担体および付着量測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
【課題】担体に付着する物質（触媒および助触媒成分など）の付着量（濃度など）を測定する。
【解決手段】担体1は、触媒24が付着する付着孔12と、触媒24が付着していない非付着孔14とを備え、付着孔12と非付着孔14との延伸方向とが平行であり（第一端面1aと垂直）、第一端面1aおよび第二端面1bに開口する。付着量測定装置が、担体1に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数のテラヘルツ波を出力する電磁波出力器2と、担体1を透過したテラヘルツ波を検出する電磁波検出器4と、電磁波検出器4の検出結果に基づき、非付着孔14におけるテラヘルツ波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部7と、電磁波検出器4の検出結果および参照値導出部7の導出結果に基づき、付着孔12に存在する触媒24の重量または濃度を導出する付着量導出部8とを備える。
【解決手段】担体1は、触媒24が付着する付着孔12と、触媒24が付着していない非付着孔14とを備え、付着孔12と非付着孔14との延伸方向とが平行であり（第一端面1aと垂直）、第一端面1aおよび第二端面1bに開口する。付着量測定装置が、担体1に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数のテラヘルツ波を出力する電磁波出力器2と、担体1を透過したテラヘルツ波を検出する電磁波検出器4と、電磁波検出器4の検出結果に基づき、非付着孔14におけるテラヘルツ波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部7と、電磁波検出器4の検出結果および参照値導出部7の導出結果に基づき、付着孔12に存在する触媒24の重量または濃度を導出する付着量導出部8とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波（周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下）（例えば、テラヘルツ波（例えば、周波数が0.03[THz]以上10[THz]以下））を使用した、触媒または助触媒成分を付着させた担体における触媒または助触媒成分の濃度測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、触媒または助触媒成分の溶液または懸濁液に、セラミック製の担体を浸して、担体に触媒または助触媒成分を付着させ、自動車等の酸化触媒や燃料電池の電極を得ている。
【０００３】
なお、出願人は、担体における触媒または助触媒成分の付着量（濃度など）を測定することを記載した先行技術文献は知らない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、担体に付着する物質（触媒および助触媒成分など）の付着量（濃度など）を測定することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる担体は、所定の成分が付着する付着孔と、前記所定の成分が付着していない非付着孔とを備えるように構成される。
【０００６】
上記のように構成された担体によれば、付着孔には、所定の成分が付着する。非付着孔には、前記所定の成分が付着していない。
【０００７】
なお、本発明にかかる担体は、前記付着孔の延伸方向と、前記非付着孔の延伸方向とが平行であるようにしてもよい。
【０００８】
なお、本発明にかかる担体は、互いに平行な二つの端面を備え、前記付着孔および前記非付着孔が、前記二つの端面に開口するようにしてもよい。
【０００９】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部および前記第二開口部を閉鎖する工程と、前記担体を、前記所定の成分が存在する液体に浸す工程とを備えた担体製造方法である。
【００１０】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部を閉鎖する工程と、前記第一端面に向かって、前記所定の成分が存在する液体を散布する工程とを備えた担体製造方法である。
【００１１】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、前記第二開口部が開口する第二端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第二開口部を閉鎖する工程と、前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記第二端面を越え、前記第一端面より低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程とを備えた担体製造方法である。
【００１２】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部よりも低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程を備えた担体製造方法である。
【００１３】
本発明にかかる付着量測定装置は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出部とを備えるように構成される。
【００１４】
上記のように構成された付着量測定装置によれば、電磁波出力器が、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する。電磁波検出器が、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する。参照値導出部が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する。付着量導出部が、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する。
【００１５】
なお、本発明にかかる付着量測定装置は、前記測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線を回転軸として、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を回転させる回転駆動部と、前記測定用電磁波の進行方向および前記回転軸と垂直な方向に、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を移動させる直線駆動部と、を備え、前記回転駆動部および前記直線駆動部を作動させながら、前記電磁波検出器による検出を行うようにしてもよい。
【００１６】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えた付着量測定方法である。
【００１７】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記付着量測定処理が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えたプログラムである。
【００１８】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記付着量測定処理が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えた記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる担体１の正面図（図１（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図１（ｂ））である。
【図２】第一の実施形態にかかる付着量測定装置の構成を示す平面図（図２（ａ））、部分正面図（図２（ｂ））である。
【図３】第二の実施形態にかかる触媒２４を付着させる前の担体１の正面図（図３（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図３（ｂ））である。
【図４】第二の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【図５】第三の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【図６】第四の実施形態にかかる担体１の部分断面図であり、溶液１１０に浸しているときの担体１の部分断面図（図６（ａ）：図３（ｂ）に相当）、溶液１１０に浸した後の担体１の部分断面図（図６（ｂ）：図３（ｂ）に相当）である。
【図７】第五の実施形態にかかる担体１を溶液１１０に浸しているときの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２１】
第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる担体１の正面図（図１（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図１（ｂ））である。
【００２２】
第一の実施形態にかかる担体１は、第一端面１ａ、第二端面１ｂ（図１（ｂ）参照）を備える。第一端面１ａおよび第二端面１ｂは、互いに平行である。第一端面１ａおよび第二端面１ｂは円形（図１（ａ）参照）であり、担体１自体は円筒形をしている。担体１は、セラミックでできている。
【００２３】
第一の実施形態にかかる担体１は、さらに、付着孔１２、非付着孔１４を備える。図１（ａ）においては、第一端面１ａの中央付近のみ、付着孔１２および非付着孔１４を図示している（図３および図７も同様）。
【００２４】
なお、図１（ａ）においては、非付着孔１４が第一端面１ａのほぼ中央に位置している。しかし、非付着孔１４が第一端面１ａのほぼ中央に位置していなくてもよく、第一端面１ａの周辺に近い部分に位置していてもよい。
【００２５】
付着孔１２と非付着孔１４とは、隔壁２２により隔てられている。
【００２６】
付着孔１２には（付着孔１２を包囲する隔壁２２の内面には）、所定の成分が付着する。付着した所定の成分が、例えば、触媒２４である。非付着孔１４には、上記の所定の成分が付着していない。付着孔１２に付着した触媒（所定の成分）２４は、付着孔１２を通過する排気ガスなどを浄化するための触媒として作用する。非付着孔１４には触媒（所定の成分）２４が付着していないので、非付着孔１４において排気ガスの浄化などがなされることは期待できない。
【００２７】
なお、図１においては、触媒２４の付着の有無によって、付着孔１２と非付着孔１４とを区別している。ここで、担体１に付着させる触媒および助触媒などは、一種類に限らず、複数種類あってよい。例えば、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということも考えられる。
【００２８】
付着孔１２の延伸方向と、非付着孔１４の延伸方向とは平行であり、ともに、第一端面１ａおよび第二端面１ｂに垂直である。
【００２９】
付着孔１２および非付着孔１４は、第一端面１ａにも開口し、第二端面１ｂにも開口する。すなわち、付着孔１２および非付着孔１４は、担体１を貫通する。
【００３０】
なお、非付着孔１４の個数は、付着孔１２の個数よりも、極めて少ないものとする。これにより、非付着孔１４の存在による担体１の性能（例えば、排気ガスの浄化など）の劣化は無視し得る。
【００３１】
次に、第一の実施形態にかかる担体１の使用方法を説明する。
【００３２】
第一端面１ａから、排気ガスなどが付着孔１２に流入する。すると、付着孔１２（付着孔１２を包囲する隔壁２２の付着孔１２側の面）に付着した触媒２４により化学反応が生じ、排気ガスが浄化されながら、付着孔１２を通過し、第二端面１ｂから排気ガスが排出される。
【００３３】
ただし、担体１を上記のように使用する前に（または、使用後に）、担体１に付着した触媒２４の付着量を測定する。
【００３４】
図２は、第一の実施形態にかかる付着量測定装置の構成を示す平面図（図２（ａ））、部分正面図（図２（ｂ））である。第一の実施形態にかかる付着量測定装置は、電磁波出力器２、電磁波検出器４、走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６、参照値導出部７、付着量導出部８を備える。
【００３５】
図２（ａ）においては、担体１のうち非付着孔１４の部分（図１（ａ）参照：真中の３×３個の非付着孔１４）を参照領域Ａ０とし、参照領域Ａ０以外の領域を捕集領域Ａ１とする。なお、図２（ｂ）においては、担体１、電磁波出力器２、電磁波検出器４および走査用ステージ６を図示し、参照値導出部７および付着量導出部８は図示省略する。
【００３６】
電磁波出力器２は、担体１に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波（以下、「測定用電磁波」という）を出力する。なお、担体１に向けて出力される測定用電磁波の周波数は、テラヘルツ波帯（例えば、0.03[THz]以上10[THz]以下）を含むものである。そこで、本発明の実施形態においては、測定用電磁波の一例として、テラヘルツ波を想定している。
【００３７】
担体１に向けて出力されたテラヘルツ波は担体１を透過する。電磁波検出器４は、担体１を透過した測定用電磁波（例えば、テラヘルツ波）を検出する。
【００３８】
走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６は、測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線Ｚを回転軸として、担体１を回転させる（θ方向への移動）。なお、電磁波出力器２および電磁波検出器４を、直線Ｚを回転軸として、回転させてもよい（測定用電磁波の進行方向の回転に相当）。
【００３９】
走査用ステージ６は、測定用電磁波の進行方向および回転軸Ｚと垂直なＸ方向に、担体１を移動させる（Ｘ方向への移動）。なお、電磁波出力器２および電磁波検出器４を、Ｘ方向に移動させてもよい（測定用電磁波の進行方向の移動に相当）。
【００４０】
走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６を作動させながら、電磁波検出器４による検出を行う。
【００４１】
参照値導出部７は、電磁波検出器４の検出結果に基づき、非付着孔１４におけるテラヘルツ波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する。非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率などは、周知のＣＴ(computer tomography)により導出できる。
【００４２】
付着量導出部８は、電磁波検出器４の検出結果および参照値導出部７の導出結果に基づき、付着孔１２に存在する触媒２４の重量（単位は、例えば[g]）または濃度（単位は、例えば[g/l]（１リットルあたりの重量））を導出する。
【００４３】
非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率を基に、付着孔１２に存在する触媒２４の濃度を、付着量導出部８により導出する例を説明する。
【００４４】
触媒２４の濃度０のときのテラヘルツ波の吸収率をα０、触媒２４の濃度に対するテラヘルツ波の吸収率の増加率をβ、付着孔１２におけるテラヘルツ波の吸収率をαとする。すると、触媒２４の濃度＝（α−α０）／βとなる。なお、βは予め求めておき、付着量導出部８に記録しておく。
【００４５】
非付着孔１４には、触媒２４が付着していないので、触媒２４の濃度を０とみなすことができる。よって、参照値導出部７により導出された非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率をα０とみなすことができる。よって、付着量導出部８は、参照値導出部７からα０を取得することができる。
【００４６】
また、付着量導出部８は、電磁波検出器４の検出結果から、付着孔１２におけるテラヘルツ波の吸収率αの分布を、周知のＣＴにより導出する。
【００４７】
さらに、付着量導出部８は、β、α０およびαを、（α−α０）／βに代入し、付着孔１２に存在する触媒２４の濃度の分布を導出する。
【００４８】
なお、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということも考えられると、先に説明した。この場合は、付着孔１２に存在する触媒Ｃの濃度の分布を導出することになる。
【００４９】
なお、参照値導出部７および付着量導出部８は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、参照値導出部７および付着量導出部８を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【００５０】
第一の実施形態によれば、非付着孔１４は、測定対象である担体１の内部に存在するものなので、時間の経過に伴う誤差および担体１の個体差による誤差が無視できる。よって、触媒２４が付着する担体１における触媒２４の濃度が０のときのテラヘルツ波の特性値（例えば、吸収率）を正確に測定することができる。これにより、担体１の触媒２４の濃度の分布を正確に導出することができる。
【００５１】
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第一端面１ａおよび第二端面１ｂに閉鎖部材３０を載せる工程を有するものである。
【００５２】
図３は、第二の実施形態にかかる触媒２４を付着させる前の担体１の正面図（図３（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図３（ｂ））である。
【００５３】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００５４】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００５５】
（工程２−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第一開口部１０ａおよび第二開口部１０ｂが、閉鎖部材３０により閉鎖される。図３（ａ）においては第一端面１ａに載せられた閉鎖部材３０を図示したが、第二端面１ｂにも同様に閉鎖部材３０が載せられている。
【００５６】
（工程２−２）浸す工程
図４は、第二の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【００５７】
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。溶液１１０には、自動車に使用する触媒（三元触媒、酸化触媒、還元触媒など）または助触媒が、溶質として溶け込んでいる。または、溶液には、燃料電池の電極に使用する触媒または助触媒が、溶質として溶け込んでいる。これは、第三〜第五の実施形態における溶液１１０も同様である。
【００５８】
なお、本発明の実施形態においては、溶液１１０の溶質が触媒２４であるとして説明を行う。
【００５９】
閉鎖部材３０を第一端面１ａおよび第二端面１ｂに載せた後で、担体１を溶液１１０に浸す。なお、溶液１１０の液面は、第一端面１ａおよび第二端面１ｂよりも高いことが好ましい。
【００６０】
すると、閉鎖部材３０により、第一開口部１０ａおよび第二開口部１０ｂが閉鎖されている孔１０（図４における真中３個の孔１０）には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００６１】
一方、それ以外の孔１０（図４における端の２個の孔１０）には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【００６２】
このようにして製造された担体１は、図１に示すような担体１となる。
【００６３】
なお、上記の工程２−１および工程２−２以外の工程で、閉鎖部材３０による閉鎖を行わないで、溶液１１０に担体１を浸すことも可能である。これにより、付着孔１２および非付着孔１４に、複数種類の触媒や助触媒を付着させることができる（第三〜第五の実施形態においても同様）。
【００６４】
例えば、工程２−２においては触媒Ｃを溶質とした溶液１１０を用いるとする。しかも、閉鎖部材３０による閉鎖を行わないで担体１を浸す溶液１１０の溶質は触媒ＡとＢであるとする。すると、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということになる。
【００６５】
なお、本発明の実施形態においては、溶液１１０の溶質が触媒２４であるとして説明を行ってきた。しかし、溶液１１０のかわりに、触媒２４が分散している懸濁液を使用してもよい。すなわち、触媒（所定の成分）２４が存在する液体であれば、溶液１１０でも、懸濁液でも使用できる（第三〜第五の実施形態においても同様）。
【００６６】
第三の実施形態
第三の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第一端面１ａに閉鎖部材３０を載せる工程および溶液を散布する工程を有するものである。
【００６７】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００６８】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００６９】
図５は、第三の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【００７０】
（工程３−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第一開口部１０ａが、閉鎖部材３０により閉鎖される。ただし、第二端面１ｂには閉鎖部材３０を載せる必要は無い。
【００７１】
（工程３−２）散布する工程
触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液を、上側から、第一端面１ａに向かって散布する。
【００７２】
すると、閉鎖部材３０により、第一開口部１０ａが閉鎖されている孔１０（図５における真中３個の孔１０）には、溶液が進入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００７３】
一方、それ以外の孔１０（図４における端の２個の孔１０）には、溶液が進入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【００７４】
このようにして製造された担体１は、図１に示すような担体１となる。
【００７５】
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第二端面１ｂに閉鎖部材３０を載せる工程および溶液に浸す工程を有するものである。
【００７６】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００７７】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００７８】
（工程４−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第二開口部１０ｂが、閉鎖部材３０により閉鎖される。ただし、第一端面１ａには閉鎖部材３０を載せる必要は無い。
【００７９】
（工程４−２）浸す工程
図６は、第四の実施形態にかかる担体１の部分断面図であり、溶液１１０に浸しているときの担体１の部分断面図（図６（ａ）：図３（ｂ）に相当）、溶液１１０に浸した後の担体１の部分断面図（図６（ｂ）：図３（ｂ）に相当）である。
【００８０】
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。閉鎖部材３０を第二端面１ｂに載せた後で、担体１を溶液１１０に浸す。なお、溶液１１０の液面は、第二端面１ｂを越え、第一端面１ａより低くなるようにする。
【００８１】
すると、閉鎖部材３０により、第二開口部１０ｂが閉鎖されている孔１０（図６（ａ）における真中３個の孔１０）には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００８２】
一方、それ以外の孔１０（図６（ａ）における端の２個の孔１０）には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。ただし、溶液１１０の液面が孔１０の途中までしか達しないので、触媒２４も孔１０の途中までしか達しない（図６（ｂ）参照）。
【００８３】
このようにして製造された担体１を、第一端面１ａから見た状態は、図１（ａ）と同様である。ただし、上記のようにして製造された担体１の部分断面図は、図６（ｂ）のようになる。非付着孔１４の断面は、図１（ａ）と同様である。しかし、付着孔１２の断面は、図１（ａ）と異なり、触媒２４が付着孔１２（を包囲する隔壁２２）の途中までしか達しない。
【００８４】
第五の実施形態
第五の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１を横倒しにするものである。
【００８５】
図７は、第五の実施形態にかかる担体１を溶液１１０に浸しているときの正面図である。
【００８６】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００８７】
孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００８８】
（工程５−１）浸す工程
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。溶液１１０の液面が、複数の孔１０のうちの一部の第一開口部１０ａよりも低くなるように、担体１を溶液１００に浸す。このようにするためには、例えば、担体１を横倒しにして、溶液１１０に浸すことが考えられる。
【００８９】
すると、溶液１１０の液面よりも上の孔１０には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００９０】
一方、溶液１１０の液面よりも下の孔１０には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【符号の説明】
【００９１】
１ 担体
１ａ 第一端面
１ｂ 第二端面
１０ 孔
１０ａ 第一開口部
１０ｂ 第二開口部
１２ 付着孔
１４ 非付着孔
２２ 隔壁
２４ 触媒（所定の成分）
３０ 閉鎖部材
１００ 容器
１１０ 溶液
２ 電磁波出力器
４ 電磁波検出器
６ 走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）
７ 参照値導出部
８ 付着量導出部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波（周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下）（例えば、テラヘルツ波（例えば、周波数が0.03[THz]以上10[THz]以下））を使用した、触媒または助触媒成分を付着させた担体における触媒または助触媒成分の濃度測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、触媒または助触媒成分の溶液または懸濁液に、セラミック製の担体を浸して、担体に触媒または助触媒成分を付着させ、自動車等の酸化触媒や燃料電池の電極を得ている。
【０００３】
なお、出願人は、担体における触媒または助触媒成分の付着量（濃度など）を測定することを記載した先行技術文献は知らない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、担体に付着する物質（触媒および助触媒成分など）の付着量（濃度など）を測定することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明にかかる担体は、所定の成分が付着する付着孔と、前記所定の成分が付着していない非付着孔とを備えるように構成される。
【０００６】
上記のように構成された担体によれば、付着孔には、所定の成分が付着する。非付着孔には、前記所定の成分が付着していない。
【０００７】
なお、本発明にかかる担体は、前記付着孔の延伸方向と、前記非付着孔の延伸方向とが平行であるようにしてもよい。
【０００８】
なお、本発明にかかる担体は、互いに平行な二つの端面を備え、前記付着孔および前記非付着孔が、前記二つの端面に開口するようにしてもよい。
【０００９】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部および前記第二開口部を閉鎖する工程と、前記担体を、前記所定の成分が存在する液体に浸す工程とを備えた担体製造方法である。
【００１０】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部を閉鎖する工程と、前記第一端面に向かって、前記所定の成分が存在する液体を散布する工程とを備えた担体製造方法である。
【００１１】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、前記第二開口部が開口する第二端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記複数の孔のうちの一部の前記第二開口部を閉鎖する工程と、前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記第二端面を越え、前記第一端面より低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程とを備えた担体製造方法である。
【００１２】
本発明は、本発明にかかる担体を製造する担体製造方法であって、担体が、第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、前記第一開口部が開口する第一端面と、を備え、前記担体製造方法が、前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部よりも低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程を備えた担体製造方法である。
【００１３】
本発明にかかる付着量測定装置は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出部とを備えるように構成される。
【００１４】
上記のように構成された付着量測定装置によれば、電磁波出力器が、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する。電磁波検出器が、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する。参照値導出部が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する。付着量導出部が、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する。
【００１５】
なお、本発明にかかる付着量測定装置は、前記測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線を回転軸として、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を回転させる回転駆動部と、前記測定用電磁波の進行方向および前記回転軸と垂直な方向に、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を移動させる直線駆動部と、を備え、前記回転駆動部および前記直線駆動部を作動させながら、前記電磁波検出器による検出を行うようにしてもよい。
【００１６】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定方法であって、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えた付着量測定方法である。
【００１７】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記付着量測定処理が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えたプログラムである。
【００１８】
本発明は、本発明にかかる担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記付着量測定処理が、前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程とを備えた記録媒体である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一の実施形態にかかる担体１の正面図（図１（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図１（ｂ））である。
【図２】第一の実施形態にかかる付着量測定装置の構成を示す平面図（図２（ａ））、部分正面図（図２（ｂ））である。
【図３】第二の実施形態にかかる触媒２４を付着させる前の担体１の正面図（図３（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図３（ｂ））である。
【図４】第二の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【図５】第三の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【図６】第四の実施形態にかかる担体１の部分断面図であり、溶液１１０に浸しているときの担体１の部分断面図（図６（ａ）：図３（ｂ）に相当）、溶液１１０に浸した後の担体１の部分断面図（図６（ｂ）：図３（ｂ）に相当）である。
【図７】第五の実施形態にかかる担体１を溶液１１０に浸しているときの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２１】
第一の実施形態
図１は、本発明の第一の実施形態にかかる担体１の正面図（図１（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図１（ｂ））である。
【００２２】
第一の実施形態にかかる担体１は、第一端面１ａ、第二端面１ｂ（図１（ｂ）参照）を備える。第一端面１ａおよび第二端面１ｂは、互いに平行である。第一端面１ａおよび第二端面１ｂは円形（図１（ａ）参照）であり、担体１自体は円筒形をしている。担体１は、セラミックでできている。
【００２３】
第一の実施形態にかかる担体１は、さらに、付着孔１２、非付着孔１４を備える。図１（ａ）においては、第一端面１ａの中央付近のみ、付着孔１２および非付着孔１４を図示している（図３および図７も同様）。
【００２４】
なお、図１（ａ）においては、非付着孔１４が第一端面１ａのほぼ中央に位置している。しかし、非付着孔１４が第一端面１ａのほぼ中央に位置していなくてもよく、第一端面１ａの周辺に近い部分に位置していてもよい。
【００２５】
付着孔１２と非付着孔１４とは、隔壁２２により隔てられている。
【００２６】
付着孔１２には（付着孔１２を包囲する隔壁２２の内面には）、所定の成分が付着する。付着した所定の成分が、例えば、触媒２４である。非付着孔１４には、上記の所定の成分が付着していない。付着孔１２に付着した触媒（所定の成分）２４は、付着孔１２を通過する排気ガスなどを浄化するための触媒として作用する。非付着孔１４には触媒（所定の成分）２４が付着していないので、非付着孔１４において排気ガスの浄化などがなされることは期待できない。
【００２７】
なお、図１においては、触媒２４の付着の有無によって、付着孔１２と非付着孔１４とを区別している。ここで、担体１に付着させる触媒および助触媒などは、一種類に限らず、複数種類あってよい。例えば、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということも考えられる。
【００２８】
付着孔１２の延伸方向と、非付着孔１４の延伸方向とは平行であり、ともに、第一端面１ａおよび第二端面１ｂに垂直である。
【００２９】
付着孔１２および非付着孔１４は、第一端面１ａにも開口し、第二端面１ｂにも開口する。すなわち、付着孔１２および非付着孔１４は、担体１を貫通する。
【００３０】
なお、非付着孔１４の個数は、付着孔１２の個数よりも、極めて少ないものとする。これにより、非付着孔１４の存在による担体１の性能（例えば、排気ガスの浄化など）の劣化は無視し得る。
【００３１】
次に、第一の実施形態にかかる担体１の使用方法を説明する。
【００３２】
第一端面１ａから、排気ガスなどが付着孔１２に流入する。すると、付着孔１２（付着孔１２を包囲する隔壁２２の付着孔１２側の面）に付着した触媒２４により化学反応が生じ、排気ガスが浄化されながら、付着孔１２を通過し、第二端面１ｂから排気ガスが排出される。
【００３３】
ただし、担体１を上記のように使用する前に（または、使用後に）、担体１に付着した触媒２４の付着量を測定する。
【００３４】
図２は、第一の実施形態にかかる付着量測定装置の構成を示す平面図（図２（ａ））、部分正面図（図２（ｂ））である。第一の実施形態にかかる付着量測定装置は、電磁波出力器２、電磁波検出器４、走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６、参照値導出部７、付着量導出部８を備える。
【００３５】
図２（ａ）においては、担体１のうち非付着孔１４の部分（図１（ａ）参照：真中の３×３個の非付着孔１４）を参照領域Ａ０とし、参照領域Ａ０以外の領域を捕集領域Ａ１とする。なお、図２（ｂ）においては、担体１、電磁波出力器２、電磁波検出器４および走査用ステージ６を図示し、参照値導出部７および付着量導出部８は図示省略する。
【００３６】
電磁波出力器２は、担体１に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波（以下、「測定用電磁波」という）を出力する。なお、担体１に向けて出力される測定用電磁波の周波数は、テラヘルツ波帯（例えば、0.03[THz]以上10[THz]以下）を含むものである。そこで、本発明の実施形態においては、測定用電磁波の一例として、テラヘルツ波を想定している。
【００３７】
担体１に向けて出力されたテラヘルツ波は担体１を透過する。電磁波検出器４は、担体１を透過した測定用電磁波（例えば、テラヘルツ波）を検出する。
【００３８】
走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６は、測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線Ｚを回転軸として、担体１を回転させる（θ方向への移動）。なお、電磁波出力器２および電磁波検出器４を、直線Ｚを回転軸として、回転させてもよい（測定用電磁波の進行方向の回転に相当）。
【００３９】
走査用ステージ６は、測定用電磁波の進行方向および回転軸Ｚと垂直なＸ方向に、担体１を移動させる（Ｘ方向への移動）。なお、電磁波出力器２および電磁波検出器４を、Ｘ方向に移動させてもよい（測定用電磁波の進行方向の移動に相当）。
【００４０】
走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）６を作動させながら、電磁波検出器４による検出を行う。
【００４１】
参照値導出部７は、電磁波検出器４の検出結果に基づき、非付着孔１４におけるテラヘルツ波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する。非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率などは、周知のＣＴ(computer tomography)により導出できる。
【００４２】
付着量導出部８は、電磁波検出器４の検出結果および参照値導出部７の導出結果に基づき、付着孔１２に存在する触媒２４の重量（単位は、例えば[g]）または濃度（単位は、例えば[g/l]（１リットルあたりの重量））を導出する。
【００４３】
非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率を基に、付着孔１２に存在する触媒２４の濃度を、付着量導出部８により導出する例を説明する。
【００４４】
触媒２４の濃度０のときのテラヘルツ波の吸収率をα０、触媒２４の濃度に対するテラヘルツ波の吸収率の増加率をβ、付着孔１２におけるテラヘルツ波の吸収率をαとする。すると、触媒２４の濃度＝（α−α０）／βとなる。なお、βは予め求めておき、付着量導出部８に記録しておく。
【００４５】
非付着孔１４には、触媒２４が付着していないので、触媒２４の濃度を０とみなすことができる。よって、参照値導出部７により導出された非付着孔１４の内のテラヘルツ波の吸収率をα０とみなすことができる。よって、付着量導出部８は、参照値導出部７からα０を取得することができる。
【００４６】
また、付着量導出部８は、電磁波検出器４の検出結果から、付着孔１２におけるテラヘルツ波の吸収率αの分布を、周知のＣＴにより導出する。
【００４７】
さらに、付着量導出部８は、β、α０およびαを、（α−α０）／βに代入し、付着孔１２に存在する触媒２４の濃度の分布を導出する。
【００４８】
なお、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということも考えられると、先に説明した。この場合は、付着孔１２に存在する触媒Ｃの濃度の分布を導出することになる。
【００４９】
なお、参照値導出部７および付着量導出部８は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、参照値導出部７および付着量導出部８を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の機能を実現できる。
【００５０】
第一の実施形態によれば、非付着孔１４は、測定対象である担体１の内部に存在するものなので、時間の経過に伴う誤差および担体１の個体差による誤差が無視できる。よって、触媒２４が付着する担体１における触媒２４の濃度が０のときのテラヘルツ波の特性値（例えば、吸収率）を正確に測定することができる。これにより、担体１の触媒２４の濃度の分布を正確に導出することができる。
【００５１】
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第一端面１ａおよび第二端面１ｂに閉鎖部材３０を載せる工程を有するものである。
【００５２】
図３は、第二の実施形態にかかる触媒２４を付着させる前の担体１の正面図（図３（ａ））、担体１の部分IIの側面断面図（図３（ｂ））である。
【００５３】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００５４】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００５５】
（工程２−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第一開口部１０ａおよび第二開口部１０ｂが、閉鎖部材３０により閉鎖される。図３（ａ）においては第一端面１ａに載せられた閉鎖部材３０を図示したが、第二端面１ｂにも同様に閉鎖部材３０が載せられている。
【００５６】
（工程２−２）浸す工程
図４は、第二の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【００５７】
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。溶液１１０には、自動車に使用する触媒（三元触媒、酸化触媒、還元触媒など）または助触媒が、溶質として溶け込んでいる。または、溶液には、燃料電池の電極に使用する触媒または助触媒が、溶質として溶け込んでいる。これは、第三〜第五の実施形態における溶液１１０も同様である。
【００５８】
なお、本発明の実施形態においては、溶液１１０の溶質が触媒２４であるとして説明を行う。
【００５９】
閉鎖部材３０を第一端面１ａおよび第二端面１ｂに載せた後で、担体１を溶液１１０に浸す。なお、溶液１１０の液面は、第一端面１ａおよび第二端面１ｂよりも高いことが好ましい。
【００６０】
すると、閉鎖部材３０により、第一開口部１０ａおよび第二開口部１０ｂが閉鎖されている孔１０（図４における真中３個の孔１０）には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００６１】
一方、それ以外の孔１０（図４における端の２個の孔１０）には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【００６２】
このようにして製造された担体１は、図１に示すような担体１となる。
【００６３】
なお、上記の工程２−１および工程２−２以外の工程で、閉鎖部材３０による閉鎖を行わないで、溶液１１０に担体１を浸すことも可能である。これにより、付着孔１２および非付着孔１４に、複数種類の触媒や助触媒を付着させることができる（第三〜第五の実施形態においても同様）。
【００６４】
例えば、工程２−２においては触媒Ｃを溶質とした溶液１１０を用いるとする。しかも、閉鎖部材３０による閉鎖を行わないで担体１を浸す溶液１１０の溶質は触媒ＡとＢであるとする。すると、触媒Ａ、Ｂ、Ｃを付着孔１２に付着させるが、非付着孔１４には触媒Ａ、Ｂのみを付着させ、触媒Ｃを付着させないということになる。
【００６５】
なお、本発明の実施形態においては、溶液１１０の溶質が触媒２４であるとして説明を行ってきた。しかし、溶液１１０のかわりに、触媒２４が分散している懸濁液を使用してもよい。すなわち、触媒（所定の成分）２４が存在する液体であれば、溶液１１０でも、懸濁液でも使用できる（第三〜第五の実施形態においても同様）。
【００６６】
第三の実施形態
第三の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第一端面１ａに閉鎖部材３０を載せる工程および溶液を散布する工程を有するものである。
【００６７】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００６８】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００６９】
図５は、第三の実施形態にかかる担体１の部分断面図（図３（ｂ）に相当）である。
【００７０】
（工程３−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第一開口部１０ａが、閉鎖部材３０により閉鎖される。ただし、第二端面１ｂには閉鎖部材３０を載せる必要は無い。
【００７１】
（工程３−２）散布する工程
触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液を、上側から、第一端面１ａに向かって散布する。
【００７２】
すると、閉鎖部材３０により、第一開口部１０ａが閉鎖されている孔１０（図５における真中３個の孔１０）には、溶液が進入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００７３】
一方、それ以外の孔１０（図４における端の２個の孔１０）には、溶液が進入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【００７４】
このようにして製造された担体１は、図１に示すような担体１となる。
【００７５】
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１の第二端面１ｂに閉鎖部材３０を載せる工程および溶液に浸す工程を有するものである。
【００７６】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００７７】
複数の孔１０の端面１ａにおける配置は、図１（ａ）に示す配置において付着孔１２および非付着孔１４を孔１０に置き換えたものと同じである。孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００７８】
（工程４−１）閉鎖する工程
複数の孔１０のうちの一部（図１（ａ）および図３（ａ）参照：真中の３×３個の孔１０）の第二開口部１０ｂが、閉鎖部材３０により閉鎖される。ただし、第一端面１ａには閉鎖部材３０を載せる必要は無い。
【００７９】
（工程４−２）浸す工程
図６は、第四の実施形態にかかる担体１の部分断面図であり、溶液１１０に浸しているときの担体１の部分断面図（図６（ａ）：図３（ｂ）に相当）、溶液１１０に浸した後の担体１の部分断面図（図６（ｂ）：図３（ｂ）に相当）である。
【００８０】
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。閉鎖部材３０を第二端面１ｂに載せた後で、担体１を溶液１１０に浸す。なお、溶液１１０の液面は、第二端面１ｂを越え、第一端面１ａより低くなるようにする。
【００８１】
すると、閉鎖部材３０により、第二開口部１０ｂが閉鎖されている孔１０（図６（ａ）における真中３個の孔１０）には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００８２】
一方、それ以外の孔１０（図６（ａ）における端の２個の孔１０）には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。ただし、溶液１１０の液面が孔１０の途中までしか達しないので、触媒２４も孔１０の途中までしか達しない（図６（ｂ）参照）。
【００８３】
このようにして製造された担体１を、第一端面１ａから見た状態は、図１（ａ）と同様である。ただし、上記のようにして製造された担体１の部分断面図は、図６（ｂ）のようになる。非付着孔１４の断面は、図１（ａ）と同様である。しかし、付着孔１２の断面は、図１（ａ）と異なり、触媒２４が付着孔１２（を包囲する隔壁２２）の途中までしか達しない。
【００８４】
第五の実施形態
第五の実施形態は、第一の実施形態にかかる担体１の製造方法であり、担体１を横倒しにするものである。
【００８５】
図７は、第五の実施形態にかかる担体１を溶液１１０に浸しているときの正面図である。
【００８６】
触媒２４を付着させる前の担体１は、複数の孔１０を備える。孔１０は、第一開口部１０ａと、第一開口部１０ａとは反対側の第二開口部１０ｂとを有する。第一開口部１０ａは、第一端面１ａに開口する。第二開口部１０ｂは、第二端面１ｂに開口する。
【００８７】
孔１０に触媒２４が付着したものが付着孔１２となる。孔１０に触媒２４が付着しないものが非付着孔１４となる。
【００８８】
（工程５−１）浸す工程
容器１００には、触媒または助触媒が溶質として溶け込んでいる溶液１１０が収容されている。溶液１１０の液面が、複数の孔１０のうちの一部の第一開口部１０ａよりも低くなるように、担体１を溶液１００に浸す。このようにするためには、例えば、担体１を横倒しにして、溶液１１０に浸すことが考えられる。
【００８９】
すると、溶液１１０の液面よりも上の孔１０には、溶液１１０が流入しない。よって、これらの孔１０は、非付着孔１４となる。
【００９０】
一方、溶液１１０の液面よりも下の孔１０には、溶液１１０が流入する。よって、これらの孔１０（を包囲する隔壁２２）には、溶液１１０の溶質である触媒２４が付着して、付着孔１２となる。
【符号の説明】
【００９１】
１ 担体
１ａ 第一端面
１ｂ 第二端面
１０ 孔
１０ａ 第一開口部
１０ｂ 第二開口部
１２ 付着孔
１４ 非付着孔
２２ 隔壁
２４ 触媒（所定の成分）
３０ 閉鎖部材
１００ 容器
１１０ 溶液
２ 電磁波出力器
４ 電磁波検出器
６ 走査用ステージ（回転駆動部および直線駆動部）
７ 参照値導出部
８ 付着量導出部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の成分が付着する付着孔と、
前記所定の成分が付着していない非付着孔と、
を備えた担体。
【請求項２】
請求項１に記載の担体であって、
前記付着孔の延伸方向と、前記非付着孔の延伸方向とが、平行である、
担体。
【請求項３】
請求項１に記載の担体であって、
互いに平行な二つの端面を備え、
前記付着孔および前記非付着孔が、前記二つの端面に開口する、
担体。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部および前記第二開口部を閉鎖する工程と、
前記担体を、前記所定の成分が存在する液体に浸す工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部を閉鎖する工程と、
前記第一端面に向かって、前記所定の成分が存在する液体を散布する工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
前記第二開口部が開口する第二端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第二開口部を閉鎖する工程と、
前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記第二端面を越え、前記第一端面より低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部よりも低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程、
を備えた担体製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出部と、
を備えた付着量測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の付着量測定装置であって、
前記測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線を回転軸として、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を回転させる回転駆動部と、
前記測定用電磁波の進行方向および前記回転軸と垂直な方向に、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を移動させる直線駆動部と、
を備え、
前記回転駆動部および前記直線駆動部を作動させながら、前記電磁波検出器による検出を行う、
付着量測定装置。
【請求項１０】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えた付着量測定方法。
【請求項１１】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記付着量測定処理が、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えたプログラム。
【請求項１２】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記付着量測定処理が、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えた記録媒体。
【請求項１】
所定の成分が付着する付着孔と、
前記所定の成分が付着していない非付着孔と、
を備えた担体。
【請求項２】
請求項１に記載の担体であって、
前記付着孔の延伸方向と、前記非付着孔の延伸方向とが、平行である、
担体。
【請求項３】
請求項１に記載の担体であって、
互いに平行な二つの端面を備え、
前記付着孔および前記非付着孔が、前記二つの端面に開口する、
担体。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部および前記第二開口部を閉鎖する工程と、
前記担体を、前記所定の成分が存在する液体に浸す工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部を閉鎖する工程と、
前記第一端面に向かって、前記所定の成分が存在する液体を散布する工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
前記第二開口部が開口する第二端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記複数の孔のうちの一部の前記第二開口部を閉鎖する工程と、
前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記第二端面を越え、前記第一端面より低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程と、
を備えた担体製造方法。
【請求項７】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体を製造する担体製造方法であって、
担体が、
第一開口部と、前記第一開口部とは反対側の第二開口部とを有する複数の孔と、
前記第一開口部が開口する第一端面と、
を備え、
前記担体製造方法が、
前記所定の成分が存在する液体の液面が、前記複数の孔のうちの一部の前記第一開口部よりも低くなるように、前記担体を前記液体に浸す工程、
を備えた担体製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、
前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器と、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出部と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出部の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出部と、
を備えた付着量測定装置。
【請求項９】
請求項８に記載の付着量測定装置であって、
前記測定用電磁波の進行方向と垂直な方向の直線を回転軸として、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を回転させる回転駆動部と、
前記測定用電磁波の進行方向および前記回転軸と垂直な方向に、前記担体または前記測定用電磁波の進行方向を移動させる直線駆動部と、
を備え、
前記回転駆動部および前記直線駆動部を作動させながら、前記電磁波検出器による検出を行う、
付着量測定装置。
【請求項１０】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定方法であって、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えた付着量測定方法。
【請求項１１】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記付着量測定処理が、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えたプログラム。
【請求項１２】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の担体に向けて、0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の測定用電磁波を出力する電磁波出力器と、前記担体を透過した前記測定用電磁波を検出する電磁波検出器とを備えた付着量測定装置を使用した付着量測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記付着量測定処理が、
前記電磁波検出器の検出結果に基づき、前記非付着孔における前記測定用電磁波の吸収率、群遅延および分散のいずれかを導出する参照値導出工程と、
前記電磁波検出器の検出結果および前記参照値導出工程の導出結果に基づき、前記付着孔に存在する前記所定の成分の重量または濃度を導出する付着量導出工程と、
を備えた記録媒体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−９４５１４（Ｐ２０１１−９４５１４Ａ）
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２４７８７２（Ｐ２００９−２４７８７２）
【出願日】平成２１年１０月２８日（２００９．１０．２８）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月２８日（２００９．１０．２８）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
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