ガラスフィルム積層体及びその製造方法
【課題】製造されたガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうことがなく、また、ガラスフィルム積層体を搬送して各工程に供した際に、ガラスフィルムに対して斜めのパターン形成等の加工不具合を防いで加工時の位置精度を向上させることができるガラスフィルム積層体を提供する。
【解決手段】支持フィルム１と、粘着層２と、粘着層２を介して支持フィルム１に積層されたガラスフィルム３とを備え、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されたガラスフィルム積層体１０によって、上記課題を解決した。このとき、ガラスフィルム３の幅Ａが、支持フィルム１の幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが望ましい。
【解決手段】支持フィルム１と、粘着層２と、粘着層２を介して支持フィルム１に積層されたガラスフィルム３とを備え、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されたガラスフィルム積層体１０によって、上記課題を解決した。このとき、ガラスフィルム３の幅Ａが、支持フィルム１の幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが望ましい。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。
【０００３】
工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１３３１７４号公報
【特許文献２】特開２００１−９７７３３号公報
【特許文献３】特開２０１０−２２８１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したガラスフィルム積層体の製造においては、支持シートの全面に粘着層を設けた後にガラスフィルムと貼り合わせている。そのため、製造されたガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シート部に粘着層が存在することになり、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうという問題があった。また、製造されたガラスフィルム積層体をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体が貼り付いてしまうという問題もあった。
【０００６】
また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、幅広の支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）に対してガラスフィルムが曲がって貼り付いているガラスフィルム積層体の場合では、例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻き等する際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうこと等がなく、また、ガラスフィルム積層体を搬送して各工程に供した際に、ガラスフィルムに対して斜めのパターン形成等の加工不具合を防いで加工時の位置精度を向上させることができるガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、支持フィルムと、粘着層と、該粘着層を介して前記支持フィルムに積層されたガラスフィルムとを備え、前記ガラスフィルムの幅が前記支持フィルムの幅よりも大きく、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されていることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅が支持フィルムの幅よりも大きく、且つそのガラスフィルムが支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されているので、支持フィルムがガラスフィルムの端部よりも内方に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルムの両端部であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【００１０】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅Ａが支持フィルムの幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きく、この幅の差（Ａ−Ｂ）がガラスフィルムの幅方向の各端部で分配幅として分配される。この分配幅によりガラスフィルムの幅方向の各端部と支持フィルムの各端部との距離が最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍとなるので、ガラスフィルムの各端部にはその距離だけ支持フィルムが存在していない領域がある。この発明では、ガラスフィルムの各端部と支持フィルムの各端部との距離が最大約２０ｍｍであるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルムの端部に衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片は小さく、周囲に散乱して不具合を起こし難い。
【００１２】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きいことが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅が支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きく、ガラスフィルムの幅方向の各端部と支持フィルムの各端部との距離が最低０ｍｍ超、最大約１０ｍｍとなるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルムの端部に衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さく、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さい。
【００１４】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。
【００１５】
この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。
【００１６】
上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムを準備する工程と、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、支持フィルムと、支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムとを準備し、ガラスフィルムが支持フィルムの両側端部からはみ出すように粘着層を介してガラスフィルムと支持フィルムとを貼り合わせるので、製造されたガラスフィルム積層体は上記同様の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するものとなる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、支持フィルムがガラスフィルムの端部よりも内方に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しないので、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルムの両端部であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明に係るガラスフィルム積層体の例を示す模式的な断面図である。
【図３】ガラスフィルムの端部から支持フィルムの端部までの距離を示す模式的な平面図である。
【図４】膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図５】ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１に示すように、支持フィルム１と、粘着層２と、粘着層２を介して支持フィルム１に積層されたガラスフィルム３とを備えている。そして、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されていることに特徴がある。
【００２２】
以下、各構成について詳しく説明する。
【００２３】
（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。
【００２４】
支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００２５】
支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００２６】
支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様の支持フィルムが好ましく用いられる。本発明では、後述するように、支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも小さいので、枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部が、ガラスフィルム３の端部よりも内方に配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、図３に示すように、その支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりも内方に配置されることになる。
【００２７】
こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。
【００２８】
（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。
【００２９】
粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。
【００３０】
粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００３１】
粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻きの際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。
【００３２】
粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。
【００３３】
塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。
【００３４】
なお、粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状で設けられている。したがって、支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム１の全面に設けられている。なお、本発明の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を妨げないのであれば、支持フィルム１よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば１ｍｍだけ小さい寸法で設けられていてもよい。
【００３５】
（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。
【００３６】
ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。
【００３７】
ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００３８】
ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルム３であってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様のガラスフィルム３が好ましく用いられる。本発明では、後述するように、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１及び図２に示すように、そのガラスフィルム３の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部３ａ，３ｂが、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図３に示すように、そのガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂが、支持フィルム１の両辺の端部１ａ，１ｂよりもはみ出すように配置されることになる。
【００３９】
ガラスフィルム３の幅Ａは、支持フィルム１の幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが好ましい。この幅の差（Ａ−Ｂ）は、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂで分配幅として分配される。粘着層２を介したガラスフィルム３と支持フィルム１との積層は、通常、粘着層２が設けられた支持フィルム１と、ガラスフィルム３とを貼り合わせて行うが、貼り合わせ時の制御により、幅方向Ｘの位置ずれを少なくして、分配幅をほぼ左右対称にすることができる。幅の差（Ａ−Ｂ）が例えば２０ｍｍの場合、ガラスフィルム３の一方の端部３ａから支持フィルム１の端部１ａまでの距離ａを１０ｍｍとし、ガラスフィルム３の他方の端部３ｂから支持フィルム１の端部１ｂまでの距離ｂを１０ｍｍとし、ほぼ分配幅を同じ値にすることができる。また、幅の差（Ａ−Ｂ）が例えば１ｍｍの場合も同様、ガラスフィルム３の一方の端部３ａから支持フィルム１の端部１ａまでの距離ａを０．５ｍｍとし、ガラスフィルム３の他方の端部３ｂから支持フィルム１の端部１ｂまでの距離ｂを０．５ｍｍとすることができる。
【００４０】
一方、貼り合わせ時の制御によっては、分配幅は、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍとなる。このことは、図１〜図３に示すように、ガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂには最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍの距離ａ，ｂだけ支持フィルム１が存在していない領域があることを意味する。本発明では、ガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最大２０ｍｍ以内であれば、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片は小さく、周囲に散乱して不具合を起こし難いという効果を奏することを確認した。
【００４１】
特に、ガラスフィルム３の幅Ａと支持フィルム１の幅Ｂとの差（Ａ−Ｂ）が１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲であることが好ましい。これにより、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最低０ｍｍ超、最大約１０ｍｍとなるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さく、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さい。
【００４２】
距離ａ，ｂの最小距離ａｍｉｎ，ｂｍｉｎは、０ｍｍを超える長さであり、好ましくは０．２ｍｍ、特に好ましくは０．５ｍｍである。ここで、０ｍｍを超える長さとしたのは、０ｍｍの場合は、ガラスフィルム３の端部位置と支持フィルム１の端部位置とが一致し、端部を検出して搬送直進性を制御する際に、ガラスフィルム３の端部を測定しているのか支持フィルム１の端部を測定しているのかが明確に特定できず、結果として位置検出に誤差が生じるおそれがあるためである。好ましい長さを０．２ｍｍとしたのは、０．２ｍｍであれば、必ずガラスフィルム３の端部を検出することになり、位置検出に誤差が生じるおそれがなく、特に０．５ｍｍであればその効果が安定的に確保できる。
【００４３】
一方、距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘは、上記のように、２０ｍｍが好ましく、１０ｍｍがより好ましい。後述の実施例の結果からも理解できるように、実用レベルでは、最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘは２０ｍｍであればよいが、１０ｍｍの場合には、上記したように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さくなり、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さいものとなる。
【００４４】
なお、ガラスフィルム３の幅Ａ、支持フィルム１の幅Ｂ、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム３、支持フィルム１及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。
【００４５】
以上説明したように、本発明に係るガラスフィルム積層体１０によれば、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、且つそのガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されているので、支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも内方に配置され、支持フィルム１に設けられている粘着層２が露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層２によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルム３の両端部３ａ，３ｂであるので、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【００４６】
（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図４に示すように、膜４を設けてもよい。膜４は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜４が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。
【００４７】
パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。
【００４８】
ガラスフィルム３上にパターニングされた膜４を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜４であってもよい。
【００４９】
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。
【００５０】
［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、粘着層２が設けられた支持フィルム１を準備する工程と、支持フィルム１の幅Ｂよりも大きいガラスフィルム３を準備する工程と、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。
【００５１】
図５は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図５に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール２３は支持フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール２５はガラスフィルム供給部２４に装着されている。支持フィルムロール２３は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール２３から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２６で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ２８で貼り合わせ部２６まで案内される。
【００５２】
貼り合わせ部２６では、ニップローラ３０によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路３２を通って巻取部３４に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３６となる。
【００５３】
この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するものとなる。特に、貼り合わせ工程後に、得られたガラスフィルム積層体１０をフォトリソグラフィ工程等に搬送する際には、ガラスフィルム積層体１０の幅方向の両端部を検出して搬送するので、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせれば、得られたガラスフィルム積層体１０の搬送直進性を確保でき、フォトリソグラフィ工程でのパターニング時の不具合が生じないという効果がある。
【実施例】
【００５４】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の結果で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、パターンの位置精度、ロールへの貼り付き、割れ、割れ片起因の装置不具合について評価した。
【００５５】
［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ３９μｍ、幅２５０ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール２３を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール２５を準備した。
【００５６】
続いて、図５に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２２に支持フィルムロール２３を設置し、ガラスフィルム供給部２４にガラスフィルムロール２５を設置した。続いて、ガラスフィルムロール２５から繰り出したガラスフィルム３と、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１とを、各々のフィルムの中心合わせを行って貼り合わせ部２６のニップローラ３０でラミネートした。その後、搬送路３２を搬送させて、直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３６を作製した。
【００５７】
次に、ガラスフィルム積層体ロール３６を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００５８】
［実施例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２６０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００５９】
［実施例３］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２７０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６０】
［実施例４］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２８０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６１】
［実施例５］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６２】
［実施例６］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９５ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６３】
［実施例７］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９８ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６４】
［実施例８］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９９ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６５】
［比較例１］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３００ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６６】
［比較例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３０５ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６７】
［測定と結果］
実施例１〜８及び比較例１，２により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂの位置関係を測定し、その結果を表１示した。ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとの位置関係とは、図３に示すように、Ｙ方向に延びる長さ１０ｍのガラスフィルム積層体１０において、その幅方向Ｘの一方の側のガラスフィルム３の端部３ａと支持フィルム１の端部１ａとの距離ａの最大値ａｍａｘ及び最小値ａｍｉｎ、及び、幅方向Ｘの他方の側のガラスフィルム３の端部３ｂと支持フィルム１の端部１ｂとの距離ｂの最大値ｂｍａｘ及び最小値ｂｍｉｎ、を示している。プラスの数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの内方に存在する場合であり、マイナスの数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも外側にはみ出た場合である。
【００６８】
表１中の搬送テストの評価項目である「パターンの位置精度」、「ロールへの貼り付き」、「割れ」及び「割れ片起因の装置不具合」は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、パターン位置精度とは、５つのパターン各々のガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからの距離ａ，ｂの均一性を示す。その結果を表１に示した。表１での評価結果は５段階の相対評価で行い、「１」を最も良好であったものとし、「３」以下の数字（３，２，１）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。
【００６９】
【表１】
【００７０】
表１の結果から分かるように、支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも小さく、且つ、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されている場合（実施例１〜８）には、ガラスフィルム積層体１０の搬送時でのロールへの貼り付きが起こらず、パターニング工程でのパターン位置精度の低下といった不具合も生じなかった。
【００７１】
さらに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂの最小距離ａｍｉｎ，ｂｍｉｎを、０ｍｍを超える長さとした例（実施例１〜８）では、必ずガラスフィルム３の端部を検出でき、位置検出の精度を安定的に確保できた。一方、距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘが２０ｍｍ以下の場合（実施例３〜８）には、割れが生じたとしてもそれが装置のトラブルとなるリスクを小さくできることが分かった。なお、特に距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘが１０ｍｍ以下の場合（実施例５〜８）には、割れの問題自体を低減でき、仮に割れが生じたとしてもそれが装置のトラブルとなるリスクをより小さくできることが分かった。
【００７２】
前記した割れの問題や割れに起因した不具合に対しては、ガラスフィルム３の幅Ａと支持フィルム１の幅Ｂとの差（Ａ−Ｂ）を２０ｍｍ以下とすることがよく（実施例４〜８）、特にその差（Ａ−Ｂ）を１０ｍｍ以下とすることがよい（実施例５〜８）ことが分かった。
【符号の説明】
【００７３】
１ 支持フィルム
１ａ，１ｂ 支持フィルムの端部
２ 粘着層
３ ガラスフィルム
３ａ，３ｂ ガラスフィルムの端部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ ガラスフィルム積層体
２０ ガラスフィルム積層体の製造装置
２２ 支持フィルム供給部
２３ 支持フィルムロール
２４ ガラスフィルム供給部
２５ ガラスフィルムロール
２６ 貼り合わせ部
２８ ガイドローラ
３０ ニップローラ
３２ 搬送路
３４ 巻取部
３６ ガラスフィルム積層体ロール
【００７４】
Ａ ガラスフィルムの幅
Ｂ 支持フィルムの幅
ａ ガラスフィルムの一方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ａｍｉｎ ａの最小距離
ａｍａｘ ａの最大距離
ｂ ガラスフィルムの他方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ｂｍｉｎ ｂの最小距離
ｂｍａｘ ｂの最大距離
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルム積層体に関し、さらに詳しくは、例えば有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ等のディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等に用いられる薄ガラス（「ガラスフィルム」ともいう。）に支持フィルムを貼付してなるガラスフィルム積層体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラスの製造技術の進歩により、厚さが１００μｍ程度又はそれ以下の薄ガラス（ガラスフィルム）が製造されている。例えば、特許文献１には厚さが２００μｍ以下のガラスフィルムが提案され、特許文献２には厚さが０．１〜１００μｍのガラスフィルムが提案されている。こうしたガラスフィルムは可撓性を有することから、そのガラスフィルム上への膜形成等にロールｔｏロールプロセスが適用できるため、従来のシート（枚葉）プロセスと比較して高い生産性を得ることができる。しかし、薄いガラスフィルムは耐衝撃性に劣り、工程上の取り扱いが困難になる。
【０００３】
工程上の取り扱いを向上させるため、特許文献３には、粘着層を間に介してガラスフィルムと支持シートとを積層したガラスフィルム積層体が提案されている。このガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムよりも幅広の支持シートを積層すると、ガラスフィルムの端部から支持シートがはみ出すことになる。そのため、そのはみ出した支持シート部がガラスフィルムの端部を保護するように作用するので、耐衝撃性に劣るガラスフィルムの保護効果をさらに高めることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１３３１７４号公報
【特許文献２】特開２００１−９７７３３号公報
【特許文献３】特開２０１０−２２８１６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記したガラスフィルム積層体の製造においては、支持シートの全面に粘着層を設けた後にガラスフィルムと貼り合わせている。そのため、製造されたガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの端部からはみ出した支持シート部に粘着層が存在することになり、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうという問題があった。また、製造されたガラスフィルム積層体をロール搬送する際に、そのロール等の搬送部材にガラスフィルム積層体が貼り付いてしまうという問題もあった。
【０００６】
また、製造されたガラスフィルム積層体を搬送する際には、ガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出して搬送し、ガラスフィルム積層体の搬送直進性を確保している。そのため、幅広の支持シート（以下、本発明では「支持フィルム」という。）に対してガラスフィルムが曲がって貼り付いているガラスフィルム積層体の場合では、例えばフォトリソグラフィ工程に搬送されてガラスフィルム上に成膜された膜をパターニングする際に、ガラスフィルム積層体に対しては例えば露光マスクが正しく配置されるものの、曲がって貼り付いているガラスフィルムに対しては例えば露光マスクは斜めに配置されることになり、ガラスフィルムに対して斜めのパターンが形成されるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、製造されたガラスフィルム積層体をロール巻き等する際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が貼り付いてしまうこと等がなく、また、ガラスフィルム積層体を搬送して各工程に供した際に、ガラスフィルムに対して斜めのパターン形成等の加工不具合を防いで加工時の位置精度を向上させることができるガラスフィルム積層体及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明に係るガラスフィルム積層体は、支持フィルムと、粘着層と、該粘着層を介して前記支持フィルムに積層されたガラスフィルムとを備え、前記ガラスフィルムの幅が前記支持フィルムの幅よりも大きく、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されていることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅が支持フィルムの幅よりも大きく、且つそのガラスフィルムが支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されているので、支持フィルムがガラスフィルムの端部よりも内方に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルムの両端部であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【００１０】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅Ａが支持フィルムの幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きく、この幅の差（Ａ−Ｂ）がガラスフィルムの幅方向の各端部で分配幅として分配される。この分配幅によりガラスフィルムの幅方向の各端部と支持フィルムの各端部との距離が最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍとなるので、ガラスフィルムの各端部にはその距離だけ支持フィルムが存在していない領域がある。この発明では、ガラスフィルムの各端部と支持フィルムの各端部との距離が最大約２０ｍｍであるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルムの端部に衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片は小さく、周囲に散乱して不具合を起こし難い。
【００１２】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きいことが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、ガラスフィルムの幅が支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きく、ガラスフィルムの幅方向の各端部と支持フィルムの各端部との距離が最低０ｍｍ超、最大約１０ｍｍとなるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルムの端部に衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さく、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さい。
【００１４】
本発明に係るガラスフィルム積層体において、前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている。
【００１５】
この発明によれば、ガラスフィルム上に、透明電極膜、金属膜、半導体膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜がパターニングされた態様で設けられているので、そうしたガラスフィルム積層体は、例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等に応用される。本発明に係るガラスフィルム積層体は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体にパターニングされた膜が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。
【００１６】
上記課題を解決するため本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、前記支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムを準備する工程と、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、支持フィルムと、支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムとを準備し、ガラスフィルムが支持フィルムの両側端部からはみ出すように粘着層を介してガラスフィルムと支持フィルムとを貼り合わせるので、製造されたガラスフィルム積層体は上記同様の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するものとなる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法によれば、支持フィルムがガラスフィルムの端部よりも内方に配置され、支持フィルムに設けられている粘着層が露出しないので、ガラスフィルム積層体をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体の搬送時にはガラスフィルム積層体の幅方向の両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルムの両端部であるので、例えば露光マスク等がガラスフィルムに対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係るガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明に係るガラスフィルム積層体の例を示す模式的な断面図である。
【図３】ガラスフィルムの端部から支持フィルムの端部までの距離を示す模式的な平面図である。
【図４】膜が設けられたガラスフィルム積層体の一例を示す模式的な断面図である。
【図５】ガラスフィルム積層体の製造装置の一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係るガラスフィルム積層体及びその製造方法について、図面を参照して詳しく説明する。なお、本発明は、その技術的特徴を有すれば種々の変形が可能であり、以下に具体的に示す実施形態に限定されるものではない。
【００２１】
［ガラスフィルム積層体］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、図１に示すように、支持フィルム１と、粘着層２と、粘着層２を介して支持フィルム１に積層されたガラスフィルム３とを備えている。そして、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されていることに特徴がある。
【００２２】
以下、各構成について詳しく説明する。
【００２３】
（支持フィルム）
支持フィルム１は、図１に示すように、ガラスフィルム３を支持するためのフィルムであり、粘着層２を介してガラスフィルム３に貼り合わされている。支持フィルム１としては、可撓性のある樹脂フィルムが用いられる。支持フィルム１を構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を挙げることができる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン等を好ましく挙げることができる。
【００２４】
支持フィルム１は、上記した樹脂材料で形成された単層フィルムであってもよいし、多層化されたフィルムであってもよい。また、発泡性の樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよいし、安定剤、可塑剤、衝撃改良剤、着色剤、強化剤等を加えた樹脂材料で作製された支持フィルム１であってもよい。支持フィルム１の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００２５】
支持フィルム１の厚さは、１μｍ〜２００μｍであることが好ましく、１０μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の支持フィルム１は、ガラスフィルム３を支持できるとともに、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きした際の不具合が生じない。支持フィルム１の厚さが１μｍ未満の場合には、薄すぎてガラスフィルム３を支持する効果を実質的に奏さない。一方、支持フィルム１の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、支持フィルム内の残留応力が大きくなり、支持フィルム１とガラスフィルム３との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００２６】
支持フィルム１は、枚葉態様の支持フィルムであってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様の支持フィルムが好ましく用いられる。本発明では、後述するように、支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも小さいので、枚葉態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、その支持フィルム１の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部が、ガラスフィルム３の端部よりも内方に配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様の支持フィルム１とガラスフィルム３を用いた場合には、図３に示すように、その支持フィルム１の幅方向Ｘの両辺の端部１ａ，１ｂが、ガラスフィルム３の両辺の端部３ａ，３ｂよりも内方に配置されることになる。
【００２７】
こうした支持フィルム１は、一般的に知られている製造方法によりフィルム化することができ、押出法、カレンダー法、溶液・エマルジョンキャスト法等での製造が可能である。
【００２８】
（粘着層）
粘着層２は、支持フィルム１とガラスフィルム３とを積層させるために、支持フィルム１とガラスフィルム３との間に設けられている。粘着層２は、最終的にガラスフィルム３から剥離できる層に限られず、ガラスフィルム３から剥離せずにガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する層、すなわち接着層も包含する。
【００２９】
粘着層２を構成する材料としては、天然ゴムや合成ゴムに粘着付与剤、軟化剤、老化防止剤等を混合したゴム系粘着剤、アクリル酸エステルと他種官能性単量体とを共重合したアクリル系粘着剤、シリコーンゴムと樹脂からなるシリコーン系粘着剤、ポリエーテルやポリウレタン系粘着剤等を挙げることができる。また、形態としては、溶剤型粘着剤、非水エマルジョン型粘着剤、水系エマルジョン型粘着剤、水溶性型粘着剤、無溶剤型粘着剤、液状硬化型粘着剤等を挙げることができる。なお、粘着層２がガラスフィルム３に永久的又は半永久的に接着する接着層として設けられる場合には、各種の熱可塑性樹脂接着剤や熱硬化性樹脂接着剤を適用してもよい。
【００３０】
粘着層２は、上記した材料で形成された単層構造であってもよいし、多層化された層であってもよい。また、粘着層２には、必要に応じて各種の添加剤を加えた粘着剤で形成された粘着層２であってもよい。粘着層２の着色の有無や透光性（透明、半透明、不透明等）も特に限定されない。
【００３１】
粘着層２の厚さは、０．５μｍ〜１００μｍであることが好ましく、１μｍ〜５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲の粘着層２は、その粘着層２を構成する粘着剤の種類にもよるが、支持フィルム１とガラスフィルム３とをその後のハンドリングやロール巻きの際に問題が生じないように、好ましく貼り合わせることができる。粘着層２の厚さが０．５μｍ未満の場合には、支持フィルム１とガラスフィルム３との間の貼り合わせが不十分となることがある。一方、粘着層２の厚さが１００μｍを超えると、粘着層２が層間剥離したり、貼り合わせの際に粘着層２がガラスフィルム３からはみ出し、ロールに接触したりすることがある。
【００３２】
粘着層２の形成には、上記の材料を溶剤に溶解して粘着層用塗工液とし、この塗工液を支持フィルム１上に直接塗工する方法、又は、この塗工液を剥離性シートに一旦塗工した後に支持フィルム１上に転写する方法（転写方式）を用いることができる。後者の転写方式は、支持フィルム１に耐溶剤性がない場合や、支持フィルム１に溶剤乾燥時の熱に対する耐熱性がない場合等に好ましく用いられる。
【００３３】
塗工方法としては、例えば、ダイコート法、コンマコート法、ナイフコート法、グラビアコート法、ロールコート法等を用いることができる。
【００３４】
なお、粘着層２は、支持フィルム１の外寸を超えない。すなわち、粘着層２は、支持フィルム１の平面視形状と同じ形状で設けられている。したがって、支持フィルム１を超えない大きさで支持フィルム１の一方の面に設けられており、通常は同じ大きさで支持フィルム１の全面に設けられている。なお、本発明の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を妨げないのであれば、支持フィルム１よりも若干小さい大きさで設けられていてもよく、例えば１ｍｍだけ小さい寸法で設けられていてもよい。
【００３５】
（ガラスフィルム）
ガラスフィルム３は、粘着層２を介して支持フィルム１に積層される薄ガラスである。ガラスフィルム３を構成するガラス材質としては、ソーダライムガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリホウ珪酸ガラス等、ほぼいかなるガラス組成のものも適用できる。ガラスフィルム３にアルカリ成分が含有されていると、表面で陽イオンの置換が発生し、いわゆるソーダ吹き現象が生じ、構造的に粗となることがある。なお、無アルカリホウ珪酸ガラスとは、アルカリ成分が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が１０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。また、強化ガラス、表面処理ガラス等の二次加工を施したガラスフィルム３も、得られるガラスフィルム積層体１０の用途に応じて可能である。
【００３６】
ガラスフィルム３は、原理的にはガラス溶融体の固化する温度より上の温度にてガラス溶融体を引き延ばして作ることができる。ガラス組成、ガラス溶融体の厚さ、温度、引き取り速度によりガラスフィルム３の厚さを制御することができる。
【００３７】
ガラスフィルム３の厚さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、３０μｍ〜１５０μｍであることがより好ましい。この厚さ範囲のガラスフィルム３は、ハンドリング、ロール巻き等に効果的である。ガラスフィルム３の厚さが１０μｍ未満の場合には、そのガラスフィルム３自体のハンドリングが極めて難しくなると共に、僅かな衝撃で破損しやすくなり、長尺のガラスフィルム３の幅方向Ｘに断線が走ることがある。一方、ガラスフィルム３の厚さが２００μｍを超えると、得られたガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、ガラスフィルム３内の残留応力が大きくなり、ガラスフィルム３と支持フィルム１との間で剥離が起こったり、ガラスフィルム３が破壊したりすることがある。
【００３８】
ガラスフィルム３は、枚葉態様のガラスフィルム３であってもよいが、ロール巻き可能な長尺態様のガラスフィルム３が好ましく用いられる。本発明では、後述するように、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きいので、枚葉態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１及び図２に示すように、そのガラスフィルム３の各辺、例えば四辺形の場合には４辺の端部３ａ，３ｂが、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されることになる。一方、ロール巻きされた長尺態様のガラスフィルム３と支持フィルム１を用いた場合には、図１〜図３に示すように、そのガラスフィルム３の幅方向Ｘの両辺の端部３ａ，３ｂが、支持フィルム１の両辺の端部１ａ，１ｂよりもはみ出すように配置されることになる。
【００３９】
ガラスフィルム３の幅Ａは、支持フィルム１の幅Ｂよりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きいことが好ましい。この幅の差（Ａ−Ｂ）は、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂで分配幅として分配される。粘着層２を介したガラスフィルム３と支持フィルム１との積層は、通常、粘着層２が設けられた支持フィルム１と、ガラスフィルム３とを貼り合わせて行うが、貼り合わせ時の制御により、幅方向Ｘの位置ずれを少なくして、分配幅をほぼ左右対称にすることができる。幅の差（Ａ−Ｂ）が例えば２０ｍｍの場合、ガラスフィルム３の一方の端部３ａから支持フィルム１の端部１ａまでの距離ａを１０ｍｍとし、ガラスフィルム３の他方の端部３ｂから支持フィルム１の端部１ｂまでの距離ｂを１０ｍｍとし、ほぼ分配幅を同じ値にすることができる。また、幅の差（Ａ−Ｂ）が例えば１ｍｍの場合も同様、ガラスフィルム３の一方の端部３ａから支持フィルム１の端部１ａまでの距離ａを０．５ｍｍとし、ガラスフィルム３の他方の端部３ｂから支持フィルム１の端部１ｂまでの距離ｂを０．５ｍｍとすることができる。
【００４０】
一方、貼り合わせ時の制御によっては、分配幅は、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍとなる。このことは、図１〜図３に示すように、ガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂには最低０ｍｍ超、最大約２０ｍｍの距離ａ，ｂだけ支持フィルム１が存在していない領域があることを意味する。本発明では、ガラスフィルム３の各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最大２０ｍｍ以内であれば、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片は小さく、周囲に散乱して不具合を起こし難いという効果を奏することを確認した。
【００４１】
特に、ガラスフィルム３の幅Ａと支持フィルム１の幅Ｂとの差（Ａ−Ｂ）が１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲であることが好ましい。これにより、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂが最低０ｍｍ超、最大約１０ｍｍとなるので、上記した作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するとともに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さく、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さい。
【００４２】
距離ａ，ｂの最小距離ａｍｉｎ，ｂｍｉｎは、０ｍｍを超える長さであり、好ましくは０．２ｍｍ、特に好ましくは０．５ｍｍである。ここで、０ｍｍを超える長さとしたのは、０ｍｍの場合は、ガラスフィルム３の端部位置と支持フィルム１の端部位置とが一致し、端部を検出して搬送直進性を制御する際に、ガラスフィルム３の端部を測定しているのか支持フィルム１の端部を測定しているのかが明確に特定できず、結果として位置検出に誤差が生じるおそれがあるためである。好ましい長さを０．２ｍｍとしたのは、０．２ｍｍであれば、必ずガラスフィルム３の端部を検出することになり、位置検出に誤差が生じるおそれがなく、特に０．５ｍｍであればその効果が安定的に確保できる。
【００４３】
一方、距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘは、上記のように、２０ｍｍが好ましく、１０ｍｍがより好ましい。後述の実施例の結果からも理解できるように、実用レベルでは、最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘは２０ｍｍであればよいが、１０ｍｍの場合には、上記したように、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂに衝撃が加わって仮に割れることがあったとしても、その割れ片はより小さくなり、周囲に散乱して不具合を起こす程度がより小さいものとなる。
【００４４】
なお、ガラスフィルム３の幅Ａ、支持フィルム１の幅Ｂ、ガラスフィルム３の幅方向Ｘの各端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の各端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂは、種々の方法で測定できる。本発明及び後述する各実施例では、測定対象であるガラスフィルム３、支持フィルム１及びガラスフィルム積層体１０を平面視した際の拡大画像と、基準スケールの拡大画像とを比較して測定した。
【００４５】
以上説明したように、本発明に係るガラスフィルム積層体１０によれば、ガラスフィルム３の幅Ａが支持フィルム１の幅Ｂよりも大きく、且つそのガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されているので、支持フィルム１がガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも内方に配置され、支持フィルム１に設けられている粘着層２が露出しない。その結果、ガラスフィルム積層体１０をロール巻きする際に、重なり合ったガラスフィルム積層体同士が露出した粘着層２によって貼り付くことがない。さらに、ガラスフィルム積層体１０の搬送時にはガラスフィルム積層体１０の幅方向Ｘの両端部を検出するが、その両端部はガラスフィルム３の両端部３ａ，３ｂであるので、例えば露光マスク等がガラスフィルム３に対して斜めに配置されることがなく、パターン形成等の加工不具合を防ぐことができ、加工時の位置精度を向上させることができる。
【００４６】
（その他の構成）
ガラスフィルム３上には、図４に示すように、膜４を設けてもよい。膜４は特に限定されないが、例えば、透明電極膜、金属膜、半導体膜、レジスト膜、有機化合物膜、無機化合物膜等から選ばれるいずれか１種又は２種以上の膜を挙げることができる。特にこうした膜４が、その用途に応じてパターニングされていることが好ましい。
【００４７】
パターニング方法は、従来公知の各種の方法を適用でき、特に限定されない。例えば、レジストを用いたフォトリソグラフィを適用してパターニングしてもよいし、ドライエッチングやウエットエッチングでパターニングしてもよい。
【００４８】
ガラスフィルム３上にパターニングされた膜４を設けてなるガラスフィルム積層体１０の例としては、例えば、有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等を挙げることができる。有機ＥＬディスプレイ用素子基板では、ガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、パターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。液晶ディスプレイ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、パターニングされた配向膜を設けることができる。カラーフィルタ用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜や、着色層区画用隔壁、及び着色層等を設けることができる。また、太陽電池用素子基板では、同様のパターニングされたＩＴＯ等の透明電極膜等を設けることができる。また、これらの各素子基板に各種の機能膜パターンを形成するために、ガラスフィルム３上にレジスト膜を成膜し、そのレジスト膜を例えばフォトリソグラフィでパターニングしてなる膜４であってもよい。
【００４９】
本発明に係るガラスフィルム積層体１０は、上記のように、ロール巻き時等の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上という効果を奏するので、そうした効果を奏するガラスフィルム積層体１０にパターニングされた膜４が設けられることによって、そのガラスフィルム積層体１０を例えば有機ＥＬディスプレイ用素子基板、液晶ディスプレイ用素子基板、カラーフィルタ用素子基板、太陽電池用素子基板等として用いて有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ、カラーフィルタ、太陽電池等を製造した場合に、工程不具合を少なくすることができ、且つ多種のパターンを位置精度よく形成できるという効果を奏する。
【００５０】
［ガラスフィルム積層体の製造方法］
本発明に係るガラスフィルム積層体１０の製造方法は、粘着層２が設けられた支持フィルム１を準備する工程と、支持フィルム１の幅Ｂよりも大きいガラスフィルム３を準備する工程と、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせる工程と、を有する。この製造方法は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０を製造するための一態様である。なお、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０は他の方法で製造したものであってもよい。
【００５１】
図５は、この製造方法を実施することができるガラスフィルム積層体１０の製造装置２０の一例を示す模式図である。図５に示すように、ロール巻き状の支持フィルムロール２３は支持フィルム供給部２２に装着され、ロール巻き状のガラスフィルムロール２５はガラスフィルム供給部２４に装着されている。支持フィルムロール２３は、粘着層２が片面に設けられた支持フィルム１がカバーシートを介してロール巻きされており、そのカバーシートを剥離しながら支持フィルムロール２３から繰り出された支持フィルム１と、ガラスフィルムロール２５から繰り出されたガラスフィルム３とが貼り合わせ部２６で貼り合わされる。なお、支持フィルム１とガラスフィルム３とは、必要に応じて配置されたガイドローラ２８で貼り合わせ部２６まで案内される。
【００５２】
貼り合わせ部２６では、ニップローラ３０によって、支持フィルム１とガラスフィルム３とを粘着層２を介して貼り合わせる。貼り合わせた後のガラスフィルム積層体１０は、搬送路３２を通って巻取部３４に送られ、ロール巻き状のガラスフィルム積層体ロール３６となる。
【００５３】
この製造方法で製造されたガラスフィルム積層体１０は、上記した本発明に係るガラスフィルム積層体１０と同様の作用効果（ロール巻き時の貼り付き防止及び加工時の位置精度向上）を奏するものとなる。特に、貼り合わせ工程後に、得られたガラスフィルム積層体１０をフォトリソグラフィ工程等に搬送する際には、ガラスフィルム積層体１０の幅方向の両端部を検出して搬送するので、ガラスフィルム３が支持フィルム１の両側端部１ａ，１ｂからはみ出すように粘着層２を介してガラスフィルム３と支持フィルム１とを貼り合わせれば、得られたガラスフィルム積層体１０の搬送直進性を確保でき、フォトリソグラフィ工程でのパターニング時の不具合が生じないという効果がある。
【実施例】
【００５４】
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。なお、本発明は以下の結果で得られた内容のみには限定されない。以下の実施例では、ガラスフィルム積層体１０を製造し、さらにフォトリソグラフィ工程に供してガラスフィルム積層体１０上に設けた膜４をパターニングした場合に、その一連の工程で、パターンの位置精度、ロールへの貼り付き、割れ、割れ片起因の装置不具合について評価した。
【００５５】
［実施例１］
支持フィルム１として、厚さ３９μｍ、幅２５０ｍｍ、長さ１０ｍの粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）が３インチのコアに巻かれた支持フィルムロール２３を準備した。この支持フィルム１に設けられた粘着層２上には、カバーシートが剥離自在に貼り付けられている。ガラスフィルム３として、厚さ７０μｍ、幅３００ｍｍ、長さ１０ｍの薄板ガラス（日本電気硝子株式会社製、ＯＡ−１０Ｇ）が６インチのコアに巻かれたガラスフィルムロール２５を準備した。
【００５６】
続いて、図５に示したラミネート装置を用い、支持フィルム供給部２２に支持フィルムロール２３を設置し、ガラスフィルム供給部２４にガラスフィルムロール２５を設置した。続いて、ガラスフィルムロール２５から繰り出したガラスフィルム３と、支持フィルムロール２３から繰り出した支持フィルム１とを、各々のフィルムの中心合わせを行って貼り合わせ部２６のニップローラ３０でラミネートした。その後、搬送路３２を搬送させて、直径が６インチのコアに巻き取り、ガラスフィルム積層体ロール３６を作製した。
【００５７】
次に、ガラスフィルム積層体ロール３６を塗工装置（図示しない）の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体１０を繰り出した。続いて、繰り出されたガラスフィルム積層体１０のガラスフィルム３上に、マイクログラビア印刷によってフォトレジストを塗布し、その後に巻き取った。続いて、フォトレジストを形成した後のガラスフィルム積層体ロールを露光装置の巻出部にセットし、ガラスフィルム積層体ロールを繰り出した。なお、露光装置への繰り出しはガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂを超音波センサで検出し、ガラスフィルム積層体１０の端部３ａ，３ｂが一定の位置となるようにして露光ステージに搬送し、５回の露光動作を実施した。続いて、現像装置を用いて現像を行い、５箇所にパターンが形成されたパターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００５８】
［実施例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２６０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００５９】
［実施例３］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２７０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６０】
［実施例４］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２８０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６１】
［実施例５］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９０ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６２】
［実施例６］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９５ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６３】
［実施例７］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９８ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６４】
［実施例８］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を２９９ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６５】
［比較例１］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３００ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６６】
［比較例２］
実施例１において、粘着層付きＰＥＴフィルム（日東電工株式会社製、ＲＰ２０７）の幅を３０５ｍｍとした以外は実施例１と同様にして、パターン付ガラスフィルム積層体を得た。
【００６７】
［測定と結果］
実施例１〜８及び比較例１，２により得られたパターン付ガラスフィルム積層体について、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂの位置関係を測定し、その結果を表１示した。ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとの位置関係とは、図３に示すように、Ｙ方向に延びる長さ１０ｍのガラスフィルム積層体１０において、その幅方向Ｘの一方の側のガラスフィルム３の端部３ａと支持フィルム１の端部１ａとの距離ａの最大値ａｍａｘ及び最小値ａｍｉｎ、及び、幅方向Ｘの他方の側のガラスフィルム３の端部３ｂと支持フィルム１の端部１ｂとの距離ｂの最大値ｂｍａｘ及び最小値ｂｍｉｎ、を示している。プラスの数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂの内方に存在する場合であり、マイナスの数値は、支持フィルム１の端部１ａ，１ｂがガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂよりも外側にはみ出た場合である。
【００６８】
表１中の搬送テストの評価項目である「パターンの位置精度」、「ロールへの貼り付き」、「割れ」及び「割れ片起因の装置不具合」は、作製したガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程を経た後に評価したものである。ここで、パターン位置精度とは、５つのパターン各々のガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂからの距離ａ，ｂの均一性を示す。その結果を表１に示した。表１での評価結果は５段階の相対評価で行い、「１」を最も良好であったものとし、「３」以下の数字（３，２，１）であればガラスフィルム積層体１０を用いてフォトリソグラフィ工程に供する上で大きな歩留まりの低下が生じないと判断できるレベルとした。
【００６９】
【表１】
【００７０】
表１の結果から分かるように、支持フィルム１の幅Ｂがガラスフィルム３の幅Ａよりも小さく、且つ、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂが支持フィルム１の端部１ａ，１ｂからはみ出すように配置されている場合（実施例１〜８）には、ガラスフィルム積層体１０の搬送時でのロールへの貼り付きが起こらず、パターニング工程でのパターン位置精度の低下といった不具合も生じなかった。
【００７１】
さらに、ガラスフィルム３の端部３ａ，３ｂと支持フィルム１の端部１ａ，１ｂとの距離ａ，ｂの最小距離ａｍｉｎ，ｂｍｉｎを、０ｍｍを超える長さとした例（実施例１〜８）では、必ずガラスフィルム３の端部を検出でき、位置検出の精度を安定的に確保できた。一方、距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘが２０ｍｍ以下の場合（実施例３〜８）には、割れが生じたとしてもそれが装置のトラブルとなるリスクを小さくできることが分かった。なお、特に距離ａ，ｂの最大距離ａｍａｘ，ｂｍａｘが１０ｍｍ以下の場合（実施例５〜８）には、割れの問題自体を低減でき、仮に割れが生じたとしてもそれが装置のトラブルとなるリスクをより小さくできることが分かった。
【００７２】
前記した割れの問題や割れに起因した不具合に対しては、ガラスフィルム３の幅Ａと支持フィルム１の幅Ｂとの差（Ａ−Ｂ）を２０ｍｍ以下とすることがよく（実施例４〜８）、特にその差（Ａ−Ｂ）を１０ｍｍ以下とすることがよい（実施例５〜８）ことが分かった。
【符号の説明】
【００７３】
１ 支持フィルム
１ａ，１ｂ 支持フィルムの端部
２ 粘着層
３ ガラスフィルム
３ａ，３ｂ ガラスフィルムの端部
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ ガラスフィルム積層体
２０ ガラスフィルム積層体の製造装置
２２ 支持フィルム供給部
２３ 支持フィルムロール
２４ ガラスフィルム供給部
２５ ガラスフィルムロール
２６ 貼り合わせ部
２８ ガイドローラ
３０ ニップローラ
３２ 搬送路
３４ 巻取部
３６ ガラスフィルム積層体ロール
【００７４】
Ａ ガラスフィルムの幅
Ｂ 支持フィルムの幅
ａ ガラスフィルムの一方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ａｍｉｎ ａの最小距離
ａｍａｘ ａの最大距離
ｂ ガラスフィルムの他方の端部から支持フィルムの端部までの距離
ｂｍｉｎ ｂの最小距離
ｂｍａｘ ｂの最大距離
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルムと、粘着層と、該粘着層を介して前記支持フィルムに積層されたガラスフィルムとを備え、前記ガラスフィルムの幅が前記支持フィルムの幅よりも大きく、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されていることを特徴とするガラスフィルム積層体。
【請求項２】
前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きい、請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項３】
前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きい、請求項１又は２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項４】
前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項５】
粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、
前記支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムを準備する工程と、
前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【請求項１】
支持フィルムと、粘着層と、該粘着層を介して前記支持フィルムに積層されたガラスフィルムとを備え、前記ガラスフィルムの幅が前記支持フィルムの幅よりも大きく、前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように配置されていることを特徴とするガラスフィルム積層体。
【請求項２】
前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜２０ｍｍ大きい、請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項３】
前記ガラスフィルムの幅が、前記支持フィルムの幅よりも１ｍｍ〜１０ｍｍ大きい、請求項１又は２に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項４】
前記ガラスフィルム上には、パターニングされた膜が少なくとも設けられている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体。
【請求項５】
粘着層が設けられた支持フィルムを準備する工程と、
前記支持フィルムの幅よりも大きいガラスフィルムを準備する工程と、
前記ガラスフィルムが前記支持フィルムの両側端部からはみ出すように前記粘着層を介して前記ガラスフィルムと前記支持フィルムとを貼り合わせる工程と、を有することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−２２９０２（Ｐ２０１３−２２９０２Ａ）
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１６１７８６（Ｐ２０１１−１６１７８６）
【出願日】平成２３年７月２５日（２０１１．７．２５）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月２５日（２０１１．７．２５）
【出願人】（０００００２８９７）大日本印刷株式会社 (14,506)
【Ｆターム（参考）】
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