【課題】被検レンズが曲率半径の小さい形状であっても、１回の撮像によって被検レンズの全体について異物の検出を可能とする手段を提供する。
【解決手段】本発明に係るレンズ異物検出装置１０は、被検レンズＬを挟んで光軸方向一方側に配置され、平行でコヒーレントなレーザ光束を被検レンズＬに照射するレーザ照射機構１２と、被検レンズＬを挟んで光軸方向他方側に配置され、被検レンズＬを透過したレーザ光束を受光して被検レンズＬの画像１５を取得する撮像機構１３と、被検レンズＬの画像中における干渉縞１７の存否に基づいて、被検レンズＬにおける異物１６の付着の有無を判定する制御部１４１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】充分な照明強度が得られるとともに照度分布の均一性を実現できる照明装置を提供する。
【解決手段】本発明の照明装置は、複数のＬＥＤチップが面上に配列されてなるＬＥＤ光源１５と、該ＬＥＤ光源と対向する側に凹曲面状の光入射面２１ａ−１、２１ｂ−１を備えるとともに前記ＬＥＤ光源とは反対側に凸曲面状の光出射面２１ａ−２、２１ｂ−２を備えた、１の、又は、直列に配置された複数の入射側レンズ２１Ａ、２１Ｂと、該入射側レンズに対して前記ＬＥＤ光源とは反対側に配置された集光レンズ２２とを具備し、前記１又は複数の入射側レンズの前記光入射面と前記光出射面のうち少なくとも一つ２１ａ−１が粗面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高感度に欠陥可視化が可能な照明遷移領域を利用し、レンズ全面に対して前記の照明遷移領域を利用した欠陥検査手法を提供する。
【解決手段】 明部及び暗部からなるパターン照明により被検査レンズを透過照明する。被検査レンズに対して照明とは反対側に撮像手段が設けられており、被検査レンズに焦点が合わせられている。投影されるパターン形状はレンズパワー中心軸もしくはパワー中心面に対して対称であり、少なくとも一つの明部及び暗部からなる。さらに被検査レンズに対して、前記の中心軸もしくは中心面に対して対象性を維持したまま異なる複数のパターンを投影することでレンズ全面に照明遷移領域が存在するようにし、投影された複数のパターンごとに画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】平易かつ短時間の操作でレンズの位置調整が可能なレンズのレンズ位置調整機構を提供する。
【解決手段】レンズの位置調整機構は、フレームと、フレームに対して第１の軸周りに回転可能な外輪部と、第１の軸に直交する第２の軸周りに回転可能であり、レンズが保持される試料台と、外輪部を第１の軸周りに回転させる第１のアームと、第１の軸に平行な第３の軸周りに回転可能に連結され、試料台を第２の軸周りに回転させる第２のアームと、フレームに固定された固定部と固定部に対して進退する可動部とを備えた第１及び第２の駆動手段と、第１の駆動手段の可動部に第１のアームが当接するように付勢する第１の付勢手段と、第２の駆動手段の可動部に第２のアームが当接するように付勢する第２の付勢手段と、第２のアームの先端部がフレームに当接するように第２のアームを第３の軸周りに付勢する第３の付勢手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、生産コストが低い吸着治具を提供することである。
【解決手段】本発明に係る吸着治具は、吸引源に連通されてテストオブジェクトを吸着するために用いられる。互いに対向する第一面及び第二面にそれぞれ積載凹部及び吸着凹部が設けられ、前記積載凹部と前記吸着凹部との間に接続孔が設けられ、前記積載凹部、前記吸着凹部及び前記接続孔が同軸上に設けられる吸着部と、前記吸着部の側面に設けられ、且つ前記接続孔に連通する通気孔が設けられる少なくとも１つの接続部と、前記積載凹部に載置されて前記接続孔を密封する透光板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】自動的に物品の欠陥または特徴を検査できる、検査システムを提供する。
【解決手段】検査システム１０は、製品をスキャンして製品のイメージを生成するスキャナ１２と、スキャナ１２に電気的に接続され、製品のイメージを受信して分析する分析装置１６と、を有する。イメージが画素マトリクスを含み、各画素がグレースケール値を有する。分析装置１６がマイクロプロセッサ、メモリ及び比較モジュールを有する。マイクロプロセッサがイメージ中の各画素に関する基準グレースケール値の計算に用いられ、当該基準グレースケール値が各画素の隣に位置する画素のグレースケール値の平均値を含む。メモリは各画素に関する基準グレースケール値と基準グレースケール値に関する閾値の保存に用いる。比較モジュールはイメージ中の各画素のグレースケール値と各画素に関する閾値の比較に用いる。 （もっと読む）

【課題】面照明と液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段等の効果的な使用により、レンズに付着した異物を欠陥として判定することを防止しつつ、レンズ自体の欠陥を高精度に検査できると共に、構成簡易にして安価に形成可能なレンズ欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】面照明と、該面照明と検査対象レンズとの間に配置されて透光部と遮光部を所定のパターンに設定可能な液晶パネルと、面照明から照射され液晶パネルを透過した光により検査対象レンズを撮像する撮像手段と、検査対象レンズに所定圧のエアを吹き付けて該レンズに付着した異物を除去可能な異物除去手段と、面照明、液晶パネル、撮像手段及び異物除去手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。また、前記制御手段は、異物除去手段の作動前後の撮像データを比較することにより、異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】複数の検査を行うことができ、各検査結果を複合的に分析することのできるレンズ検査装置及びレンズ検査方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため、観察光軸Ｌ_０としての被検レンズ１０の光軸上に第一拡大光学系３０を配置し、参照光軸Ｌ_１上に配置される参照ミラー５１及び第二拡大光学系５２を有する干渉縞観察照明光学系５０と、被検レンズ１０に対して平行光及び偏光光を照射する透過光観察照明光学系６０及び偏光光観察照明光学系７０と、第一拡大光学系３０を介して、被検レンズ１０の干渉縞画像、透過光画像及び偏光光画像を観察可能な観察光学系４０とを備えるレンズ検査装置１００を提供する。また、当該レンズ検査装置１００を使用するレンズ検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】円形レンズの輪郭部に存在する欠陥を精度よく検出することができる円形レンズの検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】暗視野照明で円形レンズを撮像し（Ｓ１）、得られたカラー画像から青プレーン画像を抽出してグレースケール変換し（Ｓ２）、２値化、ラベリングして円形レンズの中心座標を算出した後（Ｓ３）、輪郭部のデータを直線状に展開する（Ｓ４）。輪郭部が直線状に延びたデータに対し、輪郭部の幅方向の射影データを算出し（Ｓ５）、輪郭部の長さ方向に３画素、７画素、１５画素、３１画素にわたる射影データの平均データをそれぞれ算出し（Ｓ６）、これら平均データの互いの差分を算出し（Ｓ７）、この差分を所定のしきい値と比較して差分がしきい値以上になったときに欠陥が存在すると判定する（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】 フッ化カルシウム単結晶、フッ化マグネシウム単結晶等のフッ化金属によって構成される光学材料の光学品質を簡便かつ精度よく評価する。
【解決手段】 評価対象とする光学材料を、予めフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液に浸漬し、該浸漬状態で光を照射し観察等する。液中で観察することによって表面の研磨傷や埃の影響を低減でき、かつフッ化金属を電解質として溶解させた水溶液を用いることによって、長時間浸漬しても光学材料の表面が溶解するなどして白化するという現象が起こりにくい。フッ化金属を溶解させた水溶液は飽和水溶液とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】照明装置、検査システム、および照明方法において、光学部材の光散乱系欠陥や光吸収系欠陥等を良好に観察することができるようにする。
【解決手段】検査システム１００は、光透過性の被検レンズ１を、被検レンズ１を保持する保持台と、被検レンズ１上の被検査領域上の各点を小さい開口数で透過照明する散乱光放射領域である面光源６ａと、保持台に保持された被検レンズ１と面光源６ａとの間の相対位置を少なくとも光軸Ｐに沿う方向に調整する相対移動機構とを備え、面光源６ａの中心Ｏを、被検レンズ１の前側焦点位置に略一致させて、被検レンズ１の被検査領域の全域を透過照明する。 （もっと読む）

【課題】製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査すること。
【解決手段】検査対象のレンズ５０が有する互いに対向するレンズ面Ｒ１、Ｒ２に対して対物レンズ１８を介して光を照射し、互いに対向するレンズ面夫々から対物レンズ１８を介して戻ってくる戻り光を検出し、対物レンズ１８を介してレンズ面夫々から戻ってくる戻り光の検出タイミング間の時間差に基づいてレンズ５０が良品であるか否かを判定する。レンズ５０に照射される光の光路とレンズ５０からの戻り光の光路の共通部分に対物レンズ１８を配置する。これによって、レンズ５０のレンズ面の状態に関わらず、精度良くレンズ５０を検査することができる。結果的に、製造した個々のレンズ毎にヒケの有無を簡易に検査することができる。 （もっと読む）

【課題】表面に錐形状を有する製品に対し、迅速かつ容易に検査を行える検査装置を提供する。
【解決手段】一方の面に少なくとも１以上の錐形状の突起部分を有する平板状の半透明の試料（１０１）の検査装置であって、
前記試料に対し、前記試料の表面に平行な方向から光を照射する第１の光照射手段（１０４）と、
前記第１の光照射手段に対向する方向から光を照射する第２の光照射手段（１０４）と、
前記試料を撮像する撮像手段（１０３）と、
前記撮像手段と前記試料との間の距離を測定する距離測定手段（１０５）と、
前記距離測定手段により得られた距離を基に撮像手段の焦点位置へ撮像手段を移動させるＺ方向移動手段（１０７）と、
前記撮像手段により撮像された画像データを処理する画像処理手段（１１０）と、
前記画像処理手段で処理された結果を表示する表示手段（１１１）と、
を有することを特徴とする検査装置。。 （もっと読む）

【課題】光源から出射された照明光の拡散光を低減することで、欠陥部分の発見がし易い照明光を出射することができる照明装置を提供する。
【解決手段】検査対象物に対し検査用の照明光を照射する照明装置１において、光源から出射された照明光の拡散を低減する拡散低減手段を備えることとする。拡散低減手段としては、遮光部材および集光レンズを使用することができる、また、遮光部材としては、筒体３、遮光板を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】干渉縞画像および表面画像のコントラストの向上を図る。
【解決手段】被検レンズ１０の被検面１０Ａに照射する照明光を発する光源１７と、主光路５上に配置され、照明光の一部を反射する参照面１１Ａを有する参照レンズ３７と、光源１７から発せられ、参照面１１Ａにより反射された参照面反射光と、参照面１１Ａを透過して被検レンズ１０の被検面１０Ａにより反射され、参照面反射光に対して可干渉距離以下の光路差を有する被検面反射光とによって得られる画像を取得する撮像素子と、撮像素子により取得された画像を処理する画像処理部４３とを備え、該画像処理部４３が、参照面反射光のみからなる第１の光量分布を記憶する記憶部４２と、参照面反射光と被検面反射光から得られる第２の光量分布から、記憶部４２に記憶されている第１の光量分布を減算する演算部４４とを有する表面検査装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の透過波面の測定と欠陥の測定とを同時に行えるようにする。
【解決手段】比較対象としての基準レンズ６を透過した光束と、測定対象としての被検レンズ７を透過した光束とを干渉させ、発生する干渉縞５０から被検レンズ７の収差量を測定する装置１を用いて、同時に被検レンズ７の欠陥を測定する。 （もっと読む）

【課題】
光学素子を追加する必要が無く、光量の損失を発生させず、干渉縞に影響を与える可能性があるゴミ、レンズ面上のキズや穴、レンズ内のバブル等のオプティカルアーティファクトの影響を低減させる干渉計を提供する。
【解決手段】
テレセントリックな光学系（３０１）を有する干渉計において、前記テレセントリックな光学系（３０１）を構成する少なくとも２つから構成されるレンズ（２０５，２０６）群の中心軸（５１）を、前記干渉計の光軸（５０）と異なる位置で前記光軸（５０）を中心として回転させる回転機構（６０）を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査設備を縮小するとともに検査工程を簡略化することができるレンズの検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象とするレンズ１０に対して光を照射してその反射光を撮影してレンズ１０の検査を行なう装置であって、上記レンズ１０の光軸Ｒの周りの第１の環状領域１７からレンズ１０に対して光を照射する第１の照明手段１１と、上記第１の環状領域１７の内側でレンズ１０の光軸Ｒに沿ってレンズ１０に対して光を照射する第２の照明手段１２と、上記第１の環状領域１７よりもレンズ１０側において第１の環状領域１７よりも外側の第２の環状領域１８からレンズ１０に対して光を照射する第３の照明手段１３とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広範囲にわたる位相差変化がある被測定物の位相差分布を測定する。
【解決手段】平行ニコルの偏光子・検光子とイメージング分光器を備えて被測定物の二次元の透過光分光スペクトルを検出できる位相差測定部を用い、被測定物がない状態での偏光子と検光子による偏光方位が０°と４５°のときの透過光分光スペクトルＩ₀（０），Ｉ₀（４５）と、被測定物を位相差測定部に対して相対的に移動させたときの偏光子と検光子による偏光方位が０°と４５°のときの被測定物上の位置ごとの透過光分光スペクトルＩ（０），Ｉ（４５）とから被測定物上の各位置での合算スペクトル実測値Ｉ_T’（＝Ｉ（０）／Ｉ₀（０）＋Ｉ（４５）／Ｉ₀（４５））を算出し、位相差の異なる複数の合算スペクトルＩ_T（＝（Ｃ＋３）／２）計算値との比較を被測定物上の各位置で行ってその差が最小になるＩ_Tに該当する位相差を各位置の位相差Ｒｍ（λ）とする。 （もっと読む）