外観検査用照明装置
【課題】 高精度な外観検査を行うことができる照明装置を提供する。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用照明装置２０は、暗視野用の発光ダイオード群６８と、明視野用の発光ダイオード群７０とを、備える。暗視野法による外観検査時には、暗視野用の発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野法による外観検査時には、明視野用の発光ダイオード群７０のみが有効化される。それぞれの発光ダイオード群６８または７０から発せられた照明光は、拡散板７４または７８によって拡散されてから、検査対象物であるコンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０は、一様な明るさで照明され、いわゆる照度むらは生じない。このため、当該コンタクトレンズ５０全体にわたって、一様な精度で外観検査を行うことができる。なお、暗視野法による外観検査時には、明視野用拡散板７８の上方は、シャッタ板８０によって覆われる。
【解決手段】 この発明に係る外観検査用照明装置２０は、暗視野用の発光ダイオード群６８と、明視野用の発光ダイオード群７０とを、備える。暗視野法による外観検査時には、暗視野用の発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野法による外観検査時には、明視野用の発光ダイオード群７０のみが有効化される。それぞれの発光ダイオード群６８または７０から発せられた照明光は、拡散板７４または７８によって拡散されてから、検査対象物であるコンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０は、一様な明るさで照明され、いわゆる照度むらは生じない。このため、当該コンタクトレンズ５０全体にわたって、一様な精度で外観検査を行うことができる。なお、暗視野法による外観検査時には、明視野用拡散板７８の上方は、シャッタ板８０によって覆われる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、外観検査用照明装置に関し、特に例えば外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する、外観検査用照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の照明装置は、例えばコンタクトレンズ用の外観検査装置に用いられる。そして、かかるコンタクトレンズ用の外観検査装置として、従来、例えば特許文献１に開示されたものがある。この従来技術によれば、照明装置としての円形光源手段が、検査対象物（被検査物）であるコンタクトレンズの下方に配置される。そして、この円形光源手段から、円形状の照明光が発せられ、この照明光は、コンタクトレンズに投射される。ここで、コンタクトレンズに疵等の欠陥がある場合、当該コンタクトレンズに投射された照明光は、この欠陥部分によって乱反射される。そして、乱反射された光は、コンタクトレンズの上方に配置された電子撮像装置に入射される。この結果、欠陥部分が強調された撮像画像が得られ、この撮像画像に基づいてコンタクトレンズの外観検査判定が行われる。なお、コンタクトレンズと電子撮像装置との間には、コンタクトレンズの外周外側を通過する不要照明光を遮蔽するためのマスク手段が、設けられる。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２３４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述の従来技術では、円形光源手段から発せられた照明光が、直接、コンタクトレンズに投射されるため、当該コンタクトレンズ上に言わば照度むら（分布）が生じる。このため、コンタクトレンズ上で上述の欠陥部分が見え易い場所とそうでない場所とが生じ、場合によっては当該欠陥部分が見落とされる恐れがある、つまり外観検査精度が低下する、という問題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、従来よりも高精度に外観検査を行うことができる外観検査用照明装置を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するために、この発明は、外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する外観検査用照明装置において、検査対象物に向けて光を発する発光手段と、この発光手段と検査対象物との間に設けられ当該光に対して略半透明な性質を持つ光拡散手段と、を具備することを特徴とするものである。
【０００７】
即ち、この発明では、発光手段から照明用の光、つまり照明光が発せられ、この照明光は、光拡散手段を介して、検査対象物に照射される。ここで、光拡散手段は、照明光に対して略半透明な性質を有し、換言すれば当該照明光を散乱させる作用を奏する。従って、照明光は、この光拡散手段による散乱作用によって拡散され、拡散された照明光が、検査対象物に照射される。この結果、検査対象物が一様な明るさで照明され、照度むらが抑制される。
【０００８】
なお、発光手段は、複数であってもよい。このようにすれば、照明光による照明範囲（領域）が拡大し、また当該照明光の光度（検査対象物の照度）が向上する。
【０００９】
この場合、全ての発光手段と検査対象物との間に、光拡散手段が設けられる。そして、各発光手段から検査対象物までの距離が略均等とされ、かつ当該各発光手段から光拡散手段までの距離もまた略均等とされるのが、望ましい。このようにすれば、各発光手段から光拡散手段を介して検査対象物までの照明光の照射条件が略均等となり、複数の発光手段が設けられた場合でも、照度むらの発生が抑制される。
【００１０】
かかる発明は、例えば、検査対象物に対して斜め方向から照明光を照射し、この照明光の散乱や反射を観察することによって外観検査を行う、いわゆる暗視野法の外観検査装置に、適用される。この場合、検査対象物は、外観検査装置が備える対物レンズの光軸上に、配置される。そして、発光手段は、当該光軸に沿う方向において検査対象物の配置位置からずれており、かつ当該光軸に対して直角な方向において検査対象物の周縁よりも当該光軸から離れた位置に、設けられる。
【００１１】
なお、この暗視野法による外観検査は、例えば、検査対象物の輪郭（エッジ）や、当該検査対象物の表面状態、特に当該表面における疵等の欠陥の有無を検査するのに、好適である。
【００１２】
さらに、この暗視野法による外観検査用途において、例えば、検査対象物が照明光に対して略透明な性質を持つ透明体である場合には、発光手段は、対物レンズの光軸に沿う方向において当該検査対象物よりも当該対物レンズから離れた位置に設けてもよい。この構成によれば、対物レンズの光軸に沿う方向において、検査対象物を挟んで当該対物レンズとは反対側から、検査対象物に照明光が照射される。
【００１３】
そしてさらに、照明光が直接的に対物レンズに入射するのを防止する防止手段を、設けてもよい。即ち、発光手段から発せられた照明光、或いは光拡散手段を透過した照明光が、直接、対物レンズに入射するのを防止するべく、当該防止手段を設ける。かかる防止手段を設けることで、暗視野法による外観検査において（換言すれば照明光の散乱や反射を観察する上で）障害となる言わば直接光を排除することができ、コントラストの高い光学像を得ることができる。
【００１４】
また、検査対象物の態様によっては、当該検査対象物に照射された照明光が極端に屈折し、その屈折光が対物レンズに入射することがある。そしてまた、検査対象物とこれを保持するための容器との間で照明光が乱反射し、その乱反射光が対物レンズに入射することもあり得る。このように屈折光や乱反射光が対物レンズに入射されると、これら屈折光や乱反射光による発光手段の光学像が検査対象物の光学像に重畳される、つまり映り込む、という言わば映り込み現象が生じる。そして、この映り込み現象によって、外観検査作業に支障を来たす恐れがある。そこで、かかる映り込み現象を回避するべく、対物レンズの光軸に沿う方向において検査対象物と発光手段との間の距離を変更する変更手段を、設けてもよい。即ち、この変更手段によって当該距離が変更されると、検査対象物に対する照明光の照射角度が変わる。そして、このように照明光の照射角度が変わると、上述の屈折光や乱反射光の進行方向が変わり、これによって映り込み現象が回避される。
【００１５】
この発明はまた、検査対象物に対して真っ直ぐに照明光を照射し、この照明光のうち検査対象物を透過した透過光を観測することによって外観検査を行う、いわゆる明視野法の外観検査装置にも、適用することができる。この場合、検査対象物は、外観検査装置の対物レンズの光軸上に配置される。そして、発光手段は、検査対象物を挟んで対物レンズと対向する位置に、設けられる。
【００１６】
なお、この明視野法による外観検査は、例えば、略透明な検査対象物の内部状態、特に気泡や異物混入等の欠陥の有無を検査するのに、好適である。
【００１７】
また、この明視野法による外観検査用途においては、検査対象物と光拡散手段との間に、当該光拡散手段を介して検査対象物に照射される照明光の向きを変更する変更手段を、さらに設けてもよい。なお、ここで言う変更手段とは、回折作用や屈折作用によって当該照明光の向きを変更するものであり、かかる変更手段としては、例えば透明なシートに不透明なインクで特定の模様が描かれたものや、或いは透明なシートの表面に特定の凹凸が形成されたもの等がある。即ち、光拡散手段と検査対象物との間にかかる変更手段が介在することで、当該検査対象物に照射される照明光の向きが言わば斜め方向に変更される。そして、このように検査対象物に対してその斜め方向から照明光が照射されることによって、上述した暗視野法による外観検査と同様に、検査対象物の輪郭や当該検査対象物の表面における疵等の欠陥の有無を、認識することができるようになる。また、検査対象物内における気泡等の欠陥の有無も、より認識し易くなる。
【００１８】
このような明視野法に適用される照明装置は、上述した暗視野法に適用される照明装置と共に、１つの筺体に収容することができる。この場合、いずれか一方の照明装置を有効化する有効化手段を、設ける。このようにすれば、暗視野法による外観検査および明視野法による外観検査のいずれにも対応することができる。つまり、暗視野法および明視野法の両用の照明装置を実現することができる。
【００１９】
なお、この発明における検査対象物としては、例えばコンタクトレンズがある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、検査対象物を一様な明るさで照明することができ、つまり照度むらが生じない。従って、当該照度むらの影響によって外観検査精度が低下するという上述した従来技術に比べて、より高い精度で外観検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明を、コンタクトレンズ用の外観検査装置１０に適用した場合の第１実施形態について、図１〜図１５を参照して説明する。
【００２２】
図１に示すように、この第１実施形態に係る外観検査装置１０は、基部としての基台部１２と、この基台部１２の上方に設けられたヘッド部１４と、これら基台部１２およびヘッド部１４を互いに連結する連結部１６とを、備えている。
【００２３】
基台部１２は、概略直方体の形状をしており、その内部には、画像処理装置としてのパーソナルコンピュータ（厳密にはパーソナルコンピュータの本体）１８と、後述する光源ユニット２０用の電源装置２２とが、配置されている。そして、この基台部１２の上面２４上に、試料台ユニット２６が、設けられている。
【００２４】
試料台ユニット２６は、基台部１２の上面２４に固定された方形板状のベース２８と、このベース２８上の適宜位置に固定されたＺ軸ステージ３０と、このＺ軸ステージ３０にＬ字状の固定具３２を介して固定された照明装置としての光源ユニット２０と、を有している。そして、後で詳しく説明するが、この光源ユニット２０上の所定位置に、概略椀型の透明な容器３４が載置され、この容器３４内に、検査対象物としてのコンタクトレンズ５０が収容され、言わばセットされる。
【００２５】
なお、試料台ユニット２６は、容器３４の中心Ｏ（図２参照）が次に説明するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ３６の光軸３８上に位置するように、構成されている。また、Ｚ軸ステージ３０が操作されると、容器３４と共に光源ユニット２０が、当該光軸３８に沿う方向に移動する。これによって、ＣＣＤカメラ３６の焦点調整が行われる。このＺ軸ステージ３０の操作は、手動により直接行うこともできるし、上述したパーソナルコンピュータ１８（図示しないキーボードやマウス等の命令入力手段）によって言わば間接的に行うこともできる。また、当該パーソナルコンピュータ１８による画像処理を利用して、自動でＺ軸ステージ３０を操作し、つまり自動焦点調整を行うこともできる。
【００２６】
ＣＣＤカメラ３６は、これと光軸３８を共にする単焦点型の拡大対物レンズ４０を備えており、当該拡大対物レンズ４０の入射面を下方に向けた状態、つまり容器３４に対向させた状態で、ヘッド部１４内に設けられている。そして、このＣＣＤカメラ３６の図示しない映像出力端子は、パーソナルコンピュータ１８の図示しない映像入力端子に接続されている。なお、拡大対物レンズ４０は、倍率の異なるものに任意に交換可能とされており、例えば５倍〜１００倍の範囲内で当該倍率を任意に変更することができる。また、ＣＣＤカメラ３６に代えて、例えばＣＭＯＳ（Complimentary Metal Oxide Semiconductor）型等の他形式のカメラを用いてもよい。
【００２７】
さらに、ヘッド部１４内には、表示手段としての液晶型のディスプレイ４２が、その表示画面を当該ヘッド部１４の前方側に露出させた状態で、設けられている。そして、このディスプレイ４２の図示しない映像入力端子は、パーソナルコンピュータ１８の図示しない映像出力端子に接続されている。なお、この液晶型のディスプレイ４２に代えて、例えばＣＲＴ（Cathode Ray Tube）型等の他形式のディスプレイを採用してもよい。
【００２８】
このように構成された外観検査装置１０によれば、容器３４内にセットされたコンタクトレンズ５０に対して、光源ユニット２０から照明光が照射されと、当該コンタクトレンズ５０の光学像が、拡大対物レンズ４０を介して、ＣＣＤカメラ３６に入射される。ＣＣＤカメラ３６は、入射された光学像を電気信号である映像信号に変換し、変換された映像信号は、パーソナルコンピュータ１８を経由して、ディスプレイ４２に入力される。これによって、ディスプレイ４２の表示画面にコンタクトレンズ５０の拡大映像が表示される。そして、この拡大映像から、コンタクトレンズ５０の外観検査が行われ、例えば形状や寸法、或いは疵や気泡等の欠陥の有無等が検査される。なお、この外観検査（良否判定）は、パーソナルコンピュータ１８による画像処理によって自動的に行うこともできる。
【００２９】
ところで、この第１実施形態に係る外観検査装置１０は、これ１台で、暗視野法による外観検査と、明視野法による外観検査と、の両方を実施することができる。これは、光源ユニット２０が暗視野法および明視野法の両用の照明装置として機能することによって実現される。このため、光源ユニット２０は、次のように構成されている。
【００３０】
即ち、図２に示すように、光源ユニット２０は、概略直方体状の筺体６０を有している。そして、この光源ユニット２０が上述の如く固定具３２を介してＺ軸ステージ３０に固定されている状態においては、当該筺体６０の上面部６２および底面部６４は水平を成し、かつ上述した拡大対物レンズ４０（ＣＣＤカメラ３６）の光軸３８と直交する。さらに、上面部６２には、当該光軸３８を中心とする円形の貫通孔６６が、穿設されている。そして、この貫通孔６６を上方から塞ぐように、容器３４が載置される。
【００３１】
容器３４は、上述したように概略椀型であり、具体的には、下方に向かって突出した概略球冠状の底部３４ａと、この底部３４ａの周縁から上方に向かって真っ直ぐに延伸する短い円筒状の壁部３４ｂと、から成る。かかる容器３４は、光源ユニット２０による照明光に対して透明な素材、例えばソーダガラスや石英ガラス等の透明ガラス、或いはポリカーボネイトやＡＢＳ樹脂等の透明樹脂によって、一体に形成されている。そして、この容器３４は、底部３４ａの外側面を貫通孔６６の周縁に当接させた状態で、当該貫通孔６６の周縁によって支持され、言わば当該貫通孔６６に浅く嵌合される。
【００３２】
このような貫通孔６６による容器３４の支持状態を形成するために、当該容器３４の直径φａは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば貫通孔６６の直径φｂが３０［ｍｍ］〜６０［ｍｍ］であるのに対して、容器３４の直径は５０［ｍｍ］〜８０［ｍｍ］とされている。また、容器３４の底部３４ａの中心Ｏは、当該底部３４ａの頂点でもあり、容器３４は、この底部３４ａの中心Ｏが拡大対物レンズ４０の光軸３８上に位置するように、載置される。
【００３３】
そして、この容器３４内に、無色透明の液体５２が注入され、この液体５２が注入された容器３４内に、コンタクトレンズ５０が、その前面（突出した側の面）を下方に向けた状態で、静かに投入される。すると、コンタクトレンズ５０は、下方に向かって、つまり容器３４の底部３４ａに向かって、ゆっくり（ゆらゆらと）沈む。そして、底部３４ａの内側面に到達する（接触する）と、コンタクトレンズ５０は、重力に従って自然に、当該内側面の頂点、つまり中心Ｏに向かって、移動する。この結果、コンタクトレンズ５０は、当該中心Ｏを基準とする一定位置に落ち着き、つまり光軸３８上にセットされる。
【００３４】
なお、液体５２は、コンタクトレンズ５０の乾燥（特にソフトタイプの場合には収縮）を防ぐための言わば乾燥防止剤である。また、この液体５２は、コンタクトレンズ５０への機械的な衝撃を緩和するための緩衝剤としても機能する。かかる液体５２としては、例えば一般に知られているコンタクトレンズ用保存液が好適であるが、コンタクトレンズ５０および人体に無害であれば保存液以外のものを採用してもよい。
【００３５】
また、液体５２は、コンタクトレンズ５０が十分に浸る程度に注入されるが、この液体５２が容器３４の外部に流出するのを防止するために、壁部３４ｂが設けられている。つまり、壁部３４ｂは、液体５２の流出を防止するための言わば液体流出防止手段として機能する。かかる壁部３４ｂの高さ寸法Ｈａは、少なくとも数［ｍｍ］以上であれば足り、例えば１０［ｍｍ］〜２０［ｍｍ］程度である。
【００３６】
そして、容器３４の厚さ寸法ｔａは、底部３４ａおよび壁部３４ｂのいずれにおいても略一定であり、例えば１［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。そしてまた、底部３４ａの内側面の曲率半径Ｒも、略一定である。この内側面の曲率半径Ｒは、当該内側面と接触するコンタクトレンズ５０の前面の曲率半径（前面カーブ）よりも大きいのが望ましく、例えば１００［ｍｍ］〜３００［ｍｍ］程度である。
【００３７】
なお、コンタクトレンズ５０は、ソフトタイプおよびハードタイプのいずれであってもよい。いずれの場合も、コンタクトレンズ５０の直径φｃは、上述した貫通孔６６の直径φｂよりも小さく、例えばソフトタイプのものであれば、１３．８［ｍｍ］〜１４．５［ｍｍ］程度であり、ハードタイプのものであれば、８．４［ｍｍ］〜９．４［ｍｍ］程度である。
【００３８】
さて、筺体６０の内部には、暗視野法による外観検査時に用いられる言わば暗視野用の発光ダイオード（ＬＥＤ）群６８と、明視野法による外観検査時に用いられる言わば明視野用の発光ダイオード群７０とが、設けられている。このうち、暗視野用の発光ダイオード群６８は、発光手段としての多数（数十個〜百数十個）の白色発光ダイオード７２，７２，…を有している。これらの発光ダイオード７２，７２，…は、筺体６０内の上面部６２の近傍において、拡大対物レンズ４０の光軸３８を中心として当該光軸３８を取り囲むように、言わば環状に、設けられている。また、発光ダイオード７２，７２，…は、垂直方向（光軸３８に沿う方向）にも複数の段を成しており、例えば３段構成とされている。そして、各発光ダイオード７２，７２，…の発光部（砲弾状の部分）は、貫通孔６６の中心付近に向けられており、換言すれば当該貫通孔６６の中心付近に位置するコンタクトレンズ５０に向けられている。さらに、各発光ダイオード７２，７２，…の発光部から貫通孔６６の中心付近までの距離は、略一定とされている。このため、下方に配置された発光ダイオード７２，７２，…ほど、上方に配置された発光ダイオード７２，７２，…よりも、光軸３８に近くなる。ただし、光軸３８から各発光ダイオード７２，７２，…までの距離は、当該光軸３８から貫通孔６６の周縁までの距離（φｂ／２）よりも大きい。換言すれば、水平方向（光軸３８に対して直角な方向）において、各発光ダイオード７２，７２，…は、コンタクトレンズ５０の周縁（エッジ部分）よりも光軸３８から離れた位置にある。
【００３９】
そして、各発光ダイオード７２，７２，…の並び（発光ダイオード群６８）の内側、詳しくは当該各発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との間には、光拡散手段としての概略球帯状の暗視野用拡散板７４が、設けられている。この暗視野用拡散板７４は、発光ダイオード７２，７２，…から発せられる光、言わば暗視野用の照明光、に対して、半透明な素材によって形成されており、例えばポリプロピレンやアクリル等の熱可塑性樹脂につや消し加工を施したものである。そして、この暗視野用拡散板７４の内側面から貫通孔６６の中心付近（例えばコンタクトレンズ５０の前面の中心）までの距離は、当該内側面全体にわたって略均等とされており、当該暗視野用拡散板７４の外側面から各発光ダイオード７２，７２，…の発光部までの距離もまた、当該外側面全体にわたって略均等とされている。さらに、この暗視野用拡散板７４の厚さ寸法ｔｂは、当該暗視野用拡散板７４全体にわたって均一であり、例えば０．５［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。なお、この暗視野用拡散板７４の上方端（大きな開口部側）は、筺体６０の上面部６２に密着されており、下方端（小さな開口部側）は、最下方に位置する発光ダイオード７２，７２，…よりもさらに下方において開放されている。
【００４０】
一方、明視野用の発光ダイオード群７０もまた、暗視野用発光ダイオード群６８の発光ダイオード７２，７２，…と同規格の多数（数十個）の白色発光ダイオード７６，７６，…を有している。これらの発光ダイオード７６，７６，…は、筺体６０の底面部６４の近傍であって、貫通孔６６の真下、換言すれば当該貫通孔６６を介して拡大対物レンズ４０と対向する位置に、当該貫通孔６６と略同等の大きさの広がりを持って言わば平面（２次元）的に密集して、設けられている。そして、これらの発光ダイオード７６，７６，…の発光部は、真上に向けられており、つまり貫通孔６６に向けられている。
【００４１】
さらに、各発光ダイオード７６，７６，…（発光ダイオード群７０）の上方、詳しくは当該発光ダイオード７６，７６，…と暗視野用拡散板７４の下方端との間には、光拡散手段としての円板状の明視野用拡散板７８が、水平に設けられている。この明視野用拡散板７８もまた、上述の暗視野用拡散板７４と同様の半透明素材によって形成されており、その厚さ寸法ｔｃは、当該明視野用拡散板７８全体にわたって均一であり、例えば０．５［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。従って、明視野用拡散板７８の上面から貫通孔６６までの垂直方向における距離は、当該上面全体にわたって均等であり、また、当該明視野用拡散板７８の下面から各発光ダイオード７６，７６，…の発光部までの距離も、当該下面全体にわたって均等である。なお、明視野用拡散板７８の直径φｄは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば５０［ｍｍ］〜８０［ｍｍ］である。
【００４２】
また、明視野用拡散板７８のさらに上方、詳しくは当該明視野用拡散板７８と暗視野用拡散板７４の下方端との間に、光遮蔽手段としての円板状のシャッタ板８０が、水平に設けられている。このシャッタ板８０は、発光ダイオード７６，７６，…から発せられる言わば明視野用の照明光に対し不透明な素材によって形成されており、例えばアルミニウムやステンレス等の金属製、或いはアクリルやＡＢＳ等の樹脂製とされている。さらに、このシャッタ板８０の表面には、当該明視野用照明光（および暗視野用照明光）に対して高い吸収率を示すつや消しの黒色塗料が、塗布されている。そして、このシャッタ板８０は、筺体６０の外部、例えば上面部６２の上部、に設けられたシャッタ操作用ノブ８２に連結されており、このシャッタ操作用ノブ８２の操作によって、明視野用拡散板７８の上方から任意に排除可能とされている。具体的には、当該シャッタ操作用ノブ８２が、図２（ａ）に矢印８４で示す方向に操作（回転）されると、シャッタ板８０は、同図に二点鎖線８０ａで示す位置に移動し、明視野用拡散板７８の上方から排除される。なお、シャッタ板８０の直径φｅは、明視野用拡散板７８の直径φｄよりも大きく、さらに詳しくは暗視野用拡散板７４の下方端の開口部直径よりも大きく、例えば６０［ｍｍ］〜１００［ｍｍ］程度である。
【００４３】
このように構成された光源ユニット２０によれば、暗視野法による外観検査時には、上述した電源装置２２によって、暗視野用発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野用発光ダイオード群７０は無効化される。つまり、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…のみが発光し、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…は非発光とされる。これによって、図３に点線の矢印９０，９０，…で示すように、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…から暗視野用照明光が発せられ、この暗視野用照明光は、暗視野用拡散板７４および容器３４（底部３４ａ）を介して、コンタクトレンズ５０に照射される。つまり、当該コンタクトレンズ５０に対して、斜め下方から暗視野用照明光が照射される。
【００４４】
ここで、暗視野用拡散板７４は、上述したように暗視野用照明光に対して半透明な素材によって形成されており、換言すれば当該暗視野用照明光を散乱させる作用を奏する。従って、各発光ダイオード７２，７２，…から発せられた暗視野照明光は、この暗視野用拡散板７４による散乱作用によって拡散され、この拡散された光が、コンタクトレンズ５０に照射される。よって、円形光源手段から発せられる照明光がそのままコンタクトレンズに投射されるという上述した従来技術とは異なり、コンタクトレンズ５０全体を一様な（ぼんやりした）明るさで照射することができ、当該コンタクトレンズ５０上に照度むらは生じない。
【００４５】
また、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…から暗視野用拡散板７４を介して容器３４内のコンタクトレンズ５０に至るまでの言わば暗視野用照明光の伝播条件、つまり当該各発光ダイオード７２，７２、…によるコンタクトレンズ５０への暗視野用照明光の照射条件は、概ね平等である。従って、当該照射条件の違いによる照度むら（バラツキ）も生じない。
【００４６】
さて、今、コンタクトレンズ５０の表面に疵等の欠陥があるとする。この場合、コンタクトレンズ５０に照射された暗視野用照明光は、欠陥部分によって乱反射される。そして、乱反射された光が、拡大対物レンズ４０を介して、ＣＣＤカメラ３６に入射される。この結果、上述したディスプレイ４２の表示画面には、当該欠陥部分が強調された画像が、映し出される。なお、暗視野用照明光は、コンタクトレンズ５０のエッジ部分によっても乱反射される。従って、ディスプレイ４２の表示画面には、当該エッジ部分も、映し出される。一方、コンタクトレンズ５０に欠陥がない場合には、エッジ部分のみが映し出され、他の部分はシャッタ板８０の表面（上面）を背景とする暗い（言わば真っ暗な）画像で、映し出される。
【００４７】
このように暗視野法による外観検査によれば、コンタクトレンズ５０のエッジ部分や、当該コンタクトレンズ５０の表面における欠陥の有無等を、効果的に検査することができる。
【００４８】
なお、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…の上方は、筺体６０の上面部６２によって覆われた状態にある。換言すれば、当該各発光ダイオード７２，７２，…と拡大対物レンズ４０との間に、筺体６０の上面部６２が介在している状態にある。従って、各発光ダイオード７２，７２，…から発せられる暗視野用照明光が、直接的（直線的）に拡大対物レンズ４０に入射することはない。つまり、筺体６０の上面部６２は、各発光ダイオード７２，７２，…から拡大対物レンズ４０に対して直接的に暗視野用照明光が入射するのを防止する防止手段として、機能する。そして、このように拡大対物レンズ４０に対する言わば直接光の入射を防止することによって、暗視野方による外観検査において、コントラストの高い光学像を得ることができる。
【００４９】
また、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との位置関係によっては、当該発光ダイオード７２，７２，…の光学像がコンタクトレンズ５２の光学像に映り込むという、言わば映り込み現象が生じる。この映り込み現象は、例えば、図４に点線の矢印９２で示すようにコンタクトレンズ５０に照射された暗視野用照明光が、同図に二点鎖線の矢印９４で示すように当該コンタクトレンズ５０と容器３４（底部３４ａ）との間で乱反射し、この乱反射した光が拡大対物レンズ４０に入射することにより発生する、と推察される。また、図には示さないが、コンタクトレンズ５０或いは容器３４によって暗視野用照明光が極端に大きく屈折し、この屈折光が拡大対物レンズ４０に入射することによっても、当該映り込み現象が生じることがある、とも推察される。そして、かかる映り込み現象が生じると、外観検査作業に支障を来たす恐れがある。
【００５０】
そこで、この第１実施形態においては、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との相対的な位置関係が変更可能とされており、具体的には、当該コンタクトレンズ５０を含む容器３４の位置が拡大対物レンズ４０の光軸３８に沿う方向において任意に変更可能とされている。より具体的には、例えば図５に示すように、容器３４が載置される筺体６０の上面部６２を、貫通孔６６の直径φｂの異なるものに任意に交換することができる。なお、図５は、例えば図３の上面部６２よりも貫通孔６６の直径φｂが大きいものに交換された状態を示し、この場合、容器３４の位置は下方に移動する。これとは反対に、筺体６０の上面部６２が貫通孔６６の直径φｂの小さいものに交換された場合には、容器３４の位置は上方に移動する。また、例えば図６に示すように、容器３４（底部３４ａ）と筺体６０の上面部６２との間に、環状のスペーサ１００を設けることで、当該容器３４の位置を移動させることもできる。この場合、当該スペーサ１００の高さ寸法Ｈｂによって、容器３４の位置が調整される。
【００５１】
このように光軸３８に沿う方向において容器３４の位置が移動すると、当該容器３４にセットされたコンタクトレンズ５０に対する暗視野用照明光の照射角度が変わる。そして、このように暗視野用照明光の照射角度が変わることによって、上述の映り込み現象の原因となる乱反射光や屈折光の進行方向（角度）が変わり、ひいては当該映り込み現象が回避される。なお、この映り込み現象は、光軸３８に沿う方向において、各発光ダイオード７２，７２，…がコンタクトレンズ５０（前面中心）よりも少し、例えば数［ｍｍ］ほど下方にあるときに、回避される。
【００５２】
一方、明視野法による外観検査時には、上述の電源装置２２によって、明視野用発光ダイオード群７０のみが有効化され、暗視野用発光ダイオード群６８は無効化される。つまり、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…のみが発光し、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…は非発光とされる。また、これと併せて、上述したシャッタ操作用ノブ８２によって、図７に示すように、明視野用拡散板７８の上方からシャッタ板８０が排除される。この結果、同図に点線の矢印１１０，１１０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。つまり、当該コンタクトレンズ５０に対して、真下から明視野用照明光が照射される。
【００５３】
ここで、明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を透過する際に、当該明視野用拡散板７８によって拡散される。そして、この拡散された光が、コンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０全体を一様な明るさで照射することができ、上述した照度むらも生じない。また、明視野用の各発光ダイオード７６，７６，…から明視野用拡散板７８を介して容器１２内のコンタクトレンズ５０に至るまでの言わば明視野用照明光の伝播条件、つまり当該各発光ダイオード７６，７６，…によるコンタクトレンズ５０への明視野用照明光の照射条件は、概ね平等である。従って、当該照射条件の違いによる照度むらも生じない。
【００５４】
このようにしてコンタクトレンズ５０の真下から照射された明視野用照明光は、当該コンタクトレンズ５０を透過して、拡大対物レンズ４０に入射される。この結果、上述したディスプレイ４２の表示画面に、当該透過光に基づくコンタクトレンズ５０の画像が、映し出される。なお、コンタクトレンズ５０の内部に気泡等の欠陥がある場合には、明視野用照明光は、この欠陥部分によって散乱する。従って、当該欠陥部分については、他の（良好な）部分と異なった態様で、映し出される。
【００５５】
ただし、コンタクトレンズ５０は極めて薄く、また、明視野用照明光を含む可視光線に対して極めて高い透過率を示すので、ディスプレイ４２に映し出される画像上で、上述の気泡のような欠陥部分については認識することができるものの、それ以外の部分、例えばコンタクトレンズ５０の輪郭（エッジ）等を認識することは、容易ではない。そこで、この第１実施形態では、図８に示すように、明視野用拡散板７８の上に、変更手段としての模様シート１２０を、載置する。この模様シート１２０とは、明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光の伝播方向を変更するためのものであり、かかる模様シート１２０を用いることで、コンタクトレンズ５０の輪郭等を認識し易くしている。
【００５６】
即ち、模様シート１２０は、図９に示すように、ＯＨＰ（Over Head Projector）シート等のような透明なシート（フィルム）１２２に、黒色インク等の不透明なインクで所定の模様１２４、例えば格子模様が描かれたものである。かかる模様シート１２０は、例えば、当該所定模様１２４をＣＡＤ（Computer
Aided Design）等で描画し、これを透明シート１２２に印刷することによって、作成することができる。
【００５７】
この模様シート１２０が明視野用拡散板７８上に載置された状態では、当該明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光の一部が、当該模様シート１２０（模様１２４の部分）によって回折する。この結果、図８に点線の矢印１１２，１１２，…で示すように、当該一部の明視野用照明光の伝播方向が変更され、例えば光軸３８に対して斜めの方向に向けられる。そして、この斜めの方向に伝播する明視野用照明光がコンタクトレンズ５０に照射されることによって、上述した暗視野法による外観検査時と同様の状態が形成され、コンタクトレンズ５０の輪郭等が認識し易くなる。なお、コンタクトレンズ５０には、同図に点線の矢印１１０，１１０，…で示すように、模様シート１２０（模様１２４以外の部分）を直線的に透過する明視野用照明光も、照射される。
【００５８】
図１０（参考図１）に、模様シート１２０が用いられたときにディスプレイ４２の表示画面に映し出される画像の一例を、示す。この図１０において、暗い格子状の模様で見える部分が、模様シート１２０に描かれた模様１２４の像である。そして、同画像の全範囲を少しはみ出す程度に見える円形の模様が、コンタクトレンズ５０の輪郭部分の像である。このように、コンタクトレンズ５０と明視野用拡散板７８との間に模様シート１２０が介在することによって、当該コンタクトレンズ５０の輪郭部分が認識し易くなる。なお、コンタクトレンズ５０の周縁よりも内側には、ブレンドと呼ばれる不連続な部分が存在するが、同図によれば、このブレンドについても、認識することができるようになる（同図において輪郭像の内側に見える当該輪郭像よりも小さめの円形模様がブレンドの像である）。かかるブレンドは、これまでの明視野法による外観検査では、認識することが困難であったが、模様シート１２０を用いることで、当該ブレンドを明確化することに成功した。また、図には示さないが、コンタクトレンズ５０内に気泡等の欠陥がある場合には、この欠陥部分も明確に映し出される。なお、このとき、模様１２４の像は、コンタクトレンズ５０の像の言わば背景となる。そして、この背景としての模様１２４の像が、例えばコンタクトレンズ５０内の欠陥部分の像と重なって、当該欠陥部分が認識し難くなるのではないか、と懸念される。しかし、上述した拡大対物レンズ４０の焦点はコンタクトレンズ５０に合わせられており、よって、模様１２４の像はボケるため、そのような不都合は生じない。
【００５９】
なお、図１０は、所定模様１２４として、約０．５［ｍｍ］幅の直線が約１．０［ｍｍ］間隔で格子状に描かれた模様シート１２０を用いた場合の、ディスプレイ４０に表示される画像の一例である。また、図１１（参考図２）に、当該所定模様１２４として、約０．５［ｍｍ］幅の直線が約５．０［ｍｍ］間隔で格子状に描かれた模様シート１２０を用いた場合の、表示画像の一例を示す。このように、所定模様１２４の態様によって、画像の見え方が異なるため、検査対象物であるコンタクトレンズ５０の態様に併せて当該所定模様１２４を選択すればよい。
【００６０】
かかる所定模様１２４は、格子状に限らず、例えば図１２に示すような斑点（ドット）模様や、或いは図１３に示すような同心円状の模様であってもよい。この場合も、斑点の大きさや、線の間隔等を、適宜変えてもよい。そして、言うまでもなく、これ以外の模様、例えば放射線条に直線を描いた模様や、平行線を描いた模様、さらには曲線を描いた模様等を、採用してもよい。ただし、模様は、ランダムな形状のものではなく、一定のパターンに従って描かれたものであるのが、望ましい。また、模様シート１２０に代えて、単なる網状のもの（いわゆるみかん網のようなもの）を、置いてもよい。
【００６１】
さらに、模様シート１２０として、例えば図１４に示すように、透明なシート１３０の上に、当該透明シート１３０と同質の短冊状（または長尺状）の複数の透明体１３２，１３２，…を格子状に重ねることによって、当該透明シート１３０上に凹凸を形成したものを、採用してもよい。この場合、明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光は、当該凹凸部分によって回折されるだけでなく、屈折もする。そして、この回折作用および屈折作用によって、明視野用照明光の伝播方向が変更され、結果的に、上述と同様の効果が得られる。この図１４に示す模様シート１２０が用いられたときの画像の一例を、図１５（参考図３）に示す。この図１５から分かるように、図１４に示す模様シート１２０が用いられたときも、特にコンタクトレンズ５０の輪郭部分が明確化される。なお、透明体１３２，１３２，…の形状や配置等は、図１４に示す態様に限らず、これ以外の態様であってもよい。
【００６２】
かかる模様シート１２０を用いる場合、つまり明視野法による外観検査によってコンタクトレンズ５０の輪郭やブレンド部分、さらには当該コンタクトレンズ５０表面の疵等の有無を検査する場合には、明視野用拡散板７８は、特に無くても構わない。即ち、明視野用拡散板７８を設けなくても、模様シート１２０を設けることで、当該模様シート１２０による回折作用または屈折作用によって、コンタクトレンズ５０の輪郭やブレンド部分、表面の疵等を明確化することができる。
【００６３】
以上のように、この第１実施形態によれば、暗視野用照明光および明視野用照明光のいずれについても、直接ではなく、拡散板７４または７８によって拡散された状態で、コンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０上に照度むらが生じず、当該コンタクトレンズ５０は一様な明るさで照明される。即ち、照度むらの影響によって外観検査精度が低下するという上述した従来技術に比べて、より高い精度でコンタクトレンズ５０の外観検査を行うことができる。
【００６４】
なお、上述した暗視野用拡散板７４は、樹脂製としたが、これに限らない。例えば、摺りガラスや白ガラス等の半透明なガラス製であってもよいし、トレース紙等のような半透明用紙製であってもよい。このことは、明視野用拡散板７８についても、同様である。
【００６５】
また、暗視野用発光ダイオード７２，７２，…および明視野用発光ダイオード７６，７６，…は、白色発光ダイオードに限らず、別の発光色のものであってもよい。そして、これらの発光ダイオード７２，７２，…および７６，７６，…に代えて、電球等の他の発光手段を用いてもよい。また、発光ダイオード７２，７２，…および７６，７６，…の配列（各発光ダイオード群６８および７０の形状）も、この第１実施形態で説明した内容に限らない。
【００６６】
さらに、暗視野用発光ダイオード７２，７２，…（発光ダイオード群６８）については、拡大対物レンズ４０の光軸３８に沿う方向において、コンタクトレンズ５０よりも上方に設けてもよい。この場合、言うまでもなく、暗視野用拡散板６８についても、当該コンタクトレンズ５０よりも上方に設けることとする。
【００６７】
そしてさらに、容器３４については、概略椀型としたが、これに限らない。即ち、これ以外の形状の容器３４を用いてもよいし、シャーレのように一般に市販されているものを利用してもよい。
【００６８】
また、検査対象物としてコンタクトレンズ５０を例に挙げたが、これ以外のもの、例えば各種工業用部品や医療用器具等を、当該検査対象物とすることもできる。
【００６９】
続いて、この発明の第２実施形態について、図１６〜図１８を参照して説明する。なお、この第２実施形態は、上述した第１実施形態における光源ユニット２０に代えて、図１６に示すような光源ユニット２００を採用するものである。
【００７０】
即ち、図１６に示すように、この第２実施形態における光源ユニット２００は、第１実施形態における光源ユニット２０において、明視野用の発光ダイオード群７０を筺体６０の底面部６４から浮かすと共に、上述したシャッタ板８０を構成から外したものである。
【００７１】
より具体的に説明すると、貫通孔６６の真下に、概略円板状の可動板２０２が、設けられている。この可動板２０２は、筺体６０の底面部６４から浮いた状態で水平に設けられており、この可動板２０２の上に、明視野用の発光ダイオード群７０が設けられ、詳しくは当該発光ダイオード群７０を構成する各発光ダイオード７６，７６，…がそれぞれの発光部を真上に向けた状態で平面的に密集して設けられている。そして、これらの発光ダイオード７６，７６，…の上方に、明視野用拡散板７８が水平に設けられている。なお、この明視野用拡散板７８は、例えば円筒形の支持具２０４を介して、可動板２０２の上面に固定されている。そして、これら可動板２０２，発光ダイオード群７０，明視野用拡散板７８および支持具２０４によって、明視野用照明ユニット２０６が、構成される。
【００７２】
この明視野用照明ユニット２０６は、筺体６０の外部にある照明用操作ノブ２０８に連結されている。そして、この証明用操作ノブ２０８の操作によって、当該明視野用照明ユニット２０６は、貫通孔６６の真下から任意に排除可能とされている。詳しくは、照明用操作ノブ２０８が、図１６（ａ）に矢印２１０で示す方向に操作（回転）されると、明視野用照明ユニット２０６は、同図に二点鎖線２０６ａで示す位置に移動し、貫通孔６６の真下から排除される。
【００７３】
さらに、筺体６０内の底面部６４のうち、少なくとも貫通孔６６の真下に位置する部分には、円形状の黒体シート２１２が貼着されている。この黒体シート２１２は、上述したつや消し黒色塗料と同様、暗視野用照明光に対して高い吸収率を示す。なお、この黒体シート２１２の直径φｆは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば６０［ｍｍ］〜１００［ｍｍ］程度である。
【００７４】
このように構成された光源ユニット２００によれば、暗視野法による外観検査時には、上述した電源装置２２によって、暗視野用発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野用発光ダイオード群７０は無効化される。つまり、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…のみが発光し、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…は非発光とされる。また、これと併せて、照明用操作ノブ２０８によって、図１７に示すように、貫通孔６６の真下から明視野用発光ダイオード群６８を含む明視野用証明ユニット２０６が排除される。この結果、同図に点線の矢印２２０，２２０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。そして、この状態で、暗視野法による外観検査が実施される。
【００７５】
この暗視野法による外観検査においては、黒体シート２１２が、コンタクトレンズ５０の背景となる。ここで、上述した第１実施形態においては、シャッタ板８０の上面が背景となることを鑑みると、当該背景からコンタクトレンズ５０までの距離Ｈｃは、第１実施形態に比べて第２実施形態の方が大きい。一般には、この距離Ｈｃが大きいほど、背景が理想的な黒体に近づくので、暗視野法による外観検査に好都合になる、とされている。つまり、この第２実施形態によれば、第１実施形態に比べて、暗視野法による外観検査を良好に行うことができる。
【００７６】
一方、明視野法による外観検査時には、照明用操作ノブ２０８によって、図１８に示すように、貫通孔６６の真下に明視野用発光ダイオード群６８が配置される。そして、上述の電源装置２２によって、明視野用発光ダイオード群７０のみが有効化され、暗視野用発光ダイオード群６８は無効化される。つまり、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…のみが発光し、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…は非発光とされる。この結果、同図に点線の矢印２３０，２３０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。そして、この状態で、明視野法による外観検査が行われる。
【００７７】
なお、この第２実施形態においても、明視野用拡散板７８の上に、上述した模様シート１２０を置いてもよい。
【００７８】
また、黒体シート２１２は、底面部６４の全体にわたって貼着してもよいし、当該黒体シート２１２に代えて、上述のつや消し黒色塗料を塗布してもよい。
【００７９】
以上、第１実施形態および第２実施形態で説明した内容は、この発明を実現するための一部の例であり、この発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】この発明の第１実施形態に係る外観検査装置の全体構成を示す図である。
【図２】同第１実施形態における光源ユニットの概略構成を示す図である。
【図３】暗視野法による外観検査時の同光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図４】映り込み現象を説明するための図解図である。
【図５】同映り込み現象を回避するための一例を示す図解図である。
【図６】図５とは異なる回避例を示す図解図である。
【図７】明視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図８】同明視野法による外観検査において模様シートが用いられている状態を示す図解図である。
【図９】同模様シートの一例を示す図である。
【図１０】図９の模様シートの使用時に得られた画像の一例を示す図である。
【図１１】図１０とは異なる模様シートの使用時に得られた画像を示す図である。
【図１２】図９とは異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１３】図１２とはさらに異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１４】図１３とはさらに異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１５】図１４の模様シートの使用時に得られた画像の一例を示す図である。
【図１６】この発明の第２実施形態における光源ユニットの概略構成を示す図である。
【図１７】同第２実施形態において暗視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図１８】同第２実施形態において明視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０ 外観検査装置
２０ 光源ユニット
５０ コンタクトレンズ
６８ 暗視野用発光ダイオード群
７０ 明視野用発光ダイオード群
７２ 暗視野用発光ダイオード
７４ 暗視野用拡散板
７６ 明視野用発光ダイオード
７８ 明視野用拡散板
【技術分野】
【０００１】
この発明は、外観検査用照明装置に関し、特に例えば外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する、外観検査用照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の照明装置は、例えばコンタクトレンズ用の外観検査装置に用いられる。そして、かかるコンタクトレンズ用の外観検査装置として、従来、例えば特許文献１に開示されたものがある。この従来技術によれば、照明装置としての円形光源手段が、検査対象物（被検査物）であるコンタクトレンズの下方に配置される。そして、この円形光源手段から、円形状の照明光が発せられ、この照明光は、コンタクトレンズに投射される。ここで、コンタクトレンズに疵等の欠陥がある場合、当該コンタクトレンズに投射された照明光は、この欠陥部分によって乱反射される。そして、乱反射された光は、コンタクトレンズの上方に配置された電子撮像装置に入射される。この結果、欠陥部分が強調された撮像画像が得られ、この撮像画像に基づいてコンタクトレンズの外観検査判定が行われる。なお、コンタクトレンズと電子撮像装置との間には、コンタクトレンズの外周外側を通過する不要照明光を遮蔽するためのマスク手段が、設けられる。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２３４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述の従来技術では、円形光源手段から発せられた照明光が、直接、コンタクトレンズに投射されるため、当該コンタクトレンズ上に言わば照度むら（分布）が生じる。このため、コンタクトレンズ上で上述の欠陥部分が見え易い場所とそうでない場所とが生じ、場合によっては当該欠陥部分が見落とされる恐れがある、つまり外観検査精度が低下する、という問題がある。
【０００５】
そこで、この発明は、従来よりも高精度に外観検査を行うことができる外観検査用照明装置を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる目的を達成するために、この発明は、外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する外観検査用照明装置において、検査対象物に向けて光を発する発光手段と、この発光手段と検査対象物との間に設けられ当該光に対して略半透明な性質を持つ光拡散手段と、を具備することを特徴とするものである。
【０００７】
即ち、この発明では、発光手段から照明用の光、つまり照明光が発せられ、この照明光は、光拡散手段を介して、検査対象物に照射される。ここで、光拡散手段は、照明光に対して略半透明な性質を有し、換言すれば当該照明光を散乱させる作用を奏する。従って、照明光は、この光拡散手段による散乱作用によって拡散され、拡散された照明光が、検査対象物に照射される。この結果、検査対象物が一様な明るさで照明され、照度むらが抑制される。
【０００８】
なお、発光手段は、複数であってもよい。このようにすれば、照明光による照明範囲（領域）が拡大し、また当該照明光の光度（検査対象物の照度）が向上する。
【０００９】
この場合、全ての発光手段と検査対象物との間に、光拡散手段が設けられる。そして、各発光手段から検査対象物までの距離が略均等とされ、かつ当該各発光手段から光拡散手段までの距離もまた略均等とされるのが、望ましい。このようにすれば、各発光手段から光拡散手段を介して検査対象物までの照明光の照射条件が略均等となり、複数の発光手段が設けられた場合でも、照度むらの発生が抑制される。
【００１０】
かかる発明は、例えば、検査対象物に対して斜め方向から照明光を照射し、この照明光の散乱や反射を観察することによって外観検査を行う、いわゆる暗視野法の外観検査装置に、適用される。この場合、検査対象物は、外観検査装置が備える対物レンズの光軸上に、配置される。そして、発光手段は、当該光軸に沿う方向において検査対象物の配置位置からずれており、かつ当該光軸に対して直角な方向において検査対象物の周縁よりも当該光軸から離れた位置に、設けられる。
【００１１】
なお、この暗視野法による外観検査は、例えば、検査対象物の輪郭（エッジ）や、当該検査対象物の表面状態、特に当該表面における疵等の欠陥の有無を検査するのに、好適である。
【００１２】
さらに、この暗視野法による外観検査用途において、例えば、検査対象物が照明光に対して略透明な性質を持つ透明体である場合には、発光手段は、対物レンズの光軸に沿う方向において当該検査対象物よりも当該対物レンズから離れた位置に設けてもよい。この構成によれば、対物レンズの光軸に沿う方向において、検査対象物を挟んで当該対物レンズとは反対側から、検査対象物に照明光が照射される。
【００１３】
そしてさらに、照明光が直接的に対物レンズに入射するのを防止する防止手段を、設けてもよい。即ち、発光手段から発せられた照明光、或いは光拡散手段を透過した照明光が、直接、対物レンズに入射するのを防止するべく、当該防止手段を設ける。かかる防止手段を設けることで、暗視野法による外観検査において（換言すれば照明光の散乱や反射を観察する上で）障害となる言わば直接光を排除することができ、コントラストの高い光学像を得ることができる。
【００１４】
また、検査対象物の態様によっては、当該検査対象物に照射された照明光が極端に屈折し、その屈折光が対物レンズに入射することがある。そしてまた、検査対象物とこれを保持するための容器との間で照明光が乱反射し、その乱反射光が対物レンズに入射することもあり得る。このように屈折光や乱反射光が対物レンズに入射されると、これら屈折光や乱反射光による発光手段の光学像が検査対象物の光学像に重畳される、つまり映り込む、という言わば映り込み現象が生じる。そして、この映り込み現象によって、外観検査作業に支障を来たす恐れがある。そこで、かかる映り込み現象を回避するべく、対物レンズの光軸に沿う方向において検査対象物と発光手段との間の距離を変更する変更手段を、設けてもよい。即ち、この変更手段によって当該距離が変更されると、検査対象物に対する照明光の照射角度が変わる。そして、このように照明光の照射角度が変わると、上述の屈折光や乱反射光の進行方向が変わり、これによって映り込み現象が回避される。
【００１５】
この発明はまた、検査対象物に対して真っ直ぐに照明光を照射し、この照明光のうち検査対象物を透過した透過光を観測することによって外観検査を行う、いわゆる明視野法の外観検査装置にも、適用することができる。この場合、検査対象物は、外観検査装置の対物レンズの光軸上に配置される。そして、発光手段は、検査対象物を挟んで対物レンズと対向する位置に、設けられる。
【００１６】
なお、この明視野法による外観検査は、例えば、略透明な検査対象物の内部状態、特に気泡や異物混入等の欠陥の有無を検査するのに、好適である。
【００１７】
また、この明視野法による外観検査用途においては、検査対象物と光拡散手段との間に、当該光拡散手段を介して検査対象物に照射される照明光の向きを変更する変更手段を、さらに設けてもよい。なお、ここで言う変更手段とは、回折作用や屈折作用によって当該照明光の向きを変更するものであり、かかる変更手段としては、例えば透明なシートに不透明なインクで特定の模様が描かれたものや、或いは透明なシートの表面に特定の凹凸が形成されたもの等がある。即ち、光拡散手段と検査対象物との間にかかる変更手段が介在することで、当該検査対象物に照射される照明光の向きが言わば斜め方向に変更される。そして、このように検査対象物に対してその斜め方向から照明光が照射されることによって、上述した暗視野法による外観検査と同様に、検査対象物の輪郭や当該検査対象物の表面における疵等の欠陥の有無を、認識することができるようになる。また、検査対象物内における気泡等の欠陥の有無も、より認識し易くなる。
【００１８】
このような明視野法に適用される照明装置は、上述した暗視野法に適用される照明装置と共に、１つの筺体に収容することができる。この場合、いずれか一方の照明装置を有効化する有効化手段を、設ける。このようにすれば、暗視野法による外観検査および明視野法による外観検査のいずれにも対応することができる。つまり、暗視野法および明視野法の両用の照明装置を実現することができる。
【００１９】
なお、この発明における検査対象物としては、例えばコンタクトレンズがある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、検査対象物を一様な明るさで照明することができ、つまり照度むらが生じない。従って、当該照度むらの影響によって外観検査精度が低下するという上述した従来技術に比べて、より高い精度で外観検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明を、コンタクトレンズ用の外観検査装置１０に適用した場合の第１実施形態について、図１〜図１５を参照して説明する。
【００２２】
図１に示すように、この第１実施形態に係る外観検査装置１０は、基部としての基台部１２と、この基台部１２の上方に設けられたヘッド部１４と、これら基台部１２およびヘッド部１４を互いに連結する連結部１６とを、備えている。
【００２３】
基台部１２は、概略直方体の形状をしており、その内部には、画像処理装置としてのパーソナルコンピュータ（厳密にはパーソナルコンピュータの本体）１８と、後述する光源ユニット２０用の電源装置２２とが、配置されている。そして、この基台部１２の上面２４上に、試料台ユニット２６が、設けられている。
【００２４】
試料台ユニット２６は、基台部１２の上面２４に固定された方形板状のベース２８と、このベース２８上の適宜位置に固定されたＺ軸ステージ３０と、このＺ軸ステージ３０にＬ字状の固定具３２を介して固定された照明装置としての光源ユニット２０と、を有している。そして、後で詳しく説明するが、この光源ユニット２０上の所定位置に、概略椀型の透明な容器３４が載置され、この容器３４内に、検査対象物としてのコンタクトレンズ５０が収容され、言わばセットされる。
【００２５】
なお、試料台ユニット２６は、容器３４の中心Ｏ（図２参照）が次に説明するＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ３６の光軸３８上に位置するように、構成されている。また、Ｚ軸ステージ３０が操作されると、容器３４と共に光源ユニット２０が、当該光軸３８に沿う方向に移動する。これによって、ＣＣＤカメラ３６の焦点調整が行われる。このＺ軸ステージ３０の操作は、手動により直接行うこともできるし、上述したパーソナルコンピュータ１８（図示しないキーボードやマウス等の命令入力手段）によって言わば間接的に行うこともできる。また、当該パーソナルコンピュータ１８による画像処理を利用して、自動でＺ軸ステージ３０を操作し、つまり自動焦点調整を行うこともできる。
【００２６】
ＣＣＤカメラ３６は、これと光軸３８を共にする単焦点型の拡大対物レンズ４０を備えており、当該拡大対物レンズ４０の入射面を下方に向けた状態、つまり容器３４に対向させた状態で、ヘッド部１４内に設けられている。そして、このＣＣＤカメラ３６の図示しない映像出力端子は、パーソナルコンピュータ１８の図示しない映像入力端子に接続されている。なお、拡大対物レンズ４０は、倍率の異なるものに任意に交換可能とされており、例えば５倍〜１００倍の範囲内で当該倍率を任意に変更することができる。また、ＣＣＤカメラ３６に代えて、例えばＣＭＯＳ（Complimentary Metal Oxide Semiconductor）型等の他形式のカメラを用いてもよい。
【００２７】
さらに、ヘッド部１４内には、表示手段としての液晶型のディスプレイ４２が、その表示画面を当該ヘッド部１４の前方側に露出させた状態で、設けられている。そして、このディスプレイ４２の図示しない映像入力端子は、パーソナルコンピュータ１８の図示しない映像出力端子に接続されている。なお、この液晶型のディスプレイ４２に代えて、例えばＣＲＴ（Cathode Ray Tube）型等の他形式のディスプレイを採用してもよい。
【００２８】
このように構成された外観検査装置１０によれば、容器３４内にセットされたコンタクトレンズ５０に対して、光源ユニット２０から照明光が照射されと、当該コンタクトレンズ５０の光学像が、拡大対物レンズ４０を介して、ＣＣＤカメラ３６に入射される。ＣＣＤカメラ３６は、入射された光学像を電気信号である映像信号に変換し、変換された映像信号は、パーソナルコンピュータ１８を経由して、ディスプレイ４２に入力される。これによって、ディスプレイ４２の表示画面にコンタクトレンズ５０の拡大映像が表示される。そして、この拡大映像から、コンタクトレンズ５０の外観検査が行われ、例えば形状や寸法、或いは疵や気泡等の欠陥の有無等が検査される。なお、この外観検査（良否判定）は、パーソナルコンピュータ１８による画像処理によって自動的に行うこともできる。
【００２９】
ところで、この第１実施形態に係る外観検査装置１０は、これ１台で、暗視野法による外観検査と、明視野法による外観検査と、の両方を実施することができる。これは、光源ユニット２０が暗視野法および明視野法の両用の照明装置として機能することによって実現される。このため、光源ユニット２０は、次のように構成されている。
【００３０】
即ち、図２に示すように、光源ユニット２０は、概略直方体状の筺体６０を有している。そして、この光源ユニット２０が上述の如く固定具３２を介してＺ軸ステージ３０に固定されている状態においては、当該筺体６０の上面部６２および底面部６４は水平を成し、かつ上述した拡大対物レンズ４０（ＣＣＤカメラ３６）の光軸３８と直交する。さらに、上面部６２には、当該光軸３８を中心とする円形の貫通孔６６が、穿設されている。そして、この貫通孔６６を上方から塞ぐように、容器３４が載置される。
【００３１】
容器３４は、上述したように概略椀型であり、具体的には、下方に向かって突出した概略球冠状の底部３４ａと、この底部３４ａの周縁から上方に向かって真っ直ぐに延伸する短い円筒状の壁部３４ｂと、から成る。かかる容器３４は、光源ユニット２０による照明光に対して透明な素材、例えばソーダガラスや石英ガラス等の透明ガラス、或いはポリカーボネイトやＡＢＳ樹脂等の透明樹脂によって、一体に形成されている。そして、この容器３４は、底部３４ａの外側面を貫通孔６６の周縁に当接させた状態で、当該貫通孔６６の周縁によって支持され、言わば当該貫通孔６６に浅く嵌合される。
【００３２】
このような貫通孔６６による容器３４の支持状態を形成するために、当該容器３４の直径φａは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば貫通孔６６の直径φｂが３０［ｍｍ］〜６０［ｍｍ］であるのに対して、容器３４の直径は５０［ｍｍ］〜８０［ｍｍ］とされている。また、容器３４の底部３４ａの中心Ｏは、当該底部３４ａの頂点でもあり、容器３４は、この底部３４ａの中心Ｏが拡大対物レンズ４０の光軸３８上に位置するように、載置される。
【００３３】
そして、この容器３４内に、無色透明の液体５２が注入され、この液体５２が注入された容器３４内に、コンタクトレンズ５０が、その前面（突出した側の面）を下方に向けた状態で、静かに投入される。すると、コンタクトレンズ５０は、下方に向かって、つまり容器３４の底部３４ａに向かって、ゆっくり（ゆらゆらと）沈む。そして、底部３４ａの内側面に到達する（接触する）と、コンタクトレンズ５０は、重力に従って自然に、当該内側面の頂点、つまり中心Ｏに向かって、移動する。この結果、コンタクトレンズ５０は、当該中心Ｏを基準とする一定位置に落ち着き、つまり光軸３８上にセットされる。
【００３４】
なお、液体５２は、コンタクトレンズ５０の乾燥（特にソフトタイプの場合には収縮）を防ぐための言わば乾燥防止剤である。また、この液体５２は、コンタクトレンズ５０への機械的な衝撃を緩和するための緩衝剤としても機能する。かかる液体５２としては、例えば一般に知られているコンタクトレンズ用保存液が好適であるが、コンタクトレンズ５０および人体に無害であれば保存液以外のものを採用してもよい。
【００３５】
また、液体５２は、コンタクトレンズ５０が十分に浸る程度に注入されるが、この液体５２が容器３４の外部に流出するのを防止するために、壁部３４ｂが設けられている。つまり、壁部３４ｂは、液体５２の流出を防止するための言わば液体流出防止手段として機能する。かかる壁部３４ｂの高さ寸法Ｈａは、少なくとも数［ｍｍ］以上であれば足り、例えば１０［ｍｍ］〜２０［ｍｍ］程度である。
【００３６】
そして、容器３４の厚さ寸法ｔａは、底部３４ａおよび壁部３４ｂのいずれにおいても略一定であり、例えば１［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。そしてまた、底部３４ａの内側面の曲率半径Ｒも、略一定である。この内側面の曲率半径Ｒは、当該内側面と接触するコンタクトレンズ５０の前面の曲率半径（前面カーブ）よりも大きいのが望ましく、例えば１００［ｍｍ］〜３００［ｍｍ］程度である。
【００３７】
なお、コンタクトレンズ５０は、ソフトタイプおよびハードタイプのいずれであってもよい。いずれの場合も、コンタクトレンズ５０の直径φｃは、上述した貫通孔６６の直径φｂよりも小さく、例えばソフトタイプのものであれば、１３．８［ｍｍ］〜１４．５［ｍｍ］程度であり、ハードタイプのものであれば、８．４［ｍｍ］〜９．４［ｍｍ］程度である。
【００３８】
さて、筺体６０の内部には、暗視野法による外観検査時に用いられる言わば暗視野用の発光ダイオード（ＬＥＤ）群６８と、明視野法による外観検査時に用いられる言わば明視野用の発光ダイオード群７０とが、設けられている。このうち、暗視野用の発光ダイオード群６８は、発光手段としての多数（数十個〜百数十個）の白色発光ダイオード７２，７２，…を有している。これらの発光ダイオード７２，７２，…は、筺体６０内の上面部６２の近傍において、拡大対物レンズ４０の光軸３８を中心として当該光軸３８を取り囲むように、言わば環状に、設けられている。また、発光ダイオード７２，７２，…は、垂直方向（光軸３８に沿う方向）にも複数の段を成しており、例えば３段構成とされている。そして、各発光ダイオード７２，７２，…の発光部（砲弾状の部分）は、貫通孔６６の中心付近に向けられており、換言すれば当該貫通孔６６の中心付近に位置するコンタクトレンズ５０に向けられている。さらに、各発光ダイオード７２，７２，…の発光部から貫通孔６６の中心付近までの距離は、略一定とされている。このため、下方に配置された発光ダイオード７２，７２，…ほど、上方に配置された発光ダイオード７２，７２，…よりも、光軸３８に近くなる。ただし、光軸３８から各発光ダイオード７２，７２，…までの距離は、当該光軸３８から貫通孔６６の周縁までの距離（φｂ／２）よりも大きい。換言すれば、水平方向（光軸３８に対して直角な方向）において、各発光ダイオード７２，７２，…は、コンタクトレンズ５０の周縁（エッジ部分）よりも光軸３８から離れた位置にある。
【００３９】
そして、各発光ダイオード７２，７２，…の並び（発光ダイオード群６８）の内側、詳しくは当該各発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との間には、光拡散手段としての概略球帯状の暗視野用拡散板７４が、設けられている。この暗視野用拡散板７４は、発光ダイオード７２，７２，…から発せられる光、言わば暗視野用の照明光、に対して、半透明な素材によって形成されており、例えばポリプロピレンやアクリル等の熱可塑性樹脂につや消し加工を施したものである。そして、この暗視野用拡散板７４の内側面から貫通孔６６の中心付近（例えばコンタクトレンズ５０の前面の中心）までの距離は、当該内側面全体にわたって略均等とされており、当該暗視野用拡散板７４の外側面から各発光ダイオード７２，７２，…の発光部までの距離もまた、当該外側面全体にわたって略均等とされている。さらに、この暗視野用拡散板７４の厚さ寸法ｔｂは、当該暗視野用拡散板７４全体にわたって均一であり、例えば０．５［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。なお、この暗視野用拡散板７４の上方端（大きな開口部側）は、筺体６０の上面部６２に密着されており、下方端（小さな開口部側）は、最下方に位置する発光ダイオード７２，７２，…よりもさらに下方において開放されている。
【００４０】
一方、明視野用の発光ダイオード群７０もまた、暗視野用発光ダイオード群６８の発光ダイオード７２，７２，…と同規格の多数（数十個）の白色発光ダイオード７６，７６，…を有している。これらの発光ダイオード７６，７６，…は、筺体６０の底面部６４の近傍であって、貫通孔６６の真下、換言すれば当該貫通孔６６を介して拡大対物レンズ４０と対向する位置に、当該貫通孔６６と略同等の大きさの広がりを持って言わば平面（２次元）的に密集して、設けられている。そして、これらの発光ダイオード７６，７６，…の発光部は、真上に向けられており、つまり貫通孔６６に向けられている。
【００４１】
さらに、各発光ダイオード７６，７６，…（発光ダイオード群７０）の上方、詳しくは当該発光ダイオード７６，７６，…と暗視野用拡散板７４の下方端との間には、光拡散手段としての円板状の明視野用拡散板７８が、水平に設けられている。この明視野用拡散板７８もまた、上述の暗視野用拡散板７４と同様の半透明素材によって形成されており、その厚さ寸法ｔｃは、当該明視野用拡散板７８全体にわたって均一であり、例えば０．５［ｍｍ］〜３［ｍｍ］程度である。従って、明視野用拡散板７８の上面から貫通孔６６までの垂直方向における距離は、当該上面全体にわたって均等であり、また、当該明視野用拡散板７８の下面から各発光ダイオード７６，７６，…の発光部までの距離も、当該下面全体にわたって均等である。なお、明視野用拡散板７８の直径φｄは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば５０［ｍｍ］〜８０［ｍｍ］である。
【００４２】
また、明視野用拡散板７８のさらに上方、詳しくは当該明視野用拡散板７８と暗視野用拡散板７４の下方端との間に、光遮蔽手段としての円板状のシャッタ板８０が、水平に設けられている。このシャッタ板８０は、発光ダイオード７６，７６，…から発せられる言わば明視野用の照明光に対し不透明な素材によって形成されており、例えばアルミニウムやステンレス等の金属製、或いはアクリルやＡＢＳ等の樹脂製とされている。さらに、このシャッタ板８０の表面には、当該明視野用照明光（および暗視野用照明光）に対して高い吸収率を示すつや消しの黒色塗料が、塗布されている。そして、このシャッタ板８０は、筺体６０の外部、例えば上面部６２の上部、に設けられたシャッタ操作用ノブ８２に連結されており、このシャッタ操作用ノブ８２の操作によって、明視野用拡散板７８の上方から任意に排除可能とされている。具体的には、当該シャッタ操作用ノブ８２が、図２（ａ）に矢印８４で示す方向に操作（回転）されると、シャッタ板８０は、同図に二点鎖線８０ａで示す位置に移動し、明視野用拡散板７８の上方から排除される。なお、シャッタ板８０の直径φｅは、明視野用拡散板７８の直径φｄよりも大きく、さらに詳しくは暗視野用拡散板７４の下方端の開口部直径よりも大きく、例えば６０［ｍｍ］〜１００［ｍｍ］程度である。
【００４３】
このように構成された光源ユニット２０によれば、暗視野法による外観検査時には、上述した電源装置２２によって、暗視野用発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野用発光ダイオード群７０は無効化される。つまり、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…のみが発光し、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…は非発光とされる。これによって、図３に点線の矢印９０，９０，…で示すように、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…から暗視野用照明光が発せられ、この暗視野用照明光は、暗視野用拡散板７４および容器３４（底部３４ａ）を介して、コンタクトレンズ５０に照射される。つまり、当該コンタクトレンズ５０に対して、斜め下方から暗視野用照明光が照射される。
【００４４】
ここで、暗視野用拡散板７４は、上述したように暗視野用照明光に対して半透明な素材によって形成されており、換言すれば当該暗視野用照明光を散乱させる作用を奏する。従って、各発光ダイオード７２，７２，…から発せられた暗視野照明光は、この暗視野用拡散板７４による散乱作用によって拡散され、この拡散された光が、コンタクトレンズ５０に照射される。よって、円形光源手段から発せられる照明光がそのままコンタクトレンズに投射されるという上述した従来技術とは異なり、コンタクトレンズ５０全体を一様な（ぼんやりした）明るさで照射することができ、当該コンタクトレンズ５０上に照度むらは生じない。
【００４５】
また、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…から暗視野用拡散板７４を介して容器３４内のコンタクトレンズ５０に至るまでの言わば暗視野用照明光の伝播条件、つまり当該各発光ダイオード７２，７２、…によるコンタクトレンズ５０への暗視野用照明光の照射条件は、概ね平等である。従って、当該照射条件の違いによる照度むら（バラツキ）も生じない。
【００４６】
さて、今、コンタクトレンズ５０の表面に疵等の欠陥があるとする。この場合、コンタクトレンズ５０に照射された暗視野用照明光は、欠陥部分によって乱反射される。そして、乱反射された光が、拡大対物レンズ４０を介して、ＣＣＤカメラ３６に入射される。この結果、上述したディスプレイ４２の表示画面には、当該欠陥部分が強調された画像が、映し出される。なお、暗視野用照明光は、コンタクトレンズ５０のエッジ部分によっても乱反射される。従って、ディスプレイ４２の表示画面には、当該エッジ部分も、映し出される。一方、コンタクトレンズ５０に欠陥がない場合には、エッジ部分のみが映し出され、他の部分はシャッタ板８０の表面（上面）を背景とする暗い（言わば真っ暗な）画像で、映し出される。
【００４７】
このように暗視野法による外観検査によれば、コンタクトレンズ５０のエッジ部分や、当該コンタクトレンズ５０の表面における欠陥の有無等を、効果的に検査することができる。
【００４８】
なお、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…の上方は、筺体６０の上面部６２によって覆われた状態にある。換言すれば、当該各発光ダイオード７２，７２，…と拡大対物レンズ４０との間に、筺体６０の上面部６２が介在している状態にある。従って、各発光ダイオード７２，７２，…から発せられる暗視野用照明光が、直接的（直線的）に拡大対物レンズ４０に入射することはない。つまり、筺体６０の上面部６２は、各発光ダイオード７２，７２，…から拡大対物レンズ４０に対して直接的に暗視野用照明光が入射するのを防止する防止手段として、機能する。そして、このように拡大対物レンズ４０に対する言わば直接光の入射を防止することによって、暗視野方による外観検査において、コントラストの高い光学像を得ることができる。
【００４９】
また、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との位置関係によっては、当該発光ダイオード７２，７２，…の光学像がコンタクトレンズ５２の光学像に映り込むという、言わば映り込み現象が生じる。この映り込み現象は、例えば、図４に点線の矢印９２で示すようにコンタクトレンズ５０に照射された暗視野用照明光が、同図に二点鎖線の矢印９４で示すように当該コンタクトレンズ５０と容器３４（底部３４ａ）との間で乱反射し、この乱反射した光が拡大対物レンズ４０に入射することにより発生する、と推察される。また、図には示さないが、コンタクトレンズ５０或いは容器３４によって暗視野用照明光が極端に大きく屈折し、この屈折光が拡大対物レンズ４０に入射することによっても、当該映り込み現象が生じることがある、とも推察される。そして、かかる映り込み現象が生じると、外観検査作業に支障を来たす恐れがある。
【００５０】
そこで、この第１実施形態においては、暗視野用の各発光ダイオード７２，７２，…とコンタクトレンズ５０との相対的な位置関係が変更可能とされており、具体的には、当該コンタクトレンズ５０を含む容器３４の位置が拡大対物レンズ４０の光軸３８に沿う方向において任意に変更可能とされている。より具体的には、例えば図５に示すように、容器３４が載置される筺体６０の上面部６２を、貫通孔６６の直径φｂの異なるものに任意に交換することができる。なお、図５は、例えば図３の上面部６２よりも貫通孔６６の直径φｂが大きいものに交換された状態を示し、この場合、容器３４の位置は下方に移動する。これとは反対に、筺体６０の上面部６２が貫通孔６６の直径φｂの小さいものに交換された場合には、容器３４の位置は上方に移動する。また、例えば図６に示すように、容器３４（底部３４ａ）と筺体６０の上面部６２との間に、環状のスペーサ１００を設けることで、当該容器３４の位置を移動させることもできる。この場合、当該スペーサ１００の高さ寸法Ｈｂによって、容器３４の位置が調整される。
【００５１】
このように光軸３８に沿う方向において容器３４の位置が移動すると、当該容器３４にセットされたコンタクトレンズ５０に対する暗視野用照明光の照射角度が変わる。そして、このように暗視野用照明光の照射角度が変わることによって、上述の映り込み現象の原因となる乱反射光や屈折光の進行方向（角度）が変わり、ひいては当該映り込み現象が回避される。なお、この映り込み現象は、光軸３８に沿う方向において、各発光ダイオード７２，７２，…がコンタクトレンズ５０（前面中心）よりも少し、例えば数［ｍｍ］ほど下方にあるときに、回避される。
【００５２】
一方、明視野法による外観検査時には、上述の電源装置２２によって、明視野用発光ダイオード群７０のみが有効化され、暗視野用発光ダイオード群６８は無効化される。つまり、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…のみが発光し、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…は非発光とされる。また、これと併せて、上述したシャッタ操作用ノブ８２によって、図７に示すように、明視野用拡散板７８の上方からシャッタ板８０が排除される。この結果、同図に点線の矢印１１０，１１０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。つまり、当該コンタクトレンズ５０に対して、真下から明視野用照明光が照射される。
【００５３】
ここで、明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を透過する際に、当該明視野用拡散板７８によって拡散される。そして、この拡散された光が、コンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０全体を一様な明るさで照射することができ、上述した照度むらも生じない。また、明視野用の各発光ダイオード７６，７６，…から明視野用拡散板７８を介して容器１２内のコンタクトレンズ５０に至るまでの言わば明視野用照明光の伝播条件、つまり当該各発光ダイオード７６，７６，…によるコンタクトレンズ５０への明視野用照明光の照射条件は、概ね平等である。従って、当該照射条件の違いによる照度むらも生じない。
【００５４】
このようにしてコンタクトレンズ５０の真下から照射された明視野用照明光は、当該コンタクトレンズ５０を透過して、拡大対物レンズ４０に入射される。この結果、上述したディスプレイ４２の表示画面に、当該透過光に基づくコンタクトレンズ５０の画像が、映し出される。なお、コンタクトレンズ５０の内部に気泡等の欠陥がある場合には、明視野用照明光は、この欠陥部分によって散乱する。従って、当該欠陥部分については、他の（良好な）部分と異なった態様で、映し出される。
【００５５】
ただし、コンタクトレンズ５０は極めて薄く、また、明視野用照明光を含む可視光線に対して極めて高い透過率を示すので、ディスプレイ４２に映し出される画像上で、上述の気泡のような欠陥部分については認識することができるものの、それ以外の部分、例えばコンタクトレンズ５０の輪郭（エッジ）等を認識することは、容易ではない。そこで、この第１実施形態では、図８に示すように、明視野用拡散板７８の上に、変更手段としての模様シート１２０を、載置する。この模様シート１２０とは、明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光の伝播方向を変更するためのものであり、かかる模様シート１２０を用いることで、コンタクトレンズ５０の輪郭等を認識し易くしている。
【００５６】
即ち、模様シート１２０は、図９に示すように、ＯＨＰ（Over Head Projector）シート等のような透明なシート（フィルム）１２２に、黒色インク等の不透明なインクで所定の模様１２４、例えば格子模様が描かれたものである。かかる模様シート１２０は、例えば、当該所定模様１２４をＣＡＤ（Computer
Aided Design）等で描画し、これを透明シート１２２に印刷することによって、作成することができる。
【００５７】
この模様シート１２０が明視野用拡散板７８上に載置された状態では、当該明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光の一部が、当該模様シート１２０（模様１２４の部分）によって回折する。この結果、図８に点線の矢印１１２，１１２，…で示すように、当該一部の明視野用照明光の伝播方向が変更され、例えば光軸３８に対して斜めの方向に向けられる。そして、この斜めの方向に伝播する明視野用照明光がコンタクトレンズ５０に照射されることによって、上述した暗視野法による外観検査時と同様の状態が形成され、コンタクトレンズ５０の輪郭等が認識し易くなる。なお、コンタクトレンズ５０には、同図に点線の矢印１１０，１１０，…で示すように、模様シート１２０（模様１２４以外の部分）を直線的に透過する明視野用照明光も、照射される。
【００５８】
図１０（参考図１）に、模様シート１２０が用いられたときにディスプレイ４２の表示画面に映し出される画像の一例を、示す。この図１０において、暗い格子状の模様で見える部分が、模様シート１２０に描かれた模様１２４の像である。そして、同画像の全範囲を少しはみ出す程度に見える円形の模様が、コンタクトレンズ５０の輪郭部分の像である。このように、コンタクトレンズ５０と明視野用拡散板７８との間に模様シート１２０が介在することによって、当該コンタクトレンズ５０の輪郭部分が認識し易くなる。なお、コンタクトレンズ５０の周縁よりも内側には、ブレンドと呼ばれる不連続な部分が存在するが、同図によれば、このブレンドについても、認識することができるようになる（同図において輪郭像の内側に見える当該輪郭像よりも小さめの円形模様がブレンドの像である）。かかるブレンドは、これまでの明視野法による外観検査では、認識することが困難であったが、模様シート１２０を用いることで、当該ブレンドを明確化することに成功した。また、図には示さないが、コンタクトレンズ５０内に気泡等の欠陥がある場合には、この欠陥部分も明確に映し出される。なお、このとき、模様１２４の像は、コンタクトレンズ５０の像の言わば背景となる。そして、この背景としての模様１２４の像が、例えばコンタクトレンズ５０内の欠陥部分の像と重なって、当該欠陥部分が認識し難くなるのではないか、と懸念される。しかし、上述した拡大対物レンズ４０の焦点はコンタクトレンズ５０に合わせられており、よって、模様１２４の像はボケるため、そのような不都合は生じない。
【００５９】
なお、図１０は、所定模様１２４として、約０．５［ｍｍ］幅の直線が約１．０［ｍｍ］間隔で格子状に描かれた模様シート１２０を用いた場合の、ディスプレイ４０に表示される画像の一例である。また、図１１（参考図２）に、当該所定模様１２４として、約０．５［ｍｍ］幅の直線が約５．０［ｍｍ］間隔で格子状に描かれた模様シート１２０を用いた場合の、表示画像の一例を示す。このように、所定模様１２４の態様によって、画像の見え方が異なるため、検査対象物であるコンタクトレンズ５０の態様に併せて当該所定模様１２４を選択すればよい。
【００６０】
かかる所定模様１２４は、格子状に限らず、例えば図１２に示すような斑点（ドット）模様や、或いは図１３に示すような同心円状の模様であってもよい。この場合も、斑点の大きさや、線の間隔等を、適宜変えてもよい。そして、言うまでもなく、これ以外の模様、例えば放射線条に直線を描いた模様や、平行線を描いた模様、さらには曲線を描いた模様等を、採用してもよい。ただし、模様は、ランダムな形状のものではなく、一定のパターンに従って描かれたものであるのが、望ましい。また、模様シート１２０に代えて、単なる網状のもの（いわゆるみかん網のようなもの）を、置いてもよい。
【００６１】
さらに、模様シート１２０として、例えば図１４に示すように、透明なシート１３０の上に、当該透明シート１３０と同質の短冊状（または長尺状）の複数の透明体１３２，１３２，…を格子状に重ねることによって、当該透明シート１３０上に凹凸を形成したものを、採用してもよい。この場合、明視野用拡散板７８を介してコンタクトレンズ５０に照射される明視野用照明光は、当該凹凸部分によって回折されるだけでなく、屈折もする。そして、この回折作用および屈折作用によって、明視野用照明光の伝播方向が変更され、結果的に、上述と同様の効果が得られる。この図１４に示す模様シート１２０が用いられたときの画像の一例を、図１５（参考図３）に示す。この図１５から分かるように、図１４に示す模様シート１２０が用いられたときも、特にコンタクトレンズ５０の輪郭部分が明確化される。なお、透明体１３２，１３２，…の形状や配置等は、図１４に示す態様に限らず、これ以外の態様であってもよい。
【００６２】
かかる模様シート１２０を用いる場合、つまり明視野法による外観検査によってコンタクトレンズ５０の輪郭やブレンド部分、さらには当該コンタクトレンズ５０表面の疵等の有無を検査する場合には、明視野用拡散板７８は、特に無くても構わない。即ち、明視野用拡散板７８を設けなくても、模様シート１２０を設けることで、当該模様シート１２０による回折作用または屈折作用によって、コンタクトレンズ５０の輪郭やブレンド部分、表面の疵等を明確化することができる。
【００６３】
以上のように、この第１実施形態によれば、暗視野用照明光および明視野用照明光のいずれについても、直接ではなく、拡散板７４または７８によって拡散された状態で、コンタクトレンズ５０に照射される。従って、コンタクトレンズ５０上に照度むらが生じず、当該コンタクトレンズ５０は一様な明るさで照明される。即ち、照度むらの影響によって外観検査精度が低下するという上述した従来技術に比べて、より高い精度でコンタクトレンズ５０の外観検査を行うことができる。
【００６４】
なお、上述した暗視野用拡散板７４は、樹脂製としたが、これに限らない。例えば、摺りガラスや白ガラス等の半透明なガラス製であってもよいし、トレース紙等のような半透明用紙製であってもよい。このことは、明視野用拡散板７８についても、同様である。
【００６５】
また、暗視野用発光ダイオード７２，７２，…および明視野用発光ダイオード７６，７６，…は、白色発光ダイオードに限らず、別の発光色のものであってもよい。そして、これらの発光ダイオード７２，７２，…および７６，７６，…に代えて、電球等の他の発光手段を用いてもよい。また、発光ダイオード７２，７２，…および７６，７６，…の配列（各発光ダイオード群６８および７０の形状）も、この第１実施形態で説明した内容に限らない。
【００６６】
さらに、暗視野用発光ダイオード７２，７２，…（発光ダイオード群６８）については、拡大対物レンズ４０の光軸３８に沿う方向において、コンタクトレンズ５０よりも上方に設けてもよい。この場合、言うまでもなく、暗視野用拡散板６８についても、当該コンタクトレンズ５０よりも上方に設けることとする。
【００６７】
そしてさらに、容器３４については、概略椀型としたが、これに限らない。即ち、これ以外の形状の容器３４を用いてもよいし、シャーレのように一般に市販されているものを利用してもよい。
【００６８】
また、検査対象物としてコンタクトレンズ５０を例に挙げたが、これ以外のもの、例えば各種工業用部品や医療用器具等を、当該検査対象物とすることもできる。
【００６９】
続いて、この発明の第２実施形態について、図１６〜図１８を参照して説明する。なお、この第２実施形態は、上述した第１実施形態における光源ユニット２０に代えて、図１６に示すような光源ユニット２００を採用するものである。
【００７０】
即ち、図１６に示すように、この第２実施形態における光源ユニット２００は、第１実施形態における光源ユニット２０において、明視野用の発光ダイオード群７０を筺体６０の底面部６４から浮かすと共に、上述したシャッタ板８０を構成から外したものである。
【００７１】
より具体的に説明すると、貫通孔６６の真下に、概略円板状の可動板２０２が、設けられている。この可動板２０２は、筺体６０の底面部６４から浮いた状態で水平に設けられており、この可動板２０２の上に、明視野用の発光ダイオード群７０が設けられ、詳しくは当該発光ダイオード群７０を構成する各発光ダイオード７６，７６，…がそれぞれの発光部を真上に向けた状態で平面的に密集して設けられている。そして、これらの発光ダイオード７６，７６，…の上方に、明視野用拡散板７８が水平に設けられている。なお、この明視野用拡散板７８は、例えば円筒形の支持具２０４を介して、可動板２０２の上面に固定されている。そして、これら可動板２０２，発光ダイオード群７０，明視野用拡散板７８および支持具２０４によって、明視野用照明ユニット２０６が、構成される。
【００７２】
この明視野用照明ユニット２０６は、筺体６０の外部にある照明用操作ノブ２０８に連結されている。そして、この証明用操作ノブ２０８の操作によって、当該明視野用照明ユニット２０６は、貫通孔６６の真下から任意に排除可能とされている。詳しくは、照明用操作ノブ２０８が、図１６（ａ）に矢印２１０で示す方向に操作（回転）されると、明視野用照明ユニット２０６は、同図に二点鎖線２０６ａで示す位置に移動し、貫通孔６６の真下から排除される。
【００７３】
さらに、筺体６０内の底面部６４のうち、少なくとも貫通孔６６の真下に位置する部分には、円形状の黒体シート２１２が貼着されている。この黒体シート２１２は、上述したつや消し黒色塗料と同様、暗視野用照明光に対して高い吸収率を示す。なお、この黒体シート２１２の直径φｆは、貫通孔６６の直径φｂよりも大きく、例えば６０［ｍｍ］〜１００［ｍｍ］程度である。
【００７４】
このように構成された光源ユニット２００によれば、暗視野法による外観検査時には、上述した電源装置２２によって、暗視野用発光ダイオード群６８のみが有効化され、明視野用発光ダイオード群７０は無効化される。つまり、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…のみが発光し、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…は非発光とされる。また、これと併せて、照明用操作ノブ２０８によって、図１７に示すように、貫通孔６６の真下から明視野用発光ダイオード群６８を含む明視野用証明ユニット２０６が排除される。この結果、同図に点線の矢印２２０，２２０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。そして、この状態で、暗視野法による外観検査が実施される。
【００７５】
この暗視野法による外観検査においては、黒体シート２１２が、コンタクトレンズ５０の背景となる。ここで、上述した第１実施形態においては、シャッタ板８０の上面が背景となることを鑑みると、当該背景からコンタクトレンズ５０までの距離Ｈｃは、第１実施形態に比べて第２実施形態の方が大きい。一般には、この距離Ｈｃが大きいほど、背景が理想的な黒体に近づくので、暗視野法による外観検査に好都合になる、とされている。つまり、この第２実施形態によれば、第１実施形態に比べて、暗視野法による外観検査を良好に行うことができる。
【００７６】
一方、明視野法による外観検査時には、照明用操作ノブ２０８によって、図１８に示すように、貫通孔６６の真下に明視野用発光ダイオード群６８が配置される。そして、上述の電源装置２２によって、明視野用発光ダイオード群７０のみが有効化され、暗視野用発光ダイオード群６８は無効化される。つまり、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…のみが発光し、暗視野用の発光ダイオード７２，７２，…は非発光とされる。この結果、同図に点線の矢印２３０，２３０，…で示すように、明視野用の発光ダイオード７６，７６，…から明視野用照明光が発せられ、この明視野用照明光は、明視野用拡散板７８を介して、容器３４内のコンタクトレンズ５０に照射される。そして、この状態で、明視野法による外観検査が行われる。
【００７７】
なお、この第２実施形態においても、明視野用拡散板７８の上に、上述した模様シート１２０を置いてもよい。
【００７８】
また、黒体シート２１２は、底面部６４の全体にわたって貼着してもよいし、当該黒体シート２１２に代えて、上述のつや消し黒色塗料を塗布してもよい。
【００７９】
以上、第１実施形態および第２実施形態で説明した内容は、この発明を実現するための一部の例であり、この発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】この発明の第１実施形態に係る外観検査装置の全体構成を示す図である。
【図２】同第１実施形態における光源ユニットの概略構成を示す図である。
【図３】暗視野法による外観検査時の同光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図４】映り込み現象を説明するための図解図である。
【図５】同映り込み現象を回避するための一例を示す図解図である。
【図６】図５とは異なる回避例を示す図解図である。
【図７】明視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図８】同明視野法による外観検査において模様シートが用いられている状態を示す図解図である。
【図９】同模様シートの一例を示す図である。
【図１０】図９の模様シートの使用時に得られた画像の一例を示す図である。
【図１１】図１０とは異なる模様シートの使用時に得られた画像を示す図である。
【図１２】図９とは異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１３】図１２とはさらに異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１４】図１３とはさらに異なる模様シートの一例を示す図である。
【図１５】図１４の模様シートの使用時に得られた画像の一例を示す図である。
【図１６】この発明の第２実施形態における光源ユニットの概略構成を示す図である。
【図１７】同第２実施形態において暗視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【図１８】同第２実施形態において明視野法による外観検査時の光源ユニットの状態を示す図解図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０ 外観検査装置
２０ 光源ユニット
５０ コンタクトレンズ
６８ 暗視野用発光ダイオード群
７０ 明視野用発光ダイオード群
７２ 暗視野用発光ダイオード
７４ 暗視野用拡散板
７６ 明視野用発光ダイオード
７８ 明視野用拡散板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する外観検査用照明装置において、
上記検査対象物に向けて上記光を発する発光手段と、
上記発光手段と上記検査対象物との間に設けられ上記光に対して略半透明な性質を持つ光拡散手段と、
を具備することを特徴とする、外観検査用照明装置。
【請求項２】
複数の上記発光手段を備え、
上記光拡散手段は上記複数の発光手段のそれぞれと上記検査対象物との間に設けられ、
上記複数の発光手段から上記検査対象物までの距離が略均等であり、
上記複数の発光手段から上記光拡散手段までの距離が略均等である、
請求項１に記載の外観検査用照明装置。
【請求項３】
上記外観検査装置は上記検査対象物の光学像が入射される対物レンズを備えており、
上記検査対象物は上記対物レンズの光軸上に配置され、
上記発光手段は上記光軸に沿う方向において上記検査対象物の配置位置を外れておりかつ該光軸に対して直角な方向において該検査対象物の周縁よりも該光軸から離れた位置に設けられる、
請求項１または２に記載の外観検査用照明装置。
【請求項４】
上記検査対象物は上記光に対して略透明な透明体であり、
上記発光手段は上記光軸に沿う方向において上記検査対象物よりも上記対物レンズから離れた位置に設けられる、
請求項３に記載の外観検査用照明装置。
【請求項５】
上記光が直接的に上記対物レンズに入射するのを防止する防止手段をさらに備える、
請求項３または４に記載の外観検査用照明装置。
【請求項６】
上記光軸に沿う方向において上記検査対象物と上記発光手段との間の距離を変更する変更手段をさらに備える、
請求項３ないし５のいずれかに記載の外観検査用照明装置。
【請求項７】
上記外観検査装置は上記検査対象物の光学像が入射される対物レンズを備えており、
上記検査対象物は上記光に対して略透明な透明体であり上記対物レンズの光軸上に配置され、
上記発光手段は上記検査対象物を挟んで上記対物レンズと対向する位置に設けられる、
請求項１または２に記載の外観検査用照明装置。
【請求項８】
上記検査対象物と上記光拡散手段との間に設けられ該光拡散手段を介して該検査対象物に照射される上記光の向きを変更する変更手段をさらに備える、請求項７に記載の外観検査用照明装置。
【請求項９】
請求項３ないし６のいずれかに記載の外観検査用照明装置と請求項７または８に記載の外観検査用照明装置とを１つの筺体に収容し、
上記筐体に収容されたいずれか一方の上記外観検査用照明装置を有効化する有効化手段をさらに備える、
外観検査用照明装置。
【請求項１０】
上記検査対象物はコンタクトレンズである、請求項１ないし９のいずれかに記載の外観検査用照明装置。
【請求項１】
外観検査装置による検査対象物に照明用の光を照射する外観検査用照明装置において、
上記検査対象物に向けて上記光を発する発光手段と、
上記発光手段と上記検査対象物との間に設けられ上記光に対して略半透明な性質を持つ光拡散手段と、
を具備することを特徴とする、外観検査用照明装置。
【請求項２】
複数の上記発光手段を備え、
上記光拡散手段は上記複数の発光手段のそれぞれと上記検査対象物との間に設けられ、
上記複数の発光手段から上記検査対象物までの距離が略均等であり、
上記複数の発光手段から上記光拡散手段までの距離が略均等である、
請求項１に記載の外観検査用照明装置。
【請求項３】
上記外観検査装置は上記検査対象物の光学像が入射される対物レンズを備えており、
上記検査対象物は上記対物レンズの光軸上に配置され、
上記発光手段は上記光軸に沿う方向において上記検査対象物の配置位置を外れておりかつ該光軸に対して直角な方向において該検査対象物の周縁よりも該光軸から離れた位置に設けられる、
請求項１または２に記載の外観検査用照明装置。
【請求項４】
上記検査対象物は上記光に対して略透明な透明体であり、
上記発光手段は上記光軸に沿う方向において上記検査対象物よりも上記対物レンズから離れた位置に設けられる、
請求項３に記載の外観検査用照明装置。
【請求項５】
上記光が直接的に上記対物レンズに入射するのを防止する防止手段をさらに備える、
請求項３または４に記載の外観検査用照明装置。
【請求項６】
上記光軸に沿う方向において上記検査対象物と上記発光手段との間の距離を変更する変更手段をさらに備える、
請求項３ないし５のいずれかに記載の外観検査用照明装置。
【請求項７】
上記外観検査装置は上記検査対象物の光学像が入射される対物レンズを備えており、
上記検査対象物は上記光に対して略透明な透明体であり上記対物レンズの光軸上に配置され、
上記発光手段は上記検査対象物を挟んで上記対物レンズと対向する位置に設けられる、
請求項１または２に記載の外観検査用照明装置。
【請求項８】
上記検査対象物と上記光拡散手段との間に設けられ該光拡散手段を介して該検査対象物に照射される上記光の向きを変更する変更手段をさらに備える、請求項７に記載の外観検査用照明装置。
【請求項９】
請求項３ないし６のいずれかに記載の外観検査用照明装置と請求項７または８に記載の外観検査用照明装置とを１つの筺体に収容し、
上記筐体に収容されたいずれか一方の上記外観検査用照明装置を有効化する有効化手段をさらに備える、
外観検査用照明装置。
【請求項１０】
上記検査対象物はコンタクトレンズである、請求項１ないし９のいずれかに記載の外観検査用照明装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１０】
【図１１】
【図１５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１０】
【図１１】
【図１５】
【公開番号】特開２００７−７８５８１（Ｐ２００７−７８５８１Ａ）
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２６８７００（Ｐ２００５−２６８７００）
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００１９２５６７）神港精機株式会社 (54)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月１５日（２００５．９．１５）
【出願人】（０００１９２５６７）神港精機株式会社 (54)
【Ｆターム（参考）】
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