光ピックアップ調整方法
【課題】光ピックアップを光学的にジャストフォーカス状態にして、光ピックアップの受光部の光軸方向のずれを検出するとともに、戻り光の光学特性を検出することのできる、光ピックアップ調整方法を提供する。
【解決手段】光ピックアップ7の対物レンズの焦点位置に回折格子10を配置し、前記光ピックアップ7の光源から出射した光を前記回折格子10で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを予め入力された基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする光ピックアップ調整方法を用いる。
【解決手段】光ピックアップ7の対物レンズの焦点位置に回折格子10を配置し、前記光ピックアップ7の光源から出射した光を前記回折格子10で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを予め入力された基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする光ピックアップ調整方法を用いる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光ディスク方式の情報記録媒体に情報を読み書きする光ピックアップを調整する方法に関するもので、特に、光ピックアップの光学特性を検査した後に調整するする光ピックアップ調整方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
光ディスク方式の情報記録媒体から情報を読み取り、またこの情報記録媒体に情報を記録するためには、光源から出射された光を目的の場所に正確に照射できる光学系が必要である。
【0003】
この光学系として用いられるものに光ピックアップがある。図従1に従来の光ピックアップ検査装置の構成図を示す。
【0004】
図13において、検査対象の光ピックアップ1の光源2から出射されるレーザ・ビーム3を受光して、非点収差生成用のシリンドリカルレンズ4を通過させ、このシリンドリカルレンズ4を通過したレーザ・ビーム3を、受光面が上下左右に配置された四つの受光領域A、B、C、Dに分割された光電子集積回路5によって形成される受光素子6に入射させ、その受光素子に入射する光を用いて電気出力信号の値を比較することにより、光ピックアップ内の光軸ズレや、光ピックアップと光ディスクとのフォーカス状態の検出を行っている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
また光ピックアップの出射光の検査の他の方法としては、光ディスクの代わりに回折格子を用い、レンズから出射した光を回折させてシェアリング干渉光とし、その干渉光を集光レンズと受像体受像を用いて受像し、受像した干渉縞を検出することで光ピックアップ出射光の収差情報の検出を行っている方法がある(例えば、特許文献2参照)。
【特許文献1】特開2005−121448号公報
【特許文献2】特開2002−216388号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、従来の光ピックアップの調整方法では、光ピックアップの受光部を取り外して評価する必要がある。併せて、従来の方法では、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析といった光学特性を切り分けて検出できないため、光ピックアップの不良の発生要因が特定できないという課題がある。
【0007】
本発明は前記従来の課題を解決するためのもので、光ピックアップの受光系に不良がある時にその不良原因を切り分けることができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するため、本発明の光ピックアップ調整方法は、光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上のように、本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの受光部を取り外すことなく、光ピックアップを調整することができる。
【0010】
また、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析による光ピックアップの光軸の問題を切り分けて検出できるため、光ピックアップの不良の切り分け、その問題に応じた調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【0012】
(実施の形態1)
図1は、本発明の光ピックアップ検査装置の概略図である。図1では、紙面に垂直な方向をZ方向、紙面に平行な上下方向をX方向、紙面に垂直な左右方向をY方向とする。
【0013】
図1において、本発明の光ピックアップ検査装置は、概略として、光ピックアップ7、フリンジ光学系8、観察光学系9、回折格子10と、回折格子10を移動させる移動装置11より構成される。ここで、観察光学系9は、回折格子10の反射面を挟んで、光ピックアップ7と共役な光学系となるように形成されている。
【0014】
最初に、検査対象物となる光ピックアップ7の構成について説明する。
【0015】
図2に、光ピックアップ7の構成の概略図を示す。
【0016】
図2において、半導体レーザを平行光にして出射する光源12からの出射光13は、光源12からの出射方向の光軸14を有する。出射光13は、ほぼ直線偏光で、紙面に対して垂直方向の偏光を有する。出射光13は、光分割面が光軸14に対して45度になるように配置された偏光ビームスプリッタ15において、入射光の内のX方向の偏光成分は透過し、Z方向の偏光成分は光軸14に対して90度方向に反射する。偏光ビームスプリッタ15で反射した光の光軸16が、コリメートレンズ17の中心軸を通るように調整されており、光源12の位置はコリメートレンズ17の前側焦点となるように調整する。1/4λ波長板18は、光軸16上に配置され、位相が進む方向である進相軸を+45度方向に回転させる。
【0017】
対物レンズ19は、光軸16が中心軸となるように配置する。検出レンズ20として本実施の形態ではシリンドリカルレンズを用い、検出レンズ20の位置は光軸16を中心軸とする。検出レンズ20を透過した光には、非点収差が与えられる。これは、非点収差法により、光ピックアップ7と回折格子10とのフォーカスを検出するためである。ここで、非点収差法とは、非点収差をもった光学系で結像した点像の歪を検出することで、光軸方向の変位を非接触で検出する方法である。
【0018】
受光部21は、その受光素子面に光軸16が垂直に通るようにして、受光部21の受光素子面がコリメートレンズ17と検出レンズ20の後側合焦点となる位置に配置する。受光部21の受光素子はシリコンで形成されており、その反射率は30%程度である。光検出手段22は、受光部21からの信号を処理して、受光部21において受光した光の解析を行うためのものである。
【0019】
ここで、1/4λ波長板18の機能を説明するために、図3に1/4λ波長板18の軸と回転方向を示す図を示す。
【0020】
図3において、Z方向の時計回りを+方向とすると、光軸16上に配置された1/4λ波長板18は、位相が進む方向である進相軸23と位相が遅れる方向である遅相軸24を有する。入射光の直線偏光方向のうち、+45度、−45度を図3に示す。ここで、進相軸23は+45度方向となり、遅相軸24は−45度方向となる。
【0021】
次に、シェアリング干渉光を用いて光ピックアップ7と回折格子10とのフォーカスズレを検出するためのフリンジ光学系8の構成について説明するための過程として、フリンジ光学系8の構成の概略図を示す。
【0022】
図4において、対物レンズ25と1/4λ波長板26は、光軸16がその中心を垂直に通るように配置し、1/4λ波長板26の進相軸は、X方向に対し+45度方向となるように配置する。偏光ビームスプリッタ27は、その光分割面が光軸16に対してほぼ45度になるように配置し、入射光のうち、Z方向の偏光成分を透過し、X方向の偏光成分を光軸16から90度方向に反射する。光軸16を中心軸とする集光レンズ28の後側焦点の位置に、受像装置29を配置する。受像装置29に接続された処理装置30は、受像装置29で受像した光の信号処理及び解析を行う。処理装置30の解析結果は、モニタ31に表示される。
【0023】
次に、対物レンズ19からの出射光を観察するための観察光学系9の構成について説明する過程として、図5に、観察光学系9の構成の概略図を示す。
【0024】
図5において、偏光板32は、光軸16と垂直な光軸33上で、かつ透過偏光方向がZ方向になるように配置される。ハーフミラー34は、光分割面が光軸33に対してほぼ45度になるように配置されている。集光レンズ35とシリンドリカルレンズである収差補正用レンズ36とは、光軸33がその中心を垂直に通るように配置する。
【0025】
収差補正用レンズ36は、Y方向に曲率面、Z方向に平面を有し、入射光に対してY方向の光軸33方向のみの光に変化を与える。受像装置38は、光軸33が受像装置38の受像面に垂直に通るようにする。
【0026】
受像装置38は、受像面が集光レンズ35の後側焦点位置になるように配置し、収差補正用レンズ36は、Y方向断面での光が集光レンズ35と収差補正用レンズ36を透過して受像装置38の受像面に集光する位置に配置される。受像装置38に接続された処理装置39は、受像装置38で受像した光の信号処理及び解析を行う。モニタ40は、処理装置39での処理結果を表示する。
【0027】
また、ハロゲン光源である照明光源41は、光軸37をその出射方向とし、本実施の形態においては、装置の上部からZ方向に光を照射する落斜照明を行う。干渉フィルターである波長制限フィルター42は、照明光源41からのうち、光ピックアップ7の光源12から出射される光の波長に対し、±1%以内の波長の光のみを透過する性質を有する。
【0028】
ここで、集光レンズ35と収差補正用レンズ36との位置関係について説明するために、図6に、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係を示す図を示す。ここで、図6(a)は、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のY方向の断面について示す図であり、図6(b)は、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のZ方向の断面について示す図である。なお、本実施の形態では、レンズの厚みによる球面収差は発生しないと仮定し、その影響を考慮していない。
【0029】
ここで、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38の位置関係について、図6(a)〜(b)を用いて説明する。
【0030】
図6(a)〜(b)において、焦点距離f1は、対物レンズ25の焦点距離であり、焦点距離f2は、集光レンズ35の焦点距離である。回折格子10の反射面に集光した光は、Y方向の断面とZ方向の断面とで集光する位置が微小に異なる。これは、検出レンズ20により生じる非点収差の影響による。図6(a)に示すように、Y方向の断面では、光ピックアップ7からの出射光の集光位置と対物レンズ25との距離が対物レンズ25の焦点距離よりも微小に短くなるため、対物レンズ25を透過した光は拡大光となる。しかし、図6(b)に示すように、Z方向の断面では、光ピックアップ7からの出射光の集光位置と対物レンズ25との距離が対物レンズ25の焦点距離と等しくなるため、対物レンズ25を透過した光は平行光となり、集光レンズ35で集光する。
【0031】
次に、回折格子10の光学系について説明する。
【0032】
図7は、回折格子10を介した回折光を示す図である。
【0033】
図7において、回折格子10は、半透過基板に格子溝を有するものであり、移動手段11によって、光軸16上を移動するものである。回折格子10は、片面の一部に凹部と凸部を交互に配置した格子溝43を備えており、光は回折格子10の格子溝43が存在しない面より入射する。
【0034】
格子溝43は半透過性の反射膜44で覆われ、反射膜44は、回折格子10に入射した光の一部を反射し、一部を透過する性質を有する。反射膜44の反射率は、40〜60%とすると、受光部21の反射率は20〜40%程度が望ましい。これは、本実施の形態において、光源12から1mWの光を出射した時の戻り光を受像装置38で十分な光の強度を保ちながら受像し、且つ光ピックアップ7を実際に使用する状況では反射率を出来る限り抑えるために有効な反射率である。光ピックアップ7を実際に使用する状況での受光部21での反射光は、ディスクの読み取り時に迷光となるためエラー要因である。ここで、戻り光とは、光源12からの出射光が偏光ビームスプリッタ15で反射した後に回折格子10で反射し、偏光ビームスプリッタ15を透過した後に受光部21に戻り、更に受光部21で反射して回折格子10を透過する光である。また、格子溝43の形状寸法は、回折格子10から得られた0次光と+1次光、0次光と−1次光とが、それぞれ対物レンズ25の瞳面上でシェアリング干渉するように設計されている。対物レンズ25の瞳面上でシェアリング干渉した光は、干渉領域45、46を形成する。
【0035】
また47は、回折格子10の格子溝43が形成された面と同じ面に位置し、且つ格子溝が形成されていない非回折領域である。
【0036】
以下、本実施の形態における光ピックアップの検査工程について説明する。
【0037】
図8は、光ピックアップの検査工程図である。
【0038】
図8において、先ず工程S1にて、回折格子10と対物レンズ25との位置関係を調整し、固定する。回折格子10の格子溝43の凸部の中央に対物レンズ25の前側焦点を位置させるために、回折格子10と対物レンズ25との相対距離を調整する。この時に調整するための方法としては、回折格子10と対物レンズ25との関係を目視や撮像によって測定して調整する方法や、回折格子10での反射光を用いて調整する方法等が考えられる。対物レンズ25の前側焦点位置に回折格子10の凸部が位置するように、対物レンズ25と回折格子10の相対位置を調整した後、回折格子10と対物レンズ25との位置関係を固定する。
【0039】
次に、工程S2にて、光ピックアップ7の受光部21の位置を調整し、固定する。回折格子10の反射膜44が光ピックアップ7の対物レンズ19の前側焦点となる位置、すなわち対物レンズ19のジャストフォーカス位置に回折格子10が配置される位置まで移動させる。そのために、光ピックアップ7の光源12からの光を偏光ビームスプリッタ15で反射させ、対物レンズ19から出射して回折格子10で回折され、フリンジ光学系8の対物レンズ25の瞳面上で発生したシェアリング干渉縞を受像装置29で受像し、受像した干渉像を測定することで、光ピックアップ7と回折格子10との位置ズレ(デフォーカス)を検出する。光ピックアップ7の位置が正規の位置よりずれている(デフォーカス状態)だと、対物レンズ25の瞳面で干渉縞が表れる。光ピックアップ7を正規の位置とするために、干渉縞が表れなくなる状態まで、光ピックアップ7と回折格子10との相対位置を調整する。ここで、受像装置29の干渉縞の受像結果からジャストフォーカス位置を測定する方法について、図9を用いて説明する。
【0040】
図9に受像装置29で受像する干渉縞の一例を示す図を示す。図9(a)は、ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図であり、図9(b)はデフォーカス状態での干渉縞を示す図である。
【0041】
図9(a)に示すようなジャストフォーカス状態では、回折格子10の位置が対物レンズ19の焦点に正確に一致しているため、干渉領域45、46に干渉縞は表れない。しかし、図9(b)に示すようなデフォーカス状態では、回折格子10の位置が対物レンズ19の焦点からずれているため、干渉領域45、46に干渉縞が表れる。受像装置29で受像する干渉領域45、46を、モニタ31に表示し、回折格子10がジャストフォーカス状態になるように、光ピックアップ7の受光部21の位置を、光軸16上において調整する。
【0042】
以上、工程S1〜S2により、光ピックアップ7の位置調整が終了する。
【0043】
続いて、光ピックアップ7の内部の機構の不良についての検査を行う。
【0044】
先ず工程S3で、光ピックアップ7内部の受光部21の状態についての検査を行う。光ピックアップ7内部の光源12からの戻り光を、回折格子10を透過させて観察光学系9の受像装置38で受光する。ここで、処理装置39には、予め、受像装置38において目標となるスポット形状が入力されており、その目標形状と受像装置38で受光した光のスポット形状とのズレから、光ピックアップ7の受光部21の光軸16方向の位置ズレを検出する。受光部21の光軸16方向の位置ズレを調整しているので、光ピックアップ7と回折格子10とが光軸16上でジャストフォーカスになっている。具体的には、戻り光形状は歪まずに真円に近い形状になるように受光部21の光軸16方向の位置を調整している。ここで、受光部21の光軸16方向の位置ズレが検出された場合は、受光部21の位置ズレを調整した後、工程S2を介して、再び工程S3を行う。
【0045】
次に工程S4で、光ピックアップ7内部の光路の不良の検出行う。本実施の形態における光ピックアップ7内の光路の不良とは、光ピックアップ7内部の光学部品の配置ズレや混入物による屈折による受光部21の目標位置(4分割の受光素子のクロス位置)からのズレや、光ピックアップ7内部の光学部品の汚れ等によるスポットの光強度のバラツキが発生している状態をいう。光ピックアップ7の光源12からの戻り光が回折格子10を透過した透過光を、観察光学系9の受像装置38で受像する。ここで、受像装置38に表れるスポットの状態について図10を用いて説明する。
【0046】
図10に受像装置38におけるスポット形状を示す図を示す。図10(a)は、コリメートレンズ36に収束光が入射した状態を示す図であり、図10(b)は、コリメートレンズ36に平行光が入射した状態を示す図であり、図10(c)は、コリメートレンズ36に拡大光が入射した状態を示す図である。
【0047】
図10(a)〜(c)において、光ピックアップ7内の受光部21は、4分割の受光素子からなり、各分割された面において受光素子の出力を検出できるようになっている。各分割された面の光強度を測定することで、分割面毎の光強度を測定することができる。その測定結果より、光ピックアップ7内の光路の検査を行い、光路の不良が判明した場合は、その光路に不良があるとして、光路の調整を行う。その調整が終了した後、工程S2を介して、再び工程S5を行う。
【0048】
このようにして、光ピックアップ7の不良の原因を切り分けてそれぞれの調整を行うことで、従来の方法では必要であった余分な工程を減らすことができる。それにより本発明は、従来よりも効率的で調整時間の短い光ピックアップの製造を実現することができる。
【0049】
また、従来の方法では切り分けることの出来なかった光ピックアップの不良項目を切り分けて検査することができるため、それぞれの光ピックアップの用途に応じた検査のみを行うこともできる。
【0050】
ここで、光ピックアップ7の光源12からの光を、偏光ビームスプリッタ15を一度介しただけの光と、受光部21で反射した戻り光とに分け、それらを分離して検査を行える原理についての説明を行う。
【0051】
図11に、光ピックアップからの出射光の偏光状態を示す図を示す。図11(a)は、光源光の偏光状態を示す図であり、図11(b)は、戻り光の偏光状態を示す図である。
【0052】
図11(a)〜(b)において、二重丸や左右矢印は直線偏光を示す記号であり、時計回りの矢印を有する輪は右回りの円偏光を示す記号であり、反時計回りの矢印を有する輪は左回りの円偏光を示す記号である。
【0053】
図11(a)において、光源12から出射したZ方向の直線偏光の光は、偏光ビームスプリッタ15で反射し、コリメートレンズ17を透過して平行光となり、1/4λ波長板18を透過して光軸16に対し右回りの円偏光となり、対物レンズ19より出射する。その出射光の内、一部は右回りの円偏光のまま回折格子10を透過する。
【0054】
続いて、図11(b)において、対物レンズ19より出射し、回折格子10で反射した戻り光は、右回りの円偏光の状態で、1/4λ波長板18を透過してX方向の直線偏光となる。その後、コリメートレンズ17、偏光ビームスプリッタ15、検出レンズ20を透過して、受光部21に入射する。受光部21に入射した光の内の一部は、受光部21の受光素子面で反射し、前述とは逆に、検出レンズ20、偏光ビームスプリッタ15、コリメートレンズ17を透過した後、1/4λ波長板18を透過して、光軸16に対して左回りの円偏光となる。その後、対物レンズ19により集光し、一部の光が左回りの円偏光のまま回折格子10を透過する。
【0055】
このように、同じ回折格子10を透過した光にも、光源12から受光部21を介さずに出射された光である光源光と、受光部21で反射した後に出射された反射戻り光があり、それぞれ偏光状態は異なる。
【0056】
続いて、図12は、観察光学系9での偏光状態を示す図である。
【0057】
図12において、光ピックアップ7から出射され、偏光ビームスプリッタ27で反射した反射戻り光は、偏光板32、ハーフミラー34、集光レンズ35を透過し、収差補正用レンズ36に入射する。収差補正用レンズ36は、光ピックアップ7の検出レンズ20による光学特性への影響を除去するものであり、検出レンズ20と同じ性質のものが用いられる。
【0058】
また、照明光源41からの照明光は、波長制限フィルター42を透過してハーフミラー34で反射し、偏光板32を透過してZ方向の直線偏光になり、偏光ビームスプリッタ27で反射し、1/4λ波長板26を透過して光軸16に対し左回りの円偏光になり、対物レンズ25を透過して、回折格子10に入射し、一部の光は透過し、その他の光は反射する。回折格子10で反射した照明光は元の光路を逆に辿るが、1/4λ波長板26を透過してY方向の直線偏光となっているため、偏光ビームスプリッタ27で反射せず、受像装置38には入射しないようになっている。また、回折格子10を透過した照明光は、光ピックアップ7の対物レンズ19を透過し、1/4λ波長板18でX方向の直線偏光になり、コリメートレンズ17と偏光ビームスプリッタ15を透過して、受光部21の受光素子に到達する。このようにして、光ピックアップ7の受光部21に照明光を照射することで、光ピックアップ7の受光部21を明確な状態で見ることが出来る。
【0059】
なお、収差補正用レンズ36は、光ピックアップ7の検出レンズ20の影響を除去するものとしたが、光ピックアップ7内に球面収差補正機能がある場合は、球面収差の影響を除去する機能も持たせる。
【0060】
なお、照明光源41はハロゲン光源としたが、他の白色光源や、半導体レーザ、レーザダイオードでもよい。
【0061】
なお、波長制限フィルター42は干渉フィルターとしたが、任意の波長を取り出すことのできる分光素子であればよい。
【0062】
なお、波長制限フィルター42による波長制限幅は、光ピックアップ7の光源12の波長に対して±1%以内としたが、照明光源の光量によっては±2%以内でもよい場合もある。
【0063】
なお、波長制限フィルター42の透過の有無に係わらず、照明光源41からの照明光が光ピックアップ7の光源12と同じ波長を有していると、同じ波長の光同士が干渉して、外乱が大きくなるため、照明光源41からの照明光と光ピックアップ7の光源12からの光の波長は、少なくとも異なっている必要がある。
【0064】
なお、照明光源41からの照明光が、光源12からの光よりも大きいエネルギーを有していると、照明光によって、光源12からの光が打ち消されてしまうため、光源12からの光よりも照明光源41からの光は、エネルギーが小さくなければならない。具体的には、光源12で1mWだとすると、照明光源41では0.5mW程度が望ましい。
【産業上の利用可能性】
【0065】
本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの不良を切り分けて検出することができる。そのため、BDやHD−DVD等のより高精度の光ピックアップの調整にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【0066】
【図1】光ピックアップ検査装置の概略図
【図2】光ピックアップ7の構成の概略図
【図3】1/4λ波長板18の軸と回転方向を示す図
【図4】フリンジ光学系8の構成の概略図
【図5】観察光学系9の構成の概略図
【図6】集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係を示す図(a)集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のY方向の断面について示す図(b)集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のZ方向の断面について示す図
【図7】回折格子10を介した回折光を示す図
【図8】光ピックアップの検査工程図
【図9】受像装置29で受像する干渉縞の一例を示す図(a)ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図(b)デフォーカス状態での干渉縞を示す図
【図10】受像装置38におけるスポット形状を示す図(a)収束光が入射した状態を示す図(b)平行光が入射した状態を示す図(c)拡大光が入射した状態を示す図
【図11】光ピックアップ7からの出射光の偏光状態を示す図(a)光源光の偏光状態を示す図(b)戻り光の偏光状態を示す図
【図12】観察光学系9での偏光状態を示す図
【図13】従来の光ピックアップ検査装置の構成図
【符号の説明】
【0067】
7 光ピックアップ
8 フリンジ光学系
9 観察光学系
10 回折格子
11 移動手段
【技術分野】
【0001】
本発明は、光ディスク方式の情報記録媒体に情報を読み書きする光ピックアップを調整する方法に関するもので、特に、光ピックアップの光学特性を検査した後に調整するする光ピックアップ調整方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
光ディスク方式の情報記録媒体から情報を読み取り、またこの情報記録媒体に情報を記録するためには、光源から出射された光を目的の場所に正確に照射できる光学系が必要である。
【0003】
この光学系として用いられるものに光ピックアップがある。図従1に従来の光ピックアップ検査装置の構成図を示す。
【0004】
図13において、検査対象の光ピックアップ1の光源2から出射されるレーザ・ビーム3を受光して、非点収差生成用のシリンドリカルレンズ4を通過させ、このシリンドリカルレンズ4を通過したレーザ・ビーム3を、受光面が上下左右に配置された四つの受光領域A、B、C、Dに分割された光電子集積回路5によって形成される受光素子6に入射させ、その受光素子に入射する光を用いて電気出力信号の値を比較することにより、光ピックアップ内の光軸ズレや、光ピックアップと光ディスクとのフォーカス状態の検出を行っている(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
また光ピックアップの出射光の検査の他の方法としては、光ディスクの代わりに回折格子を用い、レンズから出射した光を回折させてシェアリング干渉光とし、その干渉光を集光レンズと受像体受像を用いて受像し、受像した干渉縞を検出することで光ピックアップ出射光の収差情報の検出を行っている方法がある(例えば、特許文献2参照)。
【特許文献1】特開2005−121448号公報
【特許文献2】特開2002−216388号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかしながら、従来の光ピックアップの調整方法では、光ピックアップの受光部を取り外して評価する必要がある。併せて、従来の方法では、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析といった光学特性を切り分けて検出できないため、光ピックアップの不良の発生要因が特定できないという課題がある。
【0007】
本発明は前記従来の課題を解決するためのもので、光ピックアップの受光系に不良がある時にその不良原因を切り分けることができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0008】
上記目的を達成するため、本発明の光ピックアップ調整方法は、光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【0009】
以上のように、本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの受光部を取り外すことなく、光ピックアップを調整することができる。
【0010】
また、光ピックアップの光源の劣化状態や、光ピックアップの受光素子への戻り光の解析による光ピックアップの光軸の問題を切り分けて検出できるため、光ピックアップの不良の切り分け、その問題に応じた調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【0012】
(実施の形態1)
図1は、本発明の光ピックアップ検査装置の概略図である。図1では、紙面に垂直な方向をZ方向、紙面に平行な上下方向をX方向、紙面に垂直な左右方向をY方向とする。
【0013】
図1において、本発明の光ピックアップ検査装置は、概略として、光ピックアップ7、フリンジ光学系8、観察光学系9、回折格子10と、回折格子10を移動させる移動装置11より構成される。ここで、観察光学系9は、回折格子10の反射面を挟んで、光ピックアップ7と共役な光学系となるように形成されている。
【0014】
最初に、検査対象物となる光ピックアップ7の構成について説明する。
【0015】
図2に、光ピックアップ7の構成の概略図を示す。
【0016】
図2において、半導体レーザを平行光にして出射する光源12からの出射光13は、光源12からの出射方向の光軸14を有する。出射光13は、ほぼ直線偏光で、紙面に対して垂直方向の偏光を有する。出射光13は、光分割面が光軸14に対して45度になるように配置された偏光ビームスプリッタ15において、入射光の内のX方向の偏光成分は透過し、Z方向の偏光成分は光軸14に対して90度方向に反射する。偏光ビームスプリッタ15で反射した光の光軸16が、コリメートレンズ17の中心軸を通るように調整されており、光源12の位置はコリメートレンズ17の前側焦点となるように調整する。1/4λ波長板18は、光軸16上に配置され、位相が進む方向である進相軸を+45度方向に回転させる。
【0017】
対物レンズ19は、光軸16が中心軸となるように配置する。検出レンズ20として本実施の形態ではシリンドリカルレンズを用い、検出レンズ20の位置は光軸16を中心軸とする。検出レンズ20を透過した光には、非点収差が与えられる。これは、非点収差法により、光ピックアップ7と回折格子10とのフォーカスを検出するためである。ここで、非点収差法とは、非点収差をもった光学系で結像した点像の歪を検出することで、光軸方向の変位を非接触で検出する方法である。
【0018】
受光部21は、その受光素子面に光軸16が垂直に通るようにして、受光部21の受光素子面がコリメートレンズ17と検出レンズ20の後側合焦点となる位置に配置する。受光部21の受光素子はシリコンで形成されており、その反射率は30%程度である。光検出手段22は、受光部21からの信号を処理して、受光部21において受光した光の解析を行うためのものである。
【0019】
ここで、1/4λ波長板18の機能を説明するために、図3に1/4λ波長板18の軸と回転方向を示す図を示す。
【0020】
図3において、Z方向の時計回りを+方向とすると、光軸16上に配置された1/4λ波長板18は、位相が進む方向である進相軸23と位相が遅れる方向である遅相軸24を有する。入射光の直線偏光方向のうち、+45度、−45度を図3に示す。ここで、進相軸23は+45度方向となり、遅相軸24は−45度方向となる。
【0021】
次に、シェアリング干渉光を用いて光ピックアップ7と回折格子10とのフォーカスズレを検出するためのフリンジ光学系8の構成について説明するための過程として、フリンジ光学系8の構成の概略図を示す。
【0022】
図4において、対物レンズ25と1/4λ波長板26は、光軸16がその中心を垂直に通るように配置し、1/4λ波長板26の進相軸は、X方向に対し+45度方向となるように配置する。偏光ビームスプリッタ27は、その光分割面が光軸16に対してほぼ45度になるように配置し、入射光のうち、Z方向の偏光成分を透過し、X方向の偏光成分を光軸16から90度方向に反射する。光軸16を中心軸とする集光レンズ28の後側焦点の位置に、受像装置29を配置する。受像装置29に接続された処理装置30は、受像装置29で受像した光の信号処理及び解析を行う。処理装置30の解析結果は、モニタ31に表示される。
【0023】
次に、対物レンズ19からの出射光を観察するための観察光学系9の構成について説明する過程として、図5に、観察光学系9の構成の概略図を示す。
【0024】
図5において、偏光板32は、光軸16と垂直な光軸33上で、かつ透過偏光方向がZ方向になるように配置される。ハーフミラー34は、光分割面が光軸33に対してほぼ45度になるように配置されている。集光レンズ35とシリンドリカルレンズである収差補正用レンズ36とは、光軸33がその中心を垂直に通るように配置する。
【0025】
収差補正用レンズ36は、Y方向に曲率面、Z方向に平面を有し、入射光に対してY方向の光軸33方向のみの光に変化を与える。受像装置38は、光軸33が受像装置38の受像面に垂直に通るようにする。
【0026】
受像装置38は、受像面が集光レンズ35の後側焦点位置になるように配置し、収差補正用レンズ36は、Y方向断面での光が集光レンズ35と収差補正用レンズ36を透過して受像装置38の受像面に集光する位置に配置される。受像装置38に接続された処理装置39は、受像装置38で受像した光の信号処理及び解析を行う。モニタ40は、処理装置39での処理結果を表示する。
【0027】
また、ハロゲン光源である照明光源41は、光軸37をその出射方向とし、本実施の形態においては、装置の上部からZ方向に光を照射する落斜照明を行う。干渉フィルターである波長制限フィルター42は、照明光源41からのうち、光ピックアップ7の光源12から出射される光の波長に対し、±1%以内の波長の光のみを透過する性質を有する。
【0028】
ここで、集光レンズ35と収差補正用レンズ36との位置関係について説明するために、図6に、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係を示す図を示す。ここで、図6(a)は、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のY方向の断面について示す図であり、図6(b)は、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のZ方向の断面について示す図である。なお、本実施の形態では、レンズの厚みによる球面収差は発生しないと仮定し、その影響を考慮していない。
【0029】
ここで、集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38の位置関係について、図6(a)〜(b)を用いて説明する。
【0030】
図6(a)〜(b)において、焦点距離f1は、対物レンズ25の焦点距離であり、焦点距離f2は、集光レンズ35の焦点距離である。回折格子10の反射面に集光した光は、Y方向の断面とZ方向の断面とで集光する位置が微小に異なる。これは、検出レンズ20により生じる非点収差の影響による。図6(a)に示すように、Y方向の断面では、光ピックアップ7からの出射光の集光位置と対物レンズ25との距離が対物レンズ25の焦点距離よりも微小に短くなるため、対物レンズ25を透過した光は拡大光となる。しかし、図6(b)に示すように、Z方向の断面では、光ピックアップ7からの出射光の集光位置と対物レンズ25との距離が対物レンズ25の焦点距離と等しくなるため、対物レンズ25を透過した光は平行光となり、集光レンズ35で集光する。
【0031】
次に、回折格子10の光学系について説明する。
【0032】
図7は、回折格子10を介した回折光を示す図である。
【0033】
図7において、回折格子10は、半透過基板に格子溝を有するものであり、移動手段11によって、光軸16上を移動するものである。回折格子10は、片面の一部に凹部と凸部を交互に配置した格子溝43を備えており、光は回折格子10の格子溝43が存在しない面より入射する。
【0034】
格子溝43は半透過性の反射膜44で覆われ、反射膜44は、回折格子10に入射した光の一部を反射し、一部を透過する性質を有する。反射膜44の反射率は、40〜60%とすると、受光部21の反射率は20〜40%程度が望ましい。これは、本実施の形態において、光源12から1mWの光を出射した時の戻り光を受像装置38で十分な光の強度を保ちながら受像し、且つ光ピックアップ7を実際に使用する状況では反射率を出来る限り抑えるために有効な反射率である。光ピックアップ7を実際に使用する状況での受光部21での反射光は、ディスクの読み取り時に迷光となるためエラー要因である。ここで、戻り光とは、光源12からの出射光が偏光ビームスプリッタ15で反射した後に回折格子10で反射し、偏光ビームスプリッタ15を透過した後に受光部21に戻り、更に受光部21で反射して回折格子10を透過する光である。また、格子溝43の形状寸法は、回折格子10から得られた0次光と+1次光、0次光と−1次光とが、それぞれ対物レンズ25の瞳面上でシェアリング干渉するように設計されている。対物レンズ25の瞳面上でシェアリング干渉した光は、干渉領域45、46を形成する。
【0035】
また47は、回折格子10の格子溝43が形成された面と同じ面に位置し、且つ格子溝が形成されていない非回折領域である。
【0036】
以下、本実施の形態における光ピックアップの検査工程について説明する。
【0037】
図8は、光ピックアップの検査工程図である。
【0038】
図8において、先ず工程S1にて、回折格子10と対物レンズ25との位置関係を調整し、固定する。回折格子10の格子溝43の凸部の中央に対物レンズ25の前側焦点を位置させるために、回折格子10と対物レンズ25との相対距離を調整する。この時に調整するための方法としては、回折格子10と対物レンズ25との関係を目視や撮像によって測定して調整する方法や、回折格子10での反射光を用いて調整する方法等が考えられる。対物レンズ25の前側焦点位置に回折格子10の凸部が位置するように、対物レンズ25と回折格子10の相対位置を調整した後、回折格子10と対物レンズ25との位置関係を固定する。
【0039】
次に、工程S2にて、光ピックアップ7の受光部21の位置を調整し、固定する。回折格子10の反射膜44が光ピックアップ7の対物レンズ19の前側焦点となる位置、すなわち対物レンズ19のジャストフォーカス位置に回折格子10が配置される位置まで移動させる。そのために、光ピックアップ7の光源12からの光を偏光ビームスプリッタ15で反射させ、対物レンズ19から出射して回折格子10で回折され、フリンジ光学系8の対物レンズ25の瞳面上で発生したシェアリング干渉縞を受像装置29で受像し、受像した干渉像を測定することで、光ピックアップ7と回折格子10との位置ズレ(デフォーカス)を検出する。光ピックアップ7の位置が正規の位置よりずれている(デフォーカス状態)だと、対物レンズ25の瞳面で干渉縞が表れる。光ピックアップ7を正規の位置とするために、干渉縞が表れなくなる状態まで、光ピックアップ7と回折格子10との相対位置を調整する。ここで、受像装置29の干渉縞の受像結果からジャストフォーカス位置を測定する方法について、図9を用いて説明する。
【0040】
図9に受像装置29で受像する干渉縞の一例を示す図を示す。図9(a)は、ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図であり、図9(b)はデフォーカス状態での干渉縞を示す図である。
【0041】
図9(a)に示すようなジャストフォーカス状態では、回折格子10の位置が対物レンズ19の焦点に正確に一致しているため、干渉領域45、46に干渉縞は表れない。しかし、図9(b)に示すようなデフォーカス状態では、回折格子10の位置が対物レンズ19の焦点からずれているため、干渉領域45、46に干渉縞が表れる。受像装置29で受像する干渉領域45、46を、モニタ31に表示し、回折格子10がジャストフォーカス状態になるように、光ピックアップ7の受光部21の位置を、光軸16上において調整する。
【0042】
以上、工程S1〜S2により、光ピックアップ7の位置調整が終了する。
【0043】
続いて、光ピックアップ7の内部の機構の不良についての検査を行う。
【0044】
先ず工程S3で、光ピックアップ7内部の受光部21の状態についての検査を行う。光ピックアップ7内部の光源12からの戻り光を、回折格子10を透過させて観察光学系9の受像装置38で受光する。ここで、処理装置39には、予め、受像装置38において目標となるスポット形状が入力されており、その目標形状と受像装置38で受光した光のスポット形状とのズレから、光ピックアップ7の受光部21の光軸16方向の位置ズレを検出する。受光部21の光軸16方向の位置ズレを調整しているので、光ピックアップ7と回折格子10とが光軸16上でジャストフォーカスになっている。具体的には、戻り光形状は歪まずに真円に近い形状になるように受光部21の光軸16方向の位置を調整している。ここで、受光部21の光軸16方向の位置ズレが検出された場合は、受光部21の位置ズレを調整した後、工程S2を介して、再び工程S3を行う。
【0045】
次に工程S4で、光ピックアップ7内部の光路の不良の検出行う。本実施の形態における光ピックアップ7内の光路の不良とは、光ピックアップ7内部の光学部品の配置ズレや混入物による屈折による受光部21の目標位置(4分割の受光素子のクロス位置)からのズレや、光ピックアップ7内部の光学部品の汚れ等によるスポットの光強度のバラツキが発生している状態をいう。光ピックアップ7の光源12からの戻り光が回折格子10を透過した透過光を、観察光学系9の受像装置38で受像する。ここで、受像装置38に表れるスポットの状態について図10を用いて説明する。
【0046】
図10に受像装置38におけるスポット形状を示す図を示す。図10(a)は、コリメートレンズ36に収束光が入射した状態を示す図であり、図10(b)は、コリメートレンズ36に平行光が入射した状態を示す図であり、図10(c)は、コリメートレンズ36に拡大光が入射した状態を示す図である。
【0047】
図10(a)〜(c)において、光ピックアップ7内の受光部21は、4分割の受光素子からなり、各分割された面において受光素子の出力を検出できるようになっている。各分割された面の光強度を測定することで、分割面毎の光強度を測定することができる。その測定結果より、光ピックアップ7内の光路の検査を行い、光路の不良が判明した場合は、その光路に不良があるとして、光路の調整を行う。その調整が終了した後、工程S2を介して、再び工程S5を行う。
【0048】
このようにして、光ピックアップ7の不良の原因を切り分けてそれぞれの調整を行うことで、従来の方法では必要であった余分な工程を減らすことができる。それにより本発明は、従来よりも効率的で調整時間の短い光ピックアップの製造を実現することができる。
【0049】
また、従来の方法では切り分けることの出来なかった光ピックアップの不良項目を切り分けて検査することができるため、それぞれの光ピックアップの用途に応じた検査のみを行うこともできる。
【0050】
ここで、光ピックアップ7の光源12からの光を、偏光ビームスプリッタ15を一度介しただけの光と、受光部21で反射した戻り光とに分け、それらを分離して検査を行える原理についての説明を行う。
【0051】
図11に、光ピックアップからの出射光の偏光状態を示す図を示す。図11(a)は、光源光の偏光状態を示す図であり、図11(b)は、戻り光の偏光状態を示す図である。
【0052】
図11(a)〜(b)において、二重丸や左右矢印は直線偏光を示す記号であり、時計回りの矢印を有する輪は右回りの円偏光を示す記号であり、反時計回りの矢印を有する輪は左回りの円偏光を示す記号である。
【0053】
図11(a)において、光源12から出射したZ方向の直線偏光の光は、偏光ビームスプリッタ15で反射し、コリメートレンズ17を透過して平行光となり、1/4λ波長板18を透過して光軸16に対し右回りの円偏光となり、対物レンズ19より出射する。その出射光の内、一部は右回りの円偏光のまま回折格子10を透過する。
【0054】
続いて、図11(b)において、対物レンズ19より出射し、回折格子10で反射した戻り光は、右回りの円偏光の状態で、1/4λ波長板18を透過してX方向の直線偏光となる。その後、コリメートレンズ17、偏光ビームスプリッタ15、検出レンズ20を透過して、受光部21に入射する。受光部21に入射した光の内の一部は、受光部21の受光素子面で反射し、前述とは逆に、検出レンズ20、偏光ビームスプリッタ15、コリメートレンズ17を透過した後、1/4λ波長板18を透過して、光軸16に対して左回りの円偏光となる。その後、対物レンズ19により集光し、一部の光が左回りの円偏光のまま回折格子10を透過する。
【0055】
このように、同じ回折格子10を透過した光にも、光源12から受光部21を介さずに出射された光である光源光と、受光部21で反射した後に出射された反射戻り光があり、それぞれ偏光状態は異なる。
【0056】
続いて、図12は、観察光学系9での偏光状態を示す図である。
【0057】
図12において、光ピックアップ7から出射され、偏光ビームスプリッタ27で反射した反射戻り光は、偏光板32、ハーフミラー34、集光レンズ35を透過し、収差補正用レンズ36に入射する。収差補正用レンズ36は、光ピックアップ7の検出レンズ20による光学特性への影響を除去するものであり、検出レンズ20と同じ性質のものが用いられる。
【0058】
また、照明光源41からの照明光は、波長制限フィルター42を透過してハーフミラー34で反射し、偏光板32を透過してZ方向の直線偏光になり、偏光ビームスプリッタ27で反射し、1/4λ波長板26を透過して光軸16に対し左回りの円偏光になり、対物レンズ25を透過して、回折格子10に入射し、一部の光は透過し、その他の光は反射する。回折格子10で反射した照明光は元の光路を逆に辿るが、1/4λ波長板26を透過してY方向の直線偏光となっているため、偏光ビームスプリッタ27で反射せず、受像装置38には入射しないようになっている。また、回折格子10を透過した照明光は、光ピックアップ7の対物レンズ19を透過し、1/4λ波長板18でX方向の直線偏光になり、コリメートレンズ17と偏光ビームスプリッタ15を透過して、受光部21の受光素子に到達する。このようにして、光ピックアップ7の受光部21に照明光を照射することで、光ピックアップ7の受光部21を明確な状態で見ることが出来る。
【0059】
なお、収差補正用レンズ36は、光ピックアップ7の検出レンズ20の影響を除去するものとしたが、光ピックアップ7内に球面収差補正機能がある場合は、球面収差の影響を除去する機能も持たせる。
【0060】
なお、照明光源41はハロゲン光源としたが、他の白色光源や、半導体レーザ、レーザダイオードでもよい。
【0061】
なお、波長制限フィルター42は干渉フィルターとしたが、任意の波長を取り出すことのできる分光素子であればよい。
【0062】
なお、波長制限フィルター42による波長制限幅は、光ピックアップ7の光源12の波長に対して±1%以内としたが、照明光源の光量によっては±2%以内でもよい場合もある。
【0063】
なお、波長制限フィルター42の透過の有無に係わらず、照明光源41からの照明光が光ピックアップ7の光源12と同じ波長を有していると、同じ波長の光同士が干渉して、外乱が大きくなるため、照明光源41からの照明光と光ピックアップ7の光源12からの光の波長は、少なくとも異なっている必要がある。
【0064】
なお、照明光源41からの照明光が、光源12からの光よりも大きいエネルギーを有していると、照明光によって、光源12からの光が打ち消されてしまうため、光源12からの光よりも照明光源41からの光は、エネルギーが小さくなければならない。具体的には、光源12で1mWだとすると、照明光源41では0.5mW程度が望ましい。
【産業上の利用可能性】
【0065】
本発明の光ピックアップ調整方法によれば、光ピックアップの不良を切り分けて検出することができる。そのため、BDやHD−DVD等のより高精度の光ピックアップの調整にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【0066】
【図1】光ピックアップ検査装置の概略図
【図2】光ピックアップ7の構成の概略図
【図3】1/4λ波長板18の軸と回転方向を示す図
【図4】フリンジ光学系8の構成の概略図
【図5】観察光学系9の構成の概略図
【図6】集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係を示す図(a)集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のY方向の断面について示す図(b)集光レンズ35と収差補正用レンズ36と受像装置38との位置関係のZ方向の断面について示す図
【図7】回折格子10を介した回折光を示す図
【図8】光ピックアップの検査工程図
【図9】受像装置29で受像する干渉縞の一例を示す図(a)ジャストフォーカス状態での干渉縞を示す図(b)デフォーカス状態での干渉縞を示す図
【図10】受像装置38におけるスポット形状を示す図(a)収束光が入射した状態を示す図(b)平行光が入射した状態を示す図(c)拡大光が入射した状態を示す図
【図11】光ピックアップ7からの出射光の偏光状態を示す図(a)光源光の偏光状態を示す図(b)戻り光の偏光状態を示す図
【図12】観察光学系9での偏光状態を示す図
【図13】従来の光ピックアップ検査装置の構成図
【符号の説明】
【0067】
7 光ピックアップ
8 フリンジ光学系
9 観察光学系
10 回折格子
11 移動手段
【特許請求の範囲】
【請求項1】
光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項2】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの形状を基準スポット形状と比較し、比較結果を用いて光ピックアップ内の光路の調整を行うこと
を特徴とする請求項1記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項3】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの位置を基準スポット位置と比較し、比較結果を用いて光ピックアップの受光部の位置調整を行うこと
を特徴とする請求項1記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項4】
光ピックアップの光源から出射した光を1/4λ波長板を介して回折格子で反射させた後、1/4λ波長板を介して前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を1/4λ波長板を介して集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする請求項1から3いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項5】
回折格子の格子溝が未形成の領域を用いて請求項1から4いずれか記載の調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項6】
反射率が40%以上60%以下の反射膜が形成された回折格子の反射面を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項1から5いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項7】
回折格子を挟んで光ピックアップの反対側から照明光を前記光ピックアップの受光部に照射しながら、前記光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットを計測すること
を特徴とする請求項1から6いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項8】
照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長とが異なる大きさであり、且つ照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長との差は±1%以内であること
を特徴とする請求項7記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項9】
光ピックアップの光源から出射する光を回折格子で回折し、回折した光のシェアリング干渉像を測定し、前記干渉像が消える位置まで動かすことで前記回折格子を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項1から8記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項1】
光ピックアップの光源から出射した光を前記光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置された回折格子で反射させた後、前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項2】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの形状を基準スポット形状と比較し、比較結果を用いて光ピックアップ内の光路の調整を行うこと
を特徴とする請求項1記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項3】
光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットの位置を基準スポット位置と比較し、比較結果を用いて光ピックアップの受光部の位置調整を行うこと
を特徴とする請求項1記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項4】
光ピックアップの光源から出射した光を1/4λ波長板を介して回折格子で反射させた後、1/4λ波長板を介して前記光ピックアップの受光部で反射させ、前記受光部で反射した光を1/4λ波長板を介して集光させたスポットを基準スポットと比較し、比較結果を用いて調整を行うこと
を特徴とする請求項1から3いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項5】
回折格子の格子溝が未形成の領域を用いて請求項1から4いずれか記載の調整を行うこと
を特徴とする光ピックアップ調整方法。
【請求項6】
反射率が40%以上60%以下の反射膜が形成された回折格子の反射面を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項1から5いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項7】
回折格子を挟んで光ピックアップの反対側から照明光を前記光ピックアップの受光部に照射しながら、前記光ピックアップの受光部で反射した光を集光させたスポットを計測すること
を特徴とする請求項1から6いずれか記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項8】
照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長とが異なる大きさであり、且つ照明光の波長と光ピックアップの光源から出射する光の波長との差は±1%以内であること
を特徴とする請求項7記載の光ピックアップ調整方法。
【請求項9】
光ピックアップの光源から出射する光を回折格子で回折し、回折した光のシェアリング干渉像を測定し、前記干渉像が消える位置まで動かすことで前記回折格子を光ピックアップの対物レンズの焦点位置に配置すること
を特徴とする請求項1から8記載の光ピックアップ調整方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2007−213666(P2007−213666A)
【公開日】平成19年8月23日(2007.8.23)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−30774(P2006−30774)
【出願日】平成18年2月8日(2006.2.8)
【出願人】(000005821)松下電器産業株式会社 (73,050)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成19年8月23日(2007.8.23)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年2月8日(2006.2.8)
【出願人】(000005821)松下電器産業株式会社 (73,050)
【Fターム(参考)】
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