プラズマディスプレイパネルの製造方法
【課題】色ムラや輝度ムラの少ないプラズマディスプレイパネルを提供する。
【解決手段】隔壁間に蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成する製造方法において、蛍光体インク２５０が貯留されたインク供給タンク２１０ａからインク供給用送液チューブ２７０を介して蛍光体インク２５０をインクジェットヘッド２３０に供給し、インクジェットヘッド２３０により隔壁間に蛍光体インク２５０を吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部がインク供給タンク２１０ａに貯留された蛍光体インク２５０液面とインク供給タンク２１０ａ底面の中間位置よりも前記インク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置した。
【解決手段】隔壁間に蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成する製造方法において、蛍光体インク２５０が貯留されたインク供給タンク２１０ａからインク供給用送液チューブ２７０を介して蛍光体インク２５０をインクジェットヘッド２３０に供給し、インクジェットヘッド２３０により隔壁間に蛍光体インク２５０を吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部がインク供給タンク２１０ａに貯留された蛍光体インク２５０液面とインク供給タンク２１０ａ底面の中間位置よりも前記インク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ここに開示された技術は、表示デバイスなどに用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する）は、放電セルを区画する複数の隔壁を有する。隔壁間には、紫外線により励起されて発光する蛍光体層が形成されている。蛍光体層の形成方法として、蛍光体ペーストをストライプ状の隔壁間に塗布した後に、隔壁間の中心部に空気を吹き付けて隔壁の側壁に蛍光体ペーストを盛り上げさせて充分な膜厚を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、蛍光体ペーストを塗布後に、基板の上下面を逆転させて乾燥し、隔壁の側壁に充分な膜厚を形成する方法が開示されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−９６９１１号公報
【特許文献２】特開２０００−２６０３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年ＰＤＰは、さらなる高精細化が求められている。高精細化されたＰＤＰでは、同じ画面サイズでも隔壁間の距離が短くなるため、隔壁間に蛍光体層を均一に形成することが困難となり、色ムラや輝度ムラが発生しやすくなるという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、基板上に形成した隔壁間に蛍光体粒子を含む蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
蛍光体インクが貯留された供給容器から送液手段を介して蛍光体インクを吐出手段に供給し、前記吐出手段により前記隔壁間に蛍光体インクを吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記送液手段は、前記供給容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記供給容器に貯留された蛍光体インク液面と前記供給容器底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記の方法によれば、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現可能なＰＤＰの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る製造方法を用いるＰＤＰの構造を示す斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの製造フローの一例を示す図である。
【図３】同ＰＤＰの製造方法に用いる製造装置の一例を示す概略断面図である。
【図４】同蛍光体塗布フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について、図１〜図４を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態による交流面放電型ＰＤＰの構造を示す図である。図１に示すように、ＰＤＰ１０は、前面基板１１と背面基板１７とから構成されている。
【００１０】
ガラス基板からなる前面基板１１上には、走査電極１２と維持電極１３とで対をなす表示電極対１４が互いに平行に複数対形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、走査電極１２−維持電極１３−維持電極１３−走査電極１２の配列を繰り返すパターンで形成されている。走査電極１２は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極１２ａの上に、導電性を高めるために銀（Ａｇ）などの金属を含む幅の狭いバス電極１２ｂを積層して形成されている。維持電極１３も同様に、幅の広い透明電極１３ａの上に幅の狭いバス電極１３ｂを積層して形成されている。
【００１１】
さらに、表示電極対１４を覆うように誘電体層１５および酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１６が形成されている。誘電体層１５は、膜厚が約４０μｍの酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3）系低融点ガラスまたは酸化亜鉛（ＺｎＯ）系低融点ガラスで形成されている。保護層１６は、膜厚が約０．８μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主体とするアルカリ土類金属酸化物からなる薄膜層である。保護層１６は、少なくとも二つの機能を有する。一つ目は、誘電体層１５をイオンスパッタから保護する機能である。二つ目は、放電開始電圧などの放電特性を安定させる機能である。
【００１２】
ガラス基板からなる背面基板１７上には、銀（Ａｇ）などを主成分とする導電性の高い材料からなる互いに平行な複数のデータ電極１８が形成されている。さらに、データ電極１８を覆うように下地誘電体層１９が形成されている。下地誘電体層１９は、誘電体層１５と同様の酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3）系低融点ガラスなどであってもよい。または、下地誘電体層１９は、可視光反射層としての働きも兼ねるように酸化チタン（ＴｉＯ2）粒子などを混合した材料であってもよい。
【００１３】
下地誘電体層１９上には縦隔壁２２ａと横隔壁２２ｂとにより井桁状に構成された隔壁２２が形成されている。下地誘電体層１９の表面と隔壁２２の側面とには、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層２３が形成されている。隔壁２２は、例えば低融点ガラス材料を用いて約０．１２ｍｍの高さに形成されている。蛍光体層２３は、約１５μｍの膜厚を有する。蛍光体層２３は、青色に発光する蛍光体粒子と、緑色に発光する蛍光体粒子および赤色に発光する蛍光体粒子から構成されている。具体的には、青色に発光する蛍光体粒子としては、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕなどが用いられる。緑色に発光する蛍光体としてＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎなどが用いられる。赤色に発光する蛍光体としては（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕなどが用いられる。
【００１４】
前面基板１１と背面基板１７は、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差するように、対向配置される。そして、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差する部分に放電セル２４が形成されている。前面基板１１と背面基板１７は、それらの外周部がフリットなどの封着材（図示せず）によって封着され、内部に放電空間が形成されている。放電空間は隔壁２２によって複数の区画に仕切られ、放電空間にはキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが５５ｋＰａ〜８０ｋＰａの圧力で封入されている。
【００１５】
ＰＤＰ１０は、放電セル２４内で放電が発生し、放電に伴って発生した紫外線が蛍光体層２３を励起発光させることにより画像が表示される。なお、ＰＤＰ１０の構造は上述したものに限られない。例えば、隔壁２２は、ストライプ状であってもよい。
【００１６】
図２は、背面基板の製造プロセスフローを示す図である。図２に示すように、まず、ステップ１で、背面基板１７上にデータ電極１８が形成される。具体的には、背面基板１７上に、銀（Ａｇ）材料を含む電極ペーストにより所定のパターンの材料層を形成し、その材料層を所定の温度で焼成することにより、データ電極１８が形成される。
【００１７】
次に、ステップ２で、下地誘電体層１９が形成される。具体的には、まず下地誘電体ペーストが、ダイコート法などによりデータ電極１８を覆うように背面基板１７上に塗布され、その後、下地誘電体ペースト層が焼成されることにより、下地誘電体層１９が形成される。なお、下地誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだペーストである。
【００１８】
次に、ステップ３で、複数の隔壁２２が形成される。具体的には、下地誘電体層１９上に隔壁材料としてのガラス粉末や骨材を含む隔壁ペーストが塗布され、隔壁ペースト層が形成される。次に隔壁ペースト層が、所定の形状にパターニングされ、その後、パターニングされた隔壁ペースト層が焼成されることにより、隔壁２２が形成される。
【００１９】
次に、ステップ４で、蛍光体層２３が形成される。具体的には、隣接する隔壁２２間の下地誘電体層１９上および隔壁２２の側面に蛍光体材料を含む蛍光体インクが塗布され、その後、蛍光体インクが焼成されることにより蛍光体層２３が形成される。蛍光体層２３を構成する蛍光体材料としては、赤色蛍光体層としてＹ2XＯ3：Ｅｕxまたは（Ｙ，Ｇｄ）1-xＢＯ3：Ｅｕxが用いられ、緑色蛍光体層として〔（Ｚｎ1-xＭｎx）2ＳｉＯ4〕が用いられ、青色蛍光体層としてＢａ1-xＭｇＡｌ10Ｏ17：ＥｕxまたはＢａ1-x-yＳｒyＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕが用いられる。
【００２０】
次に、前面基板１１と背面基板１７とを対向配置し、前面基板１１と背面基板１７の周囲をガラスフリットで封着し、次に、放電空間にＮｅ、Ｘｅなどを含む放電ガスを封入する組立工程を実施することによりＰＤＰ１０が完成する。
【００２１】
本発明においては、蛍光体インクの塗布には、インクジェット法が用いられる。蛍光体インク塗布装置２００は、図３に示す構成である。
【００２２】
図３に示すように、蛍光体インク塗布装置２００は、蛍光体インク２５０を貯留する供給容器としてのインク供給タンク２１０ａ、蛍光体インク２５０を吐出する吐出手段としてのインクジェットヘッド２３０、蛍光体インク２５０をインク供給タンク２１０ａからインクジェットヘッド２３０に送液する送液手段としてのインク供給用送液チューブ２７０、吐出されなかった蛍光体インク２５０を回収する回収側の送液手段としてのインク回収用送液チューブ２８０、回収された蛍光体インク２５０を貯留する回収容器としてのインク回収タンク２１０ｂ、インク回収タンク２１０ｂとインク供給タンク２１０ａとを連結し、回収した蛍光体インク２５０をインク供給タンク２１０ａに補充する送液手段としてのインク補充用送液チューブ２９０、インク回収タンク２１０ｂとインク供給タンク２１０ａとの間に配置された送液ポンプ２２０を備える。
【００２３】
蛍光体インク２５０の塗布は、図４に示すように、実施される。
【００２４】
まず、ステップ２１では、蛍光体インク２５０が、インク供給タンク２１０ａからインクジェットヘッド２３０に供給される。インクジェットヘッド２３０には、ノズル孔２６０が設けられている。また、インクジェットヘッド２３０に供給された蛍光体インク２５０は、制御機構（図示せず）により、ノズル孔２６０から連続的に吐出される。ノズル孔２６０の口径は、ノズル孔２６０の目詰まり防止のため、２０μｍ以上で、塗布の際の隔壁２２からのはみ出し防止のため隔壁２２間の距離以下にすることが望ましい。例えば、隔壁間の距離が６５μｍ〜１２０μｍの場合には、ノズル孔２６０の口径は、通常２０μｍ〜５０μｍに設定される。また、使用される蛍光体インク２５０の粘度は２５°Ｃにおいて、５ｍＰａ・ｓ〜１００ｍＰａ・ｓの範囲である。
【００２５】
次に、ステップ２２では、インクジェットヘッド２３０が、走査機構（図示せず）によって直線的に走査される。背面基板１７上でインクジェットヘッド２３０を走査させ、ノズル孔２６０から蛍光体インク２５０を連続的に吐出することにより、隔壁２２間に蛍光体インクが均一に塗布される。ここでインクジェットヘッド２３０を走査させずに、背面基板１７を走査させてもよい。またインクジェットヘッド２３０と背面基板１７の両方を走査させてもよい。
【００２６】
また、インクジェットヘッド２３０には、回収側の流路も設けられており、吐出されなかった余剰の蛍光体インク２５０が、インクジェットヘッド２３０からインク回収用送液チューブ２８０を通ってインク回収タンク２１０ｂに送液される。これをステップ２３として示している。
【００２７】
また、インク回収タンク２１０ｂに送液された蛍光体インク２５０は、インク回収タンク２１０ｂから、送液ポンプ２２０、インク補充用送液チューブ２９０を介して、インク供給タンク２１０ａに補充される。これをステップ２４として示している。
【００２８】
また、インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部が、インク供給タンク２１０ａに貯蔵された蛍光体インク２５０の液面とインク供給タンク２１０ａの底面との間の中間位置よりもインク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置されている。さらに、インク回収用送液チューブ２８０は、インク回収タンク２１０ｂの側壁近傍において、インク回収用送液チューブ２８０の先端部が、インク回収タンク２１０ｂに貯蔵された蛍光体インク２５０の液面とインク回収タンク２１０ｂの底面との間の中間位置よりもインク回収タンク２１０ｂの底面側にくるように配置されている。また、インク供給用送液チューブ２７０の先端部およびインク回収用送液チューブ２８０の先端部は、蛍光体インクに接する範囲において、位置を変化できるように可動自在な構成としている。
【００２９】
ここで、蛍光体インク２５０は、各色蛍光体粒子、有機バインダ、溶媒が混合され、５ｍＰａ・ｓ〜１００ｍＰａ・ｓとなるように調合されたものである。蛍光体インク２５０には、必要に応じて、可塑剤、分散剤（０．１〜５ｗｔ％）等が添加されてもよい。
【００３０】
蛍光体インク２５０に調合される有機バインダとしては、平均分子量３万から２０万の、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、エチルセルロース、アクリル樹脂等を用い（蛍光体重量の０．１〜１０ｗｔ％を混合）、溶媒としては、α−ターピネオール、ブチルカービトール等の水に対して難溶性の溶剤や、多価アルコール誘導体としては、エチレングリコール、エチレングリコールモノアセタート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセタート、３−メトキシ−３−メチルブタノール、アリルアルコール、イソプロピルアルコール、エタノール、グリシドール、テトラヒドロフルフィリルアルコール、ｔ−ブタノール、フリフリルアルコール、プロパルギルアルコール、１−プロパノール、メタノール、３−メチル−１−ブチン−３−オール、１５−クラウン−５、１８−クラウン−６、酸化プロピレン、１，４−ジオキサン、ジプロピルエーテル、ジメチルエーテル、テトラヒドラフラン、アセトアルデヒド、ジアセトンアルコール、乳酸メチル、γ−ブチロラクトン、グリセリン、グリセリン１，２−ジメチルエーテル、グリセリン１，３−ジメチルエーテル、グリセリン１−アセタート、２−クロロ−１，３−プロパンジオール、３−クロロ−１，２−プロパンジオール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールクロロヒドリン、ジエチレングリコールジアセタート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール等のような水に対して自由混合できる溶剤を用いることができる。
【００３１】
なお、有機バインダとして、ＰＭＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）やＰＶＡ（ポリビニルアルコール）などの高分子を用いることもできる。また、溶媒として、ジエチレングリコール、メチルエーテルなどの有機溶媒の水を用いることもできる。また、必要に応じて、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ−ｎ−オクチル、フタル酸ジ−２−エチルヘキシル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジル、オレイン酸ブチル、ジエチレングリコールジベンゾエート、ブチルフタリルブチルグリコレート、アセチルクエン酸トリブチル、アビエチン酸メチル、セバシン酸ジブチル、セバシン酸−２−エチルヘキシン、２−ニトロビフェニル、ジノニルナフタリン、アゼライン酸ジ−２−エチルヘキシルのいずれか１つ以上の可塑剤が添加されてもよい。
【００３２】
（実験例）
蛍光体層２３の出来栄え評価を行うために、蛍光体インクを作製し、図３に示す装置を用いて塗布した。蛍光体インク２５０の粘度は、各色蛍光体粒子、有機バインダ、溶剤などにより、ノズル孔２６０からの吐出と乾燥後の蛍光体層２３の形状とが最適となるように調整した。また、蛍光体粒子としては、青色蛍光体としてＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを用い、緑色蛍光体としてＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎを用い、赤色蛍光体として（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕを用いた。有機バインダ樹脂として、エチルセルロースを用いた。溶剤として、ブチルカルビトールアセテート、テルピネオール、ベンジルアルコールなどの有機溶媒混合物を用いた。蛍光体インク２５０の粘度は、２５°Ｃで５０ｍＰａ・ｓとなるように調整した。
【００３３】
この蛍光体インク２５０を図３に示す蛍光体インク塗布装置２００によって、画面サイズが対角４２インチクラスのフルハイビジョンテレビ用の背面基板１７に塗布した。
【００３４】
全ての実験例において、蛍光体インク２５０、乾燥条件、焼成条件は一定である。インク供給タンク２１０ａ、およびインク回収タンク２１０ｂの内部を、攪拌子を用いて、両タンク底面の中心部にて５００〜８００ｒｐｍの速度で常時回転させ、両タンク内を常時攪拌された状態として、評価を実施した。蛍光体インク２５０の調合条件とインクジェットヘッド２３０からの吐出条件を一定とし、水平方向については、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置を変化させた。具体的には、インク供給タンク２１０ａ内中央部、およびインク供給タンク２１０ａ側壁部近傍の２つの条件である。また、高さ方向については、インク液面近傍、およびインク供給タンク２１０ａ底面近傍の条件にて評価を実施した。評価内容は、インクジェットヘッド２３０から吐出された蛍光体インク２５０の吐出開始時の初期吐出濃度、および一時間以上吐出を連続して実施した後の連続吐出濃度である。表１に結果を示す。
【００３５】
【表１】
【００３６】
比較例１−３および本発明による実施例では、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置を変化させた場合の結果について示している。
【００３７】
表１の結果より、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端部のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置について、インク供給タンク２１０ａの側壁部近傍で、かつ蛍光体インク２５０液面と前記インク供給タンク２１０ａ底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置することで、初期吐出濃度および連続吐出濃度ともに良好な結果が得られた。
【００３８】
その他の条件においては、インクジェットヘッド２３０から吐出された蛍光体インク２５０の吐出開始時の初期吐出濃度には問題が無かったが、一時間以上吐出を連続して実施した後の連続吐出濃度においては、吐出された蛍光体インク２５０の濃度低下が確認された。
【００３９】
また、結果は図示しないが、インク回収タンク２１０ｂにおいても、同様の結果が確認された。すなわち、インク回収タンク２１０ｂから送液ポンプ２２０へ送液するインク回収タンク２１０ｂに配置されたインク補充用送液チューブ２９０の先端の配置位置としては、インク回収タンク２１０ｂの側壁部かつインク供給タンク２１０ａの底面近傍に配置することで、良好な結果が得られた。
【００４０】
なお、上記実験例では、塗布部における蛍光体インク２５０の条件と塗布条件を一定とした。また、インク供給用送液チューブ２７０の先端を固定して実験を実施したが、回転、揺動させるなど、動いていても良い。
【００４１】
また、塗布時の蛍光体インク２５０の温度は、２５°Ｃである必要は無い。インク供給タンク２１０ａ、インク回収タンク２１０ｂ、およびインクジェットヘッド２３０は、加熱される構成としても良い。
【００４２】
以上のように本発明の製造方法によれば、蛍光体インク２５０が貯留されたインク供給タンク２１０ａからインク供給用送液チューブ２７０を介して蛍光体インク２５０をインクジェットヘッド２３０に供給し、インクジェットヘッド２３０により隔壁間に蛍光体インク２５０を吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部がインク供給タンク２１０ａに貯留された蛍光体インク２５０液面とインク供給タンク２１０ａ底面の中間位置よりも前記インク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置されており、蛍光体インク２５０を塗布して蛍光体層を形成する際に、蛍光体インク２５０の濃度を安定した状態に維持して塗布することができ、これにより高精細のＰＤＰにおいても、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、高精細のＰＤＰを得る上で有用な発明である。
【符号の説明】
【００４４】
１０ ＰＤＰ
１１ 前面基板
１２ 走査電極
１２ａ，１３ａ 透明電極
１２ｂ，１３ｂ バス電極
１３ 維持電極
１４ 表示電極対
１５ 誘電体層
１６ 保護層
１７ 背面基板
１８ データ電極
１９ 下地誘電体層
２２ 隔壁
２２ａ 縦隔壁
２２ｂ 横隔壁
２３ 蛍光体層
２４ 放電セル
２００ 蛍光体インク塗布装置
２１０ａ インク供給タンク
２１０ｂ インク回収タンク
２２０ 送液ポンプ
２３０ インクジェットヘッド
２５０ 蛍光体インク
２６０ ノズル孔
２７０ インク供給用送液チューブ
２８０ インク回収用送液チューブ
２９０ インク補充用送液チューブ
【技術分野】
【０００１】
ここに開示された技術は、表示デバイスなどに用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称する）は、放電セルを区画する複数の隔壁を有する。隔壁間には、紫外線により励起されて発光する蛍光体層が形成されている。蛍光体層の形成方法として、蛍光体ペーストをストライプ状の隔壁間に塗布した後に、隔壁間の中心部に空気を吹き付けて隔壁の側壁に蛍光体ペーストを盛り上げさせて充分な膜厚を形成する方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、蛍光体ペーストを塗布後に、基板の上下面を逆転させて乾燥し、隔壁の側壁に充分な膜厚を形成する方法が開示されている（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−９６９１１号公報
【特許文献２】特開２０００−２６０３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年ＰＤＰは、さらなる高精細化が求められている。高精細化されたＰＤＰでは、同じ画面サイズでも隔壁間の距離が短くなるため、隔壁間に蛍光体層を均一に形成することが困難となり、色ムラや輝度ムラが発生しやすくなるという課題があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、基板上に形成した隔壁間に蛍光体粒子を含む蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
蛍光体インクが貯留された供給容器から送液手段を介して蛍光体インクを吐出手段に供給し、前記吐出手段により前記隔壁間に蛍光体インクを吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記送液手段は、前記供給容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記供給容器に貯留された蛍光体インク液面と前記供給容器底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
上記の方法によれば、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現可能なＰＤＰの製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る製造方法を用いるＰＤＰの構造を示す斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの製造フローの一例を示す図である。
【図３】同ＰＤＰの製造方法に用いる製造装置の一例を示す概略断面図である。
【図４】同蛍光体塗布フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの製造方法について、図１〜図４を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態による交流面放電型ＰＤＰの構造を示す図である。図１に示すように、ＰＤＰ１０は、前面基板１１と背面基板１７とから構成されている。
【００１０】
ガラス基板からなる前面基板１１上には、走査電極１２と維持電極１３とで対をなす表示電極対１４が互いに平行に複数対形成されている。走査電極１２および維持電極１３は、走査電極１２−維持電極１３−維持電極１３−走査電極１２の配列を繰り返すパターンで形成されている。走査電極１２は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ2）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）などの導電性金属酸化物からなる幅の広い透明電極１２ａの上に、導電性を高めるために銀（Ａｇ）などの金属を含む幅の狭いバス電極１２ｂを積層して形成されている。維持電極１３も同様に、幅の広い透明電極１３ａの上に幅の狭いバス電極１３ｂを積層して形成されている。
【００１１】
さらに、表示電極対１４を覆うように誘電体層１５および酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層１６が形成されている。誘電体層１５は、膜厚が約４０μｍの酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3）系低融点ガラスまたは酸化亜鉛（ＺｎＯ）系低融点ガラスで形成されている。保護層１６は、膜厚が約０．８μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を主体とするアルカリ土類金属酸化物からなる薄膜層である。保護層１６は、少なくとも二つの機能を有する。一つ目は、誘電体層１５をイオンスパッタから保護する機能である。二つ目は、放電開始電圧などの放電特性を安定させる機能である。
【００１２】
ガラス基板からなる背面基板１７上には、銀（Ａｇ）などを主成分とする導電性の高い材料からなる互いに平行な複数のデータ電極１８が形成されている。さらに、データ電極１８を覆うように下地誘電体層１９が形成されている。下地誘電体層１９は、誘電体層１５と同様の酸化ビスマス（Ｂｉ2Ｏ3）系低融点ガラスなどであってもよい。または、下地誘電体層１９は、可視光反射層としての働きも兼ねるように酸化チタン（ＴｉＯ2）粒子などを混合した材料であってもよい。
【００１３】
下地誘電体層１９上には縦隔壁２２ａと横隔壁２２ｂとにより井桁状に構成された隔壁２２が形成されている。下地誘電体層１９の表面と隔壁２２の側面とには、赤色、緑色、青色に発光する蛍光体層２３が形成されている。隔壁２２は、例えば低融点ガラス材料を用いて約０．１２ｍｍの高さに形成されている。蛍光体層２３は、約１５μｍの膜厚を有する。蛍光体層２３は、青色に発光する蛍光体粒子と、緑色に発光する蛍光体粒子および赤色に発光する蛍光体粒子から構成されている。具体的には、青色に発光する蛍光体粒子としては、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕなどが用いられる。緑色に発光する蛍光体としてＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎなどが用いられる。赤色に発光する蛍光体としては（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕなどが用いられる。
【００１４】
前面基板１１と背面基板１７は、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差するように、対向配置される。そして、表示電極対１４とデータ電極１８とが交差する部分に放電セル２４が形成されている。前面基板１１と背面基板１７は、それらの外周部がフリットなどの封着材（図示せず）によって封着され、内部に放電空間が形成されている。放電空間は隔壁２２によって複数の区画に仕切られ、放電空間にはキセノン（Ｘｅ）などを含む放電ガスが５５ｋＰａ〜８０ｋＰａの圧力で封入されている。
【００１５】
ＰＤＰ１０は、放電セル２４内で放電が発生し、放電に伴って発生した紫外線が蛍光体層２３を励起発光させることにより画像が表示される。なお、ＰＤＰ１０の構造は上述したものに限られない。例えば、隔壁２２は、ストライプ状であってもよい。
【００１６】
図２は、背面基板の製造プロセスフローを示す図である。図２に示すように、まず、ステップ１で、背面基板１７上にデータ電極１８が形成される。具体的には、背面基板１７上に、銀（Ａｇ）材料を含む電極ペーストにより所定のパターンの材料層を形成し、その材料層を所定の温度で焼成することにより、データ電極１８が形成される。
【００１７】
次に、ステップ２で、下地誘電体層１９が形成される。具体的には、まず下地誘電体ペーストが、ダイコート法などによりデータ電極１８を覆うように背面基板１７上に塗布され、その後、下地誘電体ペースト層が焼成されることにより、下地誘電体層１９が形成される。なお、下地誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶剤を含んだペーストである。
【００１８】
次に、ステップ３で、複数の隔壁２２が形成される。具体的には、下地誘電体層１９上に隔壁材料としてのガラス粉末や骨材を含む隔壁ペーストが塗布され、隔壁ペースト層が形成される。次に隔壁ペースト層が、所定の形状にパターニングされ、その後、パターニングされた隔壁ペースト層が焼成されることにより、隔壁２２が形成される。
【００１９】
次に、ステップ４で、蛍光体層２３が形成される。具体的には、隣接する隔壁２２間の下地誘電体層１９上および隔壁２２の側面に蛍光体材料を含む蛍光体インクが塗布され、その後、蛍光体インクが焼成されることにより蛍光体層２３が形成される。蛍光体層２３を構成する蛍光体材料としては、赤色蛍光体層としてＹ2XＯ3：Ｅｕxまたは（Ｙ，Ｇｄ）1-xＢＯ3：Ｅｕxが用いられ、緑色蛍光体層として〔（Ｚｎ1-xＭｎx）2ＳｉＯ4〕が用いられ、青色蛍光体層としてＢａ1-xＭｇＡｌ10Ｏ17：ＥｕxまたはＢａ1-x-yＳｒyＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕが用いられる。
【００２０】
次に、前面基板１１と背面基板１７とを対向配置し、前面基板１１と背面基板１７の周囲をガラスフリットで封着し、次に、放電空間にＮｅ、Ｘｅなどを含む放電ガスを封入する組立工程を実施することによりＰＤＰ１０が完成する。
【００２１】
本発明においては、蛍光体インクの塗布には、インクジェット法が用いられる。蛍光体インク塗布装置２００は、図３に示す構成である。
【００２２】
図３に示すように、蛍光体インク塗布装置２００は、蛍光体インク２５０を貯留する供給容器としてのインク供給タンク２１０ａ、蛍光体インク２５０を吐出する吐出手段としてのインクジェットヘッド２３０、蛍光体インク２５０をインク供給タンク２１０ａからインクジェットヘッド２３０に送液する送液手段としてのインク供給用送液チューブ２７０、吐出されなかった蛍光体インク２５０を回収する回収側の送液手段としてのインク回収用送液チューブ２８０、回収された蛍光体インク２５０を貯留する回収容器としてのインク回収タンク２１０ｂ、インク回収タンク２１０ｂとインク供給タンク２１０ａとを連結し、回収した蛍光体インク２５０をインク供給タンク２１０ａに補充する送液手段としてのインク補充用送液チューブ２９０、インク回収タンク２１０ｂとインク供給タンク２１０ａとの間に配置された送液ポンプ２２０を備える。
【００２３】
蛍光体インク２５０の塗布は、図４に示すように、実施される。
【００２４】
まず、ステップ２１では、蛍光体インク２５０が、インク供給タンク２１０ａからインクジェットヘッド２３０に供給される。インクジェットヘッド２３０には、ノズル孔２６０が設けられている。また、インクジェットヘッド２３０に供給された蛍光体インク２５０は、制御機構（図示せず）により、ノズル孔２６０から連続的に吐出される。ノズル孔２６０の口径は、ノズル孔２６０の目詰まり防止のため、２０μｍ以上で、塗布の際の隔壁２２からのはみ出し防止のため隔壁２２間の距離以下にすることが望ましい。例えば、隔壁間の距離が６５μｍ〜１２０μｍの場合には、ノズル孔２６０の口径は、通常２０μｍ〜５０μｍに設定される。また、使用される蛍光体インク２５０の粘度は２５°Ｃにおいて、５ｍＰａ・ｓ〜１００ｍＰａ・ｓの範囲である。
【００２５】
次に、ステップ２２では、インクジェットヘッド２３０が、走査機構（図示せず）によって直線的に走査される。背面基板１７上でインクジェットヘッド２３０を走査させ、ノズル孔２６０から蛍光体インク２５０を連続的に吐出することにより、隔壁２２間に蛍光体インクが均一に塗布される。ここでインクジェットヘッド２３０を走査させずに、背面基板１７を走査させてもよい。またインクジェットヘッド２３０と背面基板１７の両方を走査させてもよい。
【００２６】
また、インクジェットヘッド２３０には、回収側の流路も設けられており、吐出されなかった余剰の蛍光体インク２５０が、インクジェットヘッド２３０からインク回収用送液チューブ２８０を通ってインク回収タンク２１０ｂに送液される。これをステップ２３として示している。
【００２７】
また、インク回収タンク２１０ｂに送液された蛍光体インク２５０は、インク回収タンク２１０ｂから、送液ポンプ２２０、インク補充用送液チューブ２９０を介して、インク供給タンク２１０ａに補充される。これをステップ２４として示している。
【００２８】
また、インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部が、インク供給タンク２１０ａに貯蔵された蛍光体インク２５０の液面とインク供給タンク２１０ａの底面との間の中間位置よりもインク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置されている。さらに、インク回収用送液チューブ２８０は、インク回収タンク２１０ｂの側壁近傍において、インク回収用送液チューブ２８０の先端部が、インク回収タンク２１０ｂに貯蔵された蛍光体インク２５０の液面とインク回収タンク２１０ｂの底面との間の中間位置よりもインク回収タンク２１０ｂの底面側にくるように配置されている。また、インク供給用送液チューブ２７０の先端部およびインク回収用送液チューブ２８０の先端部は、蛍光体インクに接する範囲において、位置を変化できるように可動自在な構成としている。
【００２９】
ここで、蛍光体インク２５０は、各色蛍光体粒子、有機バインダ、溶媒が混合され、５ｍＰａ・ｓ〜１００ｍＰａ・ｓとなるように調合されたものである。蛍光体インク２５０には、必要に応じて、可塑剤、分散剤（０．１〜５ｗｔ％）等が添加されてもよい。
【００３０】
蛍光体インク２５０に調合される有機バインダとしては、平均分子量３万から２０万の、ヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、エチルヒドロキシエチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルエーテル、エチルセルロース、アクリル樹脂等を用い（蛍光体重量の０．１〜１０ｗｔ％を混合）、溶媒としては、α−ターピネオール、ブチルカービトール等の水に対して難溶性の溶剤や、多価アルコール誘導体としては、エチレングリコール、エチレングリコールモノアセタート、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセタート、３−メトキシ−３−メチルブタノール、アリルアルコール、イソプロピルアルコール、エタノール、グリシドール、テトラヒドロフルフィリルアルコール、ｔ−ブタノール、フリフリルアルコール、プロパルギルアルコール、１−プロパノール、メタノール、３−メチル−１−ブチン−３−オール、１５−クラウン−５、１８−クラウン−６、酸化プロピレン、１，４−ジオキサン、ジプロピルエーテル、ジメチルエーテル、テトラヒドラフラン、アセトアルデヒド、ジアセトンアルコール、乳酸メチル、γ−ブチロラクトン、グリセリン、グリセリン１，２−ジメチルエーテル、グリセリン１，３−ジメチルエーテル、グリセリン１−アセタート、２−クロロ−１，３−プロパンジオール、３−クロロ−１，２−プロパンジオール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールクロロヒドリン、ジエチレングリコールジアセタート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコール等のような水に対して自由混合できる溶剤を用いることができる。
【００３１】
なお、有機バインダとして、ＰＭＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）やＰＶＡ（ポリビニルアルコール）などの高分子を用いることもできる。また、溶媒として、ジエチレングリコール、メチルエーテルなどの有機溶媒の水を用いることもできる。また、必要に応じて、フタル酸ジメチル、フタル酸ジエチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジヘプチル、フタル酸ジ−ｎ−オクチル、フタル酸ジ−２−エチルヘキシル、フタル酸オクチルデシル、フタル酸ジイソデシル、フタル酸ブチルベンジル、オレイン酸ブチル、ジエチレングリコールジベンゾエート、ブチルフタリルブチルグリコレート、アセチルクエン酸トリブチル、アビエチン酸メチル、セバシン酸ジブチル、セバシン酸−２−エチルヘキシン、２−ニトロビフェニル、ジノニルナフタリン、アゼライン酸ジ−２−エチルヘキシルのいずれか１つ以上の可塑剤が添加されてもよい。
【００３２】
（実験例）
蛍光体層２３の出来栄え評価を行うために、蛍光体インクを作製し、図３に示す装置を用いて塗布した。蛍光体インク２５０の粘度は、各色蛍光体粒子、有機バインダ、溶剤などにより、ノズル孔２６０からの吐出と乾燥後の蛍光体層２３の形状とが最適となるように調整した。また、蛍光体粒子としては、青色蛍光体としてＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕを用い、緑色蛍光体としてＺｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎを用い、赤色蛍光体として（Ｙ、Ｇｄ）ＢＯ3：Ｅｕを用いた。有機バインダ樹脂として、エチルセルロースを用いた。溶剤として、ブチルカルビトールアセテート、テルピネオール、ベンジルアルコールなどの有機溶媒混合物を用いた。蛍光体インク２５０の粘度は、２５°Ｃで５０ｍＰａ・ｓとなるように調整した。
【００３３】
この蛍光体インク２５０を図３に示す蛍光体インク塗布装置２００によって、画面サイズが対角４２インチクラスのフルハイビジョンテレビ用の背面基板１７に塗布した。
【００３４】
全ての実験例において、蛍光体インク２５０、乾燥条件、焼成条件は一定である。インク供給タンク２１０ａ、およびインク回収タンク２１０ｂの内部を、攪拌子を用いて、両タンク底面の中心部にて５００〜８００ｒｐｍの速度で常時回転させ、両タンク内を常時攪拌された状態として、評価を実施した。蛍光体インク２５０の調合条件とインクジェットヘッド２３０からの吐出条件を一定とし、水平方向については、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置を変化させた。具体的には、インク供給タンク２１０ａ内中央部、およびインク供給タンク２１０ａ側壁部近傍の２つの条件である。また、高さ方向については、インク液面近傍、およびインク供給タンク２１０ａ底面近傍の条件にて評価を実施した。評価内容は、インクジェットヘッド２３０から吐出された蛍光体インク２５０の吐出開始時の初期吐出濃度、および一時間以上吐出を連続して実施した後の連続吐出濃度である。表１に結果を示す。
【００３５】
【表１】
【００３６】
比較例１−３および本発明による実施例では、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置を変化させた場合の結果について示している。
【００３７】
表１の結果より、インク供給タンク２１０ａから送液するインク供給用送液チューブ２７０の先端部のインク供給タンク２１０ａ内での配置位置について、インク供給タンク２１０ａの側壁部近傍で、かつ蛍光体インク２５０液面と前記インク供給タンク２１０ａ底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置することで、初期吐出濃度および連続吐出濃度ともに良好な結果が得られた。
【００３８】
その他の条件においては、インクジェットヘッド２３０から吐出された蛍光体インク２５０の吐出開始時の初期吐出濃度には問題が無かったが、一時間以上吐出を連続して実施した後の連続吐出濃度においては、吐出された蛍光体インク２５０の濃度低下が確認された。
【００３９】
また、結果は図示しないが、インク回収タンク２１０ｂにおいても、同様の結果が確認された。すなわち、インク回収タンク２１０ｂから送液ポンプ２２０へ送液するインク回収タンク２１０ｂに配置されたインク補充用送液チューブ２９０の先端の配置位置としては、インク回収タンク２１０ｂの側壁部かつインク供給タンク２１０ａの底面近傍に配置することで、良好な結果が得られた。
【００４０】
なお、上記実験例では、塗布部における蛍光体インク２５０の条件と塗布条件を一定とした。また、インク供給用送液チューブ２７０の先端を固定して実験を実施したが、回転、揺動させるなど、動いていても良い。
【００４１】
また、塗布時の蛍光体インク２５０の温度は、２５°Ｃである必要は無い。インク供給タンク２１０ａ、インク回収タンク２１０ｂ、およびインクジェットヘッド２３０は、加熱される構成としても良い。
【００４２】
以上のように本発明の製造方法によれば、蛍光体インク２５０が貯留されたインク供給タンク２１０ａからインク供給用送液チューブ２７０を介して蛍光体インク２５０をインクジェットヘッド２３０に供給し、インクジェットヘッド２３０により隔壁間に蛍光体インク２５０を吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記インク供給用送液チューブ２７０は、インク供給タンク２１０ａの側壁近傍において、インク供給用送液チューブ２７０の先端部がインク供給タンク２１０ａに貯留された蛍光体インク２５０液面とインク供給タンク２１０ａ底面の中間位置よりも前記インク供給タンク２１０ａの底面側にくるように配置されており、蛍光体インク２５０を塗布して蛍光体層を形成する際に、蛍光体インク２５０の濃度を安定した状態に維持して塗布することができ、これにより高精細のＰＤＰにおいても、色ムラや輝度ムラの少ないＰＤＰを実現することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明は、高精細のＰＤＰを得る上で有用な発明である。
【符号の説明】
【００４４】
１０ ＰＤＰ
１１ 前面基板
１２ 走査電極
１２ａ，１３ａ 透明電極
１２ｂ，１３ｂ バス電極
１３ 維持電極
１４ 表示電極対
１５ 誘電体層
１６ 保護層
１７ 背面基板
１８ データ電極
１９ 下地誘電体層
２２ 隔壁
２２ａ 縦隔壁
２２ｂ 横隔壁
２３ 蛍光体層
２４ 放電セル
２００ 蛍光体インク塗布装置
２１０ａ インク供給タンク
２１０ｂ インク回収タンク
２２０ 送液ポンプ
２３０ インクジェットヘッド
２５０ 蛍光体インク
２６０ ノズル孔
２７０ インク供給用送液チューブ
２８０ インク回収用送液チューブ
２９０ インク補充用送液チューブ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成した隔壁間に蛍光体粒子を含む蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
蛍光体インクが貯留された供給容器から送液手段を介して蛍光体インクを吐出手段に供給し、前記吐出手段により前記隔壁間に蛍光体インクを吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記送液手段は、前記供給容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記供給容器に貯留された蛍光体インク液面と前記供給容器の底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記吐出手段から吐出されなかった余剰の蛍光体インクを吐出手段から回収して貯留する回収容器を備え、前記回収容器は前記供給容器に送液手段を介して連結し、かつ前記送液手段は、前記回収容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記回収容器に貯留された蛍光体インク液面と前記回収容器の底面との中間位置よりも前記回収容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記送液手段の供給容器側の先端部は、可動自在である請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記送液手段の回収容器側の先端部は、可動自在である請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１】
基板上に形成した隔壁間に蛍光体粒子を含む蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
蛍光体インクが貯留された供給容器から送液手段を介して蛍光体インクを吐出手段に供給し、前記吐出手段により前記隔壁間に蛍光体インクを吐出することにより蛍光体インクを塗布し、かつ前記送液手段は、前記供給容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記供給容器に貯留された蛍光体インク液面と前記供給容器の底面との間の中間位置よりも前記供給容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記吐出手段から吐出されなかった余剰の蛍光体インクを吐出手段から回収して貯留する回収容器を備え、前記回収容器は前記供給容器に送液手段を介して連結し、かつ前記送液手段は、前記回収容器の側壁近傍において、前記送液手段の先端部が前記回収容器に貯留された蛍光体インク液面と前記回収容器の底面との中間位置よりも前記回収容器の底面側にくるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記送液手段の供給容器側の先端部は、可動自在である請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記送液手段の回収容器側の先端部は、可動自在である請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−１０９０６５（Ｐ２０１２−１０９０６５Ａ）
【公開日】平成２４年６月７日（２０１２．６．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２５５４９６（Ｐ２０１０−２５５４９６）
【出願日】平成２２年１１月１６日（２０１０．１１．１６）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月７日（２０１２．６．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１１月１６日（２０１０．１１．１６）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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