検査システムのフレーム機構
【課題】連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、検査システムのフレーム機構を提供する。
【解決手段】検査システムのフレーム機構２０は、第１ワークフレーム２５１と、第１フレーム２１と、第２フレーム２２とを含み、第１フレーム２１は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側へ回動し、第２フレーム２２は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側へ回動し、第１スキャン区域において、第１及び第２フレーム２１、２２の一方が折り畳まれた位置にあり、第１及び第２フレーム２１、２２の他方が展開された位置にあるとき、第１及び第２フレーム２１、２２のいずれかを第１スキャナ３８がスキャンする。
【解決手段】検査システムのフレーム機構２０は、第１ワークフレーム２５１と、第１フレーム２１と、第２フレーム２２とを含み、第１フレーム２１は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側へ回動し、第２フレーム２２は第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側へ回動し、第１スキャン区域において、第１及び第２フレーム２１、２２の一方が折り畳まれた位置にあり、第１及び第２フレーム２１、２２の他方が展開された位置にあるとき、第１及び第２フレーム２１、２２のいずれかを第１スキャナ３８がスキャンする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学検査に関し、特に、光学検査システムに用いるフレーム機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）装置などのディスプレイ装置は、文字、イメージ、動画を含む情報を電子式に表示するために用いられる。ＬＣＤは、偏光フィルタ、ガラス基板、カラーフィルタ、液晶、反射表面などいくつかの層を含むことができ、それらが前記ＬＣＤの品質を決定付ける。ＬＣＤの品質が合格であるかどうかを検査するには、肉眼で検査することも可能である。しかし、ＬＣＤの大量生産において肉眼での検査は時間と手間がかかり、不正確になることがある。さらに、半導体製造の進歩に伴い、サイズの小型化を特徴とするＬＣＤ製品を肉眼で検査することは困難になる場合がある。
【０００３】
「検査システム」と名づけられた米国特許出願第１２／７３２５８６号（本出願の発明者の一人である郭上鯤が２０１０年３月２６日に出願を提出した。以下「５８６出願案」という。）においては、すでにスキャナを使用して物品の欠陥または特徴を検査する検査システムが開示されている。５８６出願案の図１に示される図１Ａの複製には光学検査用のシステム１０が例示されている。図１に示すように、システム１０は、検査対象である製品が、例えばパネル１１、スキャナ１２、信号生成器１４、分析装置１６、支持フレーム１３などを有する。検査対象のパネル１１は、例えばオペレータによって支持フレーム１３の中に設置することができる。しかし、通常、検査の前に、パネル１１に対して予熱プロセスを行って検査の品質を確保することができる。パネルの寸法によっては、前記予熱には例えば２０秒かかることもあるため、前記検査に時間がかかってしまうことがある。
【０００４】
このため、連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、フレーム機構が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、検査システムのフレーム機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施の形態は、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構を提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第２フレームと、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１の側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２の側へ回動し、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンする。
【０００７】
本発明のいくつかの実施の形態は、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構も提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第1ワークフレームの第1端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置と、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１端部側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１端部側へ回動し、前記回動装置によって前記第１スキャナが一方向上で前記第１フレームをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で前記第２フレームをスキャンするよう調整可能である。
【０００８】
本発明の実施の形態はまた、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構も提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、前記第１ワークフレームに平行に延伸され、第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第３フレームと、第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第２端部側へ回動し、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側へ展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第２端部側へ回動する。
【０００９】
本発明の追加の特徴と利点は、下記の説明において一部が述べられ、且つその説明から本発明の一部を理解でき、或いは本発明の実施により習得でき得る。添付の特許請求の範囲において特に列記される要素及び組み合わせによって本発明の特徴と利点は理解され、且つその特徴と利点を達成することができる。
【００１０】
上記の概要説明及び下記の詳細説明はすべて本発明の例示および説明に用いられ、本発明の特許請求の範囲の発明を限定しない。
【００１１】
本発明の要約及び詳細な説明は、添付の図面を併せて参照すると、より明確に理解することができる。本発明の説明を目的として、各図面に実施の形態を示す。しかしながら、本発明は各実施の形態として描かれたとおりの配置方式及び設備装置に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】米国特許出願第１２／７３２５８６号の図１Ａの複製図である。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態のフレーム機構の斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示すフレーム機構の上面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態であるフレーム機構の上面図である。
【図４Ａ】本発明のさらに他の一実施の形態であるフレーム機構の斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示すフレーム機構の上面図である。
【図５Ａ】本発明の一実施の形態であるフレーム機構中のラックの斜視図である。
【図５Ｂ】本発明の一実施の形態であるフレーム機構中のラックの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
ここで、本発明の実施の形態を詳細に説明する。それら実施の形態は添付の図面に図示されている。同じまたは類似の部材は、すべての図面において可能な限り同じ符号を用いて表すこととする。
【００１４】
〔実施の形態１〕
図２Ａは本発明に基づく一実施の形態のフレーム機構２０の斜視図である。図２Ａに示すように、フレーム機構２０は、第１フレーム２１、第２フレーム２２、第１ワークフレーム２５１を有する。第１フレーム２１、第２フレーム２２、及び第１ワークフレーム２５１はそれぞれ長方形状とすることができる。第１ワークフレーム２５１は第１スキャナ３８に第１スキャン区域を提供し、パネルをスキャンさせることができる。第１フレーム２１と第２フレーム２２はそれぞれ第１パネル２１０と第２パネル２２０を支持するように調整することができる。具体的には、第１フレーム２１を例とすると、第１パネル２１０は固定装置２７により一対の柱体２８に固定され、次に第１フレーム２１の一対のラック２９に固定される。柱体２８は第１方向に平行に延伸され、且つ必要な距離に応じて相互の間隔を調整し、第１パネル２１０の寸法に合わせられる。第１フレーム２１のラック２９は実質上前記第１方向に垂直な第２方向に平行に延伸され、且つ柱体２８を保持して位置決めするように調整される。ラック２９の構造は後述の段落中で図５Ａと図５Ｂを参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
第１フレーム２１はヒンジ２６により第１ワークフレーム２５１の第１の側（第１の端部側、符号なし）に旋回可能に接続される。これにより、第１フレーム２１は第１フレーム２１が前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１フレーム２１が前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側に回動することができる。同様に、第２フレーム２２はヒンジ２６により第１ワークフレーム２５１の第２の側（第２の端部側、符号なし）に旋回可能に接続され、且つ第２フレーム２２が前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第２フレーム２２が前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側に回動することができる。
【００１６】
スキャナ３８は、５８６出願案において説明及び例示した模式的なスキャナ１２を有するが、これに限定するものではなく、第１ワークフレーム２５１の第１の側から第２の側の方向上に延伸された軌道２５８に沿って移動する。これにより、第１フレーム２１と第２フレーム２２のいずれかが第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれたとき、スキャナ３８は第１の側から第２の側への方向または反対の方向上で第１パネル２１０または第２パネル２２０をスキャンすることができる。
【００１７】
フレーム機構２０も第２ワークフレーム２５２を有し、その構造は第１ワークフレーム２５１と同様である。第２ワークフレーム２５２は第１ワークフレーム２５１に平行に延伸され、且つスキャナ３８または別のスキャナに第２スキャン区域を提供することができる。第１ワークフレーム２５１と第２ワークフレーム２５２は複数のリブ材２５０によって相互間が隔てられるため、スキャナ３８が軌道２５８に沿って移動できる移動空間が区切られる。
【００１８】
図２Ｂは図２Ａに示すフレーム機構２０の上面図である。第１パネル２１０がすでに第１フレーム２１上に設置されており、且つ設定プロセスにおいて予熱が行われ、検査の準備ができており、第２パネル２２０は設定プロセスを行う準備ができていると仮定する。図２Ｂの実施形態において、操作時は点線の矢印で示すように、第１フレーム２１と第１パネル２１０が第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれる。その後スキャナ３８が軌道２５８に沿って移動し、第１パネル２１０をスキャンする。同時に、第１フレーム２１が折り畳まれたとき、第２パネル２２０を第２フレーム２２上に設置して予熱を行うことができる。
【００１９】
スキャン後、第１パネル２１０を第１フレーム２１から外し、第１ワークフレーム２５１から設定位置まで展開させる。前記設定プロセスが完了したら、第２フレーム２２を第２パネル２２０と共に第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳む。続いて、第２フレーム２２が折り畳まれた後、別のパネルを第１フレーム２１上に設置して、予熱を行う。これにより、１枚のパネル２１０に対して検査を行っているときに、別の１枚のパネル２２０を設定し、一連のパネルに連続検査を行うことができる。
【００２０】
〔実施の形態２〕
図３は本発明の他の実施の形態のフレーム機構３０の上面図である。図３に示した実施の形態において、フレーム機構３０は図２Ａに示すフレーム機構２０と同様に、第１ワークフレーム２５１、第２ワークフレーム２５２、及びスキャナ３８を有する。但し、第１フレーム２１が第１ワークフレーム２５１に旋回可能に接続されるとき、第２フレーム２２が第２ワークフレーム２５２に旋回可能に接続される。操作時は、第１フレーム２１と第２フレーム２２をそれぞれ第１ワークフレーム２５１と第２ワークフレーム２５２に向けて折り畳むことができる。その後スキャナ３８が開始点から軌道２５８に沿って移動し、例えば軌道２５８の一端部側の第１フレーム２１上の第１パネル３１０をスキャンする。第１パネル３１０をスキャンした後、スキャナ３８は回動装置３６の回動によって、スキャナ３８が前記開始点に戻る経路上で軌道２５８の他端部側の第２フレーム２２上の第２パネル３２０をスキャンする。
【００２１】
本実施の形態においては、１枚の第１パネル３１０と１枚の第２パネル３２０がスキャンされる。但しその他実施例において、スキャナ３８が軌道２５８に沿って往復移動するときに軌道２５８の一端部側の複数の第１パネルと軌道２５８の他端部側の複数の第２パネルをスキャンすることもできる。
【００２２】
〔実施の形態３〕
図４Ａは本発明のさらに他の実施の形態のフレーム機構４０の斜視図である。図４Ａに示すように、フレーム機構４０は図２Ａでの説明及び例示したフレーム機構２０と同様であるが、例えば第３フレーム２３と第４フレーム２４を加えることができることが異なる。具体的には、第３フレーム２３と第４フレーム２４は第２ワークフレーム２５２の第１端部側（符号なし）と第２端部側（符号なし）にそれぞれ旋回可能に接続される。これにより、第３フレーム２３は第３フレーム２３が前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第３フレーム２３が前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で第２ワークフレーム２５２の第１端部側の周りを回動することができる。同様に、第４フレーム２４は第４フレーム２４が前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第４フレーム２４が前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で第２ワークフレーム２５２の第２端部側の周りを回動することができる。
【００２３】
さらに、本実施の形態において、第１スキャナ３８のほか、第２スキャナ４８を提供し、軌道２５８に沿って移動させ、第３フレーム２３上の第３パネル２３０または第４フレーム２４上の第４パネル２４０をスキャンすることもできる。但し、その他実施例において、単一のスキャナ３８のみを使用して図３に示す回動装置３６のような回動装置の補助でフレーム２１から２４上のパネル２１０から２４０をそれぞれスキャンすることもできる。
【００２４】
図４Ｂは図４Ａに示すフレーム機構４０の上面図である。第１パネル２１０と第３パネル２３０がすでにそれぞれ第１フレーム２１と第３フレーム２３上に設置され、設定プロセスで予熱を行い、検査の準備ができており、且つ第２パネル２２０と第４パネル２４０もすでに設定プロセスを行う準備ができていると仮定する。図４Ｂに示すように、操作時は点線矢印で示すように、第１フレーム２１と第１パネル２１０が第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれる。さらに別の点線矢印で示すように、第３フレーム２３と第３パネル２３０が第２ワークフレーム２５２に向かって折り畳まれる。その後、第１スキャナ３８と第２スキャナ４８が軌道２５８に沿って移動し、第１パネル２１０と第３パネル２３０をそれぞれスキャンする。
【００２５】
同時に、第１フレーム２１が折り畳まれたとき、第２パネル２２０を第２フレーム２２上に設置して予熱を行うことができる。同様に、第３フレーム２３が折り畳まれたとき、第４パネル２４０を第４フレーム２４上に設置して予熱を行うことができる。
【００２６】
スキャンした後、第１フレーム２１は第１パネル２１０を取り外し、順に第１ワークフレーム２５１から設定位置まで展開することができる。さらに、第３フレーム２３は第３パネル２３０を取り外し、第２ワークフレーム２５２から設定位置まで展開することができる。
【００２７】
それから、前記設定プロセスが完了したとき、第２フレーム２２を第２パネル２２０と共に第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳む。続いて、第２フレーム２２が折り畳まれた後、別のパネルを第１フレーム２１上に設置して予熱を行うことができる。同様に、前記設定プロセスが完了したとき、第４フレーム２４を第４パネル２４０と共に第２ワークフレーム２５２に向かって折り畳む。続いて、第４フレーム２４が折り畳まれた後、別のパネルを第３フレーム２３上に設置して予熱を行うことができる。
【００２８】
これにより、第１対のパネル２１０と２３０の検査を行っているとき、第２対のパネル２２０と２４０の設定を行い、一連のパネルに連続検査を行うことができる。
【００２９】
図５Ａは本発明の一実施の形態であり、図２Ａに示すフレーム機構２０中のラック２９の斜視図である。図５Ａに示すように、ラック２９は座体２９０と、一対の相対する凸縁部２９１、２９２を有し、これにより座体２９０の収容部（符号なし）及び凸縁部２９１、２９２の間の溝部（符号なし）が形成される。ラック２９は例えばボルトとナットなどの固定部材により柱体２８を保持して位置決めをすることができる。具体的には、ボルト５０の頭部を前記収容部内に保持し、ボルト５０の棒体部分を前記溝部から突出させてナットと接合し、柱体２８の一端を固定する。
【００３０】
図５Ｂは本発明の他の実施形態であり、フレーム機構中のラック５９の斜視図である。図５Ｂに示すように、前記第１対の凸縁部２９１、２９２から形成される第１収容部と溝部のほか、ラック５９は第２対の凸縁部５９１、５９２から形成される第２収容部と溝部を有する。
【００３１】
当業者であればわかるように、広義の発明概念を逸脱せずに上述の各実施形態を変更することが可能である。このため、本発明は開示した特定の実施形態に限定されず、添付の特許請求の範囲に定義される本発明の精神及び範囲内で種々の変形を包含することが意図される。
【００３２】
このほか、本発明の代表的な実施の形態を説明する際、本発明の方法及び／またはプロセスを特定の実施順序として表しているが、前記方法またはプロセスの範囲は本明細書で示した特定の実施順序のみに限らないため、前述した特定の実施順序に限定されない。当業者であれば、種々の実施順序があることを理解できるはずである。したがって、本明細書で示した特定の実施順序は特許請求の範囲を限定するものではない。このほか、本発明の方法及び／またはプロセスに関する特許請求の範囲を示した実施順序での実施のみに制限するべきでない。当業者であれば、前記実施順序を変更することができ、且つ、たとえ変更しても本発明の精神及び範囲内にあると理解できる。
【符号の説明】
【００３３】
１０ システム
１１ パネル
１２ スキャナ
１３ 支持フレーム
１４ 信号生成器
１６ 分析装置
２０ フレーム機構
２１ 第１フレーム
２２ 第２フレーム
２３ 第３フレーム
２４ 第４フレーム
２６ ヒンジ
２７ 固定装置
２８ 柱体
２９ ラック
３０ フレーム機構
３６ 回動装置
３８ 第１スキャナ
４０ フレーム機構
４８ 第２スキャナ
５０ ボルト
５９ ラック
２１０ 第１パネル
２２０ 第２パネル
２３０ 第３パネル
２４０ 第４パネル
２５０ リブ材
２５１ 第１ワークフレーム
２５２ 第２ワークフレーム
２５８ 軌道
２９０ 座体
２９１、２９２ 凸縁部
３１０ 第１パネル
３２０ 第２パネル
５９１、５９２ 凸縁部
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学検査に関し、特に、光学検査システムに用いるフレーム機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）装置などのディスプレイ装置は、文字、イメージ、動画を含む情報を電子式に表示するために用いられる。ＬＣＤは、偏光フィルタ、ガラス基板、カラーフィルタ、液晶、反射表面などいくつかの層を含むことができ、それらが前記ＬＣＤの品質を決定付ける。ＬＣＤの品質が合格であるかどうかを検査するには、肉眼で検査することも可能である。しかし、ＬＣＤの大量生産において肉眼での検査は時間と手間がかかり、不正確になることがある。さらに、半導体製造の進歩に伴い、サイズの小型化を特徴とするＬＣＤ製品を肉眼で検査することは困難になる場合がある。
【０００３】
「検査システム」と名づけられた米国特許出願第１２／７３２５８６号（本出願の発明者の一人である郭上鯤が２０１０年３月２６日に出願を提出した。以下「５８６出願案」という。）においては、すでにスキャナを使用して物品の欠陥または特徴を検査する検査システムが開示されている。５８６出願案の図１に示される図１Ａの複製には光学検査用のシステム１０が例示されている。図１に示すように、システム１０は、検査対象である製品が、例えばパネル１１、スキャナ１２、信号生成器１４、分析装置１６、支持フレーム１３などを有する。検査対象のパネル１１は、例えばオペレータによって支持フレーム１３の中に設置することができる。しかし、通常、検査の前に、パネル１１に対して予熱プロセスを行って検査の品質を確保することができる。パネルの寸法によっては、前記予熱には例えば２０秒かかることもあるため、前記検査に時間がかかってしまうことがある。
【０００４】
このため、連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、フレーム機構が必要である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、連続検査が可能で、検査の品質を低下させることがない、検査システムのフレーム機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施の形態は、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構を提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第２フレームと、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１の側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２の側へ回動し、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンする。
【０００７】
本発明のいくつかの実施の形態は、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構も提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第1ワークフレームの第1端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置と、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１端部側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１端部側へ回動し、前記回動装置によって前記第１スキャナが一方向上で前記第１フレームをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で前記第２フレームをスキャンするよう調整可能である。
【０００８】
本発明の実施の形態はまた、検査システム中でパネルを支持するために用いられ、スキャナが光学スキャンを行えるようにするフレーム機構も提供する。前記フレーム機構は、第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、前記第１ワークフレームに平行に延伸され、第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第３フレームと、第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第２端部側へ回動し、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側へ展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第２端部側へ回動する。
【０００９】
本発明の追加の特徴と利点は、下記の説明において一部が述べられ、且つその説明から本発明の一部を理解でき、或いは本発明の実施により習得でき得る。添付の特許請求の範囲において特に列記される要素及び組み合わせによって本発明の特徴と利点は理解され、且つその特徴と利点を達成することができる。
【００１０】
上記の概要説明及び下記の詳細説明はすべて本発明の例示および説明に用いられ、本発明の特許請求の範囲の発明を限定しない。
【００１１】
本発明の要約及び詳細な説明は、添付の図面を併せて参照すると、より明確に理解することができる。本発明の説明を目的として、各図面に実施の形態を示す。しかしながら、本発明は各実施の形態として描かれたとおりの配置方式及び設備装置に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】米国特許出願第１２／７３２５８６号の図１Ａの複製図である。
【図２Ａ】本発明の一実施の形態のフレーム機構の斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示すフレーム機構の上面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態であるフレーム機構の上面図である。
【図４Ａ】本発明のさらに他の一実施の形態であるフレーム機構の斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示すフレーム機構の上面図である。
【図５Ａ】本発明の一実施の形態であるフレーム機構中のラックの斜視図である。
【図５Ｂ】本発明の一実施の形態であるフレーム機構中のラックの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
ここで、本発明の実施の形態を詳細に説明する。それら実施の形態は添付の図面に図示されている。同じまたは類似の部材は、すべての図面において可能な限り同じ符号を用いて表すこととする。
【００１４】
〔実施の形態１〕
図２Ａは本発明に基づく一実施の形態のフレーム機構２０の斜視図である。図２Ａに示すように、フレーム機構２０は、第１フレーム２１、第２フレーム２２、第１ワークフレーム２５１を有する。第１フレーム２１、第２フレーム２２、及び第１ワークフレーム２５１はそれぞれ長方形状とすることができる。第１ワークフレーム２５１は第１スキャナ３８に第１スキャン区域を提供し、パネルをスキャンさせることができる。第１フレーム２１と第２フレーム２２はそれぞれ第１パネル２１０と第２パネル２２０を支持するように調整することができる。具体的には、第１フレーム２１を例とすると、第１パネル２１０は固定装置２７により一対の柱体２８に固定され、次に第１フレーム２１の一対のラック２９に固定される。柱体２８は第１方向に平行に延伸され、且つ必要な距離に応じて相互の間隔を調整し、第１パネル２１０の寸法に合わせられる。第１フレーム２１のラック２９は実質上前記第１方向に垂直な第２方向に平行に延伸され、且つ柱体２８を保持して位置決めするように調整される。ラック２９の構造は後述の段落中で図５Ａと図５Ｂを参照しながら詳細に説明する。
【００１５】
第１フレーム２１はヒンジ２６により第１ワークフレーム２５１の第１の側（第１の端部側、符号なし）に旋回可能に接続される。これにより、第１フレーム２１は第１フレーム２１が前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第１フレーム２１が前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第１の側に回動することができる。同様に、第２フレーム２２はヒンジ２６により第１ワークフレーム２５１の第２の側（第２の端部側、符号なし）に旋回可能に接続され、且つ第２フレーム２２が前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第２フレーム２２が前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で第１ワークフレーム２５１の第２の側に回動することができる。
【００１６】
スキャナ３８は、５８６出願案において説明及び例示した模式的なスキャナ１２を有するが、これに限定するものではなく、第１ワークフレーム２５１の第１の側から第２の側の方向上に延伸された軌道２５８に沿って移動する。これにより、第１フレーム２１と第２フレーム２２のいずれかが第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれたとき、スキャナ３８は第１の側から第２の側への方向または反対の方向上で第１パネル２１０または第２パネル２２０をスキャンすることができる。
【００１７】
フレーム機構２０も第２ワークフレーム２５２を有し、その構造は第１ワークフレーム２５１と同様である。第２ワークフレーム２５２は第１ワークフレーム２５１に平行に延伸され、且つスキャナ３８または別のスキャナに第２スキャン区域を提供することができる。第１ワークフレーム２５１と第２ワークフレーム２５２は複数のリブ材２５０によって相互間が隔てられるため、スキャナ３８が軌道２５８に沿って移動できる移動空間が区切られる。
【００１８】
図２Ｂは図２Ａに示すフレーム機構２０の上面図である。第１パネル２１０がすでに第１フレーム２１上に設置されており、且つ設定プロセスにおいて予熱が行われ、検査の準備ができており、第２パネル２２０は設定プロセスを行う準備ができていると仮定する。図２Ｂの実施形態において、操作時は点線の矢印で示すように、第１フレーム２１と第１パネル２１０が第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれる。その後スキャナ３８が軌道２５８に沿って移動し、第１パネル２１０をスキャンする。同時に、第１フレーム２１が折り畳まれたとき、第２パネル２２０を第２フレーム２２上に設置して予熱を行うことができる。
【００１９】
スキャン後、第１パネル２１０を第１フレーム２１から外し、第１ワークフレーム２５１から設定位置まで展開させる。前記設定プロセスが完了したら、第２フレーム２２を第２パネル２２０と共に第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳む。続いて、第２フレーム２２が折り畳まれた後、別のパネルを第１フレーム２１上に設置して、予熱を行う。これにより、１枚のパネル２１０に対して検査を行っているときに、別の１枚のパネル２２０を設定し、一連のパネルに連続検査を行うことができる。
【００２０】
〔実施の形態２〕
図３は本発明の他の実施の形態のフレーム機構３０の上面図である。図３に示した実施の形態において、フレーム機構３０は図２Ａに示すフレーム機構２０と同様に、第１ワークフレーム２５１、第２ワークフレーム２５２、及びスキャナ３８を有する。但し、第１フレーム２１が第１ワークフレーム２５１に旋回可能に接続されるとき、第２フレーム２２が第２ワークフレーム２５２に旋回可能に接続される。操作時は、第１フレーム２１と第２フレーム２２をそれぞれ第１ワークフレーム２５１と第２ワークフレーム２５２に向けて折り畳むことができる。その後スキャナ３８が開始点から軌道２５８に沿って移動し、例えば軌道２５８の一端部側の第１フレーム２１上の第１パネル３１０をスキャンする。第１パネル３１０をスキャンした後、スキャナ３８は回動装置３６の回動によって、スキャナ３８が前記開始点に戻る経路上で軌道２５８の他端部側の第２フレーム２２上の第２パネル３２０をスキャンする。
【００２１】
本実施の形態においては、１枚の第１パネル３１０と１枚の第２パネル３２０がスキャンされる。但しその他実施例において、スキャナ３８が軌道２５８に沿って往復移動するときに軌道２５８の一端部側の複数の第１パネルと軌道２５８の他端部側の複数の第２パネルをスキャンすることもできる。
【００２２】
〔実施の形態３〕
図４Ａは本発明のさらに他の実施の形態のフレーム機構４０の斜視図である。図４Ａに示すように、フレーム機構４０は図２Ａでの説明及び例示したフレーム機構２０と同様であるが、例えば第３フレーム２３と第４フレーム２４を加えることができることが異なる。具体的には、第３フレーム２３と第４フレーム２４は第２ワークフレーム２５２の第１端部側（符号なし）と第２端部側（符号なし）にそれぞれ旋回可能に接続される。これにより、第３フレーム２３は第３フレーム２３が前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第３フレーム２３が前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で第２ワークフレーム２５２の第１端部側の周りを回動することができる。同様に、第４フレーム２４は第４フレーム２４が前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と第４フレーム２４が前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で第２ワークフレーム２５２の第２端部側の周りを回動することができる。
【００２３】
さらに、本実施の形態において、第１スキャナ３８のほか、第２スキャナ４８を提供し、軌道２５８に沿って移動させ、第３フレーム２３上の第３パネル２３０または第４フレーム２４上の第４パネル２４０をスキャンすることもできる。但し、その他実施例において、単一のスキャナ３８のみを使用して図３に示す回動装置３６のような回動装置の補助でフレーム２１から２４上のパネル２１０から２４０をそれぞれスキャンすることもできる。
【００２４】
図４Ｂは図４Ａに示すフレーム機構４０の上面図である。第１パネル２１０と第３パネル２３０がすでにそれぞれ第１フレーム２１と第３フレーム２３上に設置され、設定プロセスで予熱を行い、検査の準備ができており、且つ第２パネル２２０と第４パネル２４０もすでに設定プロセスを行う準備ができていると仮定する。図４Ｂに示すように、操作時は点線矢印で示すように、第１フレーム２１と第１パネル２１０が第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳まれる。さらに別の点線矢印で示すように、第３フレーム２３と第３パネル２３０が第２ワークフレーム２５２に向かって折り畳まれる。その後、第１スキャナ３８と第２スキャナ４８が軌道２５８に沿って移動し、第１パネル２１０と第３パネル２３０をそれぞれスキャンする。
【００２５】
同時に、第１フレーム２１が折り畳まれたとき、第２パネル２２０を第２フレーム２２上に設置して予熱を行うことができる。同様に、第３フレーム２３が折り畳まれたとき、第４パネル２４０を第４フレーム２４上に設置して予熱を行うことができる。
【００２６】
スキャンした後、第１フレーム２１は第１パネル２１０を取り外し、順に第１ワークフレーム２５１から設定位置まで展開することができる。さらに、第３フレーム２３は第３パネル２３０を取り外し、第２ワークフレーム２５２から設定位置まで展開することができる。
【００２７】
それから、前記設定プロセスが完了したとき、第２フレーム２２を第２パネル２２０と共に第１ワークフレーム２５１に向かって折り畳む。続いて、第２フレーム２２が折り畳まれた後、別のパネルを第１フレーム２１上に設置して予熱を行うことができる。同様に、前記設定プロセスが完了したとき、第４フレーム２４を第４パネル２４０と共に第２ワークフレーム２５２に向かって折り畳む。続いて、第４フレーム２４が折り畳まれた後、別のパネルを第３フレーム２３上に設置して予熱を行うことができる。
【００２８】
これにより、第１対のパネル２１０と２３０の検査を行っているとき、第２対のパネル２２０と２４０の設定を行い、一連のパネルに連続検査を行うことができる。
【００２９】
図５Ａは本発明の一実施の形態であり、図２Ａに示すフレーム機構２０中のラック２９の斜視図である。図５Ａに示すように、ラック２９は座体２９０と、一対の相対する凸縁部２９１、２９２を有し、これにより座体２９０の収容部（符号なし）及び凸縁部２９１、２９２の間の溝部（符号なし）が形成される。ラック２９は例えばボルトとナットなどの固定部材により柱体２８を保持して位置決めをすることができる。具体的には、ボルト５０の頭部を前記収容部内に保持し、ボルト５０の棒体部分を前記溝部から突出させてナットと接合し、柱体２８の一端を固定する。
【００３０】
図５Ｂは本発明の他の実施形態であり、フレーム機構中のラック５９の斜視図である。図５Ｂに示すように、前記第１対の凸縁部２９１、２９２から形成される第１収容部と溝部のほか、ラック５９は第２対の凸縁部５９１、５９２から形成される第２収容部と溝部を有する。
【００３１】
当業者であればわかるように、広義の発明概念を逸脱せずに上述の各実施形態を変更することが可能である。このため、本発明は開示した特定の実施形態に限定されず、添付の特許請求の範囲に定義される本発明の精神及び範囲内で種々の変形を包含することが意図される。
【００３２】
このほか、本発明の代表的な実施の形態を説明する際、本発明の方法及び／またはプロセスを特定の実施順序として表しているが、前記方法またはプロセスの範囲は本明細書で示した特定の実施順序のみに限らないため、前述した特定の実施順序に限定されない。当業者であれば、種々の実施順序があることを理解できるはずである。したがって、本明細書で示した特定の実施順序は特許請求の範囲を限定するものではない。このほか、本発明の方法及び／またはプロセスに関する特許請求の範囲を示した実施順序での実施のみに制限するべきでない。当業者であれば、前記実施順序を変更することができ、且つ、たとえ変更しても本発明の精神及び範囲内にあると理解できる。
【符号の説明】
【００３３】
１０ システム
１１ パネル
１２ スキャナ
１３ 支持フレーム
１４ 信号生成器
１６ 分析装置
２０ フレーム機構
２１ 第１フレーム
２２ 第２フレーム
２３ 第３フレーム
２４ 第４フレーム
２６ ヒンジ
２７ 固定装置
２８ 柱体
２９ ラック
３０ フレーム機構
３６ 回動装置
３８ 第１スキャナ
４０ フレーム機構
４８ 第２スキャナ
５０ ボルト
５９ ラック
２１０ 第１パネル
２２０ 第２パネル
２３０ 第３パネル
２４０ 第４パネル
２５０ リブ材
２５１ 第１ワークフレーム
２５２ 第２ワークフレーム
２５８ 軌道
２９０ 座体
２９１、２９２ 凸縁部
３１０ 第１パネル
３２０ 第２パネル
５９１、５９２ 凸縁部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第２フレームと、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１の側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２の側へ回動し、
前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項２】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１の側から前記第２の側への一方向上に延伸された軌道を含み、前記軌道に沿って前記第１スキャナが前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間を移動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項３】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームを含み、前記第２ワークフレームが前記第１ワークフレームに平行に延伸されたことを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項４】
請求項３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第３フレームを含み、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１の側の周りを回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項５】
請求項４に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置を含み、前記第１スキャナが一方向上で移動するとき前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で移動するとき前記第３フレームを横方向にスキャンするよう調整可能であることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項６】
請求項５に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第４フレームを含み、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２の側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項７】
請求項６に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項８】
請求項５に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１ワークフレームと前記第２ワークフレームの間の空間内で延伸された軌道を含み、前記軌道が前記方向上で前記第１スキャナを前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動させ、且つ前記方向と反対の方向上で前記第１スキャナを前記第２ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動させることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項９】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームを含み、前記第２ワークフレームが前記第１ワークフレームに平行に延伸されたことを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１０】
請求項９に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに、第３パネルを支持し、前記第２ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第３フレームと、第４パネルを支持し、前記第２ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、
前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１の側へ回動し、
前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２の側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１１】
請求項１０に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１ワークフレームの第１の側から第２の側への一方向上に延伸された軌道を含み、前記軌道に沿って前記第１スキャナが前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動し、且つ前記第２スキャナが前記第２ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１２】
請求項１０に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１３】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、
前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置と、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１端部側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１端部側へ回動し、
前記回動装置によって前記第１スキャナが一方向上で前記第１フレームをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で前記第２フレームをスキャンするよう調整可能であることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１４】
請求項１３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第３パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第３フレームを含み、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１５】
請求項１４に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第３フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第３フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第３フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１６】
請求項１３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームを含み、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１７】
請求項１６に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第２フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第２フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第２フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１８】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
前記第１ワークフレームに平行に延伸され、第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、
第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第３フレームと、
第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第２端部側へ回動し、
前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側へ展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、
前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１９】
請求項１８に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項２０】
請求項１８に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第２フレームと、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１の側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２の側へ回動し、
前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項２】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１の側から前記第２の側への一方向上に延伸された軌道を含み、前記軌道に沿って前記第１スキャナが前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間を移動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項３】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームを含み、前記第２ワークフレームが前記第１ワークフレームに平行に延伸されたことを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項４】
請求項３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第３フレームを含み、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１の側の周りを回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項５】
請求項４に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置を含み、前記第１スキャナが一方向上で移動するとき前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で移動するとき前記第３フレームを横方向にスキャンするよう調整可能であることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項６】
請求項５に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第４フレームを含み、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２の側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項７】
請求項６に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項８】
請求項５に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１ワークフレームと前記第２ワークフレームの間の空間内で延伸された軌道を含み、前記軌道が前記方向上で前記第１スキャナを前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動させ、且つ前記方向と反対の方向上で前記第１スキャナを前記第２ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動させることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項９】
請求項１に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームを含み、前記第２ワークフレームが前記第１ワークフレームに平行に延伸されたことを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１０】
請求項９に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに、第３パネルを支持し、前記第２ワークフレームの第１の側に旋回可能に接続された第３フレームと、第４パネルを支持し、前記第２ワークフレームの第２の側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、
前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１の側へ回動し、
前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２の側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１１】
請求項１０に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに前記第１ワークフレームの第１の側から第２の側への一方向上に延伸された軌道を含み、前記軌道に沿って前記第１スキャナが前記第１ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動し、且つ前記第２スキャナが前記第２ワークフレームの第１の側と第２の側の間で移動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１２】
請求項１０に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１３】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
第１スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、
前記第１スキャナを回動させるために用いる回動装置と、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第１端部側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第１端部側へ回動し、
前記回動装置によって前記第１スキャナが一方向上で前記第１フレームをスキャンし、且つ前記方向と反対の方向上で前記第２フレームをスキャンするよう調整可能であることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１４】
請求項１３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第３パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第３フレームを含み、前記第３フレームは前記第３フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１５】
請求項１４に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第３フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第３フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第３フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１６】
請求項１３に記載の検査システムのフレーム機構において、さらに第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームを含み、前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第２ワークフレームの第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１７】
請求項１６に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第２フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第２フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第２フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１８】
検査システムにおいてパネルを支持し、スキャナに光学スキャンを実行させるために用いる検査システムのフレーム機構であって、前記フレーム機構が、
第１スキャナに第１スキャン区域を提供する第１ワークフレームと、
前記第１ワークフレームに平行に延伸され、第２スキャナに第２スキャン区域を提供する第２ワークフレームと、
第１パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第１フレームと、
第２パネルを支持するために用いられ、前記第１ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第２フレームと、
第３パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第１端部側に旋回可能に接続された第３フレームと、
第４パネルを支持するために用いられ、前記第２ワークフレームの第２端部側に旋回可能に接続された第４フレームと、を含み、
前記第１フレームは前記第１フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第１フレームが前記第１スキャン区域から外側に展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、
前記第２フレームは前記第２フレームが前記第１スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第２フレームが前記第１スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第１ワークフレームの前記第２端部側へ回動し、
前記第３フレームは前記第３フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第３フレームが前記第２スキャン区域から外側へ展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第１端部側へ回動し、
前記第４フレームは前記第４フレームが前記第２スキャン区域に向かって折り畳まれた位置と前記第４フレームが前記第２スキャン区域から離れて展開された位置との間で前記第２ワークフレームの前記第２端部側へ回動することを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項１９】
請求項１８に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第１スキャン区域にて、前記第１フレーム及び第２フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第１フレーム及び第２フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第１スキャナが前記第１フレーム及び第２フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【請求項２０】
請求項１８に記載の検査システムのフレーム機構において、前記第２スキャン区域にて、前記第３フレーム及び第４フレームの一方が前記折り畳まれた位置にあり、前記第３フレーム及び第４フレームの他方が前記展開された位置にあるとき、前記第２スキャナが前記第３フレーム及び第４フレームのいずれかをスキャンすることを特徴とする、検査システムのフレーム機構。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３】
【図４Ａ】
【図４Ｂ】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【公開番号】特開２０１１−２１５１２３（Ｐ２０１１−２１５１２３Ａ）
【公開日】平成２３年１０月２７日（２０１１．１０．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１６９８０５（Ｐ２０１０−１６９８０５）
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５０８１２６０００）
【氏名又は名称原語表記】Ｃｏｏｐｅｒ Ｓ．Ｋ．Ｋｕｏ
【住所又は居所原語表記】４Ｆ．，Ｎｏ．６，Ｌａｎｅ １９５，Ｓｅｃ．４，Ｓｈｉｎｇ Ｌｕｎｇ Ｒｄ．，Ｗｅｎ Ｓｈａｎ，Ｔａｉｐｅｉ １１６，Ｔａｉｗａｎ，Ｒ．Ｏ．Ｃ．
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月２７日（２０１１．１０．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２８日（２０１０．７．２８）
【出願人】（５０８１２６０００）
【氏名又は名称原語表記】Ｃｏｏｐｅｒ Ｓ．Ｋ．Ｋｕｏ
【住所又は居所原語表記】４Ｆ．，Ｎｏ．６，Ｌａｎｅ １９５，Ｓｅｃ．４，Ｓｈｉｎｇ Ｌｕｎｇ Ｒｄ．，Ｗｅｎ Ｓｈａｎ，Ｔａｉｐｅｉ １１６，Ｔａｉｗａｎ，Ｒ．Ｏ．Ｃ．
【Ｆターム（参考）】
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