プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の基板移動方法
【課題】基板を支持するチャックを移動する移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止する。
【解決手段】チャック１０を搭載する移動ステージと、移動ステージに接続された複数のケーブル５１と、複数のケーブル５１を押さえるケーブル押さえ部材３２ｃが設けられた複数の連結されたケーブル収容具３２を有し、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層（超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄ）が設けられたケーブルガイド３０とを備える。ケーブルガイド３０に収容されたケーブル５１により移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャック１０を移動する。
【解決手段】チャック１０を搭載する移動ステージと、移動ステージに接続された複数のケーブル５１と、複数のケーブル５１を押さえるケーブル押さえ部材３２ｃが設けられた複数の連結されたケーブル収容具３２を有し、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層（超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄ）が設けられたケーブルガイド３０とを備える。ケーブルガイド３０に収容されたケーブル５１により移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャック１０を移動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の基板移動方法に係り、特に、基板を支持するチャックを移動ステージによりＸＹ方向へ移動及びθ方向へ回転して、露光時の基板の位置決めを行うプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の基板移動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロキシミティ露光装置において、パターンの焼付けを精度良く行うためには、露光時の基板の位置決めを精度良く行わなければならない。基板の位置決めを行う移動ステージは、Ｘ方向へ移動するＸステージと、Ｙ方向へ移動するＹステージと、θ方向へ回転するθステージとを備え、基板を支持するチャックを搭載して、ＸＹ方向へ移動及びθ方向へ回転する。移動ステージのＸステージ、Ｙステージ、及びθステージには、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の駆動機構が設けられており、各駆動機構に電力を供給するケーブルは、例えば特許文献１に記載の様に、「ケーブルベア」（株式会社椿本チエインの登録商標）等のケーブルガイドによって案内される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されたケーブルガイドは、ケーブルを収容する複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具には、収容されたケーブルを各ケーブル収容具からはみ出ない様に押さえるケーブル押さえ部材が設けられている。移動ステージに電力を供給するケーブルを、この様なケーブルガイドにより案内する従来のプロキシミティ露光装置では、移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具内でのケーブルの位置がずれて、ケーブルが各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材とこすれ合うと、ケーブルの被覆が摩擦で削れて塵を発生し、発生した塵がマスク及び基板に付着するという問題があった。
【０００６】
本発明の課題は、基板を支持するチャックを移動する移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、チャックを搭載する移動ステージと、移動ステージに接続された複数のケーブルと、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材が設けられた複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層が設けられたケーブルガイドとを備え、ケーブルガイドに収容されたケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動するものである。
【０００８】
また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板移動方法は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板移動方法であって、チャックを移動ステージに搭載し、移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動するものである。
【０００９】
超高分子量ポリエチレン（Ｕｌｔｒａ Ｈｉｇｈ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｗｅｉｇｈｔ Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）は、ポリエチレン分子の製造時間を長くすることにより、通常は２〜３０万である分子量を１００〜７００万まで高めたポリエチレンである。超高分子量ポリエチレンの最大の特徴は、耐衝撃性と耐摩耗性に優れた点であるが、従来のケーブルガイドにおいても、耐衝撃性及び耐摩耗性を考慮してケーブル収容具の材料が選定されており、後述する様に加工性の低い超高分子量ポリエチレンを採用する必要性はなかった。しかしながら、本発明では、超高分子量ポリエチレンが自己潤滑性及び摺動特性に優れている点に特に着目し、ケーブルガイド自体の耐久性強化という目的ではなく、収容するケーブルの摩耗を低減する目的で、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に、超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた。移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具内でのケーブルの位置がずれても、ケーブルが各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に設けた潤滑層上を滑って、ケーブルの摩耗が低減される。従って、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵が抑制され、マスク及び基板に塵が付着するのが防止される。
【００１０】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の断面が長方形又は楕円形であり、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の潤滑層が、加熱されて押しつぶされた超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に被せて設けられたものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板移動方法は、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けるものである。
【００１１】
通常、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の断面は、各ケーブル収容具内の収容面積を大きくするため、横長の長方形又は楕円形と成っている。超高分子量ポリエチレンは、耐衝撃性と耐摩耗性に優れているが、溶融時の流動性が極めて低く射出成形に適さないため、ケーブルガイドのケーブル収容具自体を超高分子量ポリエチレンで構成することは困難である。一方、超高分子量ポリエチレンは、熱可塑性樹脂に分類される合成樹脂であり、中空成形したチューブを加熱すると、簡単に押しつぶして変形させることができる。従って、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けると、簡単な加工で、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動することにより、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止することができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けることにより、簡単な加工で、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。
【図３】チャックを露光位置へ移動した状態を示す上面図である。
【図４】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図５】本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。
【図６】本発明を用いないケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。
【図７】本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の分解図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、移動ステージ、チャック１０、マスクホルダ２０、ケーブルガイド３０、接続具３１、給電装置５０、給電ケーブル５１、ステージ駆動回路６０、信号ケーブル６１、及び主制御装置７０を含んで構成されている。なお、図２では、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板１をチャック１０へ搬入し、また基板１をチャック１０から搬出する基板搬送ロボット、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００１６】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００１７】
図１及び図２において、チャック１０は、基板１のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送ロボットにより、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板１のロード及びチャック１０からの基板１のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板１をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボットから基板１を受け取り、基板１をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボットへ基板１を受け渡す。チャック１０は、基板１の裏面を真空吸着して支持する。
【００１８】
図３はチャックを露光位置へ移動した状態を示す上面図、図４はチャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。基板１の表面には、感光樹脂材料（フォトレジスト）が塗布されており、露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００１９】
図２及び図４において、チャック１０は、移動ステージに搭載されており、移動ステージは、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、及びチャック支持台９を含んで構成されている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸ方向へ伸びるＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹ方向へ伸びるＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８には、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構には、給電装置５０から電力が供給され、図１のステージ駆動回路６０から駆動制御信号が供給される。
【００２０】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないＺ−チルト機構により、マスクホルダ２０をＺ方向（図４の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、マスク２と基板１との位置合わせが行われる。図１において、主制御装置７０は、ステージ駆動回路６０を制御して、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向へ回転を行う。
【００２１】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。
【００２２】
図１〜図４において、ベース３の手前には、ケーブルカイド３０が設けられている。図１及び図３において、ケーブルカイド３０内には、給電装置５０からの複数の給電ケーブル５１と、ステージ駆動回路６０からの信号ケーブル６１とが収容されている。各給電ケーブル５１及び信号ケーブル６１は、ケーブルカイド３０に収容されて案内され、接続具３１を介して移動ステージのＸステージ５に接続されている。各給電ケーブル５１は、移動ステージのＸステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８の各駆動機構へ、給電装置５０からの電力を供給する。また、信号ケーブル６１は、移動ステージのＸステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８の各駆動機構へ、ステージ駆動回路６０からの駆動制御信号を供給する。
【００２３】
なお、本実施の形態では、給電ケーブル５１と信号ケーブル６１とがケーブルカイド３０に収容されているが、可撓性を有する他の配線や配管を、ケーブルカイド３０に収容してもよい。例えば、移動ステージが油圧又は空気圧で動作するアクチュエータを備える場合には、作動油又は圧縮空気を供給するホース等をケーブルカイド３０に収容してもよい。
【００２４】
ケーブルカイド３０は、ケーブルを収容する複数のケーブル収容具を連結して構成されている。図５は、本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。また、図６は、本発明を用いないケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。ケーブル収容具３２，３２’は、連結部材３２ａ、接続部材３２ｂ、及びケーブル押さえ部材３２ｃを含んで構成されている。一対の連結部材３２ａが、接続部材３２ｂにより互いに接続されている。各連結部材３２ａは、他のケーブル収容具３２，３２’の各連結部材３２ａと、所定の角度内で回転可能に連結されて、ケーブルカイド３０の側壁を構成する。ケーブル押さえ部材３２ｃは、一対の連結部材３２ａにまたがって各連結部材３２ａの上部に取り付けられ、各連結部材３２ａの間に収容されたケーブルを、各ケーブル収容具３２，３２’からはみ出ない様に押さえる役割を果している。
【００２５】
図５において、本発明の一実施の形態によるケーブルガイド３０のケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃには、潤滑層として、超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄが取り付けられている。超高分子量ポリエチレンの最大の特徴は、耐衝撃性と耐摩耗性に優れた点であるが、従来のケーブルガイドにおいても、耐衝撃性及び耐摩耗性を考慮してケーブル収容具の材料が選定されており、後述する様に加工性の低い超高分子量ポリエチレンを採用する必要性はなかった。しかしながら、本発明では、超高分子量ポリエチレンが自己潤滑性及び摺動特性に優れている点に特に着目し、ケーブルガイド３０自体の耐久性強化という目的ではなく、収容するケーブルの摩耗を低減する目的で、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに、超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた。移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具３２内でのケーブルの位置がずれても、ケーブルが各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに設けた潤滑層上を滑って、ケーブルの摩耗が低減される。従って、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵が抑制され、マスク２及び基板１に塵が付着するのが防止される。
【００２６】
図７は、本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の分解図である。図７は、ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃを取り外した状態を示している。本実施の形態では、図７に示す様に、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けている。
【００２７】
通常、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃの断面は、各ケーブル収容具３２内の収容面積を大きくするため、横長の長方形又は楕円形と成っている。超高分子量ポリエチレンは、耐衝撃性と耐摩耗性に優れているが、溶融時の流動性が極めて低く射出成形に適さないため、ケーブルガイド３０のケーブル収容具３２自体を超高分子量ポリエチレンで構成することは困難である。一方、超高分子量ポリエチレンは、熱可塑性樹脂に分類される合成樹脂であり、中空成形した超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを加熱すると、簡単に押しつぶして変形させることができる。従って、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに潤滑層を設けると、簡単な加工で、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【００２８】
なお、図５において、ケーブル収容具３２の接続部材３２ｂも、ケーブルを押さえるケーブル押さえ部材としての機能を有しており、接続部材３２ｂが着脱可能に構成されている場合は、接続部材３２ｂにも本発明を適用することができる。また、ケーブル押さえ部材には、図５に示す各連結部材３２ａの上部にまたがって設けられるものの他に、ケーブル収容具３２内でケーブル同士のからみを防止する仕切り板として、ケーブル収容具３２内の任意の高さに設けられるものがあり、その様な仕切り板としてのケーブル押さえ部材にも、本発明を適用することができる。
【００２９】
以上説明した実施の形態によれば、移動ステージに接続された複数の給電ケーブル５１を、複数の給電ケーブル５１を押さえるケーブル押さえ部材３２ｃを設け、ケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具３２を有するケーブルガイド３０に収容して案内し、ケーブルガイド３０に収容した給電ケーブル５１により移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャック１０を移動することにより、移動ステージの移動に伴う給電ケーブル５１からの発塵を抑制して、マスク２及び基板１に塵が付着するのを防止することができる。
【００３０】
さらに、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに潤滑層を設けることにより、簡単な加工で、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
２０ マスクホルダ
３０ ケーブルガイド
３１ 接続具
３２，３２’ ケーブル収容具
３２ａ 連結部材
３２ｂ 接続部材
３２ｃ ケーブル押さえ部材
３２ｄ 超高分子量ポリエチレンチューブ
５０ 給電装置
５１ 給電ケーブル
６０ ステージ駆動回路
６１ 信号ケーブル
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の基板移動方法に係り、特に、基板を支持するチャックを移動ステージによりＸＹ方向へ移動及びθ方向へ回転して、露光時の基板の位置決めを行うプロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置の基板移動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロキシミティ露光装置において、パターンの焼付けを精度良く行うためには、露光時の基板の位置決めを精度良く行わなければならない。基板の位置決めを行う移動ステージは、Ｘ方向へ移動するＸステージと、Ｙ方向へ移動するＹステージと、θ方向へ回転するθステージとを備え、基板を支持するチャックを搭載して、ＸＹ方向へ移動及びθ方向へ回転する。移動ステージのＸステージ、Ｙステージ、及びθステージには、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の駆動機構が設けられており、各駆動機構に電力を供給するケーブルは、例えば特許文献１に記載の様に、「ケーブルベア」（株式会社椿本チエインの登録商標）等のケーブルガイドによって案内される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−２５６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されたケーブルガイドは、ケーブルを収容する複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具には、収容されたケーブルを各ケーブル収容具からはみ出ない様に押さえるケーブル押さえ部材が設けられている。移動ステージに電力を供給するケーブルを、この様なケーブルガイドにより案内する従来のプロキシミティ露光装置では、移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具内でのケーブルの位置がずれて、ケーブルが各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材とこすれ合うと、ケーブルの被覆が摩擦で削れて塵を発生し、発生した塵がマスク及び基板に付着するという問題があった。
【０００６】
本発明の課題は、基板を支持するチャックを移動する移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のプロキシミティ露光装置は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、チャックを搭載する移動ステージと、移動ステージに接続された複数のケーブルと、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材が設けられた複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層が設けられたケーブルガイドとを備え、ケーブルガイドに収容されたケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動するものである。
【０００８】
また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板移動方法は、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板移動方法であって、チャックを移動ステージに搭載し、移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動するものである。
【０００９】
超高分子量ポリエチレン（Ｕｌｔｒａ Ｈｉｇｈ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｗｅｉｇｈｔ Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ）は、ポリエチレン分子の製造時間を長くすることにより、通常は２〜３０万である分子量を１００〜７００万まで高めたポリエチレンである。超高分子量ポリエチレンの最大の特徴は、耐衝撃性と耐摩耗性に優れた点であるが、従来のケーブルガイドにおいても、耐衝撃性及び耐摩耗性を考慮してケーブル収容具の材料が選定されており、後述する様に加工性の低い超高分子量ポリエチレンを採用する必要性はなかった。しかしながら、本発明では、超高分子量ポリエチレンが自己潤滑性及び摺動特性に優れている点に特に着目し、ケーブルガイド自体の耐久性強化という目的ではなく、収容するケーブルの摩耗を低減する目的で、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に、超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた。移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具内でのケーブルの位置がずれても、ケーブルが各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に設けた潤滑層上を滑って、ケーブルの摩耗が低減される。従って、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵が抑制され、マスク及び基板に塵が付着するのが防止される。
【００１０】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の断面が長方形又は楕円形であり、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の潤滑層が、加熱されて押しつぶされた超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に被せて設けられたものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板移動方法は、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けるものである。
【００１１】
通常、ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の断面は、各ケーブル収容具内の収容面積を大きくするため、横長の長方形又は楕円形と成っている。超高分子量ポリエチレンは、耐衝撃性と耐摩耗性に優れているが、溶融時の流動性が極めて低く射出成形に適さないため、ケーブルガイドのケーブル収容具自体を超高分子量ポリエチレンで構成することは困難である。一方、超高分子量ポリエチレンは、熱可塑性樹脂に分類される合成樹脂であり、中空成形したチューブを加熱すると、簡単に押しつぶして変形させることができる。従って、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けると、簡単な加工で、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動することにより、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止することができる。
【００１３】
さらに、本発明によれば、ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けることにより、簡単な加工で、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。
【図３】チャックを露光位置へ移動した状態を示す上面図である。
【図４】チャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図５】本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。
【図６】本発明を用いないケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。
【図７】本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の分解図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の概略構成を示す図である。また、図２は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、移動ステージ、チャック１０、マスクホルダ２０、ケーブルガイド３０、接続具３１、給電装置５０、給電ケーブル５１、ステージ駆動回路６０、信号ケーブル６１、及び主制御装置７０を含んで構成されている。なお、図２では、ステージ駆動回路６０、及び主制御装置７０が省略されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板１をチャック１０へ搬入し、また基板１をチャック１０から搬出する基板搬送ロボット、露光光を照射する照射光学系、装置内の温度管理を行う温度制御ユニット等を備えている。
【００１６】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００１７】
図１及び図２において、チャック１０は、基板１のロード及びアンロードを行うロード／アンロード位置にある。ロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送ロボットにより、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板１のロード及びチャック１０からの基板１のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板１をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボットから基板１を受け取り、基板１をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボットへ基板１を受け渡す。チャック１０は、基板１の裏面を真空吸着して支持する。
【００１８】
図３はチャックを露光位置へ移動した状態を示す上面図、図４はチャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が設置されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、開口の下方には、マスク２が装着されている。マスクホルダ２０の下面の開口の周囲には、吸着溝が設けられており、マスクホルダ２０は、吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持している。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。基板１の表面には、感光樹脂材料（フォトレジスト）が塗布されており、露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板１上にパターンが形成される。
【００１９】
図２及び図４において、チャック１０は、移動ステージに搭載されており、移動ステージは、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、及びチャック支持台９を含んで構成されている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸ方向へ伸びるＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹ方向へ伸びるＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向へ移動する。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。Ｘステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８には、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動機構が設けられており、各駆動機構には、給電装置５０から電力が供給され、図１のステージ駆動回路６０から駆動制御信号が供給される。
【００２０】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０は、ロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。ロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。また、図示しないＺ−チルト機構により、マスクホルダ２０をＺ方向（図４の図面上下方向）へ移動及びチルトすることによって、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、マスク２と基板１との位置合わせが行われる。図１において、主制御装置７０は、ステージ駆動回路６０を制御して、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向へ回転を行う。
【００２１】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。
【００２２】
図１〜図４において、ベース３の手前には、ケーブルカイド３０が設けられている。図１及び図３において、ケーブルカイド３０内には、給電装置５０からの複数の給電ケーブル５１と、ステージ駆動回路６０からの信号ケーブル６１とが収容されている。各給電ケーブル５１及び信号ケーブル６１は、ケーブルカイド３０に収容されて案内され、接続具３１を介して移動ステージのＸステージ５に接続されている。各給電ケーブル５１は、移動ステージのＸステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８の各駆動機構へ、給電装置５０からの電力を供給する。また、信号ケーブル６１は、移動ステージのＸステージ５、Ｙステージ７、及びθステージ８の各駆動機構へ、ステージ駆動回路６０からの駆動制御信号を供給する。
【００２３】
なお、本実施の形態では、給電ケーブル５１と信号ケーブル６１とがケーブルカイド３０に収容されているが、可撓性を有する他の配線や配管を、ケーブルカイド３０に収容してもよい。例えば、移動ステージが油圧又は空気圧で動作するアクチュエータを備える場合には、作動油又は圧縮空気を供給するホース等をケーブルカイド３０に収容してもよい。
【００２４】
ケーブルカイド３０は、ケーブルを収容する複数のケーブル収容具を連結して構成されている。図５は、本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。また、図６は、本発明を用いないケーブルガイドのケーブル収容具の斜視図である。ケーブル収容具３２，３２’は、連結部材３２ａ、接続部材３２ｂ、及びケーブル押さえ部材３２ｃを含んで構成されている。一対の連結部材３２ａが、接続部材３２ｂにより互いに接続されている。各連結部材３２ａは、他のケーブル収容具３２，３２’の各連結部材３２ａと、所定の角度内で回転可能に連結されて、ケーブルカイド３０の側壁を構成する。ケーブル押さえ部材３２ｃは、一対の連結部材３２ａにまたがって各連結部材３２ａの上部に取り付けられ、各連結部材３２ａの間に収容されたケーブルを、各ケーブル収容具３２，３２’からはみ出ない様に押さえる役割を果している。
【００２５】
図５において、本発明の一実施の形態によるケーブルガイド３０のケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃには、潤滑層として、超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄが取り付けられている。超高分子量ポリエチレンの最大の特徴は、耐衝撃性と耐摩耗性に優れた点であるが、従来のケーブルガイドにおいても、耐衝撃性及び耐摩耗性を考慮してケーブル収容具の材料が選定されており、後述する様に加工性の低い超高分子量ポリエチレンを採用する必要性はなかった。しかしながら、本発明では、超高分子量ポリエチレンが自己潤滑性及び摺動特性に優れている点に特に着目し、ケーブルガイド３０自体の耐久性強化という目的ではなく、収容するケーブルの摩耗を低減する目的で、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに、超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた。移動ステージの移動に伴い、各ケーブル収容具３２内でのケーブルの位置がずれても、ケーブルが各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに設けた潤滑層上を滑って、ケーブルの摩耗が低減される。従って、移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵が抑制され、マスク２及び基板１に塵が付着するのが防止される。
【００２６】
図７は、本発明の一実施の形態によるケーブルガイドのケーブル収容具の分解図である。図７は、ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃを取り外した状態を示している。本実施の形態では、図７に示す様に、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けている。
【００２７】
通常、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃの断面は、各ケーブル収容具３２内の収容面積を大きくするため、横長の長方形又は楕円形と成っている。超高分子量ポリエチレンは、耐衝撃性と耐摩耗性に優れているが、溶融時の流動性が極めて低く射出成形に適さないため、ケーブルガイド３０のケーブル収容具３２自体を超高分子量ポリエチレンで構成することは困難である。一方、超高分子量ポリエチレンは、熱可塑性樹脂に分類される合成樹脂であり、中空成形した超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを加熱すると、簡単に押しつぶして変形させることができる。従って、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに潤滑層を設けると、簡単な加工で、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【００２８】
なお、図５において、ケーブル収容具３２の接続部材３２ｂも、ケーブルを押さえるケーブル押さえ部材としての機能を有しており、接続部材３２ｂが着脱可能に構成されている場合は、接続部材３２ｂにも本発明を適用することができる。また、ケーブル押さえ部材には、図５に示す各連結部材３２ａの上部にまたがって設けられるものの他に、ケーブル収容具３２内でケーブル同士のからみを防止する仕切り板として、ケーブル収容具３２内の任意の高さに設けられるものがあり、その様な仕切り板としてのケーブル押さえ部材にも、本発明を適用することができる。
【００２９】
以上説明した実施の形態によれば、移動ステージに接続された複数の給電ケーブル５１を、複数の給電ケーブル５１を押さえるケーブル押さえ部材３２ｃを設け、ケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具３２を有するケーブルガイド３０に収容して案内し、ケーブルガイド３０に収容した給電ケーブル５１により移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャック１０を移動することにより、移動ステージの移動に伴う給電ケーブル５１からの発塵を抑制して、マスク２及び基板１に塵が付着するのを防止することができる。
【００３０】
さらに、ケーブルガイド３０の各ケーブル収容具３２の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材３２ｃに、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンチューブ３２ｄを被せて、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに潤滑層を設けることにより、簡単な加工で、各ケーブル収容具３２のケーブル押さえ部材３２ｃに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けることができる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板
２ マスク
３ ベース
４ Ｘガイド
５ Ｘステージ
６ Ｙガイド
７ Ｙステージ
８ θステージ
９ チャック支持台
１０ チャック
２０ マスクホルダ
３０ ケーブルガイド
３１ 接続具
３２，３２’ ケーブル収容具
３２ａ 連結部材
３２ｂ 接続部材
３２ｃ ケーブル押さえ部材
３２ｄ 超高分子量ポリエチレンチューブ
５０ 給電装置
５１ 給電ケーブル
６０ ステージ駆動回路
６１ 信号ケーブル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
前記チャックを搭載する移動ステージと、
前記移動ステージに接続された複数のケーブルと、
前記複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材が設けられた複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層が設けられたケーブルガイドとを備え、
前記ケーブルガイドに収容された前記ケーブルにより前記移動ステージへ電力を供給して、前記移動ステージにより前記チャックを移動することを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
前記ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材は、断面が長方形又は楕円形であり、
各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の潤滑層は、加熱されて押しつぶされた超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に被せて設けられたことを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板移動方法であって、
チャックを移動ステージに搭載し、
移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、
ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動することを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板移動方法。
【請求項４】
ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けることを特徴とする請求項３に記載のプロキシミティ露光装置の基板移動方法。
【請求項１】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
前記チャックを搭載する移動ステージと、
前記移動ステージに接続された複数のケーブルと、
前記複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材が設けられた複数の連結されたケーブル収容具を有し、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層が設けられたケーブルガイドとを備え、
前記ケーブルガイドに収容された前記ケーブルにより前記移動ステージへ電力を供給して、前記移動ステージにより前記チャックを移動することを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
前記ケーブルガイドの各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材は、断面が長方形又は楕円形であり、
各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材の潤滑層は、加熱されて押しつぶされた超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に被せて設けられたことを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダとを備え、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板移動方法であって、
チャックを移動ステージに搭載し、
移動ステージに接続された複数のケーブルを、複数のケーブルを押さえるケーブル押さえ部材を設け、ケーブル押さえ部材に超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層を設けた複数の連結したケーブル収容具を有するケーブルガイドに収容して案内し、
ケーブルガイドに収容したケーブルにより移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャックを移動することを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板移動方法。
【請求項４】
ケーブルガイドの各ケーブル収容具の断面が長方形又は楕円形のケーブル押さえ部材に、加熱して押しつぶした超高分子量ポリエチレンから成る中空のチューブを被せて、各ケーブル収容具のケーブル押さえ部材に潤滑層を設けることを特徴とする請求項３に記載のプロキシミティ露光装置の基板移動方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−７３１７６（Ｐ２０１３−７３１７６Ａ）
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１３９８８（Ｐ２０１１−２１３９８８）
【出願日】平成２３年９月２９日（２０１１．９．２９）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年４月２２日（２０１３．４．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年９月２９日（２０１１．９．２９）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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