６の削られる部分Ｐ１と、削られずに残る部分Ｐ２とを区切っている。削られる部分Ｐ１は、残る部分Ｐ２の外側に位置する。
【００４８】
図７に示すように、接着剤４６の中に、複数の気泡Ｂが存在する場合がある。気泡Ｂは、例えば、本体３１Ａがベースプレート１１に押圧される際、接着剤４６が本体３１とベースプレート１１との間の空気を取り込むことによって形成され得る。また、気泡Ｂは、接着剤４６に含まれていた空気や水蒸気によって形成され得る。
【００４９】
気泡Ｂは、接着剤４６が広がることに伴い、外に向かって移動する。また、気泡Ｂは、加熱された接着剤４６の粘度が下がることにより、外に向かって移動する。すなわち、気泡Ｂは、接着剤４６の削られる部分Ｐ１に向かって移動する。削られる部分Ｐ１に位置する気泡Ｂは、上記のように硬化した接着剤４６が切削加工されることにより除去される。
【００５０】
次に、図８に示すように、本体３１Ａを、例えばＩＣウェハーの切断等に用いられているダイシングソーのダイヤモンドホイールによって切削し、複数の溝３２を形成する。続いて、無電解メッキにより、ベースプレート１１の実装面２１およびアクチュエータ１２Ａの表面に、ニッケル薄膜を形成する。例えばレーザ照射によるパターニングによって、前記ニッケル薄膜を分割するとともに、余計な部分を除去する。これにより、図４に示す複数の導体パターン５１が形成される。以上より、アクチュエータ１２がベースプレート１１に搭載される。
【００５１】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、アクチュエータ１２の一対の接着剤充填部３３，３４に、接着剤４６が充填されている。一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の側面３７，３８にそれぞれ設けられている。すなわち、接着剤４６が充填される一対の接着剤充填部３３，３４は、外に近い位置に設けられる。接着剤４６は、接着剤充填部３３，３４のような狭い範囲に充填される。
【００５２】
図７に示すように、ベースプレート１１にアクチュエータ１２を搭載する工程において、接着剤４６の中に存在する気泡Ｂは、外に向かって移動する。すなわち、気泡Ｂは、接着剤４６の削られる部分Ｐ１に向かって移動する。
【００５３】
接着剤充填部３３，３４の最も内側に位置する部分は、他の接着面４４である。この他の接着面４４から接着剤４６の削られる部分Ｐ１までの距離は、第１の面３５の中央から削られる部分Ｐ１までの距離よりも短い。このため、接着剤４６が第１の面３５に塗布された場合に比べ、気泡Ｂが削られる部分Ｐ１まで移動し易い。
【００５４】
以上より、もし接着剤４６の中に気泡Ｂが存在したとしても、接着剤４６が熱硬化する前に、気泡Ｂが接着剤４６の削られる部分Ｐ１まで移動する。したがって、気泡Ｂは接着剤４６の外面４８，４９が形成される位置から失せるため、気泡Ｂによって接着剤４６の外面４８，４９に窪みが形成されることを抑制できる。これにより、気泡Ｂの窪みによって、配線５３が途中で欠損したり、隣り合う配線５３同士が短絡したりすることを防止できる。
【００５５】
接着剤４６は、接着面４３と他の接着面４４とによって形成された接着剤充填部３３，３４に充填される。これにより、接着剤４６とアクチュエータ１２との接触面積を大きく取ることができ、アクチュエータ１２をベースプレート１１の実装面２１に強く固定することができる。
【００５６】
本体３１の第１の面３５は、ベースプレート１１の実装面２１に当接している。これにより、接着剤４６が第１の面３５と実装面２１の間に入り込むことにより気泡Ｂが削られる部分Ｐ１まで移動し難くなることを抑制できる。
【００５７】
次に、図９および図１０を参照して、第２の実施の形態について説明する。なお、以下に開示する複数の実施形態において、第１の実施形態のインクジェットヘッド１と同一の機能を有する構成部分には同一の参照符号を付す。さらに、当該構成部分については、その説明を一部または全て省略することがある。
【００５８】
図９は、第２の実施の形態のベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を示す断面図である。図１０は、ベースプレート１１に固定された加工前のアクチュエータ１２Ａを示す断面図である。
【００５９】
図９に示すように、一対の接着剤充填部３３，３４は、一対の接着面６１によって形成されている。一方の接着面６１は、一方の側面３７と第１の面３５の幅方向における一方の端部との間に跨る平坦な面である。他方の接着面６１は、他方の側面３８と第１の面３５の幅方向における他方の端部との間に跨っている。
【００６０】
一対の接着面６１は、第１の面３５との間の角度が鈍角となるように傾斜している。接着面６１と第１の面３５との間の角度は、例えば１６５°である。言い換えると、ベースプレート１１の実装面２１と接着面６１との間の角度は１５°である。
【００６１】
第２の実施形態のアクチュエータ１２をベースプレート１１に搭載する工程において、図１０に示すように、本体３１Ａの第１の面３５がベースプレート１１の実装面２１に押圧される。図１０の矢印Ｄで示すように、一対の接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６は、接着面６１によって外に向かって押される。
【００６２】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、一対の接着剤充填部３３，３４は、一方の側面３７と第１の面３５との間に跨る平坦な面である接着面６１によって形成されている。すなわち、第２の実施形態の接着剤充填部３３，３４は、互いに直交する接着面４３および他の接着面４４によって形成された第１の実施形態の接着剤充填部３３，３４と異なり、角になる部分が無い。このため、接着剤充填部３３，３４に接着剤４６を充填する際に、接着剤充填部３３，３４と接着剤４６との間に空気が残ることを抑制できる。
【００６３】
一対の接着面６１は、第１の面３５との間の角度が鈍角となるように傾斜している。本体３１Ａの第１の面３５が実装面２１に押圧される際に、接着剤４６は、外に向かって押される。これにより、接着剤４６が第１の面３５と実装面２１との間に入り込むことを抑制できる。
【００６４】
次に、第３の実施の形態について、図１１を参照して説明する。図１１は、第３の実施形態のベースプレート１１に搭載されたアクチュエータ１２を示す断面図である。
【００６５】
図１１に示すように、第３の実施形態の接着剤４６の一部は、本体３１の第１の面３５と、ベースプレート１１の実装面２１との間に介在する。第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部の厚さは、接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６の一部の厚さよりも小さい。
【００６６】
第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部は、アクチュエータ１２がベースプレート１１に搭載される前に、第１の面３５に塗布される。なお、第１の面３５と実装面２１との間に介在する接着剤４６の一部は、接着剤充填部３３，３４に充填された接着剤４６の一部が第１の面３５と実装面２１との間に入り込むことで形成されても良い。接着剤４６は、第１の面３５の全域に限らず、第１の面３５の一部に付着していても良い。
【００６７】
前記構成のインクジェットヘッド１によれば、接着剤４６の一部が、本体３１の第１の面３５と、ベースプレート１１の実装面２１との間に介在する。これにより、アクチュエータ１２をベースプレート１１に強く固定することができる。
【００６８】
なお、上述した実施形態において、接着剤充填部３３，３４は一対の側面３７，３８にそれぞれ設けられていたが、接着剤充填部はこれに限らない。接着剤充填部は、アクチュエータの本体の一方の側面にのみ設けられても良いし、本体の幅方向の側面のみならず長手方向の側面に設けられても良い。
【００６９】
以上述べた少なくとも一つの実施形態のインクジェットヘッドによれば、アクチュエータは、本体の側面に設けられた接着剤充填部を有する。さらに、接着剤が、前記接着剤充填部に充填されて前記本体を基材の実装面に固定し、前記本体の側面に連続する一対の外面を有する。これにより、気泡によって前記接着剤の前記外面に窪みが形成されることを抑制できる。
【００７０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７１】
１…インクジェットヘッド、１１…ベースプレート、１２，１２Ａ…アクチュエータ、２１…実装面、３１，３１Ａ…本体、３２…溝、３３，３４…接着剤充填部、３５…第１の面、３６…第２の面、３７，３８，５５，５６…側面、４３，６１…接着面、４４…他の接着面、４６…接着剤、４８，４９…外面、５１…導体パターン。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装面を有した基材と、
前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨るとともに前記第２の面との角度が鈍角となるように傾斜された一対の側面と、を有する本体と、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並んだ複数の溝と、前記本体の側面に設けられ前記基材の実装面に向く接着面を有した接着剤充填部と、を有したアクチュエータと、
前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定するとともに前記本体の側面に連続する外面を有した接着剤と、
前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられた複数の導電パターンと、
を具備したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記接着面は、前記本体の側面と交差するとともに前記基材の実装面に対向し、
前記接着剤充填部は、前記接着面と前記本体の第１の面との間に跨った他の接着面をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記接着面は、前記本体の側面と第１の面との間に跨るとともに前記第１の面との角度が鈍角となるように傾斜されたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記本体の第１の面が、前記基材の実装面に当接したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記本体の第１の面と、前記基材の実装面と、の間に前記接着剤の一部が介在したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記接着剤充填部は、前記本体の一対の側面にそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
実装面を有した基材と、
前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る一対の側面と、を有する本体と、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並んだ複数の溝と、前記本体の側面に設けられ前記基材の実装面に向く接着面を有した接着剤充填部と、を有したアクチュエータと、
を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記接着剤充填部に接着剤を充填し、
前記本体の第１の面を前記基材の実装面に押圧することで前記接着剤によって前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定し、
前記接着剤を硬化させ、
前記本体および前記接着剤を削ることで、前記本体の一対の側面を前記第２の面との間の角度が鈍角となるように傾斜させるとともに、前記接着剤に前記側面に連続する外面を形成し、
前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続する複数の導電パターンを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記接着面は、前記本体の側面と交差するとともに前記基材の実装面に対向し、
前記接着剤充填部は、前記接着面と前記本体の第１の面との間に跨った他の接着面をさらに有することを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記接着面は、前記本体の側面と第１の面との間に跨るとともに前記第１の面との角度が鈍角となるように傾斜されたことを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記本体の第１の面が、前記基材の実装面に当接したことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記本体の第１の面と、前記基材の実装面と、の間に前記接着剤の一部が介在したことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記接着剤充填部は、前記本体の一対の側面にそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１】
実装面を有した基材と、
前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨るとともに前記第２の面との角度が鈍角となるように傾斜された一対の側面と、を有する本体と、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並んだ複数の溝と、前記本体の側面に設けられ前記基材の実装面に向く接着面を有した接着剤充填部と、を有したアクチュエータと、
前記接着剤充填部に充填されて前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定するとともに前記本体の側面に連続する外面を有した接着剤と、
前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続して設けられた複数の導電パターンと、
を具備したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記接着面は、前記本体の側面と交差するとともに前記基材の実装面に対向し、
前記接着剤充填部は、前記接着面と前記本体の第１の面との間に跨った他の接着面をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記接着面は、前記本体の側面と第１の面との間に跨るとともに前記第１の面との角度が鈍角となるように傾斜されたことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記本体の第１の面が、前記基材の実装面に当接したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記本体の第１の面と、前記基材の実装面と、の間に前記接着剤の一部が介在したことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記接着剤充填部は、前記本体の一対の側面にそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
実装面を有した基材と、
前記基材の実装面に対向した第１の面と、前記第１の面の反対側に位置する第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る一対の側面と、を有する本体と、前記本体の第２の面および一対の側面に開口し前記本体の長手方向に並んだ複数の溝と、前記本体の側面に設けられ前記基材の実装面に向く接着面を有した接着剤充填部と、を有したアクチュエータと、
を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記接着剤充填部に接着剤を充填し、
前記本体の第１の面を前記基材の実装面に押圧することで前記接着剤によって前記アクチュエータを前記基材の実装面に固定し、
前記接着剤を硬化させ、
前記本体および前記接着剤を削ることで、前記本体の一対の側面を前記第２の面との間の角度が鈍角となるように傾斜させるとともに、前記接着剤に前記側面に連続する外面を形成し、
前記本体の側面、前記複数の溝のそれぞれの内面、前記接着剤の外面、および前記基板の実装面に連続する複数の導電パターンを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記接着面は、前記本体の側面と交差するとともに前記基材の実装面に対向し、
前記接着剤充填部は、前記接着面と前記本体の第１の面との間に跨った他の接着面をさらに有することを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記接着面は、前記本体の側面と第１の面との間に跨るとともに前記第１の面との角度が鈍角となるように傾斜されたことを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記本体の第１の面が、前記基材の実装面に当接したことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記本体の第１の面と、前記基材の実装面と、の間に前記接着剤の一部が介在したことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記接着剤充填部は、前記本体の一対の側面にそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項７ないし請求項９のいずれか一つに記載のインクジェットヘッド。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−２４０２７２（Ｐ２０１２−２４０２７２Ａ）
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１１１３４８（Ｐ２０１１−１１１３４８）
【出願日】平成２３年５月１８日（２０１１．５．１８）
【出願人】（０００００３５６２）東芝テック株式会社 (5,631)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月１０日（２０１２．１２．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月１８日（２０１１．５．１８）
【出願人】（０００００３５６２）東芝テック株式会社 (5,631)
【Ｆターム（参考）】
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