感光物質コーティング用装置
【課題】ノズルに残った感光物質の硬化を防止する。
【解決手段】 本発明は感光物質コーティング用装置に関し、特にノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるよう、ソルヴェントバスの蓋を変更した感光物質コーティング用装置を備え、ノズルに残った感光物質の硬化を防止する技術である。
【解決手段】 本発明は感光物質コーティング用装置に関し、特にノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるよう、ソルヴェントバスの蓋を変更した感光物質コーティング用装置を備え、ノズルに残った感光物質の硬化を防止する技術である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハまたは基板に感光物質コーティング用装置または塗布用装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、コーティング物質の状態は液体状態であり、Ｔ−ＢＯＣ及びアセタルのように保護基（protection group）を有する普通感光物質の硬化特性はＡｒＦ用感光物質より高くないので、既存のソルヴェント容器でも感光パウダドロップス（drops）やコーティング不良を誘発する感光物質の硬化現象が生じない。しかし、超微細パターンを形成するためのDeep ＵＶ領域で透明で安定したポリヒドロキシスチレン（ＰＨＳＴ）ベースポリマは、波長１９３ｎｍの光を吸収することによりこれ以上感光物質としての機能をすることができない。従って、新しいＡｒＦレーザに適する感光物質が求められた。
【０００３】
一般に、ＡｒＦ用高分子は透明で、乾式食刻に対する耐性と良好な接着特性を有する。ＫｒＦ用感光物質を形成するアロマチックリング（aromatic ring）構造は食刻耐性は良好であるが、１９３ｎｍの波長で吸光度を有する。従って、アリサイクリックグループ（alicyclic group）構造をメタクリレートポリマ（methacrylate polymer）に添加して、ＡｒＦ用感光物質を開発した。
【０００４】
図１は、従来の技術に係る感光物質コーティング用装置を示した断面図である。
図１に示されているように、コーティング用装置はノズル１１、蓋１３、ソルヴェントバス２５、ソルヴェント供給ポート１５、ソルヴェントパイプライン１７、ソルヴェントトラップ１９、ソルヴェント煙トラップ２１及びソルヴェントドレイン部２３を含む。ここで、ノズル１１は感光物質をウェハ（図示省略）に噴射するのに用いられる。蓋１３はノズル１１を貯蔵するため、ノズルチップカバー１３Ｃを備えた一つ以上のノズルホルダ（図示省略）を備える。このとき、ノズルホルダはノズル１１の端部だけを露出する。さらに、ソルヴェントパイプライン１７はソルヴェントバス２５に供給されたソルヴェントをソルヴェントドレイン部２３に案内するため蓋１３の下側に備えられる。ソルヴェントトラップ１９は、ソルヴェントを盛り込みノズル１１に残っている感光物質の硬化を防止するため備えられる。即ち、感光物質はソルヴェントトラップ１９に盛り込まれたソルヴェントから生じた煙により硬化が防止される。ソルヴェント供給ポート１５は、ソルヴェントバス２５にソルヴェントを供給するためソルヴェントトラップ１９に隣接したところに備えられる。一方、ソルヴェント煙トラップ２１はソルヴェントトラップ１９から生じた煙を貯蔵するため、ソルヴェントパイプライン１７の上部面に隣接したところに備えられる。従って、ソルヴェントトラップ１９とソルヴェント煙トラップ２１はノズル１１に残っている感光物質の硬化を防止するため備えられる。
【０００５】
しかし、前記のような感光物質コーティング用装置によれば、ソルヴェント煙トラップ２１は効果的に煙を確保することができず、ソルヴェントトラップ１９がノズル１１の低部から著しく離れた距離に備えられるため、感光物質硬化現象を十分防止することが難しい。結局、感光物質の塗布時に感光物質の変色（discolor）とノズルと蓋の表面に生じた硬化した感光物質（即ち、感光パウダ）のドロップによるコーティング不良の問題点を誘発する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記の従来の技術の問題点を解決するため、変更されたソルヴェントバスを備えた感光物質コーティング用装置を備え、特にノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるようソルヴェントバスの蓋を変更した感光物質コーティング用装置を備え、ノズルに残った感光物質の硬化を防止するのにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため、前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを前記ソルヴェントパイプラインに供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記蓋、前記ノズルまたはこれら全てに感光パウダの形成を防止するため、前記ソルヴェント供給ポートに供給された前記ソルヴェントをトラップし、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップと、
前記ソルヴェントパイプラインから流入した前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップとを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接して備えられることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ノズルホルダは、当該ノズルホルダの間に備えられたノズルを露出するための開口が広くなるよう傾斜した形態であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ソルヴェント供給ポートと前記ソルヴェントパイプラインとの間に備えられ、前記ソルヴェントパイプラインの外側を囲むよう備えられることを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップの上部面は、前記ノズルの下部面に非常に近接するよう備えられることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートの上部面は、前記第１のソルヴェントトラップの上部面より上位または同じ高さに備えられることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記ノズル下部の端部から垂直方向で最大２０ｍｍ内に備えられることを特徴とする。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルに近接して備えられることを特徴とする。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップでトラップされた前記ソルヴェントの蒸気は、前記ノズルに残った感光物質の硬化及び前記感光パウダへの変換の少なくとも一方を防止することを特徴とする。
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップは前記第１のソルヴェントトラップ、前記ソルヴェントパイプライン及び前記第２のソルヴェントトラップを含むソルヴェントバス内に、前記ソルヴェント供給ポートから投入された所定量の前記ソルヴェントをトラップするよう備えられることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０記載の発明は、感光物質コーティング用装置において、
少なくとも一つのノズルを貯蔵する蓋と、
前記ソルヴェントを投入するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部に前記ソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェント供給ポートから投入された前記ソルヴェントの所定量を貯蔵するため前記ノズル下側に備えられて前記ソルヴェント供給ポートに結合され、前記ソルヴェントパイプラインの上部面に隣接した高さに備えられ、当該ソルヴェントパイプラインの上部を囲む第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ノズルに感光パウダの生成を防止するため備えられることを特徴とする。
【００１７】
請求項１１記載の発明は、請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるため、前記第１のソルヴェントトラップ下側に備えられる第２のソルヴェントトラップをさらに含むことを特徴とする。
【００１８】
請求項１２記載の発明は、請求項１１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、垂直方向で前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルにさらに近接して備えられることを特徴とする。
【００１９】
請求項１３記載の発明は、請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋のノズルホルダは前記ノズルが前記第１のソルヴェントトラップにトラップされた前記ソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気に露出されるよう開口を画成する第１及び第２の側壁を含むことを特徴とする。
【００２０】
請求項１４記載の発明は、請求項１３に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１及び第２の側壁は、前記ソルヴェント蒸気に前記ノズルの露出を促進するため外方向に向かうよう傾斜するようにして前記開口の大きい開口部を備えるようにすることを特徴とする。
【００２１】
請求項１５記載の発明は、請求項１４に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は前記第１及び第２の側壁を含むノズルホルダを含むことを特徴とする。
【００２２】
請求項１６記載の発明は、請求項１２に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第２のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるためのソルヴェントドレイン部をさらに含むことを特徴とする。
【００２３】
請求項１７記載の発明は、感光物質コーティング用装置において、
ノズルを貯蔵するための一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートから前記ソルヴェントを受け入れ前記ノズルに残った感光物質の硬化を防止するよう、前記ソルヴェントを盛り込んでおくために備えられ、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが、前記ノズル下部の端部から最大４０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２４】
請求項１８記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大３０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２５】
請求項１９記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大２０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２６】
請求項２０記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから受け入れられた前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接するよう備えられることを特徴とする。
【００２７】
即ち、本発明に係る感光物質コーティング用装置は、
少なくとも一つのノズルを貯蔵するための蓋を含み、ソルヴェント供給ポートは装置にソルヴェントを投入し、第１のソルヴェントトラップはソルヴェント供給ポートから投入された所定量のソルヴェントを盛り込むためソルヴェント供給ポートに結合されてノズル下側に備えられ、第１のソルヴェントトラップはノズルに残っている感光物質が感光パウダに変化することを防止するため備えられ、第２のソルヴェントトラップは第１のソルヴェントトラップからソルヴェントを受け入れるため、第１のソルヴェント下側に備えられ、ソルヴェント経路（またはソルヴェントパイプライン）は第１のソルヴェントトラップから第２のソルヴェントトラップにソルヴェントを案内すべく、第１及び第２のソルヴェントトラップの間に備えられる。
【００２８】
さらに、本発明の一つの実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
少なくとも一つのノズルを貯蔵するための蓋と、ソルヴェントを装置に提供するためのソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れソルヴェントドレイン部に案内するためのソルヴェントパイプラインと、ソルヴェント供給ポートから受け入れられた所定量のソルヴェントを盛り込むため、ソルヴェント供給ポートに結合されてノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、第１のソルヴェントトラップはノズルに残った感光物質の硬化を防止するため、ソルヴェントパイプラインの上部面に近接して備えられ、ソルヴェントパイプラインの上部を囲むよう備えられる。ノズルホルダは、その間に備えられたノズルを露出する開口が広くなるよう傾斜した形態を有する。第１のソルヴェントトラップでトラップされたソルヴェントの煙は、ノズル内に残っている感光物質の硬化及び感光パウダへの変換を防止する。
【００２９】
本発明の他の実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、ソルヴェントドレイン部にソルヴェントを案内するため蓋の下側に備えられたソルヴェントパイプラインと、ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受けノズル内に残っている感光物質の硬化を防止するためのソルヴェントを盛り込むようノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、ソルヴェント供給ポートはノズル下部の端部から最大４０ｍｍ内にあるよう備えられることを特徴とする。
【００３０】
本発明のさらに他の実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
ソルヴェントドレイン部にソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、ソルヴェントを供給するためのソルヴェントパイプラインの一側に備えられるソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートから供給されたソルヴェントをトラップするためソルヴェント供給ポートとソルヴェントパイプラインとの間に備えられる第１のソルヴェントトラップと、ソルヴェントパイプラインから受けたソルヴェントをトラップするため第１のソルヴェントトラップとソルヴェントドレイン部との間にソルヴェントパイプラインに結合される第２のソルヴェントトラップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係る感光物質コーティング用装置は、ノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるようソルヴェントバスの蓋を変更することにより、ノズルと蓋表面に発生する感光パウダの発生を抑制してウェハに感光物質コーティングを容易に実施することができるようにするという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図を参考にして本発明を詳しく説明する。
図２は、本発明に係る感光物質を塗布する装置を概略的に示した断面図である。感光物質コーティング用装置はノズル３１、蓋３３、ソルヴェントバス４５、ソルヴェント供給ポート３５、ソルヴェントパイプライン３７、第１のソルヴェントトラップ４１、第２のソルヴェントトラップ３９及びソルヴェントドレイン部４３を含む。コーティング動作時にノズル３１は感光物質をウェハ（図示省略）に噴射または塗布するためウェハ上側に位置し、コーティング動作の間にノズル３１はソルヴェントバス４５の第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１上側に位置する。第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１から生じた煙はノズル内に残っている感光物質の硬化と後続コーティング動作時にウェハに落ちることもある感光パウダへの変換を防止する。
【００３３】
本発明によれば、蓋３３は一つ以上のノズルホルダ４７を備えてノズル３１を貯蔵し、第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１の上側にノズル３１を備える。即ち、ソルヴェントバス４５内のソルヴェント上側にノズル３１を備える。さらに、ソルヴェントパイプライン３７またはソルヴェント経路は、ソルヴェント供給ポート３５から受け入れられたソルヴェントをソルヴェントドレイン部４３に案内するため蓋３３の下側に備えられる。
【００３４】
ソルヴェント供給ポート３５は、ソルヴェントバス４５にソルヴェントを供給するため蓋３３の下側に備えられ、ソルヴェントパイプライン３７の一側面に備えられる。ここで、ソルヴェント供給ポート３５は第１のソルヴェントトラップ４１に近接した所に備えられる。他の実施の形態で、ソルヴェント供給ポート３５は第２のソルヴェントトラップ３９よりノズル３１のチップ３１Ｔに近接して備えられる。さらに他の実施の形態で、ソルヴェント供給ポート３５は第２のソルヴェントトラップ３９より第１のソルヴェントトラップ４１に近接した所に備えられる。即ち、ソルヴェント供給ポート３５は第１のソルヴェントトラップ４１より上位または同じ位置に備えられる。一つの実施の形態に従い、ソルヴェント供給ポート３５はノズル３１の下部端部から垂直方向で３０ｍｍ、２０ｍｍまたは１０ｍｍ以内に備えられる。ソルヴェント供給ポート３５はノズルチップ３１Ｔがソルヴェント煙をさらに容易に受け入れるようノズルチップ３１Ｔ近くに備えられ、ノズルチップ３１Ｔの感光物質に対する硬化を防止することができる。
【００３５】
第１のソルヴェントトラップ４１は、ソルヴェントバス４５にソルヴェントが投入されるとソルヴェント供給ポート３５から供給されたソルヴェントをトラップするためノズル３１の下側に備えられる。本発明の一つの実施の形態によれば、第１のソルヴェントトラップ４１はソルヴェントパイプライン３７の最大限外側を囲むよう備えられ、ソルヴェント供給ポート３５とソルヴェントパイプライン３７との間に備えられる。第１のソルヴェントトラップ４１の上部面はノズル３１の下部面に非常に近接するように備えられ、ソルヴェントパイプライン３７の上部面と同一の高さに備えられるのが好ましい。一方、ソルヴェントパイプライン３７はソルヴェント供給ポート３５からソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部４３にソルヴェントを案内するため備えられる。
【００３６】
一つの実施の形態で、第１のソルヴェントトラップ４１は第１のソルヴェントトラップ４１が満たされるまでソルヴェント供給ポート３１から供給された所定量のソルヴェントをトラップする。第１のソルヴェントトラップ４１にトラップされたソルヴェントから生じた煙または蒸気は蓋３３とノズル３１の端部の表面に感光パウダの生成を防止する。
【００３７】
本発明の一つの実施の形態で、蓋３３のノズルホルダ４７は第１のソルヴェントトラップ４１にトラップされたソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気にノズルチップ３１Ｔの露出を促進させるため第１の側壁と第２の側壁を含む大きい開口部を備えるため外側に傾けられたた開口ＯＰを画成する。図２の矢印はノズル３１とノズルホルダ４７との間の距離が増加することを示す。ノズル３１とノズルホルダ４７の内部端部との間で最大距離Ｄ１、即ちノズルチップ３１Ｔで下部で画成される側面距離は約５ｍｍ〜１０ｍｍである。従って、ノズルホルダ４７により画成された開口ＯＰは２＊Ｄ１とノズルチップ３１Ｔの幅の合計である。ノズルホルダ４７がノズルチップ３１Ｔの下側まで延長されると、開口ＯＰはさらに大きくなり得る。
【００３８】
第２のソルヴェントトラップ３９は、ソルヴェント供給ポート３５とソルヴェントドレイン部４３との間に備えられる。本発明の一つの実施の形態で、第２のソルヴェントトラップ３９はソルヴェントパイプライン３７を介して第１のソルヴェントトラップ４１から受け入れ、ソルヴェントドレイン部４３に流れるソルヴェントをトラップするため、第１のソルヴェントトラップ４１の下側のソルヴェントパイプライン３７内に備えられるか連結されるようにする。第２のソルヴェントトラップ３９はソルヴェントパイプライン３７に沿って第１のソルヴェントトラップ４１から流入された所定量のソルヴェントをトラップするため備えられ、超過したソルヴェントはソルヴェントパイプライン３７に沿ってソルヴェントドレイン部４３に案内される。さらに、第２のソルヴェントトラップ３９のソルヴェントはノズル３１内に、または表面に残っている感光物質の硬化の防止に役立つ。ソルヴェントはソルヴェントバス４５に所定量のソルヴェントを維持すべく、ソルヴェント供給ポート３５から周期的に供給される。本発明の一つの実施の形態で、第２のソルヴェントトラップ３９とソルヴェント供給ポート３５との間は、最小５０ｍｍ離隔されソルヴェント供給ポート３５がノズル３１に近接して備えられる。
【００３９】
前述したように、本発明によればソルヴェントバス４５に供給されたソルヴェントをトラップするための第１のソルヴェントトラップ４１はノズル３１の下側端部に近接して備えられる。一つの実施の形態で、第１のソルヴェントトラップ４１は貯蔵されたソルヴェントがノズル３１の下部端部から最大４０ｍｍ、３０ｍｍ、２０ｍｍまたは１０ｍｍ以内に備えられる。ソルヴェントバス４５の蓋３３は、ノズル３１を最大限露出するよう変更してノズル３１と蓋３３の表面に感光パウダの生成を防止することができる。
【００４０】
なお、本発明について、好ましい実施の形態を基に説明したが、これらの実施の形態は、例を示すことを目的として開示したものであり、当業者であれば、本発明に係る技術思想の範囲内で、多様な改良、変更、付加等が可能である。このような改良、変更等も、特許請求の範囲に記載した本発明の技術的範囲に属することは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】従来の技術に係る装置の概略的な断面図である。
【図２】本発明に係る装置の概略的な断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
３１ ノズル
３３ 蓋
３５ ソルヴェント供給ポート
３７ ソルヴェントパイプライン
３９ 第２のソルヴェントトラップ
４１ 第１のソルヴェントトラップ
４３ ソルヴェントドレイン部
４５ ソルヴェントバス
４７ ノズルホルダ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハまたは基板に感光物質コーティング用装置または塗布用装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、コーティング物質の状態は液体状態であり、Ｔ−ＢＯＣ及びアセタルのように保護基（protection group）を有する普通感光物質の硬化特性はＡｒＦ用感光物質より高くないので、既存のソルヴェント容器でも感光パウダドロップス（drops）やコーティング不良を誘発する感光物質の硬化現象が生じない。しかし、超微細パターンを形成するためのDeep ＵＶ領域で透明で安定したポリヒドロキシスチレン（ＰＨＳＴ）ベースポリマは、波長１９３ｎｍの光を吸収することによりこれ以上感光物質としての機能をすることができない。従って、新しいＡｒＦレーザに適する感光物質が求められた。
【０００３】
一般に、ＡｒＦ用高分子は透明で、乾式食刻に対する耐性と良好な接着特性を有する。ＫｒＦ用感光物質を形成するアロマチックリング（aromatic ring）構造は食刻耐性は良好であるが、１９３ｎｍの波長で吸光度を有する。従って、アリサイクリックグループ（alicyclic group）構造をメタクリレートポリマ（methacrylate polymer）に添加して、ＡｒＦ用感光物質を開発した。
【０００４】
図１は、従来の技術に係る感光物質コーティング用装置を示した断面図である。
図１に示されているように、コーティング用装置はノズル１１、蓋１３、ソルヴェントバス２５、ソルヴェント供給ポート１５、ソルヴェントパイプライン１７、ソルヴェントトラップ１９、ソルヴェント煙トラップ２１及びソルヴェントドレイン部２３を含む。ここで、ノズル１１は感光物質をウェハ（図示省略）に噴射するのに用いられる。蓋１３はノズル１１を貯蔵するため、ノズルチップカバー１３Ｃを備えた一つ以上のノズルホルダ（図示省略）を備える。このとき、ノズルホルダはノズル１１の端部だけを露出する。さらに、ソルヴェントパイプライン１７はソルヴェントバス２５に供給されたソルヴェントをソルヴェントドレイン部２３に案内するため蓋１３の下側に備えられる。ソルヴェントトラップ１９は、ソルヴェントを盛り込みノズル１１に残っている感光物質の硬化を防止するため備えられる。即ち、感光物質はソルヴェントトラップ１９に盛り込まれたソルヴェントから生じた煙により硬化が防止される。ソルヴェント供給ポート１５は、ソルヴェントバス２５にソルヴェントを供給するためソルヴェントトラップ１９に隣接したところに備えられる。一方、ソルヴェント煙トラップ２１はソルヴェントトラップ１９から生じた煙を貯蔵するため、ソルヴェントパイプライン１７の上部面に隣接したところに備えられる。従って、ソルヴェントトラップ１９とソルヴェント煙トラップ２１はノズル１１に残っている感光物質の硬化を防止するため備えられる。
【０００５】
しかし、前記のような感光物質コーティング用装置によれば、ソルヴェント煙トラップ２１は効果的に煙を確保することができず、ソルヴェントトラップ１９がノズル１１の低部から著しく離れた距離に備えられるため、感光物質硬化現象を十分防止することが難しい。結局、感光物質の塗布時に感光物質の変色（discolor）とノズルと蓋の表面に生じた硬化した感光物質（即ち、感光パウダ）のドロップによるコーティング不良の問題点を誘発する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は前記の従来の技術の問題点を解決するため、変更されたソルヴェントバスを備えた感光物質コーティング用装置を備え、特にノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるようソルヴェントバスの蓋を変更した感光物質コーティング用装置を備え、ノズルに残った感光物質の硬化を防止するのにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため、前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを前記ソルヴェントパイプラインに供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記蓋、前記ノズルまたはこれら全てに感光パウダの形成を防止するため、前記ソルヴェント供給ポートに供給された前記ソルヴェントをトラップし、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップと、
前記ソルヴェントパイプラインから流入した前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップとを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接して備えられることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ノズルホルダは、当該ノズルホルダの間に備えられたノズルを露出するための開口が広くなるよう傾斜した形態であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ソルヴェント供給ポートと前記ソルヴェントパイプラインとの間に備えられ、前記ソルヴェントパイプラインの外側を囲むよう備えられることを特徴とする。
【００１０】
請求項４記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップの上部面は、前記ノズルの下部面に非常に近接するよう備えられることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートの上部面は、前記第１のソルヴェントトラップの上部面より上位または同じ高さに備えられることを特徴とする。
【００１２】
請求項６記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記ノズル下部の端部から垂直方向で最大２０ｍｍ内に備えられることを特徴とする。
【００１３】
請求項７記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルに近接して備えられることを特徴とする。
【００１４】
請求項８記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップでトラップされた前記ソルヴェントの蒸気は、前記ノズルに残った感光物質の硬化及び前記感光パウダへの変換の少なくとも一方を防止することを特徴とする。
【００１５】
請求項９記載の発明は、請求項１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１のソルヴェントトラップは前記第１のソルヴェントトラップ、前記ソルヴェントパイプライン及び前記第２のソルヴェントトラップを含むソルヴェントバス内に、前記ソルヴェント供給ポートから投入された所定量の前記ソルヴェントをトラップするよう備えられることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０記載の発明は、感光物質コーティング用装置において、
少なくとも一つのノズルを貯蔵する蓋と、
前記ソルヴェントを投入するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部に前記ソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェント供給ポートから投入された前記ソルヴェントの所定量を貯蔵するため前記ノズル下側に備えられて前記ソルヴェント供給ポートに結合され、前記ソルヴェントパイプラインの上部面に隣接した高さに備えられ、当該ソルヴェントパイプラインの上部を囲む第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ノズルに感光パウダの生成を防止するため備えられることを特徴とする。
【００１７】
請求項１１記載の発明は、請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるため、前記第１のソルヴェントトラップ下側に備えられる第２のソルヴェントトラップをさらに含むことを特徴とする。
【００１８】
請求項１２記載の発明は、請求項１１に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェント供給ポートは、垂直方向で前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルにさらに近接して備えられることを特徴とする。
【００１９】
請求項１３記載の発明は、請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋のノズルホルダは前記ノズルが前記第１のソルヴェントトラップにトラップされた前記ソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気に露出されるよう開口を画成する第１及び第２の側壁を含むことを特徴とする。
【００２０】
請求項１４記載の発明は、請求項１３に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第１及び第２の側壁は、前記ソルヴェント蒸気に前記ノズルの露出を促進するため外方向に向かうよう傾斜するようにして前記開口の大きい開口部を備えるようにすることを特徴とする。
【００２１】
請求項１５記載の発明は、請求項１４に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は前記第１及び第２の側壁を含むノズルホルダを含むことを特徴とする。
【００２２】
請求項１６記載の発明は、請求項１２に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記第２のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるためのソルヴェントドレイン部をさらに含むことを特徴とする。
【００２３】
請求項１７記載の発明は、感光物質コーティング用装置において、
ノズルを貯蔵するための一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートから前記ソルヴェントを受け入れ前記ノズルに残った感光物質の硬化を防止するよう、前記ソルヴェントを盛り込んでおくために備えられ、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが、前記ノズル下部の端部から最大４０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２４】
請求項１８記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大３０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２５】
請求項１９記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大２０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする。
【００２６】
請求項２０記載の発明は、請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置において、
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから受け入れられた前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接するよう備えられることを特徴とする。
【００２７】
即ち、本発明に係る感光物質コーティング用装置は、
少なくとも一つのノズルを貯蔵するための蓋を含み、ソルヴェント供給ポートは装置にソルヴェントを投入し、第１のソルヴェントトラップはソルヴェント供給ポートから投入された所定量のソルヴェントを盛り込むためソルヴェント供給ポートに結合されてノズル下側に備えられ、第１のソルヴェントトラップはノズルに残っている感光物質が感光パウダに変化することを防止するため備えられ、第２のソルヴェントトラップは第１のソルヴェントトラップからソルヴェントを受け入れるため、第１のソルヴェント下側に備えられ、ソルヴェント経路（またはソルヴェントパイプライン）は第１のソルヴェントトラップから第２のソルヴェントトラップにソルヴェントを案内すべく、第１及び第２のソルヴェントトラップの間に備えられる。
【００２８】
さらに、本発明の一つの実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
少なくとも一つのノズルを貯蔵するための蓋と、ソルヴェントを装置に提供するためのソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れソルヴェントドレイン部に案内するためのソルヴェントパイプラインと、ソルヴェント供給ポートから受け入れられた所定量のソルヴェントを盛り込むため、ソルヴェント供給ポートに結合されてノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、第１のソルヴェントトラップはノズルに残った感光物質の硬化を防止するため、ソルヴェントパイプラインの上部面に近接して備えられ、ソルヴェントパイプラインの上部を囲むよう備えられる。ノズルホルダは、その間に備えられたノズルを露出する開口が広くなるよう傾斜した形態を有する。第１のソルヴェントトラップでトラップされたソルヴェントの煙は、ノズル内に残っている感光物質の硬化及び感光パウダへの変換を防止する。
【００２９】
本発明の他の実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、ソルヴェントドレイン部にソルヴェントを案内するため蓋の下側に備えられたソルヴェントパイプラインと、ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受けノズル内に残っている感光物質の硬化を防止するためのソルヴェントを盛り込むようノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、ソルヴェント供給ポートはノズル下部の端部から最大４０ｍｍ内にあるよう備えられることを特徴とする。
【００３０】
本発明のさらに他の実施の形態に係る感光物質コーティング用装置は、
ソルヴェントドレイン部にソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、ソルヴェントを供給するためのソルヴェントパイプラインの一側に備えられるソルヴェント供給ポートと、ソルヴェント供給ポートから供給されたソルヴェントをトラップするためソルヴェント供給ポートとソルヴェントパイプラインとの間に備えられる第１のソルヴェントトラップと、ソルヴェントパイプラインから受けたソルヴェントをトラップするため第１のソルヴェントトラップとソルヴェントドレイン部との間にソルヴェントパイプラインに結合される第２のソルヴェントトラップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明に係る感光物質コーティング用装置は、ノズルに隣接した所にソルヴェントを貯蔵する第１のソルヴェントトラップを備え、第１のソルヴェントトラップにノズルを最大限露出させるようソルヴェントバスの蓋を変更することにより、ノズルと蓋表面に発生する感光パウダの発生を抑制してウェハに感光物質コーティングを容易に実施することができるようにするという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、図を参考にして本発明を詳しく説明する。
図２は、本発明に係る感光物質を塗布する装置を概略的に示した断面図である。感光物質コーティング用装置はノズル３１、蓋３３、ソルヴェントバス４５、ソルヴェント供給ポート３５、ソルヴェントパイプライン３７、第１のソルヴェントトラップ４１、第２のソルヴェントトラップ３９及びソルヴェントドレイン部４３を含む。コーティング動作時にノズル３１は感光物質をウェハ（図示省略）に噴射または塗布するためウェハ上側に位置し、コーティング動作の間にノズル３１はソルヴェントバス４５の第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１上側に位置する。第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１から生じた煙はノズル内に残っている感光物質の硬化と後続コーティング動作時にウェハに落ちることもある感光パウダへの変換を防止する。
【００３３】
本発明によれば、蓋３３は一つ以上のノズルホルダ４７を備えてノズル３１を貯蔵し、第１及び第２のソルヴェントトラップ３９、４１の上側にノズル３１を備える。即ち、ソルヴェントバス４５内のソルヴェント上側にノズル３１を備える。さらに、ソルヴェントパイプライン３７またはソルヴェント経路は、ソルヴェント供給ポート３５から受け入れられたソルヴェントをソルヴェントドレイン部４３に案内するため蓋３３の下側に備えられる。
【００３４】
ソルヴェント供給ポート３５は、ソルヴェントバス４５にソルヴェントを供給するため蓋３３の下側に備えられ、ソルヴェントパイプライン３７の一側面に備えられる。ここで、ソルヴェント供給ポート３５は第１のソルヴェントトラップ４１に近接した所に備えられる。他の実施の形態で、ソルヴェント供給ポート３５は第２のソルヴェントトラップ３９よりノズル３１のチップ３１Ｔに近接して備えられる。さらに他の実施の形態で、ソルヴェント供給ポート３５は第２のソルヴェントトラップ３９より第１のソルヴェントトラップ４１に近接した所に備えられる。即ち、ソルヴェント供給ポート３５は第１のソルヴェントトラップ４１より上位または同じ位置に備えられる。一つの実施の形態に従い、ソルヴェント供給ポート３５はノズル３１の下部端部から垂直方向で３０ｍｍ、２０ｍｍまたは１０ｍｍ以内に備えられる。ソルヴェント供給ポート３５はノズルチップ３１Ｔがソルヴェント煙をさらに容易に受け入れるようノズルチップ３１Ｔ近くに備えられ、ノズルチップ３１Ｔの感光物質に対する硬化を防止することができる。
【００３５】
第１のソルヴェントトラップ４１は、ソルヴェントバス４５にソルヴェントが投入されるとソルヴェント供給ポート３５から供給されたソルヴェントをトラップするためノズル３１の下側に備えられる。本発明の一つの実施の形態によれば、第１のソルヴェントトラップ４１はソルヴェントパイプライン３７の最大限外側を囲むよう備えられ、ソルヴェント供給ポート３５とソルヴェントパイプライン３７との間に備えられる。第１のソルヴェントトラップ４１の上部面はノズル３１の下部面に非常に近接するように備えられ、ソルヴェントパイプライン３７の上部面と同一の高さに備えられるのが好ましい。一方、ソルヴェントパイプライン３７はソルヴェント供給ポート３５からソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部４３にソルヴェントを案内するため備えられる。
【００３６】
一つの実施の形態で、第１のソルヴェントトラップ４１は第１のソルヴェントトラップ４１が満たされるまでソルヴェント供給ポート３１から供給された所定量のソルヴェントをトラップする。第１のソルヴェントトラップ４１にトラップされたソルヴェントから生じた煙または蒸気は蓋３３とノズル３１の端部の表面に感光パウダの生成を防止する。
【００３７】
本発明の一つの実施の形態で、蓋３３のノズルホルダ４７は第１のソルヴェントトラップ４１にトラップされたソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気にノズルチップ３１Ｔの露出を促進させるため第１の側壁と第２の側壁を含む大きい開口部を備えるため外側に傾けられたた開口ＯＰを画成する。図２の矢印はノズル３１とノズルホルダ４７との間の距離が増加することを示す。ノズル３１とノズルホルダ４７の内部端部との間で最大距離Ｄ１、即ちノズルチップ３１Ｔで下部で画成される側面距離は約５ｍｍ〜１０ｍｍである。従って、ノズルホルダ４７により画成された開口ＯＰは２＊Ｄ１とノズルチップ３１Ｔの幅の合計である。ノズルホルダ４７がノズルチップ３１Ｔの下側まで延長されると、開口ＯＰはさらに大きくなり得る。
【００３８】
第２のソルヴェントトラップ３９は、ソルヴェント供給ポート３５とソルヴェントドレイン部４３との間に備えられる。本発明の一つの実施の形態で、第２のソルヴェントトラップ３９はソルヴェントパイプライン３７を介して第１のソルヴェントトラップ４１から受け入れ、ソルヴェントドレイン部４３に流れるソルヴェントをトラップするため、第１のソルヴェントトラップ４１の下側のソルヴェントパイプライン３７内に備えられるか連結されるようにする。第２のソルヴェントトラップ３９はソルヴェントパイプライン３７に沿って第１のソルヴェントトラップ４１から流入された所定量のソルヴェントをトラップするため備えられ、超過したソルヴェントはソルヴェントパイプライン３７に沿ってソルヴェントドレイン部４３に案内される。さらに、第２のソルヴェントトラップ３９のソルヴェントはノズル３１内に、または表面に残っている感光物質の硬化の防止に役立つ。ソルヴェントはソルヴェントバス４５に所定量のソルヴェントを維持すべく、ソルヴェント供給ポート３５から周期的に供給される。本発明の一つの実施の形態で、第２のソルヴェントトラップ３９とソルヴェント供給ポート３５との間は、最小５０ｍｍ離隔されソルヴェント供給ポート３５がノズル３１に近接して備えられる。
【００３９】
前述したように、本発明によればソルヴェントバス４５に供給されたソルヴェントをトラップするための第１のソルヴェントトラップ４１はノズル３１の下側端部に近接して備えられる。一つの実施の形態で、第１のソルヴェントトラップ４１は貯蔵されたソルヴェントがノズル３１の下部端部から最大４０ｍｍ、３０ｍｍ、２０ｍｍまたは１０ｍｍ以内に備えられる。ソルヴェントバス４５の蓋３３は、ノズル３１を最大限露出するよう変更してノズル３１と蓋３３の表面に感光パウダの生成を防止することができる。
【００４０】
なお、本発明について、好ましい実施の形態を基に説明したが、これらの実施の形態は、例を示すことを目的として開示したものであり、当業者であれば、本発明に係る技術思想の範囲内で、多様な改良、変更、付加等が可能である。このような改良、変更等も、特許請求の範囲に記載した本発明の技術的範囲に属することは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】従来の技術に係る装置の概略的な断面図である。
【図２】本発明に係る装置の概略的な断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
３１ ノズル
３３ 蓋
３５ ソルヴェント供給ポート
３７ ソルヴェントパイプライン
３９ 第２のソルヴェントトラップ
４１ 第１のソルヴェントトラップ
４３ ソルヴェントドレイン部
４５ ソルヴェントバス
４７ ノズルホルダ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため、前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを前記ソルヴェントパイプラインに供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記蓋、前記ノズルまたはこれら全てに感光パウダの形成を防止するため、前記ソルヴェント供給ポートに供給された前記ソルヴェントをトラップし、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップと、
前記ソルヴェントパイプラインから流入した前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップとを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接して備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項２】
前記ノズルホルダは、当該ノズルホルダの間に備えられたノズルを露出するための開口が広くなるよう傾斜した形態であることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項３】
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ソルヴェント供給ポートと前記ソルヴェントパイプラインとの間に備えられ、前記ソルヴェントパイプラインの外側を囲むよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項４】
前記第１のソルヴェントトラップの上部面は、前記ノズルの下部面に非常に近接するよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項５】
前記ソルヴェント供給ポートの上部面は、前記第１のソルヴェントトラップの上部面より上位または同じ高さに備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項６】
前記ソルヴェント供給ポートは、前記ノズル下部の端部から垂直方向で最大２０ｍｍ内に備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項７】
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルに近接して備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項８】
前記第１のソルヴェントトラップでトラップされた前記ソルヴェントの蒸気は、前記ノズルに残った感光物質の硬化及び前記感光パウダへの変換の少なくとも一方を防止することを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項９】
前記第１のソルヴェントトラップは前記第１のソルヴェントトラップ、前記ソルヴェントパイプライン及び前記第２のソルヴェントトラップを含むソルヴェントバス内に、前記ソルヴェント供給ポートから投入された所定量の前記ソルヴェントをトラップするよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１０】
少なくとも一つのノズルを貯蔵する蓋と、
前記ソルヴェントを投入するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部に前記ソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェント供給ポートから投入された前記ソルヴェントの所定量を貯蔵するため前記ノズル下側に備えられて前記ソルヴェント供給ポートに結合され、前記ソルヴェントパイプラインの上部面に隣接した高さに備えられ、当該ソルヴェントパイプラインの上部を囲む第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ノズルに感光パウダの生成を防止するため備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項１１】
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるため、前記第１のソルヴェントトラップ下側に備えられる第２のソルヴェントトラップをさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１２】
前記ソルヴェント供給ポートは、垂直方向で前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルにさらに近接して備えられることを特徴とする請求項１１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１３】
前記蓋のノズルホルダは前記ノズルが前記第１のソルヴェントトラップにトラップされた前記ソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気に露出されるよう開口を画成する第１及び第２の側壁を含むことを特徴とする請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２の側壁は、前記ソルヴェント蒸気に前記ノズルの露出を促進するため外方向に向かうよう傾斜するようにして前記開口の大きい開口部を備えるようにすることを特徴とする請求項１３に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１５】
前記蓋は前記第１及び第２の側壁を含むノズルホルダを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１６】
前記第２のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるためのソルヴェントドレイン部をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１７】
ノズルを貯蔵するための一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートから前記ソルヴェントを受け入れ前記ノズルに残った感光物質の硬化を防止するよう、前記ソルヴェントを盛り込んでおくために備えられ、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが、前記ノズル下部の端部から最大４０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項１８】
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大３０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１９】
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大２０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項２０】
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから受け入れられた前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接するよう備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１】
ノズルを貯蔵するため一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため、前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを前記ソルヴェントパイプラインに供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記蓋、前記ノズルまたはこれら全てに感光パウダの形成を防止するため、前記ソルヴェント供給ポートに供給された前記ソルヴェントをトラップし、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップと、
前記ソルヴェントパイプラインから流入した前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップとを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接して備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項２】
前記ノズルホルダは、当該ノズルホルダの間に備えられたノズルを露出するための開口が広くなるよう傾斜した形態であることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項３】
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ソルヴェント供給ポートと前記ソルヴェントパイプラインとの間に備えられ、前記ソルヴェントパイプラインの外側を囲むよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項４】
前記第１のソルヴェントトラップの上部面は、前記ノズルの下部面に非常に近接するよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項５】
前記ソルヴェント供給ポートの上部面は、前記第１のソルヴェントトラップの上部面より上位または同じ高さに備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項６】
前記ソルヴェント供給ポートは、前記ノズル下部の端部から垂直方向で最大２０ｍｍ内に備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項７】
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルに近接して備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項８】
前記第１のソルヴェントトラップでトラップされた前記ソルヴェントの蒸気は、前記ノズルに残った感光物質の硬化及び前記感光パウダへの変換の少なくとも一方を防止することを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項９】
前記第１のソルヴェントトラップは前記第１のソルヴェントトラップ、前記ソルヴェントパイプライン及び前記第２のソルヴェントトラップを含むソルヴェントバス内に、前記ソルヴェント供給ポートから投入された所定量の前記ソルヴェントをトラップするよう備えられることを特徴とする請求項１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１０】
少なくとも一つのノズルを貯蔵する蓋と、
前記ソルヴェントを投入するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートからソルヴェントを受け入れ、ソルヴェントドレイン部に前記ソルヴェントを案内するためのソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェント供給ポートから投入された前記ソルヴェントの所定量を貯蔵するため前記ノズル下側に備えられて前記ソルヴェント供給ポートに結合され、前記ソルヴェントパイプラインの上部面に隣接した高さに備えられ、当該ソルヴェントパイプラインの上部を囲む第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは、前記ノズルに感光パウダの生成を防止するため備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項１１】
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるため、前記第１のソルヴェントトラップ下側に備えられる第２のソルヴェントトラップをさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１２】
前記ソルヴェント供給ポートは、垂直方向で前記第２のソルヴェントトラップより前記ノズルにさらに近接して備えられることを特徴とする請求項１１に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１３】
前記蓋のノズルホルダは前記ノズルが前記第１のソルヴェントトラップにトラップされた前記ソルヴェントから生じたソルヴェント蒸気に露出されるよう開口を画成する第１及び第２の側壁を含むことを特徴とする請求項１０に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２の側壁は、前記ソルヴェント蒸気に前記ノズルの露出を促進するため外方向に向かうよう傾斜するようにして前記開口の大きい開口部を備えるようにすることを特徴とする請求項１３に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１５】
前記蓋は前記第１及び第２の側壁を含むノズルホルダを含むことを特徴とする請求項１４に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１６】
前記第２のソルヴェントトラップから前記ソルヴェントを受け入れるためのソルヴェントドレイン部をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１７】
ノズルを貯蔵するための一つ以上のノズルホルダを備えた蓋と、
ソルヴェントをソルヴェントドレイン部に案内するため前記蓋の下側に備えられるソルヴェントパイプラインと、
前記ソルヴェントを供給するためのソルヴェント供給ポートと、
前記ソルヴェント供給ポートから前記ソルヴェントを受け入れ前記ノズルに残った感光物質の硬化を防止するよう、前記ソルヴェントを盛り込んでおくために備えられ、前記ノズル下側に備えられる第１のソルヴェントトラップとを含み、
前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが、前記ノズル下部の端部から最大４０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする感光物質コーティング用装置。
【請求項１８】
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大３０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項１９】
前記蓋は外方向に拡張される前記ノズルのための開口を備え、前記第１のソルヴェントトラップは盛り込まれた前記ソルヴェントが前記ノズル下部の端部から最大２０ｍｍ以内に備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【請求項２０】
前記ソルヴェントパイプラインを介し前記第１のソルヴェントトラップから受け入れられた前記ソルヴェントをトラップするため、前記ソルヴェントパイプラインに結合された第２のソルヴェントトラップを含み、
前記ソルヴェント供給ポートは、前記第２のソルヴェントトラップより前記第１のソルヴェントトラップに近接するよう備えられることを特徴とする請求項１７に記載の感光物質コーティング用装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００７−１９６２１０（Ｐ２００７−１９６２１０Ａ）
【公開日】平成１９年８月９日（２００７．８．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１４５１６７（Ｐ２００６−１４５１６７）
【出願日】平成１８年５月２５日（２００６．５．２５）
【出願人】（５９１０２４１１１）株式会社ハイニックスセミコンダクター (1,189)
【氏名又は名称原語表記】ＨＹＮＩＸ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＩＮＣ．
【住所又は居所原語表記】Ｓａｎ １３６−１，Ａｍｉ−Ｒｉ，Ｂｕｂａｌ−Ｅｕｐ，Ｉｃｈｏｎ−Ｓｈｉ，Ｋｙｏｕｎｇｋｉ−Ｄｏ，Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年８月９日（２００７．８．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月２５日（２００６．５．２５）
【出願人】（５９１０２４１１１）株式会社ハイニックスセミコンダクター (1,189)
【氏名又は名称原語表記】ＨＹＮＩＸ ＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＯＲ ＩＮＣ．
【住所又は居所原語表記】Ｓａｎ １３６−１，Ａｍｉ−Ｒｉ，Ｂｕｂａｌ−Ｅｕｐ，Ｉｃｈｏｎ−Ｓｈｉ，Ｋｙｏｕｎｇｋｉ−Ｄｏ，Ｋｏｒｅａ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]