【目的】本発明は、電子顕微鏡等の荷電粒子光学系の可動絞り装置に関し、鏡筒に１つの孔でよく、かつ部品点数を少なくして安価で鏡筒からの突出を極めて小さくして操作時に邪魔にならないようにできると共に、絞りの位置合わせを容易かつ絞りが汚染した場合に鏡筒を分解することなく簡易に交換することを目的とする。
【構成】荷電粒子光学系を構成する鏡筒の側面に設けたフランジと、フランジに真空シールして軸方向に移動あるいは軸方向に回転あるいは両者の回転・移動を可能にして装着した２つのＸ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトと、Ｘ駆動シャフトおよびＹ駆動シャフトの移動あるいは回転あるいは回転・移動に連動して絞りをある一定方向および一定方向にほぼ直角方向にそれぞれ移動させる移動機構とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、粒子線ビームを偏向あるいは集束・発散する静電多極子型の偏向器・レンズの製造方法および静電多極子型の偏向器・レンズに関し、作成が容易で失敗がなく熟練を要しなく、製造費用が極めて安く、治具と多電極子の精度により高精度を得ることを目的とする。
【構成】静電多極子を構成する各電極子について、軸方向の位置および軸方向と直角方向である半径方向の位置を所望の位置に固定する治具と、静電多極子を構成する各電極子を固定すると共に固定した各電極子に電圧を印加するためのパターンを設けたプリント基板とを備え、静電多極子を構成する各電極子を治具に固定して静電多極子の軸方向および半径方向の位置を所望の位置に保持した状態で、各電極子をプリント基板のパターンに固定した後、治具を解放して静電多極子をプリント基板上に形成する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡の実機の機能を可視化して制御する操作装置に関し、小中校、高等学校、大学等における教育用ＳＥＭや、ＳＥＭ操作の初心者用シミュレータ等として用いたり、電子線状態を実験パラメターとして問う場合が多い表面解析分野などに用いたりすることを目的とする。
【構成】走査型電子顕微鏡の実機の機能および電子線ビームの軌道を可視化した実機模式図上に表示された機能の形状あるいは表示された電子線ビームの位置を調整する操作手段と、操作手段により機能の形状あるいは表示された電子線ビームの位置が調整されたときに調整後の状態を表示する表示手段と、検出された調整後の調整された形状あるいは調整された位置に対応して、実機の機能に対する電圧あるいは電流を算出する算出手段と、算出手段によって算出された電圧あるいは電流を実機の該当機能に供給する実行手段とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、発生された粒子線ビームをレンズにより集束して細く絞って試料上に照射した状態で当該粒子線ビームを偏向器により偏向して平面走査する粒子線鏡筒に関し、粒子線鏡筒を金型によって作るので、量産できること、生産コストが低く、研削盤等によって精度を向上させ、従来の複数回の組立て誤差が無くなり、精度が上がるので、精密な粒子線鏡筒の各パーツの生産ができ、粒子線鏡筒を用いた高分解能用の顕微鏡は高分解能エネルギアナライザ等に適用ができる粒子線鏡筒を作成したり、粒子線鏡筒を透明な素材で作成し、利用者は粒子線ビームの走行状態などを直接に見ることを実現することを目的とする。
【構成】レンズを構成する軸中心に孔を有する複数毎の同軸円板からなるレンズ電極を軸に沿って半割りして一体作成した半割りレンズと、一体作成した半割りレンズの２つを、軸に沿って接合して作成したレンズとを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子銃から放出された電子線ビームをレンズで細く絞って試料に照射しつつ走査し、そのときに試料から放出された２次電子を検出・増幅し、２次電子画像を表示する走査型電子顕微鏡に関し、光軸を機械的にずらすことなく負のバイアス電圧を印加した試料からの２次電子を効率良好に捕集して検出・増幅し、対物レンズの収差を小さくして高分解能の２次電子画像を生成することを目的とする。
【構成】静電型の第１の偏向器と、静電型の第２の偏向器と、電磁型の第３の偏向器と、細く絞られた電子線ビームが負のバイアス電圧の印加された試料面に照射されたときに、電磁型の第３の偏向器の方向に誘導され、電磁型の第３の偏向器で光軸から離れる方向に偏向された負のバイアス電圧に相当するエネルギーを有する２次電子を検出する、光軸の部分に電子線ビームが通過する開口部を有する２次電子検出器とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、磁気遮蔽特性を有する配管あるいは容器に設けられたフランジを相互に接続する磁気遮蔽フランジに関し、ＩＣＦの真空シールを保全したままで浮遊磁場を究極迄遮蔽することを目的とする。
【構成】磁気遮蔽特性を有する第１の材質で形成し、固定具で相互に圧接させる磁気遮蔽フランジ部と、磁気遮蔽フランジ部に溶接し、ガスケットを圧接して真空シールする、充分な磁気遮蔽特性を有しないが充分な圧接を繰り返し可能な第２の材質で作成したエッジ部と、エッジ部と磁気遮蔽フランジ部とが接触する両者の内側の部分に、エッジ部に繋がる部分に所定幅で所定高さに形成した第１の溶接部、および磁気遮蔽フランジ部に繋がる部分に所定幅で所定高さよりも若干高く形成した第２の溶接部とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、走査型電子顕微鏡の対物レンズで細く絞った１次電子ビームで照射した磁区を含む試料の磁区構造を検出する電子線スピン検出器に関し、簡単な構造、かつ試料の１次電子ビーム照射位置に対する見込み角を大きくして高Ｓ／Ｎ比で磁区を極めて高分解能で表示することを目的とする。
【構成】走査型電子顕微鏡の対物レンズと磁区を含む試料との間に設け、１次電子ビームで照射した試料の位置を中心に、周囲に放出された２次電子のスピン偏極を検出する、対称の２つの部分検出部からなるスピン偏極検出器を、複数配置したスピン検出器と、スピン検出器を構成する複数のスピン偏極検出器でそれぞれ検出した２次電子のスピン偏極の違いをもとに試料の１次電子ビームの照射位置のスピン方向を判定するスピン方向判定手段とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、試料の画像を生成する超小型ＳＥＭに関し、中学生などの生徒さんが光学顕微鏡を使用して拡大画像を観察する場合と同様の手軽さで、試料の電子線ビームによる高倍率かつ高分解能の画像を観察することを目的とする。
【構成】筒状のカップの中に配置した電子光学系と、電子光学系によって生成して細く絞った電子線ビームを、筒状のカップの一方の部分に配置した試料上に照射しつつ平面走査し、そのときに放出あるいは反射された荷電粒子あるいは光を検出する検出器と、筒状のカップ内を真空排気する排気口とを備える。 （もっと読む）

【目的】本発明は、大判の試料を非切断で画像を生成するハンディ電子顕微鏡に関し、シュラウドを大判の試料に接触させて真空排気した状態でシュラウドを任意の位置に容易に移動して画像を生成すことを目的とする。
【構成】 真空排気する真空排気管を接続する接続口を設けて内部を真空排気経路とした、円筒状の一方を密閉し他方を開放したシュラウドと、シュラウドの内部に内蔵あるいは真空排気する部分を内蔵した超小型の小指タイプの走査型電子顕微鏡の鏡筒と、シュラウドの開放した部分に大判試料と接して真空シールする真空シール機構と、シュラウドの開放した部分に大判試料と接したときに真空シール機構で真空シールしたときにシュラウドが大判試料に対して容易に移動可能にする移動機構と、検出器とを備える。 （もっと読む）