【課題】フィルムの蛇行とカールとを監視し、未塗工不良や塗工不良の発生や、塗工のエッジ部分に発生する塗工抜け不良を検出することを可能とし、更にシワの発生を検出可能としたフィルム検査装置を提供する。
【解決手段】長尺のフィルムに塗液を塗工する工程でフィルムを検査する装置であって、塗工部の直後に設けられ、第一の端辺と第一の塗工エッジを検出するための第一の検出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジを検出するための第二の検出部と、第一の端辺と第一の塗工エッジの位置算出部と、第二の端辺と第二の塗工エッジの位置算出部と、フィルムの蛇行またはカールの発生を判別する蛇行・カール判別部と、塗工エッジに発生した塗工抜け不良を判別する塗工抜け不良判別部と、硬化処理される硬化処理部の直後に設けられた第三の検出部と第四の検出部と、第三の端辺位置算出部と第四の端辺位置算出部と、を備えたことを特徴とするフィルム検査装置。 （もっと読む）

【課題】全て自動的に周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】取得した画像データについて濃度比較差分処理と２値化処理を行い、２値化処理工程で得た２値化画像から欠陥のサイズと位置情報を決定することで欠陥点の抽出を行う欠陥抽出処理をこの順に全ての画素について実施する事によって抽出された欠陥について、特定の方向の任意のピッチだけ離れた複数の画素の画像との輝度値を比較し、予め決めた判定基準に従って欠陥の種類である欠陥モードを選別する欠陥選別工程と、前記欠陥選別工程で選別された欠陥ごとに、輝度値の差分をクラス分けする欠陥種別クラス分け工程と、前記欠陥モード別クラス分け工程で得られた全ての欠陥についての判定結果を、予め設定した良否判定基準に従って、良否判定を行う良否判定工程と、から構成されていることを特徴とする周期性パターンの欠陥検査方法および欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】 撮像カメラの処理能力に制約を受けることなく、検査時間を短縮することができる自動外観検査装置を提供する。
【解決手段】 テーブル部、走査ステージ部、ストロボ照明部、鏡筒部、撮像部並びに、予め登録しておいた検査条件に基づいて、撮像された検査対象物の画像の良否判断をする検査部とを備え、
走査ステージ部には、テーブルの現在位置を計測する位置計測手段が備えられており、
鏡筒部には、観察光を一部透過させると共に、角度を変えて一部反射させる、
光分岐手段が備えられており、
鏡筒部には、光分岐手段で分岐された光を各々撮像することができるように、撮像部が複数取り付けられており、
制御部は、ストロボ発光させる毎に、撮像に用いる撮像部を逐次変えて撮像を行う機能を備えていることを特徴とする、自動外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】半導体装置からのエミッションの検出を加熱しながら行う半導体装置の検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、半導体チップ２を載置する観察ステージ１６を、半導体チップ２の基板材料と同じＳｉで製造し、半導体チップ２の裏面側に撮像素子３５を配置した。半導体チップ２で発生した微弱な光は、半導体チップ２、観察ステージ１６を透過して撮像素子３５に入射する。観察ステージ１６は、Ｓｉから製造されているので、ヒータ２５によって簡単に加熱できる。また、観察ステージ１６の上方には、プローブカード１９及びＬＳＩテスタ２０が配置されており、半導体チップ２の回路のテストが可能である。 （もっと読む）

【課題】枚葉フィルムの外観全面検査をフィルムにシワやたるみが発生せず、低コストで検査を可能とするフィルム搬送装置を提供する。
【解決手段】フィルムを検査する検査装置に用いられるフィルム搬送装置であって、フィルムの対向する２辺を固定してフィルムを巻き出し、巻き取る第一のローラと第二のローラーと、前記２本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記２本のローラーの間隔を変更する第一のローラー間隔変更手段と第二のローラー間隔変更手段と、前記２本のローラーの幅方向の両端に設けられ、前記２本のローラー間で巻き出し、巻き取られるフィルムの幅方向の張力を均一にする第一の張力均一手段と第二の張力均一手段と、を備えたことを特徴とするフィルム搬送装置。 （もっと読む）

【課題】光透過率の低い容器に液体を充填した場合であっても、容器内の液面又は液面付近の全周の浮遊異物を少ない個数のカメラで検出することができる液面浮遊異物検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器１内に充填された液体の液面Ｌｅ又は液面Ｌｅ付近に浮遊した異物を検出する検査方法において、容器１の下方に配置された照明２によって容器１内を容器底面１ａ側から照明することにより容器１内の液面を照明し、容器１内の液面Ｌｅの位置を囲むように容器１の外周側に配置されたコーンミラー４の逆円錐面状のミラー面４ｍにより、容器１内の液面Ｌｅからの光を上方に反射させ、コーンミラー４のミラー面４ｍで反射した反射光を容器１の上方に配置されたカメラ３により撮像する。 （もっと読む）

【課題】飲料液中の異物の高精度な検出が可能で、かつ、多品種少量生産に好適なコンパクトな飲料液異物検査装置を提供する。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０は、被検査ボトル７１を回転台座２５に載置して回転させる被検査ボトル回転機構部２０、回転台座２５に載置された被検査ボトル７１を傾斜させる被検査ボトル傾斜機構部３０、被検査ボトル７１に照明する照明４１、被検査ボトル７１の飲料液中を透過した照明光の陰影像を撮像する撮像装置４０と、制御装置５０などを備える。制御装置５０は、被検査ボトル傾斜機構部３０により被検査ボトル７１を傾斜させたとき、飲料液中に浮遊する重い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、被検査ボトル回転機構部２０により被検査ボトル７１を回転させ、停止させたとき、飲料液中に浮遊する軽い異物の陰影像を撮像装置４０で取得し、これら異物の陰影像および軽い異物の陰影像に基づき飲料液中の異物を検出する。 （もっと読む）

【課題】飲料液の異物検査に用いられる照明の明るさの調整を、検査対象のボトル、飲料の種別および色濃度に応じて適切に、かつ、効率よく行えるようにする。
【解決手段】飲料液異物検査装置１０には、カメラ４０が複数個設けられ、その複数のカメラ４０は、被検査ボトル７１の互いに異なる部分を撮像する。照明４１は、複数のカメラ４０のそれぞれに対応するように１つずつ設けられている。制御装置５０は、複数のカメラ４０のそれぞれの受光面での照度計測値を、カメラ４０がそれぞれ撮像した被検査ボトル７１の陰影像を用いて計算し、その計算した照度計測値が既定の照度範囲に含まれるように、照明４１のそれぞれの明るさを個別に調整する。 （もっと読む）

【課題】生産性の高い検査装置、及び搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、前段搬送ベルト２１と後段搬送ベルト２３との間において、基板１０を支持して、照明する照明ステージ２２と、基板１０を持ち上げる移載部３１を有し、前段搬送ベルト２１から照明ステージ２２に受け渡すともに、照明ステージ２２から後段搬送ベルト２３に基板１０を受け渡すための動作を行うクランク機構３２と、移載部３１に設けられ、移載部３１で持ち上げられた基板１０に向けて下側から照明光を照射する照明部３１ａと、一の基板１０が照明ステージ２２を介して前段搬送ベルト２１から後段搬送ベルト２３に移載されるまでの間に、照明ステージ２２及び照明部３１ａで照明された一の基板１０を撮像する撮像部３５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】透過率が高い導電性透明電極パターンや微細な金属配線のパターンを、インライン検査で行うための検査システムを提供する。
【解決手段】検査ワーク１１を第１の方向Ｘに搬送するワーク搬送装置２０と、検査ワーク上に形成されたパターンの光学情報を取得する撮像装置３０と、第１の方向と直交する第２の方向Ｙに撮像装置を移動させる移動装置４０と、ワーク搬送装置、撮像装置及び移動装置を制御するとともに、光学情報に基づいてパターンを検査する制御部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置より照射されたフォトマスクに垂直な平行光を被照射体に傾斜させて出射する構造を有し、一度の露光で複数の角度の斜め露光を行うことのできるフォトマスク、の欠陥やパターン形状を評価するための検査方法および検査装置を提供すること。
【解決手段】フォトマスク表面の特定の位置をその位置のフォトマスク部位に対応する斜め角度の平行光で照明することにより、フォトマスク表面に垂直な出射光を得られるか否かの検査を、照明するフォトマスク表面の位置を変えつつ順次繰り返し、フォトマスクの有効面内からの撮像された画像情報を累積して評価することにより検査結果を判定する。 （もっと読む）

【課題】反射防止フィルム製造工程の各層を形成する工程で、前工程の欠陥情報を利用して最新工程により検出した欠陥を選別し、最新工程における発生欠陥の監視精度の向上を行い、品質異常の検知速度を向上させ、早期に不良の発生を知ることが可能な品質監視システムを提供する。
【解決手段】製造工程内の各工程に備えられた検査機と、検査機から得られた検査情報を格納し管理する検査情報管理データベースと、製品ロールの各工程における品質情報や実績情報を管理する生産情報管理データベースと、検査情報管理データベースと生産情報管理データベースに基づいて、最新工程と前工程での欠陥検出位置の座標を補正することによって最新工程で発生した欠陥を選別する欠陥選別手段と、欠陥選別手段によって選別された欠陥を異常判定条件に基づいて異常と判断し、異常を通知する欠陥監視手段と、を備えたことを特徴とする品質監視システム。 （もっと読む）

【課題】ケーラー照明系を用いたより安価な検査用照明装置を提供する。
【解決手段】検査用照明装置１０は、光源部２０と、光源部２０から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズ３０と、コリメータレンズ３０を通過した光を被検物体Ｗに向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズ４０と、コリメータレンズ３０とフレネルコンデンサレンズ４０の間に配置されたシグマ絞り５０と、を備える。シグマ絞り５０とフレネルコンデンサレンズ４０の間には、アポダイジングフィルタ７０が設置されている。 （もっと読む）

【課題】吸収性物品に係る肌側シートの開口部を検査する検査装置等を提供する。
【解決手段】検査装置よりも上流側に配置された開口部形成装置１０によって、開口部２ｈは形成される。検査装置は、肌側シート２ａが吸収体３に重ね合わせられるよりも前に、前記肌側シート２ａの片面のうちで前記開口部２ｈが形成された領域を撮像して前記領域の平面画像のデータを平面画像データとして生成する撮像処理部３２と、前記平面画像データに基づいて二値化画像を生成する際に、前記二値化画像において二値のうちの一方の値によって特定される画像に、前記平面画像のうちで前記開口部２ｈが撮像されている領域が含まれるように二値化処理を行う二値化処理部３６と、前記二値化画像に基づいて前記開口部２ｈの異常の有無の判定を行う異常判定処理部３６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】撮像デバイス用フォトマスクや表示デバイス用フォトマスクの様に周期性のあるパターンを持つ被検査体のムラ欠陥を検出するためのムラ検査装置および方法の照明照射条件の最適化を課題とする。
【解決手段】基板面に周期性パターンが形成された基板を検査対象とし、前記基板に照明光を異なる複数の照射角度で照射し、周期性パターンにより生じる回折光を用いて検査するムラ検査方法であって、パターン形状から周期成分を抽出し、被検査体である周期性パターンの最適な検査条件を算出する。 （もっと読む）

【課題】透明基板に形成される透明導電体のパターン形状を容易かつ正確に検査することができる導電体パターン検査装置及び導電体パターン検査方法を提供する。また、重ね合わされる複数の透明導電体の相対的位置精度を高めることができる基板の位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】透明基板表面に形成される透明導電体のパターン形状を検査する導電体パターン検査装置であって、前記透明基板及び前記透明導電体から放射される赤外線の放射量分布を撮像してパターン形状画像として取得する画像取得手段を備える導電体パターン検査装置。 （もっと読む）