可動絞り装置
【目的】本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子光学系の可動絞り装置に関し、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換することを目的とする。
【構成】荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して絞りをある一定方向および一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備える。
【構成】荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して絞りをある一定方向および一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子光学系の可動絞り装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）として、小型の図７に示す走査型電子顕微鏡がある。以下、図７について簡単に説明する。
【０００３】
図７は、一般的なＳＥＭ鏡筒の簡単な例の模式図とこれに対応する電気制御部を示す。
【０００４】
図７に示すＳＥＭ鏡筒は、一般的なものであるのでその詳細な説明は省き、ここでは、本願発明に係わる対物レンズ３６の絞り３４について以下詳細に説明する。他に、他のレンズ３３の絞り、ブランカ３１の電子線遮断絞り３２、電子銃３０のアノード３０−１の絞りも本願発明の対象となるが、同様であるので説明を省略する。
【０００５】
図７の対物レンズ３６の絞り３４では、２つの一般要件として、
（１）絞り３４の場合は対物レンズ３６の光軸Ｚに位置すべく、その微小位置合わせを要する。またレンズ間の絞りの場合は、両者の光軸に絞りを合わせ込む必要がある。
【０００６】
（２）絞り３４はその汚染劣化の為に容易に（鏡筒を分解する事無く）交換出来なければならない。
【０００７】
図８は、従来の絞り装置例（その１）を示す。
【０００８】
図８の（ａ）は、鏡筒外筒５１の内部のＸ−Ｙステージ４４上に、絞り４３を備えたＸ動ステージ４８，Ｙ動ステージ４１を搭載した例の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。
【０００９】
図８の（ｂ）は、Ｙ方向（断面Ａ−Ａ）に見た図である。これは鏡筒内に設置するＸ動ステージ４８，Ｙ動ステージ４１のＸ動、Ｙ動を２本のネジ・シャフトの構造を持つＸ駆動ネジシャフト４５とＹ駆動ネジシャフト４６で行うものである。
【００１０】
Ｘ駆動ネジシャフト４５を時計方向に回すと、Ｘスプリング４７に対抗しながらＸ動ステージ４８を−Ｘ方向に移動し、逆に反時計方向に回すと、＋Ｘ方向に移動する。Ｘ駆動ネジシャフト４５のつまみの脱落防止のため、ストッパ４９が設けられている。Ｘ駆動ネジシャフト４５と鏡筒外筒４１との間にはＯリング５０を設けて鏡筒内の真空を保全している。
【００１１】
Ｙ方向についても同様にして、Ｙ駆動ステージ ４１のＹ動を行う。この場合、Ｘ−Ｙステージ４４がある程度大きくなることと、絞り４３の交換は鏡筒を分解しないとできないという問題がある。
【００１２】
図９は、従来の絞り装置例（その２）を示し、鏡筒外筒４１の側面外部よりフランジ６２で取り付ける、絞り４３の交換が可能な可動絞り機構の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。これは、Ｘ駆動ネジシャフト６４の回転によるＸ動を、Ｘ動の節ａをシャフトの回転中心として、絞りをＸ方向に移動する図である。
【００１３】
Ｘ駆動ネジシャフト６４を時計方向に回すと、駆動受け６５はＸスプリング６６に対抗しながら＋Ｘ方向に移動し、これに接続するシャフト６７は節ａを回転中心として絞り４３を−Ｘ方向に移動する。同様にＸ駆動ネジシャフト６４を反時計方向に回すと絞り４３は＋Ｘ方向に移動する。Ｘ駆動ネジシャフト６４の脱落防止のため、ストッパ６８が設けられている。フランジ６２に付随のＯリングＡ及びシャフト６７のＯリングＢは、鏡筒外筒４１の真空を保全している。
【００１４】
Ｙ駆動ネジシャフト６９を時計方向に回すと、Ｙスプリング７０に対抗しながらシャフト６７に付随する絞り４３はＹ方向に移動する。
【００１５】
図９でフランジ６２のネジ７１を外して、鏡筒外筒４１よりこれを分離すると、絞り４３を取り出せるので絞り４３の交換をすることができる。
【００１６】
この図９の機構の場合、鏡筒外の部分７２を小さく出来ない。また、図９は模式図であるが、更にここに記載されていない、シャフト６７のＹ軸を中心とする回転止め等の防止機構等を含めると、相当部品点数が多く複雑な機構となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
従来の上述した図８の絞り装置では、絞り４３を交換できないという問題があった。
【００１８】
また、上述した図９の絞り装置では、鏡筒外筒４１に１つの孔でよいが、しかし、鏡筒外筒４１から外側にＸ動およびＹ動のためのＸ−Ｙ移動機構が大幅に飛び出してしまうと共に、部品点数が多く複雑な機構となってしまうという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、これらの問題を解決するために、荷電粒子光学系に用い、所定範囲内の荷電粒子線を通過させ、それ以外を遮断、あるいは所定範囲内の荷電粒子線を遮断、それ以外を通過させる絞りを、荷電粒子の通路の任意位置に移動させる機構を有する絞り装置において、荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸中心に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して前記絞りをある一定方向および当該一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備えるように構成する。
【００２０】
この際、移動機構として、Ｘ駆動シャフトあるいはＹ駆動シャフトのいずれか１つの駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、Ｘ−Ｙ面内で一定方向に絞りを直進移動させる直進機構と、いずれか１つの他の駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動を、同一面内で一定方向にほぼ直角方向の直進移動に変換する移動変換機構とを備えるようにしている。
【００２１】
また、直進機構は、駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときにネジにより直進移動に変換する機構とするようにしている。
【００２２】
また、移動変換機構は、駆動シャフトが移動あるいは回転・移動したときに駆動シャフトに連結した傾斜部を設けて傾斜部によりほぼ直角方向の直進移動に変換、あるいは駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときに駆動シャフトに連結した偏心カムを設けて偏心カムによりぼほ直角方向の直進移動に変換するようにしている。
【００２３】
また、絞りを面内で一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させる機構を固定するハウジングをフランジに連結するようにしている。
【００２４】
また、鏡筒からフランジに固定したアセンブリを全部取り外して交換可能、あるいは取り外して絞りを交換可能に構成するようにしている。
【００２５】
また、鏡筒に固定したフランジの真空外側にＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトに連結した２つの小さなつまみを設け、２つのつまみを軸方向に移動あるいは回転あるいは回転・移動させて絞りを面内で一定方向および一定方向とほぼ直角方向の任意位置に真空外から調整可能にするようにしている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、鏡筒に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させる構造を採用したことにより、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明は、鏡筒に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させ、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換可能にすることを実現した。
【実施例１】
【００２８】
図１は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）の模式図であり、鏡筒１の側面外部より取り付ける、絞り２の交換が可能な可動絞り機構の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。又は図２は図１のＡ−Ａ断面の図である。
【００２９】
図１において、図示の絞り装置は、鏡筒１との間で真空遮断するＯリングＡを持つフランジ３とこれに固着するベース４より成り、フランジ３にはＯリングＢで真空遮断されている、Ｘ駆動シャフト５と送りネジ付きのＹ駆動ネジシャフト６を備え、ベース４には、これに固着せるハウジング７及びこの中でＸ，Ｙ移動する絞りホルダ８、プッシュロッド９及びＴ型プッシュロッド１０及びべース４に固着するそれぞれの軸受１１，１２を構成する。
【００３０】
Ｘ駆動シャフト５の回転は、同シャフト先端のカム１３で絞りホルダ８をＸ移動し、Ｘ動駆動シャフト５と並ぶＹ駆動ネジシャフト６を回転させて、ネジ送りによって絞りホルダ８をＹ移動する。
【００３１】
以下、Ｘ動，Ｙ動、および絞りの交換について図１から図６をもとに詳細に説明する。
【００３２】
（１）Ｘ動をカム方式で駆動する図１の構成の動作を詳細に説明する。
【００３３】
Ｘ動駆動シャフト５を時計方向に回すと、これに接続するシャフト１４の先端に、シャフト軸中心より偏心して付随するカム１３が偏心して回転する。カム１３のプッシュロッド９の当たり面が＋Ｘ方向に向かう場合、カム１３はハウジング７に軸受けを持つプッシュロッド９を押し、バネＸに対抗しながら絞りホルダ８を＋Ｘ方向に移動する。カム当たり面が−Ｘ方向に動く場合はその逆方向の移動となる。
【００３４】
カムは半径Ｒの円柱形状で、Ｘ駆動シャフト５の軸中心からカム１３の中心までの距離をδとし、カム１３の中心位置がＸ動駆動シャフト５の回転中心位置とθの位相をなすとすると（図３参照））、Ｘ駆動シャフト５の中心Ｏ点からカム１３とプッシュロッド９の当たり位置までの距離ｒは、
ｒ = δ（cosθ)＋Ｒ ・・・・（式１）
となり、ｒはδ＋Ｒ 〜−δ＋Ｒの範囲で変化する。プッシュロッド９の移動範囲は２×δである。
【００３５】
また、（式１）を微分すると、
ｄr/ｄθ = −δsinθ
となり、Ｒに関係なくＸ駆動シャフトの回転位相によってＸ動の移動量が変化する。
【００３６】
θ = π/2 又は 3π/2
付近の場合に絞り位置が電子線中心になるように設計作成された場合、例えばＸ駆動シャフト５の１／３２回転は、２×π／３２=約０．１９６ｒａｄに相当し、δ=０．２５ｍｍとすれば、ｄｒ＝０．２５×０．１９６＝約０．０５ｍｍだけ移動する。このときのＸ動の可変範囲は最大２×δ＝０．５ｍｍである。
【００３７】
カムの断面形状を変えてＸの運動を線形にする方法は多々知られている。Ｘ駆動シャフト５の中心からからＸ方向当たり位置迄の距離をｒとし、同シャフトの回転位相をθとする極座標（ｒ，θ）でカム断面の形状を表わす。
【００３８】
カム１３の断面を図６の（ａ）に示す形状、即ち、θ＝０の時ｒ＝ｒ1，θ＝２×πの時ｒ＝ｒ2 として、
ｒ＝（ｒ2 −ｒ1）／（２π）×θ＋ｒ1
とすると、Ｘ駆動シャフト５の回転角に比例して上記Ｘ動を得る。Ｘ駆動シャフト５の１回転に対して、（ｒ2 −ｒ1）なるＸ移動を得る。
【００３９】
また、カム１３の断面を図６の（ｂ）に示す形状、即ちθ＝０の時ｒ＝ｒ1, θ＝πの時ｒ＝ｒ2として、
ｒ＝（ｒ2 −ｒ1）／π×θ＋ｒ1 , θ＝0〜πの時
ｒ＝−（ｒ2 −ｒ1）／π×θ＋２×ｒ2−ｒ1 , θ=π〜２πの時
とするとＸ動駆動シャフト５の回転角に比例して上記Ｘ動をえる。Ｘ駆動シャフト５の半回転に対して、（ｒ2 −ｒ1）なるＸ移動を得る。
【００４０】
（２）Ｘ動をネジシャフトで行う図４の構成の動作を詳細に説明する。
【００４１】
図４においてＸ駆動ネジシャフト５’を時計方向に回すと、鏡筒１の内部のシャフト１４’の先端にある円錐形の傾斜部１３’が回転しながらプッシュロッド９を＋Ｘ方向に押し、バネＸに対抗しながら絞りホルダ８を＋Ｘ方向に移動する。カム当たり面が−Ｘ方向に動く場合はその逆方向の移動となる。
【００４２】
（３）また、図４と同様にして、図５のように、Ｘ駆動ネジシャフト５’とプッシュロッド９の間に、ベース４に回転動中心軸を持つ扇型の直交伝達器１７を設ける方法もある。
【００４３】
（４）Ｙ動について図１、図４、図５の構成の動作を詳細に説明する。
【００４４】
図１、図４、図５において、Ｙ駆動ネジシャフト６を時計方向に回すと、Ｔ型プッシュロッド１０をＹ方向に動かし、バネＹに抗して絞りホルダ８をＹ方向に動かす。プッシュロッドをＴ型とするのは、絞りホルダ８がＺ軸中心の回転をしないように束縛するものである。ここでプッシュロッドガイド１５は、Ｔ型プッシュロッド１０のＹ軸のヨー運動（Ｚ軸回転）を許さないように精度よく作る必要がある。その為に、Ｔ型プッシュロッド１０に与えるを与圧ネジ１６をプッシュロッドガイド１５に設ければよい。
【００４５】
（５）絞りの交換について図１、図４、図５を用いて詳細に説明する。
【００４６】
フランジ３の止めネジを外し、可動絞りアセンブリ機構を鏡筒１より引き出し、ふたを外して絞り２を取り出し交換する。
【００４７】
以上のように、可動絞りアセンブリ機構の部品点数は、従来の図８、図９に比して部品点数は少なく組立も簡単であり、また、フランジ３にベース４を固着する構造によってこの可動絞り装置の剛性は高い構造となっている。以下図１から図６について、個別に説明する。
【００４８】
図１は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）の模式図を示す。
【００４９】
図１において、鏡筒１は、電子光学系を構成する図７の電子銃３０、レンズ３３、３６などの電子線ビームの通過する通路を真空に保持するための筒（通常は外周に設けた円柱状の筒）である。鏡筒１の内部は、図示外の真空ポンプで真空（例えば１０−５Ｔｏｒｒ以下）に排気されている。
【００５０】
フランジ３は、円筒状の鏡筒１の一部を平坦にカットした面にＯリンクＡを介して真空が保持されるように構成したフランジであって、ベース４、ハウジング７を介して絞り２を保持するための部分である。フランジ３は、図示のボルトを取り外すことで当該フランジ３の全体を鏡筒１から取り外し、絞り２を交換などしたりすることが可能となっている。
【００５１】
ベース４は、フランジ３に固定したハウジング７を介して絞り２を保持するためのベースである。
【００５２】
ハウジング７は、ベース４に固定され、絞り２などを保持するためのものである。
【００５３】
絞りホルダ８は、絞り２を交換可能に保持するホルダである。
【００５４】
絞り２は、電子線ビームの軸上の所定開き角度の部分のものを通過させ、それ以外を遮断させたり（例えば通常の明視野像を得る場合）、逆に軸上の所定開き角度の部分のものを遮断させ、それ以外を通過させたり（例えば暗視野像を得る場合）するためのものである。絞り２は、通常は、荷電粒子ビーム（例えば電子線ビーム）で照射されて加熱されるので、耐熱性の板、円盤などに小さな穴を開けた形状を持つものである。
【００５５】
Ｘ駆動シャフト５は、Ｘ駆動を行うためのシャフトであって、ここでは、回転させることでシャフト１４を回転させ、絞り２をＸ駆動するためのものである。
【００５６】
カム１３は、Ｘ駆動シャフト５と連結して回転し、当該カム１３の偏心によりプッシュロッド９をここでは、左右（Ｘ方向）に移動させるものである。
【００５７】
プッシュロッド９は、カム１３によりここでは、左右（Ｘ方向）に移動したことにより、絞り２を左右（Ｘ方向）に直進移動させるものである。
【００５８】
Ｙ駆動ネジシャフト６は、Ｙ駆動を行うためのシャフトであって、回転させると、送りネジでその先端が回転しながら直進、ここでは、上下（Ｙ方向）に直進移動させ、絞り２をＹ駆動するためのものである。
【００５９】
回転、移動するＹ駆動ネジシャフト６のＹ方向移動は、Ｔ型プッシュロッド１０に伝わる。プッシュロッドガイド１５が、このＴ型プッシュロッド１０をＹ方向直進に束縛するものである。
【００６０】
Ｔ型プッシュロッド１０は、絞りホルダ８（絞り２）をＸ方向（左右方向）に直進移動可能な状態で、Ｙ方向（上下方向）に、Ｙ駆動ネジシャフト６の先端の上下方向（Ｙ方向）の移動を行うためのものである。
【００６１】
バネＸ、Ｙは、絞り２を一定方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に押して機械的なバックラッシュなどを低減するためのものである。
【００６２】
図２は、本発明の絞り装置（図１のＡ−Ａ断面）を示す。
【００６３】
図２において、Ｘ駆動シャフト５を回転させると、Ｘ駆動シャフト５の先端（左側）に取り付けた偏心したカム１３が回転し、図示のプッシュロッド９を図２の面に垂直方向（Ｘ方向）に直進移動し、絞り２をＸ方向に直進移動させる。
【００６４】
図３は、本発明の絞り装置（図１のＢ）を示す。これは、図１のシャフト１４、および偏心したカム１３の取り付け状態を示す。
【００６５】
図３において、シャフト１４（図１のＸ駆動シャフト５を回転させたときに同軸で回転するシャフト１４）に、カムシャフト１３が偏心して固定されているので、当該シャフト１４が回転すると、偏心したカムシャフト１３にバネＸの力で押し付けられているプッシュロッド９が移動、ここでは、左右方向（Ｘ方向）に直進移動する。
【００６６】
図４は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に傾斜部を用いた場合）を示す。これは、図１ではＸ駆動シャフト５を回転させて当該回転に連動して回転するシャフト１４の先端に偏心したカム１３を固定したが、これらの代わりに、図示のＸ駆動ネジシャフト５’で回転させると回転しながらシャフト１４’を移動させ、当該シャフト１４’の先端部分に傾斜部１３’を固定し、当該傾斜部１３’でプッシュロッド９を左右方向（Ｘ方向）に直進移動させるようにしたものである。他の構成は図１と同じである。
【００６７】
図５は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に扇型直交伝達器を用いた場合）を示す。これは、図４のＸ駆動ネジシャフト５’、シャフト１４’、傾斜部１３’の代わりに、図示のＸ駆動ネジシャフト５’で回転させると回転しながらシャフト１４’を移動させ、当該シャフト１４’の先端部分に、ピンを持つ直交伝達器１７で上下方向の移動を、左右方向の移動に変換し、プッシュロッド９を左右方向（Ｘ方向）に直進移動させるようにしたものである。他の構成は図１と同じである。
【００６８】
図６は、本発明のカム例を示す。これは、図１のシャフト１４に偏心して固定するカム１３の形状の例を示す。
【００６９】
図６の（ａ）は、等速カム（１回転１行程型）の例を示す。図示の等速カム１３は、軸中心を１回転させると、１行程の直進移動に変換するものであって、例えば右側から図１のプッシュロッド９をバネＸの力で等速カム１３に押し付けると、当該プッシュロッド９は図示の太い曲線の部分で左右方向に移動し、ここでは、等速カム１３の回転角度に比例して左右方向の直進移動する。
【００７０】
図６の（ｂ）は、等速カム（半回転１行程型）の例を示す。図示の等速カム１３は、半回転させると、１行程の直進移動に変換するものである。
【産業上の利用分野】
【００７１】
本発明は、鏡筒側面に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させ、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換する可動絞り装置に関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）である。
【図２】本発明の絞り装置（図１のＡ−Ａ）である。
【図３】本発明の絞り装置（図１のＢ）である。
【図４】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に傾斜部を用いた場合）である。
【図５】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に扇型直交伝達器を用いた場合）である。
【図６】本発明のカム例である。
【図７】一般的なＳＥＭの簡単な例である。
【図８】従来の絞り装置例である。
【図９】従来の絞り装置例である。
【符号の説明】
【００７３】
１：鏡筒
２：絞り
３：フランジ
５：Ｘ駆動シャフト
５’：Ｘ駆動ネジシャフト
６：Ｙ駆動ネジシャフト
７：ハウジング
８：絞りホルダ
９：プッシュロッド
１０：Ｔ型プッシュロッド
１１、１２：軸受
１３：カム
１４、１４’：シャフト
１５：プッシュロッドガイド
１６：与圧ネジ
１７：直交伝達器
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子光学系の可動絞り装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）として、小型の図７に示す走査型電子顕微鏡がある。以下、図７について簡単に説明する。
【０００３】
図７は、一般的なＳＥＭ鏡筒の簡単な例の模式図とこれに対応する電気制御部を示す。
【０００４】
図７に示すＳＥＭ鏡筒は、一般的なものであるのでその詳細な説明は省き、ここでは、本願発明に係わる対物レンズ３６の絞り３４について以下詳細に説明する。他に、他のレンズ３３の絞り、ブランカ３１の電子線遮断絞り３２、電子銃３０のアノード３０−１の絞りも本願発明の対象となるが、同様であるので説明を省略する。
【０００５】
図７の対物レンズ３６の絞り３４では、２つの一般要件として、
（１）絞り３４の場合は対物レンズ３６の光軸Ｚに位置すべく、その微小位置合わせを要する。またレンズ間の絞りの場合は、両者の光軸に絞りを合わせ込む必要がある。
【０００６】
（２）絞り３４はその汚染劣化の為に容易に（鏡筒を分解する事無く）交換出来なければならない。
【０００７】
図８は、従来の絞り装置例（その１）を示す。
【０００８】
図８の（ａ）は、鏡筒外筒５１の内部のＸ−Ｙステージ４４上に、絞り４３を備えたＸ動ステージ４８，Ｙ動ステージ４１を搭載した例の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。
【０００９】
図８の（ｂ）は、Ｙ方向（断面Ａ−Ａ）に見た図である。これは鏡筒内に設置するＸ動ステージ４８，Ｙ動ステージ４１のＸ動、Ｙ動を２本のネジ・シャフトの構造を持つＸ駆動ネジシャフト４５とＹ駆動ネジシャフト４６で行うものである。
【００１０】
Ｘ駆動ネジシャフト４５を時計方向に回すと、Ｘスプリング４７に対抗しながらＸ動ステージ４８を−Ｘ方向に移動し、逆に反時計方向に回すと、＋Ｘ方向に移動する。Ｘ駆動ネジシャフト４５のつまみの脱落防止のため、ストッパ４９が設けられている。Ｘ駆動ネジシャフト４５と鏡筒外筒４１との間にはＯリング５０を設けて鏡筒内の真空を保全している。
【００１１】
Ｙ方向についても同様にして、Ｙ駆動ステージ ４１のＹ動を行う。この場合、Ｘ−Ｙステージ４４がある程度大きくなることと、絞り４３の交換は鏡筒を分解しないとできないという問題がある。
【００１２】
図９は、従来の絞り装置例（その２）を示し、鏡筒外筒４１の側面外部よりフランジ６２で取り付ける、絞り４３の交換が可能な可動絞り機構の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。これは、Ｘ駆動ネジシャフト６４の回転によるＸ動を、Ｘ動の節ａをシャフトの回転中心として、絞りをＸ方向に移動する図である。
【００１３】
Ｘ駆動ネジシャフト６４を時計方向に回すと、駆動受け６５はＸスプリング６６に対抗しながら＋Ｘ方向に移動し、これに接続するシャフト６７は節ａを回転中心として絞り４３を−Ｘ方向に移動する。同様にＸ駆動ネジシャフト６４を反時計方向に回すと絞り４３は＋Ｘ方向に移動する。Ｘ駆動ネジシャフト６４の脱落防止のため、ストッパ６８が設けられている。フランジ６２に付随のＯリングＡ及びシャフト６７のＯリングＢは、鏡筒外筒４１の真空を保全している。
【００１４】
Ｙ駆動ネジシャフト６９を時計方向に回すと、Ｙスプリング７０に対抗しながらシャフト６７に付随する絞り４３はＹ方向に移動する。
【００１５】
図９でフランジ６２のネジ７１を外して、鏡筒外筒４１よりこれを分離すると、絞り４３を取り出せるので絞り４３の交換をすることができる。
【００１６】
この図９の機構の場合、鏡筒外の部分７２を小さく出来ない。また、図９は模式図であるが、更にここに記載されていない、シャフト６７のＹ軸を中心とする回転止め等の防止機構等を含めると、相当部品点数が多く複雑な機構となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
従来の上述した図８の絞り装置では、絞り４３を交換できないという問題があった。
【００１８】
また、上述した図９の絞り装置では、鏡筒外筒４１に１つの孔でよいが、しかし、鏡筒外筒４１から外側にＸ動およびＹ動のためのＸ−Ｙ移動機構が大幅に飛び出してしまうと共に、部品点数が多く複雑な機構となってしまうという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、これらの問題を解決するために、荷電粒子光学系に用い、所定範囲内の荷電粒子線を通過させ、それ以外を遮断、あるいは所定範囲内の荷電粒子線を遮断、それ以外を通過させる絞りを、荷電粒子の通路の任意位置に移動させる機構を有する絞り装置において、荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸中心に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して前記絞りをある一定方向および当該一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備えるように構成する。
【００２０】
この際、移動機構として、Ｘ駆動シャフトあるいはＹ駆動シャフトのいずれか１つの駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、Ｘ−Ｙ面内で一定方向に絞りを直進移動させる直進機構と、いずれか１つの他の駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動を、同一面内で一定方向にほぼ直角方向の直進移動に変換する移動変換機構とを備えるようにしている。
【００２１】
また、直進機構は、駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときにネジにより直進移動に変換する機構とするようにしている。
【００２２】
また、移動変換機構は、駆動シャフトが移動あるいは回転・移動したときに駆動シャフトに連結した傾斜部を設けて傾斜部によりほぼ直角方向の直進移動に変換、あるいは駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときに駆動シャフトに連結した偏心カムを設けて偏心カムによりぼほ直角方向の直進移動に変換するようにしている。
【００２３】
また、絞りを面内で一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させる機構を固定するハウジングをフランジに連結するようにしている。
【００２４】
また、鏡筒からフランジに固定したアセンブリを全部取り外して交換可能、あるいは取り外して絞りを交換可能に構成するようにしている。
【００２５】
また、鏡筒に固定したフランジの真空外側にＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトに連結した２つの小さなつまみを設け、２つのつまみを軸方向に移動あるいは回転あるいは回転・移動させて絞りを面内で一定方向および一定方向とほぼ直角方向の任意位置に真空外から調整可能にするようにしている。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、鏡筒に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させる構造を採用したことにより、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明は、鏡筒に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させ、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換可能にすることを実現した。
【実施例１】
【００２８】
図１は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）の模式図であり、鏡筒１の側面外部より取り付ける、絞り２の交換が可能な可動絞り機構の模式図であり、電子線の光軸方向（Ｚ方向）に見た図である。又は図２は図１のＡ−Ａ断面の図である。
【００２９】
図１において、図示の絞り装置は、鏡筒１との間で真空遮断するＯリングＡを持つフランジ３とこれに固着するベース４より成り、フランジ３にはＯリングＢで真空遮断されている、Ｘ駆動シャフト５と送りネジ付きのＹ駆動ネジシャフト６を備え、ベース４には、これに固着せるハウジング７及びこの中でＸ，Ｙ移動する絞りホルダ８、プッシュロッド９及びＴ型プッシュロッド１０及びべース４に固着するそれぞれの軸受１１，１２を構成する。
【００３０】
Ｘ駆動シャフト５の回転は、同シャフト先端のカム１３で絞りホルダ８をＸ移動し、Ｘ動駆動シャフト５と並ぶＹ駆動ネジシャフト６を回転させて、ネジ送りによって絞りホルダ８をＹ移動する。
【００３１】
以下、Ｘ動，Ｙ動、および絞りの交換について図１から図６をもとに詳細に説明する。
【００３２】
（１）Ｘ動をカム方式で駆動する図１の構成の動作を詳細に説明する。
【００３３】
Ｘ動駆動シャフト５を時計方向に回すと、これに接続するシャフト１４の先端に、シャフト軸中心より偏心して付随するカム１３が偏心して回転する。カム１３のプッシュロッド９の当たり面が＋Ｘ方向に向かう場合、カム１３はハウジング７に軸受けを持つプッシュロッド９を押し、バネＸに対抗しながら絞りホルダ８を＋Ｘ方向に移動する。カム当たり面が−Ｘ方向に動く場合はその逆方向の移動となる。
【００３４】
カムは半径Ｒの円柱形状で、Ｘ駆動シャフト５の軸中心からカム１３の中心までの距離をδとし、カム１３の中心位置がＸ動駆動シャフト５の回転中心位置とθの位相をなすとすると（図３参照））、Ｘ駆動シャフト５の中心Ｏ点からカム１３とプッシュロッド９の当たり位置までの距離ｒは、
ｒ = δ（cosθ)＋Ｒ ・・・・（式１）
となり、ｒはδ＋Ｒ 〜−δ＋Ｒの範囲で変化する。プッシュロッド９の移動範囲は２×δである。
【００３５】
また、（式１）を微分すると、
ｄr/ｄθ = −δsinθ
となり、Ｒに関係なくＸ駆動シャフトの回転位相によってＸ動の移動量が変化する。
【００３６】
θ = π/2 又は 3π/2
付近の場合に絞り位置が電子線中心になるように設計作成された場合、例えばＸ駆動シャフト５の１／３２回転は、２×π／３２=約０．１９６ｒａｄに相当し、δ=０．２５ｍｍとすれば、ｄｒ＝０．２５×０．１９６＝約０．０５ｍｍだけ移動する。このときのＸ動の可変範囲は最大２×δ＝０．５ｍｍである。
【００３７】
カムの断面形状を変えてＸの運動を線形にする方法は多々知られている。Ｘ駆動シャフト５の中心からからＸ方向当たり位置迄の距離をｒとし、同シャフトの回転位相をθとする極座標（ｒ，θ）でカム断面の形状を表わす。
【００３８】
カム１３の断面を図６の（ａ）に示す形状、即ち、θ＝０の時ｒ＝ｒ1，θ＝２×πの時ｒ＝ｒ2 として、
ｒ＝（ｒ2 −ｒ1）／（２π）×θ＋ｒ1
とすると、Ｘ駆動シャフト５の回転角に比例して上記Ｘ動を得る。Ｘ駆動シャフト５の１回転に対して、（ｒ2 −ｒ1）なるＸ移動を得る。
【００３９】
また、カム１３の断面を図６の（ｂ）に示す形状、即ちθ＝０の時ｒ＝ｒ1, θ＝πの時ｒ＝ｒ2として、
ｒ＝（ｒ2 −ｒ1）／π×θ＋ｒ1 , θ＝0〜πの時
ｒ＝−（ｒ2 −ｒ1）／π×θ＋２×ｒ2−ｒ1 , θ=π〜２πの時
とするとＸ動駆動シャフト５の回転角に比例して上記Ｘ動をえる。Ｘ駆動シャフト５の半回転に対して、（ｒ2 −ｒ1）なるＸ移動を得る。
【００４０】
（２）Ｘ動をネジシャフトで行う図４の構成の動作を詳細に説明する。
【００４１】
図４においてＸ駆動ネジシャフト５’を時計方向に回すと、鏡筒１の内部のシャフト１４’の先端にある円錐形の傾斜部１３’が回転しながらプッシュロッド９を＋Ｘ方向に押し、バネＸに対抗しながら絞りホルダ８を＋Ｘ方向に移動する。カム当たり面が−Ｘ方向に動く場合はその逆方向の移動となる。
【００４２】
（３）また、図４と同様にして、図５のように、Ｘ駆動ネジシャフト５’とプッシュロッド９の間に、ベース４に回転動中心軸を持つ扇型の直交伝達器１７を設ける方法もある。
【００４３】
（４）Ｙ動について図１、図４、図５の構成の動作を詳細に説明する。
【００４４】
図１、図４、図５において、Ｙ駆動ネジシャフト６を時計方向に回すと、Ｔ型プッシュロッド１０をＹ方向に動かし、バネＹに抗して絞りホルダ８をＹ方向に動かす。プッシュロッドをＴ型とするのは、絞りホルダ８がＺ軸中心の回転をしないように束縛するものである。ここでプッシュロッドガイド１５は、Ｔ型プッシュロッド１０のＹ軸のヨー運動（Ｚ軸回転）を許さないように精度よく作る必要がある。その為に、Ｔ型プッシュロッド１０に与えるを与圧ネジ１６をプッシュロッドガイド１５に設ければよい。
【００４５】
（５）絞りの交換について図１、図４、図５を用いて詳細に説明する。
【００４６】
フランジ３の止めネジを外し、可動絞りアセンブリ機構を鏡筒１より引き出し、ふたを外して絞り２を取り出し交換する。
【００４７】
以上のように、可動絞りアセンブリ機構の部品点数は、従来の図８、図９に比して部品点数は少なく組立も簡単であり、また、フランジ３にベース４を固着する構造によってこの可動絞り装置の剛性は高い構造となっている。以下図１から図６について、個別に説明する。
【００４８】
図１は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）の模式図を示す。
【００４９】
図１において、鏡筒１は、電子光学系を構成する図７の電子銃３０、レンズ３３、３６などの電子線ビームの通過する通路を真空に保持するための筒（通常は外周に設けた円柱状の筒）である。鏡筒１の内部は、図示外の真空ポンプで真空（例えば１０−５Ｔｏｒｒ以下）に排気されている。
【００５０】
フランジ３は、円筒状の鏡筒１の一部を平坦にカットした面にＯリンクＡを介して真空が保持されるように構成したフランジであって、ベース４、ハウジング７を介して絞り２を保持するための部分である。フランジ３は、図示のボルトを取り外すことで当該フランジ３の全体を鏡筒１から取り外し、絞り２を交換などしたりすることが可能となっている。
【００５１】
ベース４は、フランジ３に固定したハウジング７を介して絞り２を保持するためのベースである。
【００５２】
ハウジング７は、ベース４に固定され、絞り２などを保持するためのものである。
【００５３】
絞りホルダ８は、絞り２を交換可能に保持するホルダである。
【００５４】
絞り２は、電子線ビームの軸上の所定開き角度の部分のものを通過させ、それ以外を遮断させたり（例えば通常の明視野像を得る場合）、逆に軸上の所定開き角度の部分のものを遮断させ、それ以外を通過させたり（例えば暗視野像を得る場合）するためのものである。絞り２は、通常は、荷電粒子ビーム（例えば電子線ビーム）で照射されて加熱されるので、耐熱性の板、円盤などに小さな穴を開けた形状を持つものである。
【００５５】
Ｘ駆動シャフト５は、Ｘ駆動を行うためのシャフトであって、ここでは、回転させることでシャフト１４を回転させ、絞り２をＸ駆動するためのものである。
【００５６】
カム１３は、Ｘ駆動シャフト５と連結して回転し、当該カム１３の偏心によりプッシュロッド９をここでは、左右（Ｘ方向）に移動させるものである。
【００５７】
プッシュロッド９は、カム１３によりここでは、左右（Ｘ方向）に移動したことにより、絞り２を左右（Ｘ方向）に直進移動させるものである。
【００５８】
Ｙ駆動ネジシャフト６は、Ｙ駆動を行うためのシャフトであって、回転させると、送りネジでその先端が回転しながら直進、ここでは、上下（Ｙ方向）に直進移動させ、絞り２をＹ駆動するためのものである。
【００５９】
回転、移動するＹ駆動ネジシャフト６のＹ方向移動は、Ｔ型プッシュロッド１０に伝わる。プッシュロッドガイド１５が、このＴ型プッシュロッド１０をＹ方向直進に束縛するものである。
【００６０】
Ｔ型プッシュロッド１０は、絞りホルダ８（絞り２）をＸ方向（左右方向）に直進移動可能な状態で、Ｙ方向（上下方向）に、Ｙ駆動ネジシャフト６の先端の上下方向（Ｙ方向）の移動を行うためのものである。
【００６１】
バネＸ、Ｙは、絞り２を一定方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に押して機械的なバックラッシュなどを低減するためのものである。
【００６２】
図２は、本発明の絞り装置（図１のＡ−Ａ断面）を示す。
【００６３】
図２において、Ｘ駆動シャフト５を回転させると、Ｘ駆動シャフト５の先端（左側）に取り付けた偏心したカム１３が回転し、図示のプッシュロッド９を図２の面に垂直方向（Ｘ方向）に直進移動し、絞り２をＸ方向に直進移動させる。
【００６４】
図３は、本発明の絞り装置（図１のＢ）を示す。これは、図１のシャフト１４、および偏心したカム１３の取り付け状態を示す。
【００６５】
図３において、シャフト１４（図１のＸ駆動シャフト５を回転させたときに同軸で回転するシャフト１４）に、カムシャフト１３が偏心して固定されているので、当該シャフト１４が回転すると、偏心したカムシャフト１３にバネＸの力で押し付けられているプッシュロッド９が移動、ここでは、左右方向（Ｘ方向）に直進移動する。
【００６６】
図４は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に傾斜部を用いた場合）を示す。これは、図１ではＸ駆動シャフト５を回転させて当該回転に連動して回転するシャフト１４の先端に偏心したカム１３を固定したが、これらの代わりに、図示のＸ駆動ネジシャフト５’で回転させると回転しながらシャフト１４’を移動させ、当該シャフト１４’の先端部分に傾斜部１３’を固定し、当該傾斜部１３’でプッシュロッド９を左右方向（Ｘ方向）に直進移動させるようにしたものである。他の構成は図１と同じである。
【００６７】
図５は、本発明の絞り装置（Ｘ駆動に扇型直交伝達器を用いた場合）を示す。これは、図４のＸ駆動ネジシャフト５’、シャフト１４’、傾斜部１３’の代わりに、図示のＸ駆動ネジシャフト５’で回転させると回転しながらシャフト１４’を移動させ、当該シャフト１４’の先端部分に、ピンを持つ直交伝達器１７で上下方向の移動を、左右方向の移動に変換し、プッシュロッド９を左右方向（Ｘ方向）に直進移動させるようにしたものである。他の構成は図１と同じである。
【００６８】
図６は、本発明のカム例を示す。これは、図１のシャフト１４に偏心して固定するカム１３の形状の例を示す。
【００６９】
図６の（ａ）は、等速カム（１回転１行程型）の例を示す。図示の等速カム１３は、軸中心を１回転させると、１行程の直進移動に変換するものであって、例えば右側から図１のプッシュロッド９をバネＸの力で等速カム１３に押し付けると、当該プッシュロッド９は図示の太い曲線の部分で左右方向に移動し、ここでは、等速カム１３の回転角度に比例して左右方向の直進移動する。
【００７０】
図６の（ｂ）は、等速カム（半回転１行程型）の例を示す。図示の等速カム１３は、半回転させると、１行程の直進移動に変換するものである。
【産業上の利用分野】
【００７１】
本発明は、鏡筒側面に固定するフランジに２つの駆動シャフトを設けてこれを移動、回転、回転・移動して絞りを一定方向および一定方向とほぼ直角方向に移動させ、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換する可動絞り装置に関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に円柱状カムを用いた場合）である。
【図２】本発明の絞り装置（図１のＡ−Ａ）である。
【図３】本発明の絞り装置（図１のＢ）である。
【図４】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に傾斜部を用いた場合）である。
【図５】本発明の絞り装置（Ｘ駆動に扇型直交伝達器を用いた場合）である。
【図６】本発明のカム例である。
【図７】一般的なＳＥＭの簡単な例である。
【図８】従来の絞り装置例である。
【図９】従来の絞り装置例である。
【符号の説明】
【００７３】
１：鏡筒
２：絞り
３：フランジ
５：Ｘ駆動シャフト
５’：Ｘ駆動ネジシャフト
６：Ｙ駆動ネジシャフト
７：ハウジング
８：絞りホルダ
９：プッシュロッド
１０：Ｔ型プッシュロッド
１１、１２：軸受
１３：カム
１４、１４’：シャフト
１５：プッシュロッドガイド
１６：与圧ネジ
１７：直交伝達器
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子光学系に用い、所定範囲内の荷電粒子線を通過させ、それ以外を遮断、あるいは所定範囲内の荷電粒子線を遮断、それ以外を通過させる絞りを、荷電粒子の通路の任意位置に移動させる機構を有する絞り装置において、
前記荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、
前記フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、
前記Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して前記絞りをある一定方向および当該一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構と
を備えたことを特徴とする絞り装置。
【請求項２】
前記移動機構として、Ｘ駆動シャフトあるいはＹ駆動シャフトのいずれか１つの駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、面内で一定方向に前記絞りを直進移動させる直進機構と、
前記いずれか１つの他の駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、当該駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動を、前記面内で一定方向にほぼ直角方向の直進移動に変換する移動変換機構と
を備えたことを特徴とする請求項１記載の絞り装置。
【請求項３】
前記直進機構は、駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときにネジにより直進移動に変換する機構であることを特徴とする請求項２記載の絞り装置。
【請求項４】
前記移動変換機構は、駆動シャフトが移動あるいは回転・移動したときに当該駆動シャフトに連結した傾斜部を設けて当該傾斜部によりほぼ直角方向の直進移動に変換、あるいは駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときに当該駆動シャフトに連結した偏心カムを設けて当該偏心カムによりぼほ直角方向の直進移動に変換したことを特徴とする請求項２あるいは請求項３記載の絞り装置。
【請求項５】
前記絞りを面内で一定方向および当該一定方向とほぼ直角方向に移動させる機構を固定するハウジングを前記フランジに連結したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の絞り装置。
【請求項６】
前記鏡筒から前記フランジに固定したアセンブリを全部取り外して交換可能、あるいは取り外して前記絞りを交換可能に構成したことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の絞り装置。
【請求項７】
前記鏡筒に固定した前記フランジの真空外側に前記Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトに連結した２つの小さなつまみを設け、当該２つのつまみを軸方向に移動あるいは回転あるいは回転・移動させて前記絞りを面内で一定方向および当該一定方向とほぼ直角方向の任意位置に真空外から調整可能にしたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の絞り装置。
【請求項１】
荷電粒子光学系に用い、所定範囲内の荷電粒子線を通過させ、それ以外を遮断、あるいは所定範囲内の荷電粒子線を遮断、それ以外を通過させる絞りを、荷電粒子の通路の任意位置に移動させる機構を有する絞り装置において、
前記荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、
前記フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、
前記Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して前記絞りをある一定方向および当該一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構と
を備えたことを特徴とする絞り装置。
【請求項２】
前記移動機構として、Ｘ駆動シャフトあるいはＹ駆動シャフトのいずれか１つの駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、面内で一定方向に前記絞りを直進移動させる直進機構と、
前記いずれか１つの他の駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に対応して、当該駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動を、前記面内で一定方向にほぼ直角方向の直進移動に変換する移動変換機構と
を備えたことを特徴とする請求項１記載の絞り装置。
【請求項３】
前記直進機構は、駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときにネジにより直進移動に変換する機構であることを特徴とする請求項２記載の絞り装置。
【請求項４】
前記移動変換機構は、駆動シャフトが移動あるいは回転・移動したときに当該駆動シャフトに連結した傾斜部を設けて当該傾斜部によりほぼ直角方向の直進移動に変換、あるいは駆動シャフトが回転あるいは回転・移動したときに当該駆動シャフトに連結した偏心カムを設けて当該偏心カムによりぼほ直角方向の直進移動に変換したことを特徴とする請求項２あるいは請求項３記載の絞り装置。
【請求項５】
前記絞りを面内で一定方向および当該一定方向とほぼ直角方向に移動させる機構を固定するハウジングを前記フランジに連結したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の絞り装置。
【請求項６】
前記鏡筒から前記フランジに固定したアセンブリを全部取り外して交換可能、あるいは取り外して前記絞りを交換可能に構成したことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の絞り装置。
【請求項７】
前記鏡筒に固定した前記フランジの真空外側に前記Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトに連結した２つの小さなつまみを設け、当該２つのつまみを軸方向に移動あるいは回転あるいは回転・移動させて前記絞りを面内で一定方向および当該一定方向とほぼ直角方向の任意位置に真空外から調整可能にしたことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の絞り装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１２−１５０９０６（Ｐ２０１２−１５０９０６Ａ）
【公開日】平成２４年８月９日（２０１２．８．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６８４７（Ｐ２０１１−６８４７）
【出願日】平成２３年１月１７日（２０１１．１．１７）
【出願人】（５９０００２６６６）新日本電工株式会社 (7)
【出願人】（５９２１９１１９５）株式会社アプコ (9)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年８月９日（２０１２．８．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１月１７日（２０１１．１．１７）
【出願人】（５９０００２６６６）新日本電工株式会社 (7)
【出願人】（５９２１９１１９５）株式会社アプコ (9)
【Ｆターム（参考）】
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