ダイピックアップ方法及びコレット
【目的】 １次元ＣＣＤラインセンサーのように細長く、表面を直接接触できないダイのウエハーシートからのピックアップを安定して行なう。
【構成】 ダイ１の長手方向両端に表面接触エリアを設け、そのエリアをコレット２で接触保持して、ダイ１をウエハーシート３からピックアップする。ダイ１は、細長く強度が弱いため、ピックアップ時大きく変形する。コレット２には、逃げ２ｃが設けてあるため、ダイ表面の受光部とコレットが接触せず、また表面を接触保持しているため、ダイは回転せず、安定してピックアップすることができる。
【構成】 ダイ１の長手方向両端に表面接触エリアを設け、そのエリアをコレット２で接触保持して、ダイ１をウエハーシート３からピックアップする。ダイ１は、細長く強度が弱いため、ピックアップ時大きく変形する。コレット２には、逃げ２ｃが設けてあるため、ダイ表面の受光部とコレットが接触せず、また表面を接触保持しているため、ダイは回転せず、安定してピックアップすることができる。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、１次元ＣＣＤラインセンサーなどの細長いダイを組み立てる組み立て方法に関し、特にダイをウエハーシートからピックアップするダイピックアップ方法及びコレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にダイのピックアップは、ウエハーシート上に貼られたウエハーを個々に分割して得られたダイを、個々に位置決めし、コレットで吸着保持するとともに、ウエハーシート下側より突上げ針にて突上げ、ダイをシートから剥がし移送する。
【０００３】ここで用いるコレットには、大別して２種のコレットがある。１つは、ダイの表面に接触してダイを吸着保持する表面コレットで、もう１つはダイの対向する２辺あるいは４辺に対応して設けたテーパー部でダイのエッジ部に接触してダイを吸着保持する、２面あるいは４面（角錐）コレット（以下テーパーコレットと記す）である。
【０００４】従来、１次元ＣＣＤラインセンサーはダイ表面に受光部が配列されており、メモリーなど他の半導体素子とは異なり、表面にパッシベーション膜が形成されていないため、配線が露出した状態であり、コレットで表面を吸着できないという問題点があり、ピックアップにはテーパーコレットを用いていた。
【０００５】また、ピックアップ時、ダイをコレットのテーパー部で保持するために、コレットのテーパー部がダイとダイの隙間に入る必要があり、ウエハーシートを引き伸ばして、ダイとダイの間隔をダイシング時の２５〜７０μｍ程度から２００〜４００μｍへ拡大する作業も行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】最近、１次元ＣＣＤラインセンサーは製作技術向上，１ウエハー当りの収率向上のため、より長く、より細くなってきた。例えば量産化されているものでは、幅０．６５ｍｍ×長３５ｍｍ×厚０．４ｍｍ、現在製品化検討中のものでは、幅０．８ｍｍ×長８０ｍｍ×厚０．４ｍｍなどである。
【０００７】そのため、ウエハーシートからのダイピックアップ時、テーパーコレットを用いるために、従来のテーパーコレット利用目的の１つであるダイがテーパー部でスベり、ダイの位置が矯正でき、安定してピックアップできるという利点が、逆に、ダイの幅が狭いために、ダイがスベって回転してしまい、安定してピックアップできないという問題点となっていた。
【０００８】また、単に表面コレット接触用のエリアを設け、表面コレットを用いるとしても、短辺側に該エリアを設けると、ダイの幅が広くなり（例えば片側４００μｍのエリアを設けると、幅０．６５ｍｍ→１．４５ｍｍ，幅０．８ｍｍ→１．６ｍｍ）ダイの１ウエハー当りの収率が激減してしまう。そこで、長辺側に該エリアを設けると収率はほぼ同等であるが、ダイが細く、強度が弱いため、ピックアップに際し、ダイが大きく変形し、コレットにダイの受光部が接触しキズを付けてしまうという問題がある。
【０００９】本発明の目的は、１次元ＣＣＤラインセンサーのように細長く、表面を直接接触できないダイのウエハーシートからのピックアップを安定して行うダイピックアップ方法及びコレットを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明に係るダイピックアップ方法は、細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法であって、ダイ表面の長手方向両端に能動領域の形成されている吸着エリアを設け、該エリアのみにコレットを接触させダイを保持してピックアップするものである。
【００１１】また、前記吸着エリアには、目合せパターンや検査用配線など半導体装置組立後不要となる配線を設けるものである。
【００１２】また、本発明に係るコレットは、細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法に用いるコレットであって、コレットは、ダイ両端の吸着エリアを接触保持する部分と、ピックアップ時のダイ変形によりダイ中央部が盛り上がった場合に、中央部のエッジをテーパー面で受けとめるテーパー部とを有するものである。
【００１３】
【作用】ダイ表面の長手方向両端に各４００μｍ以上の吸着エリアを設け、表面コレットで該エリアだけを接触保持し、ダイ変形時にダイのエッジをコレットのテーパー部で受けとめる。
【００１４】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する。
【００１５】（実施例１）図１は、本発明の実施例１におけるダイピックアップ状態を示す断面図である。
【００１６】図１において、ダイ１は長辺方向両端に４００μｍの接触エリアを有し、ウエハーシート３に貼り付けられ個々に分割され、図示しないウエハーシート保持リング及びダイ位置決め機構により、ピックアップ位置に位置決めされている。
【００１７】ダイ１の短辺側の中央を突上げる突上げ針５は、ダイ長辺方向に複数本配置されており、針ホルダー６に保持され、コレット２と同期して動作するようコントロールされている。
【００１８】シート吸着ホルダー４ａ及び４ｂは、突上げ針５及び針ホルダー６を上下動作自在の状態で保持し、真空吸引によりウエハーシート３を吸着保持できるように吸引装置へ接続されている。
【００１９】コレット２は、ダイ１の両端各４００μｍの接触エリアに対応して、接触部２ｂを有し、接触部２ｂ内に設けられた真空吸引穴２ａによりダイ１を吸着保持する。
【００２０】またコレット２はピックアップ時ダイ１が弓形に変形してもコレット２とダイ１が接触しないよう、逃げ２ｃを設けてある。この逃げはダイの強度，変形量より中心で０．４ｍｍ〜０．５ｍｍ程度でよいことがわかっている。
【００２１】次にピックアップ方法を順を追って説明する。ダイ１をピックアップ位置へ位置決めし、シート吸着ホルダー４ａ，４ｂによりウエハーシート３を吸着保持する。
【００２２】その後、コレット２を移動し、ダイ１に接触させ、吸着保持する。
【００２３】コレット２及び突上げ針５すなわち針ホルダー６を同期させて上昇して、ダイ１をウエハーシート３から剥がす。この時、ウエハーシート３は、シート吸着ホルダーにより吸着保持されているため、突上げ針５で突上げを行なった所だけが変形し、点でダイ１を支える形となって、ダイ１がウエハーシート３より剥がしやすくなるという効果がある。
【００２４】ここで、ダイ１の両端の接触エリアには、半導体装置として組立後不要となる回路や配線、例えば、目合せ用のパターンや電気特性測定用の回路など、従来ダイの中に配置されていたものを設ければ、ダイのサイズをほとんど変えずに、接触エリアを設けることができるという利点がある。
【００２５】また、表面コレットを用いるため、ダイの回転がなくなり、安定してピックアップできるほか、ピックアップに際し、ダイとダイの間に２００〜４００μｍのような間隔を設ける必要はなく、シート拡大の作業が省略できるという利点がある。
【００２６】（実施例２）図２は、本発明の実施例２に用いるコレットの断面図である。
【００２７】コレット２′は、接触部２′ｂと真空吸引穴２′ａを有するほか、長手方向中央にはテーパー部２′ｃを有し、ピックアップ時にダイが変形しても、テーパー部２′ｃでダイのエッジを受けとめることができる。
【００２８】この場合、コレット下面に逃げは不要であり、平坦にできるため、ダイ吸着用の真空吸引穴をダイ長手方向に複数設けることができ、コレットのダイ保持力が実施例１に比べて強くできるという利点がある。
【００２９】また、テーパー部２′ｃは、ピックアップ時にダイに接する必要がなく、ダイ表面より上方へ設ければ良いため（０．２ｍｍ程度上方が良い）、表面コレットと同等に用いることができ、実施例１と同様にシート拡大が不要である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ダイ長手方向両端に各４００μｍ以上の接触エリアを設けたため、１次元ＣＣＤラインセンサーのような細長く、表面が直接接触できないダイでも、表面コレットを用いることができ、安定してピックアップできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるダイピックアップ状態を示す断面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施例２に用いるコレットを示す断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ′線断面図である。
【符号の説明】
１ ダイ
２，２′ コレット
２ａ，２′ａ 真空吸引穴
２ｂ，２′ｂ 接触部
２ｃ 逃げ
２′ｃ テーパー部
３ ウエハーシート
４ａ，４ｂ シート吸着ホルダー
５ 突上げ針
６ 針ホルダー
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、１次元ＣＣＤラインセンサーなどの細長いダイを組み立てる組み立て方法に関し、特にダイをウエハーシートからピックアップするダイピックアップ方法及びコレットに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にダイのピックアップは、ウエハーシート上に貼られたウエハーを個々に分割して得られたダイを、個々に位置決めし、コレットで吸着保持するとともに、ウエハーシート下側より突上げ針にて突上げ、ダイをシートから剥がし移送する。
【０００３】ここで用いるコレットには、大別して２種のコレットがある。１つは、ダイの表面に接触してダイを吸着保持する表面コレットで、もう１つはダイの対向する２辺あるいは４辺に対応して設けたテーパー部でダイのエッジ部に接触してダイを吸着保持する、２面あるいは４面（角錐）コレット（以下テーパーコレットと記す）である。
【０００４】従来、１次元ＣＣＤラインセンサーはダイ表面に受光部が配列されており、メモリーなど他の半導体素子とは異なり、表面にパッシベーション膜が形成されていないため、配線が露出した状態であり、コレットで表面を吸着できないという問題点があり、ピックアップにはテーパーコレットを用いていた。
【０００５】また、ピックアップ時、ダイをコレットのテーパー部で保持するために、コレットのテーパー部がダイとダイの隙間に入る必要があり、ウエハーシートを引き伸ばして、ダイとダイの間隔をダイシング時の２５〜７０μｍ程度から２００〜４００μｍへ拡大する作業も行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】最近、１次元ＣＣＤラインセンサーは製作技術向上，１ウエハー当りの収率向上のため、より長く、より細くなってきた。例えば量産化されているものでは、幅０．６５ｍｍ×長３５ｍｍ×厚０．４ｍｍ、現在製品化検討中のものでは、幅０．８ｍｍ×長８０ｍｍ×厚０．４ｍｍなどである。
【０００７】そのため、ウエハーシートからのダイピックアップ時、テーパーコレットを用いるために、従来のテーパーコレット利用目的の１つであるダイがテーパー部でスベり、ダイの位置が矯正でき、安定してピックアップできるという利点が、逆に、ダイの幅が狭いために、ダイがスベって回転してしまい、安定してピックアップできないという問題点となっていた。
【０００８】また、単に表面コレット接触用のエリアを設け、表面コレットを用いるとしても、短辺側に該エリアを設けると、ダイの幅が広くなり（例えば片側４００μｍのエリアを設けると、幅０．６５ｍｍ→１．４５ｍｍ，幅０．８ｍｍ→１．６ｍｍ）ダイの１ウエハー当りの収率が激減してしまう。そこで、長辺側に該エリアを設けると収率はほぼ同等であるが、ダイが細く、強度が弱いため、ピックアップに際し、ダイが大きく変形し、コレットにダイの受光部が接触しキズを付けてしまうという問題がある。
【０００９】本発明の目的は、１次元ＣＣＤラインセンサーのように細長く、表面を直接接触できないダイのウエハーシートからのピックアップを安定して行うダイピックアップ方法及びコレットを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため、本発明に係るダイピックアップ方法は、細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法であって、ダイ表面の長手方向両端に能動領域の形成されている吸着エリアを設け、該エリアのみにコレットを接触させダイを保持してピックアップするものである。
【００１１】また、前記吸着エリアには、目合せパターンや検査用配線など半導体装置組立後不要となる配線を設けるものである。
【００１２】また、本発明に係るコレットは、細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法に用いるコレットであって、コレットは、ダイ両端の吸着エリアを接触保持する部分と、ピックアップ時のダイ変形によりダイ中央部が盛り上がった場合に、中央部のエッジをテーパー面で受けとめるテーパー部とを有するものである。
【００１３】
【作用】ダイ表面の長手方向両端に各４００μｍ以上の吸着エリアを設け、表面コレットで該エリアだけを接触保持し、ダイ変形時にダイのエッジをコレットのテーパー部で受けとめる。
【００１４】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する。
【００１５】（実施例１）図１は、本発明の実施例１におけるダイピックアップ状態を示す断面図である。
【００１６】図１において、ダイ１は長辺方向両端に４００μｍの接触エリアを有し、ウエハーシート３に貼り付けられ個々に分割され、図示しないウエハーシート保持リング及びダイ位置決め機構により、ピックアップ位置に位置決めされている。
【００１７】ダイ１の短辺側の中央を突上げる突上げ針５は、ダイ長辺方向に複数本配置されており、針ホルダー６に保持され、コレット２と同期して動作するようコントロールされている。
【００１８】シート吸着ホルダー４ａ及び４ｂは、突上げ針５及び針ホルダー６を上下動作自在の状態で保持し、真空吸引によりウエハーシート３を吸着保持できるように吸引装置へ接続されている。
【００１９】コレット２は、ダイ１の両端各４００μｍの接触エリアに対応して、接触部２ｂを有し、接触部２ｂ内に設けられた真空吸引穴２ａによりダイ１を吸着保持する。
【００２０】またコレット２はピックアップ時ダイ１が弓形に変形してもコレット２とダイ１が接触しないよう、逃げ２ｃを設けてある。この逃げはダイの強度，変形量より中心で０．４ｍｍ〜０．５ｍｍ程度でよいことがわかっている。
【００２１】次にピックアップ方法を順を追って説明する。ダイ１をピックアップ位置へ位置決めし、シート吸着ホルダー４ａ，４ｂによりウエハーシート３を吸着保持する。
【００２２】その後、コレット２を移動し、ダイ１に接触させ、吸着保持する。
【００２３】コレット２及び突上げ針５すなわち針ホルダー６を同期させて上昇して、ダイ１をウエハーシート３から剥がす。この時、ウエハーシート３は、シート吸着ホルダーにより吸着保持されているため、突上げ針５で突上げを行なった所だけが変形し、点でダイ１を支える形となって、ダイ１がウエハーシート３より剥がしやすくなるという効果がある。
【００２４】ここで、ダイ１の両端の接触エリアには、半導体装置として組立後不要となる回路や配線、例えば、目合せ用のパターンや電気特性測定用の回路など、従来ダイの中に配置されていたものを設ければ、ダイのサイズをほとんど変えずに、接触エリアを設けることができるという利点がある。
【００２５】また、表面コレットを用いるため、ダイの回転がなくなり、安定してピックアップできるほか、ピックアップに際し、ダイとダイの間に２００〜４００μｍのような間隔を設ける必要はなく、シート拡大の作業が省略できるという利点がある。
【００２６】（実施例２）図２は、本発明の実施例２に用いるコレットの断面図である。
【００２７】コレット２′は、接触部２′ｂと真空吸引穴２′ａを有するほか、長手方向中央にはテーパー部２′ｃを有し、ピックアップ時にダイが変形しても、テーパー部２′ｃでダイのエッジを受けとめることができる。
【００２８】この場合、コレット下面に逃げは不要であり、平坦にできるため、ダイ吸着用の真空吸引穴をダイ長手方向に複数設けることができ、コレットのダイ保持力が実施例１に比べて強くできるという利点がある。
【００２９】また、テーパー部２′ｃは、ピックアップ時にダイに接する必要がなく、ダイ表面より上方へ設ければ良いため（０．２ｍｍ程度上方が良い）、表面コレットと同等に用いることができ、実施例１と同様にシート拡大が不要である。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ダイ長手方向両端に各４００μｍ以上の接触エリアを設けたため、１次元ＣＣＤラインセンサーのような細長く、表面が直接接触できないダイでも、表面コレットを用いることができ、安定してピックアップできるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるダイピックアップ状態を示す断面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施例２に用いるコレットを示す断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ′線断面図である。
【符号の説明】
１ ダイ
２，２′ コレット
２ａ，２′ａ 真空吸引穴
２ｂ，２′ｂ 接触部
２ｃ 逃げ
２′ｃ テーパー部
３ ウエハーシート
４ａ，４ｂ シート吸着ホルダー
５ 突上げ針
６ 針ホルダー
【特許請求の範囲】
【請求項１】 細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法であって、ダイ表面の長手方向両端に能動領域の形成されている吸着エリアを設け、該エリアのみにコレットを接触させダイを保持してピックアップすることを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項２】 前記吸着エリアには、目合せパターンや検査用配線など半導体装置組立後不要となる配線を設けることを特徴とする請求項１に記載のダイピックアップ方法。
【請求項３】 細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法に用いるコレットであって、コレットは、ダイ両端の吸着エリアを接触保持する部分と、ピックアップ時のダイ変形によりダイ中央部が盛り上がった場合に、中央部のエッジをテーパー面で受けとめるテーパー部とを有することを特徴とするコレット。
【請求項１】 細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法であって、ダイ表面の長手方向両端に能動領域の形成されている吸着エリアを設け、該エリアのみにコレットを接触させダイを保持してピックアップすることを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項２】 前記吸着エリアには、目合せパターンや検査用配線など半導体装置組立後不要となる配線を設けることを特徴とする請求項１に記載のダイピックアップ方法。
【請求項３】 細長いダイをウエハーシートより個々にピックアップするダイピックアップ方法に用いるコレットであって、コレットは、ダイ両端の吸着エリアを接触保持する部分と、ピックアップ時のダイ変形によりダイ中央部が盛り上がった場合に、中央部のエッジをテーパー面で受けとめるテーパー部とを有することを特徴とするコレット。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開平５−２４３３７５
【公開日】平成５年（１９９３）９月２１日
【国際特許分類】
【出願番号】特願平４−７５１８９
【出願日】平成４年（１９９２）２月２６日
【出願人】（０００００４２３７）日本電気株式会社 (19,353)
【公開日】平成５年（１９９３）９月２１日
【国際特許分類】
【出願日】平成４年（１９９２）２月２６日
【出願人】（０００００４２３７）日本電気株式会社 (19,353)
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