スルホニウム誘導体および潜在酸としてのその使用
式（Ｉ）［式中、Ａｒ1は、例えば、いずれも非置換であるか、または置換されたフェニレンまたはビフェニレンであり、Ａｒ2およびＡｒ3は、例えば、互いに独立して、いずれも場合によって置換されたフェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールであり、あるいはＡｒ1およびＡｒ2は、例えば、直接結合、Ｏ、Ｓまたは（ＣＯ）と一緒になって、縮合環系を形成し、Ｒは、例えば、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキルまたはＣ1−Ｃ18アルキルであり、Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、互いに独立して、例えばＣ1−Ｃ10ハロアルキルである］の化合物は、効果的な光酸発生剤（ＰＡＧ）である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
式Ｉ
【化１】
［式中、
Ａｒ1は、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化２】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化３】
であり、
フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化４】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化５】
は、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8または−ＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7および／またはＲ8基を介して、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化６】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化７】
上のさらなる置換基と、あるいはフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化８】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化９】
の炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、
すべてのＡｒ1は、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合または−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基によって、場合によってさらに置換されており、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールであり、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7および／またはＲ8基を介して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合された
【化１０】
と一緒になって、
【化１１】
を形成し、
すべてのＡｒ2およびＡｒ3は、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合または−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基によって、場合によってさらに置換されており、
Ｒは、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒは、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4または（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルおよび分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルとしてのＲは、非置換であるか、または１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルまたはＡｒであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ａｒおよび分断されたＣ2−Ｃ10ハロアルキルとしてのＲ1、Ｒ2およびＲ3は、非置換であるか、または１つまたは複数のＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、あるいは
Ｒ1およびＲ2は、それらが結合されている
【化１２】
と一緒になって、１つまたは複数のＯ、ＮＲ7またはＣＯによって、場合によって分断された５、６または７員環を形成し、
Ｒ4は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ4は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ8、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ4は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4または−ＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ5およびＲ6は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1−Ｃ18ジアルキルアミノ、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、あるいは
Ｒ5およびＲ6は、それらが結合されている窒素原子と一緒になって、１つまたは複数のＯ、ＮＲ7またはＣＯによって、場合によって分断された５、６または７員環を形成し、
Ｒ7は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ7は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ7は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、
Ｒ8は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ａｒ、ＮＲ5Ｒ6であり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ａｒ、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルおよび分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルとしてのＲ8は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、および
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールであり、
フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、フェニル、ビフェニリル、ナフチル、ヘテロアリール、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7またはＲ8基を介して、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成する］の化合物。
【請求項２】
Ａｒ1は、いずれも非置換であるか、または１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7
によって置換されたフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレンであり、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレン上のさらなる置換基と、あるいはフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレンの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールであり、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールは、１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって、場合によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニル、ビフェニリル、ナフチルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリル、ナフチルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合されている
【化１３】
と一緒になって、
【化１４】
を形成し、
Ｒは、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ａｒ、ＯＲ4またはＮＲ5Ｒ6であり、Ｃ1−Ｃ18アルキルおよびＣ1−Ｃ10ハロアルキルとしてのＲは、１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって、場合によって置換されており、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｒ4は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ7は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ8は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキルまたはＡｒであり、および
Ａｒは、フェニル、ビフェニリルまたはナフチルであり、フェニル、ビフェニリルまたはナフチルは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって置換されており、場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニル、ビフェニリルまたはナフチル上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリルまたはナフチルの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成する、請求項１に記載の式Ｉの化合物。
【請求項３】
Ａｒ1は、非置換であるか、またはＯＲ4によって置換されたフェニレンまたはヘテロアリーレンであり、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニルまたはビフェニリルであり、
フェニルまたはビフェニリルは、非置換であるか、またはＣ1−Ｃ18アルキルよって置換されており、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合されている
【化１５】
と一緒になって、
【化１６】
を形成し、
Ｒは、Ａｒであり、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルであり、および
Ａｒは、フェニルであり、フェニルは、非置換であるか、またはＯＲ4によって置換されている、請求項１に記載の式Ｉの化合物。
【請求項４】
（ａ）酸の作用により硬化する化合物、または酸の作用によりその溶解度が向上する化合物と、
（ｂ）感光性酸供与体としての請求項１に記載の式Ｉの少なくとも１つの化合物と
を含む化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項５】
ポジティブレジストである、請求項４に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項６】
（ａ１）が酸の存在下で分解して、アルカリ現像剤水溶液への溶解度を向上させる酸不安定基を有するポリマーであり、
（ａ２）が酸の存在下で分解して、アルカリ現像剤水溶液への溶解度を向上させる酸不安定基を有するモノマーまたはオリゴマー分解阻害剤であり、
（ａ３）がアルカリ可溶性モノマー、オリゴマーまたはポリマー化合物である（ａ１）、（ａ２）および（ａ３）からなる群から選択される成分（ａ）としての少なくとも１つの成分と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む、請求項５に記載の化学増幅ポジティブフォトレジスト組成物
【請求項７】
ネガティブレジストである、請求項４に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項８】
（ａ４）が結合剤としてのアルカリ可溶性樹脂であり、
（ａ６）が結合剤としての溶媒現像可能樹脂であり、
（ａ５）が、それ自体および／または他の成分との陽イオン重合性もしくは酸触媒重合性または架橋性を有する成分である（ａ４）、（ａ５）および（ａ６）からなる群から選択される成分（ａ）としての少なくとも１つの成分と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む、請求項７に記載の化学増幅ネガティブフォトレジスト組成物。
【請求項９】
成分（ａ）および（ｂ）または成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）および（ｂ）または成分（ａ４）、（ａ５）、（ａ６）および（ｂ）に加えて、さらなる添加剤（ｃ）、さらなる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）および／または増感剤（ｅ）を含む、請求項４〜８のいずれか一項に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項１０】
（１）請求項４に記載の組成物を基板に塗布し、
（２）該組成物を６０℃から１６０℃の温度で塗布後ベークし、
（３）１０ｎｍから１５００ｎｍの波長の光で画像様照射し、
（４）該組成物を６０℃から１６０℃の温度で場合によって露光後ベークし、かつ
（５）溶媒または水性アルカリ現像剤を用いて現像することによってフォトレジストを製造するための方法。
【請求項１１】
（ａ）酸の作用により硬化する化合物、またはその溶解度が酸の作用により向上する化合物と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む組成物。
【請求項１２】
酸の作用により架橋することができる組成物における感光性酸供与体として、かつ／または溶解度が酸の作用により向上する組成物における溶解エンハンサとしての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１３】
酸の作用により架橋することができる化合物を架橋する方法であって、請求項１に記載の式Ｉの化合物を上記組成物に添加し、１０〜１５００ｎｍの波長を有する光を画像様に、または領域全体に対して照射することを含む方法。
【請求項１４】
着色および無着色表面塗料、接着剤、積層接着剤、構造接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷基板、レリーフ印刷基板、平版印刷基板、凹版印刷基板、無処理印刷基板、スクリーン印刷ステンシル、歯科用組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイおよび液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、導波管、光スイッチ、色校正システム、レジスト、電子部品用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液体および乾燥膜の両方に対するエッチングレジスト、はんだレジスト、ＵＶおよび可視レーザ直接撮像システムのためのフォトレジスト材料、プリント開路基板の順次堆積層における誘電体層を形成するためのフォトレジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録、光情報の記憶もしくはホログラフィックデータの記憶のための画像記録材料、脱色材料、画像記録材料のための脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、微小機械部品、メッキマスク、エッチングマスク、ガラス繊維ケーブル塗料、微小電子回路の製造における感光性酸供与体としての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１５】
着色および無着色表面塗料、接着剤、積層接着剤、構造接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷基板、レリーフ印刷基板、平版印刷基板、凹版印刷基板、無処理印刷基板、スクリーン印刷ステンシル、歯科用組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイおよび液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、導波管、光スイッチ、色校正システム、レジスト、電子部品用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液体および乾燥膜の両方に対するエッチングレジスト、はんだレジスト、ＵＶおよび可視レーザ直接撮像システムのためのフォトレジスト材料、プリント開路基板の順次堆積層における誘電体層を形成するためのフォトレジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録、光情報の記憶もしくはホログラフィックデータの記憶のための画像記録材料、脱色材料、画像記録材料のための脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、微小機械部品、メッキマスク、エッチングマスク、ガラス繊維ケーブル塗料、微小電子回路を製造するための、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
いずれも感光性樹脂ならびに顔料および／または染料を含む赤色、緑色および青色画素ならびに黒色マトリックスを透明基板上に設け、基板の表面またはカラーフィルタ層の表面に透明電極を設けることによって製造されるカラーフィルタであって、前記感光性樹脂が請求項１に記載の式Ｉの化合物を感光性酸供与体として含むカラーフィルタ。
【請求項１７】
カラーフィルタまたは化学増幅レジストの製造における感光性酸供与体としての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１８】
カラーフィルタまたは化学増幅レジストを製造するための、請求項１３に記載の方法。
【請求項１】
式Ｉ
【化１】
［式中、
Ａｒ1は、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化２】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化３】
であり、
フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化４】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化５】
は、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8または−ＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7および／またはＲ8基を介して、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化６】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化７】
上のさらなる置換基と、あるいはフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化８】
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレンまたは
【化９】
の炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、
すべてのＡｒ1は、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合または−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基によって、場合によってさらに置換されており、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールであり、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7および／またはＲ8基を介して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合された
【化１０】
と一緒になって、
【化１１】
を形成し、
すべてのＡｒ2およびＡｒ3は、酸の作用により開裂する−Ｏ−Ｃ−結合または−Ｏ−Ｓｉ−結合を有する基によって、場合によってさらに置換されており、
Ｒは、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒは、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4または（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルおよび分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルとしてのＲは、非置換であるか、または１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルまたはＡｒであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ａｒおよび分断されたＣ2−Ｃ10ハロアルキルとしてのＲ1、Ｒ2およびＲ3は、非置換であるか、または１つまたは複数のＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、あるいは
Ｒ1およびＲ2は、それらが結合されている
【化１２】
と一緒になって、１つまたは複数のＯ、ＮＲ7またはＣＯによって、場合によって分断された５、６または７員環を形成し、
Ｒ4は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ4は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ8、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ4は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
互いに独立して、１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4または−ＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ5およびＲ6は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1−Ｃ18ジアルキルアミノ、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、あるいは
Ｒ5およびＲ6は、それらが結合されている窒素原子と一緒になって、１つまたは複数のＯ、ＮＲ7またはＣＯによって、場合によって分断された５、６または７員環を形成し、
Ｒ7は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、Ｏ（ＣＯ）または（ＣＯ）Ｏによって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、あるいは
Ｒ7は、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキル、分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルおよびＡｒとしてのＲ7は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、
Ｒ8は、水素、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ａｒ、ＮＲ5Ｒ6であり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、ＣＯ、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルであり、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルであり、
Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ａｒ、分断されたＣ2−Ｃ18アルキル、分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルおよび分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルとしてのＲ8は、非置換であるか、または１つまたは複数のＡｒ、ＯＨ、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキル、Ｃ3−Ｃ30シクロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ｃ1−Ｃ18アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、ＮＲ5Ｒ6、Ｃ1−Ｃ12アルキルチオ、Ｃ2−Ｃ18アルコキシカルボニル、Ｃ2−Ｃ10ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1−Ｃ18アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2−Ｃ18アルカノイル、Ｃ2−Ｃ18アルカノイルオキシ、ベンゾイルまたはベンゾイルオキシによって置換されており、および
Ａｒは、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールであり、
フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ3−Ｃ30シクロアルキル、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｃ4−Ｃ30シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1−Ｃ3−アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ2−Ｃ18アルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ3−Ｃ30シクロアルキルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のＯ、Ｓ、ＮＲ7、Ｏ（ＣＯ）、（ＣＯ）Ｏ、（ＣＯ）ＮＲ7またはＮＲ7（ＣＯ）によって分断されたＣ4−Ｃ30シクロアルケニルによって置換されており、あるいは
１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、フェニル、ビフェニリル、ナフチル、ヘテロアリール、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8によって置換されており、場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、（ＣＯ）Ｒ8、（ＣＯ）ＯＲ4、（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、Ｏ（ＣＯ）Ｒ8、Ｏ（ＣＯ）ＯＲ4、Ｏ（ＣＯ）ＮＲ5Ｒ6、ＮＲ7（ＣＯ）Ｒ8、ＮＲ7（ＣＯ）ＯＲ4、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6、ＳＲ7、ＳＯＲ8、ＳＯ2Ｒ8またはＯＳＯ2Ｒ8は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ2−Ｃ12アルケニル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7またはＲ8基を介して、フェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成する］の化合物。
【請求項２】
Ａｒ1は、いずれも非置換であるか、または１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7
によって置換されたフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレンであり、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレン上のさらなる置換基と、あるいはフェニレン、ビフェニレン、ナフチレンまたはヘテロアリーレンの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールであり、フェニル、ナフチル、ビフェニリルまたはヘテロアリールは、１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって、場合によって置換されており、
場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニル、ビフェニリル、ナフチルまたはヘテロアリール上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリル、ナフチルまたはヘテロアリールの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、直接結合、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ2およびＡｒ3は、Ｃ1−Ｃ2アルキレン、Ｏ、Ｓ、ＮＲ7または（ＣＯ）と一緒になって５、６または７員環を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合されている
【化１３】
と一緒になって、
【化１４】
を形成し、
Ｒは、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキル、Ａｒ、ＯＲ4またはＮＲ5Ｒ6であり、Ｃ1−Ｃ18アルキルおよびＣ1−Ｃ10ハロアルキルとしてのＲは、１つまたは複数のハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、Ａｒ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって、場合によって置換されており、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、互いに独立して、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｒ4は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ5およびＲ6は、互いに独立して、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ7は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ａｒ、（ＣＯ）Ｒ8またはＳＯ2Ｒ8であり、
Ｒ8は、水素、Ｃ1−Ｃ18アルキルまたはＡｒであり、および
Ａｒは、フェニル、ビフェニリルまたはナフチルであり、フェニル、ビフェニリルまたはナフチルは、非置換であるか、または１つまたは複数のＣ1−Ｃ18アルキル、ハロゲン、ＮＯ2、ＣＮ、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7によって置換されており、場合によって、置換基Ｃ1−Ｃ18アルキル、ＯＲ4、ＮＲ5Ｒ6またはＳＲ7は、Ｃ1−Ｃ18アルキル、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6またはＲ7基を介して、フェニル、ビフェニリルまたはナフチル上のさらなる置換基と、あるいはフェニル、ビフェニリルまたはナフチルの炭素原子の１つと、５、６または７員環を形成する、請求項１に記載の式Ｉの化合物。
【請求項３】
Ａｒ1は、非置換であるか、またはＯＲ4によって置換されたフェニレンまたはヘテロアリーレンであり、
Ａｒ2およびＡｒ3は、互いに独立して、フェニルまたはビフェニリルであり、
フェニルまたはビフェニリルは、非置換であるか、またはＣ1−Ｃ18アルキルよって置換されており、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、直接結合と一緒になって縮合環系を形成し、あるいは
Ａｒ1およびＡｒ2は、Ａｒ1に結合されている
【化１５】
と一緒になって、
【化１６】
を形成し、
Ｒは、Ａｒであり、
Ｒ1、Ｒ2およびＲ3は、Ｃ1−Ｃ10ハロアルキルであり、
Ｒ4は、Ｃ1−Ｃ18アルキルであり、および
Ａｒは、フェニルであり、フェニルは、非置換であるか、またはＯＲ4によって置換されている、請求項１に記載の式Ｉの化合物。
【請求項４】
（ａ）酸の作用により硬化する化合物、または酸の作用によりその溶解度が向上する化合物と、
（ｂ）感光性酸供与体としての請求項１に記載の式Ｉの少なくとも１つの化合物と
を含む化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項５】
ポジティブレジストである、請求項４に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項６】
（ａ１）が酸の存在下で分解して、アルカリ現像剤水溶液への溶解度を向上させる酸不安定基を有するポリマーであり、
（ａ２）が酸の存在下で分解して、アルカリ現像剤水溶液への溶解度を向上させる酸不安定基を有するモノマーまたはオリゴマー分解阻害剤であり、
（ａ３）がアルカリ可溶性モノマー、オリゴマーまたはポリマー化合物である（ａ１）、（ａ２）および（ａ３）からなる群から選択される成分（ａ）としての少なくとも１つの成分と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む、請求項５に記載の化学増幅ポジティブフォトレジスト組成物
【請求項７】
ネガティブレジストである、請求項４に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項８】
（ａ４）が結合剤としてのアルカリ可溶性樹脂であり、
（ａ６）が結合剤としての溶媒現像可能樹脂であり、
（ａ５）が、それ自体および／または他の成分との陽イオン重合性もしくは酸触媒重合性または架橋性を有する成分である（ａ４）、（ａ５）および（ａ６）からなる群から選択される成分（ａ）としての少なくとも１つの成分と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む、請求項７に記載の化学増幅ネガティブフォトレジスト組成物。
【請求項９】
成分（ａ）および（ｂ）または成分（ａ１）、（ａ２）、（ａ３）および（ｂ）または成分（ａ４）、（ａ５）、（ａ６）および（ｂ）に加えて、さらなる添加剤（ｃ）、さらなる感光性酸供与体化合物（ｂ１）、他の光開始剤（ｄ）および／または増感剤（ｅ）を含む、請求項４〜８のいずれか一項に記載の化学増幅フォトレジスト組成物。
【請求項１０】
（１）請求項４に記載の組成物を基板に塗布し、
（２）該組成物を６０℃から１６０℃の温度で塗布後ベークし、
（３）１０ｎｍから１５００ｎｍの波長の光で画像様照射し、
（４）該組成物を６０℃から１６０℃の温度で場合によって露光後ベークし、かつ
（５）溶媒または水性アルカリ現像剤を用いて現像することによってフォトレジストを製造するための方法。
【請求項１１】
（ａ）酸の作用により硬化する化合物、またはその溶解度が酸の作用により向上する化合物と、
（ｂ）感光性酸供与体としての、請求項１に記載の少なくとも１つの式Ｉの化合物と
を含む組成物。
【請求項１２】
酸の作用により架橋することができる組成物における感光性酸供与体として、かつ／または溶解度が酸の作用により向上する組成物における溶解エンハンサとしての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１３】
酸の作用により架橋することができる化合物を架橋する方法であって、請求項１に記載の式Ｉの化合物を上記組成物に添加し、１０〜１５００ｎｍの波長を有する光を画像様に、または領域全体に対して照射することを含む方法。
【請求項１４】
着色および無着色表面塗料、接着剤、積層接着剤、構造接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷基板、レリーフ印刷基板、平版印刷基板、凹版印刷基板、無処理印刷基板、スクリーン印刷ステンシル、歯科用組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイおよび液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、導波管、光スイッチ、色校正システム、レジスト、電子部品用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液体および乾燥膜の両方に対するエッチングレジスト、はんだレジスト、ＵＶおよび可視レーザ直接撮像システムのためのフォトレジスト材料、プリント開路基板の順次堆積層における誘電体層を形成するためのフォトレジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録、光情報の記憶もしくはホログラフィックデータの記憶のための画像記録材料、脱色材料、画像記録材料のための脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、微小機械部品、メッキマスク、エッチングマスク、ガラス繊維ケーブル塗料、微小電子回路の製造における感光性酸供与体としての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１５】
着色および無着色表面塗料、接着剤、積層接着剤、構造接着剤、感圧接着剤、印刷インク、印刷基板、レリーフ印刷基板、平版印刷基板、凹版印刷基板、無処理印刷基板、スクリーン印刷ステンシル、歯科用組成物、カラーフィルタ、スペーサ、エレクトロルミネセンスディスプレイおよび液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、導波管、光スイッチ、色校正システム、レジスト、電子部品用フォトレジスト、電気メッキレジスト、液体および乾燥膜の両方に対するエッチングレジスト、はんだレジスト、ＵＶおよび可視レーザ直接撮像システムのためのフォトレジスト材料、プリント開路基板の順次堆積層における誘電体層を形成するためのフォトレジスト材料、画像記録材料、ホログラフィック画像の記録、光情報の記憶もしくはホログラフィックデータの記憶のための画像記録材料、脱色材料、画像記録材料のための脱色材料、マイクロカプセルを使用する画像記録材料、磁気記録材料、微小機械部品、メッキマスク、エッチングマスク、ガラス繊維ケーブル塗料、微小電子回路を製造するための、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
いずれも感光性樹脂ならびに顔料および／または染料を含む赤色、緑色および青色画素ならびに黒色マトリックスを透明基板上に設け、基板の表面またはカラーフィルタ層の表面に透明電極を設けることによって製造されるカラーフィルタであって、前記感光性樹脂が請求項１に記載の式Ｉの化合物を感光性酸供与体として含むカラーフィルタ。
【請求項１７】
カラーフィルタまたは化学増幅レジストの製造における感光性酸供与体としての、請求項１に記載の式Ｉの化合物の使用。
【請求項１８】
カラーフィルタまたは化学増幅レジストを製造するための、請求項１３に記載の方法。
【公表番号】特表２０１２−５０５９２６（Ｐ２０１２−５０５９２６Ａ）
【公表日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−５３２５７９（Ｐ２０１１−５３２５７９）
【出願日】平成２１年１０月８日（２００９．１０．８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００９／０６３０９５
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４６２４０
【国際公開日】平成２２年４月２９日（２０１０．４．２９）
【出願人】（５０８０２０１５５）ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア (2,842)
【氏名又は名称原語表記】ＢＡＳＦ ＳＥ
【住所又は居所原語表記】Ｄ−６７０５６ Ｌｕｄｗｉｇｓｈａｆｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成２４年３月８日（２０１２．３．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月８日（２００９．１０．８）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００９／０６３０９５
【国際公開番号】ＷＯ２０１０／０４６２４０
【国際公開日】平成２２年４月２９日（２０１０．４．２９）
【出願人】（５０８０２０１５５）ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピア (2,842)
【氏名又は名称原語表記】ＢＡＳＦ ＳＥ
【住所又は居所原語表記】Ｄ−６７０５６ Ｌｕｄｗｉｇｓｈａｆｅｎ， Ｇｅｒｍａｎｙ
【Ｆターム（参考）】
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