検査装置
【課題】曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象の不具合を検査しやすい。
【解決手段】接合焼結体検査装置２０は、曲面を有しこの曲面に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている接合焼結体４０へ第１偏光板３２により偏光した光を照射すると共に、接合焼結体４０の曲面を介して入射した光を第２偏光板３４により偏光してカメラ３５が受光する。このように、照射された光を偏光して接合焼結体４０に入射し、接合焼結体４０を透過して散乱した光を更に偏光してカメラ３５で受光することにより、曲面を介した光によって撮影画像の周縁が暗くなってしまうのを抑制可能である。したがって、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能である。
【解決手段】接合焼結体検査装置２０は、曲面を有しこの曲面に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている接合焼結体４０へ第１偏光板３２により偏光した光を照射すると共に、接合焼結体４０の曲面を介して入射した光を第２偏光板３４により偏光してカメラ３５が受光する。このように、照射された光を偏光して接合焼結体４０に入射し、接合焼結体４０を透過して散乱した光を更に偏光してカメラ３５で受光することにより、曲面を介した光によって撮影画像の周縁が暗くなってしまうのを抑制可能である。したがって、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関し、詳しくは曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象の不具合を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査装置としては、偏光素子を介して検査対象へ光源から光を照射し検査対象及び検光素子を透過した光をカメラで撮影し、液体が詰められた容器に混入した固形異物を検査することにより、液体中に存在する屈折率の異なる泡などを偏光素子と検光素子とによりフィルタリングして異物として誤検出するのを抑制したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１９７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この特許文献１に記載された検査装置では、容器内部に混入した固形異物の有無を検査することは考慮されていたが、曲面を有し２つの部材が接合した部材における、例えば接合部分の検査については検討されていなかった。
【０００４】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象の不具合を検査しやすい検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００６】
即ち、本発明の検査装置は、
検査対象の不具合を検査する検査装置であって、
曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている前記検査対象を固定する固定手段と、
光を照射する照射手段と、
光を受光する受光部を有し該受光した光に基づいて画像を生成する画像生成手段と、
前記照射手段によって照射された光を偏光して前記固定された検査対象へ入射させる第１偏光手段と、
前記固定された検査対象を透過した光を偏光して前記画像生成手段の受光部へ受光させる第２偏光手段と、
を備えたものである。
【０００７】
この検査装置では、曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象へ偏光した光を照射すると共に、検査対象の曲面を介して入射した光を偏光して受光部に受光する。このように、照射された光を偏光して検査対象に入射し、検査対象を透過して散乱した光を更に偏光して受光部で受光することにより、曲面を介した光によって得られた検査対象の画像の一部が明るくなり一部が暗くなるのを抑制可能である。したがって、検査対象のより広い範囲を検査可能であるため、曲面を有する検査対象の接合部での不具合を検査しやすい。
【０００８】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、直線透過率が低い物質、例えば乳白色で透光性を有するセラミックス（直線透過率１０％〜３５％）により形成されている検査対象を固定するものとしてもよい。直線透過率が低い物質には、検査用の光を均一とする本発明を適用する意義が高い。このとき、検査対象は、メタルハライド用発光管であるものとしてもよいし、高圧ナトリウムランプ用発光管であるものとしてもよい。
【０００９】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、開口端を有するカップ形状の前記第１部材と開口端を有するカップ形状の前記第２部材とを対向し該開口端同士が前記接合部で接合して中空状に形成されている前記検査対象を固定するものとしてもよい。即ち、第１及び第２部材の円周方向に形成されている接合部において、検査対象の周縁部に向けて接合部の状態が確認しにくくなることを抑制することができる。このとき、前記固定手段は、前記カップ形状の底部に貫通して形成された筒状部を有する検査対象を該筒状部で固定するものとしてもよい。こうすれば、検査対象を固定しやすいし、検査時に検査対象の向きを変えやすい。
【００１０】
本発明の検査装置において、前記第２偏光手段は、前記固定された検査対象を透過した光を前記第１偏光手段と同様の方向に偏光して前記受光部へ受光させるものとしてもよい。
【００１１】
本発明の検査装置は、前記固定手段に固定された検査対象を該検査対象の中心軸を中心として回転させる回転駆動手段、を備えたものとしてもよい。こうすれば、検査対象の接合部の全体を検査しやすい。
【００１２】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、前記検査対象の上方を固定するものとしてもよい。あるいは、前記検査対象の下方を固定するものとしてもよいし、前記検査対象の上方と下方とを固定するものとしてもよい。
【００１３】
本発明の検査装置において、前記照射手段は、面照射により光を照射するものとしてもよい。こうすれば、検査対象の全体に均一な光を照射可能であるため、検査対象の全体を検査しやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である接合焼結体検査装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図１（ａ）が側面図、図１（ｂ）が上方から見た説明図であり、図２は、接合焼結体４０の説明図であり、図２（ａ）が偏光板３２，３４を使用しないときの図、図２（ｂ）が偏光板３２，３４を使用したときの図である。本実施形態の接合焼結体検査装置２０は、接合焼結体４０の接合部４４などにクラックや気泡などの不具合の発生を検査する装置である。
【００１５】
まず、検査対象である接合焼結体４０から説明する。接合焼結体４０は、メタルハライド用発光管であり、図１及び図２に示すように、開口端を有すると共に曲面を有するカップ形状の本体部材４２の２つを対向し、この開口端同士が接合部４４で接合して中空部４０ａが形成されている形状を有している。この接合焼結体４０は、その曲面即ち本体部材４２の円周方向に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている。この本体部材４２には、カップ形状の底部に貫通した筒状部４３が形成されている。この筒状部４３は、カップ形状部分よりも直径が小さく形成されている。また、接合焼結体４０は、乳白色で透光性を有するセラミックス（直線透過率１０％〜３５％、例えばアルミナなど）により形成されている。この接合焼結体４０の不具合には、図２（ｂ）の拡大図に示すように、接合部４４内部でのクラックや、接合部４４と本体部材４２との間のクラック、接合部４４内部に生じた気泡、接合部４４と本体部材４２との間に生じた気泡など、接合部４４に関する不具合のほか、本体部材４２でのクラックや異物の混入、気泡の発生などが含まれる。なお、接合焼結体４０を高圧ナトリウムランプ用発光管であるものとしてもよい。
【００１６】
接合焼結体検査装置２０は、図１に示すように、矩形状の平板として形成され接合焼結体検査装置２０を支える固定台としてのベース台２１と、ベース台２１の一端に立設された支持部材２２と、支持部材２２の上端に固定されベース台２１の中央側に向かって形成された上部ユニット２３とを備えている。この上部ユニット２３には、ベース台２１の略中央上方から下方に向かって配設された固定用ロッド２５と、この固定用ロッド２５の先端に設けられ接合焼結体４０を固定する固定部２６と、が設けられている。この固定部２６は、接合焼結体４０に設けられた上側の筒状部４３を吸引により吸着させることにより接合焼結体４０を固定するように構成されている。また、上部ユニット２３には固定用ロッド２５を軸中心で回転させる駆動モータ２４が設けられており、筒状部４３を中心軸として接合焼結体４０を回転可能となっている（矢印Ａ参照）。
【００１７】
また、接合焼結体検査装置２０は、固定部２６に固定された接合焼結体４０へ光を照射する照射ユニット３１と、照射ユニット３１と接合焼結体４０との間に固定された第１偏光板３２と、接合焼結体４０を透過した光を受光するカメラ３５と、接合焼結体４０とカメラ３５との間に固定された第２偏光板３４と、を備えている。照射ユニット３１は、面照射により接合焼結体４０全体へ光を照射可能に構成されており、図示しないダイヤルを操作することにより照射光量を調節可能となっている。第１偏光板３２は、所定方向に振動する光のみを透過する板であり、照射ユニット３１から照射された光がカメラ３５の方向へ入射するように配置されている。第２偏光板３４は、第１偏光板３２と同じく所定方向に振動する光のみを透過する板であり、接合焼結体４０で散乱した光を第１偏光板３２と同じ方向に偏光してカメラ３５へ入射させるように配置されている。カメラ３５は、受光した光を信号に変換して情報処理装置３８へ出力するものである。情報処理装置３８は、カメラ３５から入力した信号に基づいて画像を生成し、ディスプレイ３９へ表示させる装置である。
【００１８】
次に、このように構成された接合焼結体検査装置２０の動作、特に、接合焼結体４０の接合部４４を検査する動作について説明する。まず、検査者は、接合焼結体４０を固定部２６へ装着し、図示しないダイヤルを操作して、駆動モータ２４を駆動し、接合焼結体４０をゆっくり回転させる。次に、検査者は、図示しない操作パネルのダイヤルを操作し、照射ユニット３１から光を照射させる。すると、照射ユニット３１から照射された光が第１偏光板３２で偏光され接合焼結体４０へ入射し、接合焼結体４０を透過して第２偏光板３４で更に偏光されカメラ３５へ入射する（図１の矢印Ｂ参照）。この入射した光をカメラ３５が検出し、この信号に基づいて、情報処理装置３８が撮影画像へ処理し、この撮影画像をディスプレイ３９に表示する。ここで、例えば、第１偏光板３２及び第２偏光板３４を装着せずに接合焼結体４０をカメラ３５で撮影した場合には、図２（ａ）に示すように、接合焼結体４０で光が散乱し、周縁部が暗くなると共に軸方向の中心部が明るくなり、視認可能な範囲が狭い状態となる。この場合は、クラック４５や気泡４６などを視認可能なように接合焼結体４０の回転速度をより遅くするなどが必要になるため、１つのサンプルを検査する時間が長くなってしまう。ここでは、第１偏光板３２及び第２偏光板３４を装着し光を偏光させるため、接合焼結体４０での光の散乱の影響を抑制可能である。この結果、図２（ｂ）に示すように、周縁部と中心部との明るさの差の発生が抑制され、接合焼結体４０の全体を視認可能な撮影画像を得ることができる。この撮影画像を検査者がチェックし、接合焼結体４０の検査を行うのである。
【００１９】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の接合焼結体４０が本発明の検査対象に相当し、固定部２６が固定手段に相当し、照射ユニット３１が照射手段に相当し、カメラ３５及び情報処理装置３８が画像生成手段に相当しこのうちカメラ３５が受光部に相当し、第１偏光板３２が第１偏光手段に相当し、第２偏光板３４が第２偏光手段に相当し、駆動モータ２４が回転駆動手段に相当する。
【００２０】
以上詳述した本実施形態の接合焼結体検査装置２０によれば、曲面を有しこの曲面に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている接合焼結体４０へ第１偏光板３２により偏光した光を照射すると共に、接合焼結体４０の曲面を介して入射した光を第２偏光板３４により偏光してカメラ３５が受光する。このように、照射された光を偏光して接合焼結体４０に入射し、接合焼結体４０を透過して散乱した光を更に偏光してカメラ３５で受光することにより、曲面を介した光によって撮影画像の周縁が暗くなってしまうのを抑制可能である。したがって、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能であるため、接合部４４での不具合を検査しやすい。また、接合焼結体４０がメタルハライド用発光管である乳白色で透光性を有するセラミックスにより形成されているため、検査用の光を均一とする本発明を適用する意義が高い。更に、本体部材４２の円周方向に接合部４４が形成されているため、接合焼結体４０の周縁部に向けて接合部の状態を確認しにくくなることを抑制することができる。更にまた、筒状部４３で固定部２６が固定するため、接合焼結体４０を固定しやすいし、検査時に接合焼結体４０の向きを変えやすい。また、固定部２６が吸引により接合焼結体４０を固定するため、把持により接合焼結体４０を固定するものに比して接合焼結体４０に傷などを付けにくい。そして、駆動モータ２４により接合焼結体４０が軸回転するため、接合焼結体４０の接合部４４の全体を検査しやすい。そしてまた、照射ユニット３１が接合焼結体４０へ面照射により光を照射するため、接合焼結体４０の全体に均一な光を照射可能であり、接合焼結体４０の全体を検査しやすい。
【００２１】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２２】
例えば、上述した実施形態では、上側の筒状部４３を固定部２６によって固定するものとしたが、接合焼結体４０の下側の筒状部４３で固定するものとしてもよいし、上側と下側との両方の筒状部４３で固定するものとしてもよい。また、固定部２６は、筒状部４３で固定するものとしたが、本体部材４２で固定するものとしてもよい。
【００２３】
上述した実施形態では、照射ユニット３１は、光を面照射するものとしたが、点照射や線照射するものでもかまわない。こうしても、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能であるため、接合部４４での不具合を検査しやすい。
【００２４】
上述した実施形態では、駆動モータ２４により接合焼結体４０を軸回転可能なものとしたが、これを省略してもかまわない。なお、接合焼結体４０を回転可能とすることが、接合焼結体４０の全体を検査するのに好ましい。
【００２５】
上述した実施形態では、検査対象は、中空部４０ａを有するものとしたが、特にこれに限定されず、検査する曲面に接合部が形成されているものであればどのような形状であってもかまわない。また、筒状部４３が形成されているものとしたが、これを形成していないものとしてもよい。
【００２６】
上述した実施形態では、カメラ３５が光を受光し情報処理装置３８で画像を生成するものとしたが、光を信号に変換し画像として表示可能なものであれば特に限定されずに用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、接合体の検査分野に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】接合焼結体検査装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図１（ａ）が側面図、図１（ｂ）が上方から見た説明図である。
【図２】接合焼結体４０の説明図であり、図２（ａ）が偏光板３２，３４を使用しないときの図、図２（ｂ）が偏光板３２，３４を使用したときの図である。
【符号の説明】
【００２９】
２０ 接合焼結体検査装置、２１ ベース台、２２ 支持部材、２３ 上部ユニット、２４ 駆動モータ、２５ 固定用ロッド、２６ 固定部、３１ 照射ユニット、３２ 第１偏光板、３４ 第２偏光板、３５ カメラ、３８ 情報処理装置、３９ ディスプレイ、４０ 接合焼結体、４０ａ 中空部、４２ 本体部材、４３ 筒状部、４４ 接合部、４５ クラック、４６ 気泡。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関し、詳しくは曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象の不具合を検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査装置としては、偏光素子を介して検査対象へ光源から光を照射し検査対象及び検光素子を透過した光をカメラで撮影し、液体が詰められた容器に混入した固形異物を検査することにより、液体中に存在する屈折率の異なる泡などを偏光素子と検光素子とによりフィルタリングして異物として誤検出するのを抑制したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−１９７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、この特許文献１に記載された検査装置では、容器内部に混入した固形異物の有無を検査することは考慮されていたが、曲面を有し２つの部材が接合した部材における、例えば接合部分の検査については検討されていなかった。
【０００４】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象の不具合を検査しやすい検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００６】
即ち、本発明の検査装置は、
検査対象の不具合を検査する検査装置であって、
曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている前記検査対象を固定する固定手段と、
光を照射する照射手段と、
光を受光する受光部を有し該受光した光に基づいて画像を生成する画像生成手段と、
前記照射手段によって照射された光を偏光して前記固定された検査対象へ入射させる第１偏光手段と、
前記固定された検査対象を透過した光を偏光して前記画像生成手段の受光部へ受光させる第２偏光手段と、
を備えたものである。
【０００７】
この検査装置では、曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている検査対象へ偏光した光を照射すると共に、検査対象の曲面を介して入射した光を偏光して受光部に受光する。このように、照射された光を偏光して検査対象に入射し、検査対象を透過して散乱した光を更に偏光して受光部で受光することにより、曲面を介した光によって得られた検査対象の画像の一部が明るくなり一部が暗くなるのを抑制可能である。したがって、検査対象のより広い範囲を検査可能であるため、曲面を有する検査対象の接合部での不具合を検査しやすい。
【０００８】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、直線透過率が低い物質、例えば乳白色で透光性を有するセラミックス（直線透過率１０％〜３５％）により形成されている検査対象を固定するものとしてもよい。直線透過率が低い物質には、検査用の光を均一とする本発明を適用する意義が高い。このとき、検査対象は、メタルハライド用発光管であるものとしてもよいし、高圧ナトリウムランプ用発光管であるものとしてもよい。
【０００９】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、開口端を有するカップ形状の前記第１部材と開口端を有するカップ形状の前記第２部材とを対向し該開口端同士が前記接合部で接合して中空状に形成されている前記検査対象を固定するものとしてもよい。即ち、第１及び第２部材の円周方向に形成されている接合部において、検査対象の周縁部に向けて接合部の状態が確認しにくくなることを抑制することができる。このとき、前記固定手段は、前記カップ形状の底部に貫通して形成された筒状部を有する検査対象を該筒状部で固定するものとしてもよい。こうすれば、検査対象を固定しやすいし、検査時に検査対象の向きを変えやすい。
【００１０】
本発明の検査装置において、前記第２偏光手段は、前記固定された検査対象を透過した光を前記第１偏光手段と同様の方向に偏光して前記受光部へ受光させるものとしてもよい。
【００１１】
本発明の検査装置は、前記固定手段に固定された検査対象を該検査対象の中心軸を中心として回転させる回転駆動手段、を備えたものとしてもよい。こうすれば、検査対象の接合部の全体を検査しやすい。
【００１２】
本発明の検査装置において、前記固定手段は、前記検査対象の上方を固定するものとしてもよい。あるいは、前記検査対象の下方を固定するものとしてもよいし、前記検査対象の上方と下方とを固定するものとしてもよい。
【００１３】
本発明の検査装置において、前記照射手段は、面照射により光を照射するものとしてもよい。こうすれば、検査対象の全体に均一な光を照射可能であるため、検査対象の全体を検査しやすい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である接合焼結体検査装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図１（ａ）が側面図、図１（ｂ）が上方から見た説明図であり、図２は、接合焼結体４０の説明図であり、図２（ａ）が偏光板３２，３４を使用しないときの図、図２（ｂ）が偏光板３２，３４を使用したときの図である。本実施形態の接合焼結体検査装置２０は、接合焼結体４０の接合部４４などにクラックや気泡などの不具合の発生を検査する装置である。
【００１５】
まず、検査対象である接合焼結体４０から説明する。接合焼結体４０は、メタルハライド用発光管であり、図１及び図２に示すように、開口端を有すると共に曲面を有するカップ形状の本体部材４２の２つを対向し、この開口端同士が接合部４４で接合して中空部４０ａが形成されている形状を有している。この接合焼結体４０は、その曲面即ち本体部材４２の円周方向に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている。この本体部材４２には、カップ形状の底部に貫通した筒状部４３が形成されている。この筒状部４３は、カップ形状部分よりも直径が小さく形成されている。また、接合焼結体４０は、乳白色で透光性を有するセラミックス（直線透過率１０％〜３５％、例えばアルミナなど）により形成されている。この接合焼結体４０の不具合には、図２（ｂ）の拡大図に示すように、接合部４４内部でのクラックや、接合部４４と本体部材４２との間のクラック、接合部４４内部に生じた気泡、接合部４４と本体部材４２との間に生じた気泡など、接合部４４に関する不具合のほか、本体部材４２でのクラックや異物の混入、気泡の発生などが含まれる。なお、接合焼結体４０を高圧ナトリウムランプ用発光管であるものとしてもよい。
【００１６】
接合焼結体検査装置２０は、図１に示すように、矩形状の平板として形成され接合焼結体検査装置２０を支える固定台としてのベース台２１と、ベース台２１の一端に立設された支持部材２２と、支持部材２２の上端に固定されベース台２１の中央側に向かって形成された上部ユニット２３とを備えている。この上部ユニット２３には、ベース台２１の略中央上方から下方に向かって配設された固定用ロッド２５と、この固定用ロッド２５の先端に設けられ接合焼結体４０を固定する固定部２６と、が設けられている。この固定部２６は、接合焼結体４０に設けられた上側の筒状部４３を吸引により吸着させることにより接合焼結体４０を固定するように構成されている。また、上部ユニット２３には固定用ロッド２５を軸中心で回転させる駆動モータ２４が設けられており、筒状部４３を中心軸として接合焼結体４０を回転可能となっている（矢印Ａ参照）。
【００１７】
また、接合焼結体検査装置２０は、固定部２６に固定された接合焼結体４０へ光を照射する照射ユニット３１と、照射ユニット３１と接合焼結体４０との間に固定された第１偏光板３２と、接合焼結体４０を透過した光を受光するカメラ３５と、接合焼結体４０とカメラ３５との間に固定された第２偏光板３４と、を備えている。照射ユニット３１は、面照射により接合焼結体４０全体へ光を照射可能に構成されており、図示しないダイヤルを操作することにより照射光量を調節可能となっている。第１偏光板３２は、所定方向に振動する光のみを透過する板であり、照射ユニット３１から照射された光がカメラ３５の方向へ入射するように配置されている。第２偏光板３４は、第１偏光板３２と同じく所定方向に振動する光のみを透過する板であり、接合焼結体４０で散乱した光を第１偏光板３２と同じ方向に偏光してカメラ３５へ入射させるように配置されている。カメラ３５は、受光した光を信号に変換して情報処理装置３８へ出力するものである。情報処理装置３８は、カメラ３５から入力した信号に基づいて画像を生成し、ディスプレイ３９へ表示させる装置である。
【００１８】
次に、このように構成された接合焼結体検査装置２０の動作、特に、接合焼結体４０の接合部４４を検査する動作について説明する。まず、検査者は、接合焼結体４０を固定部２６へ装着し、図示しないダイヤルを操作して、駆動モータ２４を駆動し、接合焼結体４０をゆっくり回転させる。次に、検査者は、図示しない操作パネルのダイヤルを操作し、照射ユニット３１から光を照射させる。すると、照射ユニット３１から照射された光が第１偏光板３２で偏光され接合焼結体４０へ入射し、接合焼結体４０を透過して第２偏光板３４で更に偏光されカメラ３５へ入射する（図１の矢印Ｂ参照）。この入射した光をカメラ３５が検出し、この信号に基づいて、情報処理装置３８が撮影画像へ処理し、この撮影画像をディスプレイ３９に表示する。ここで、例えば、第１偏光板３２及び第２偏光板３４を装着せずに接合焼結体４０をカメラ３５で撮影した場合には、図２（ａ）に示すように、接合焼結体４０で光が散乱し、周縁部が暗くなると共に軸方向の中心部が明るくなり、視認可能な範囲が狭い状態となる。この場合は、クラック４５や気泡４６などを視認可能なように接合焼結体４０の回転速度をより遅くするなどが必要になるため、１つのサンプルを検査する時間が長くなってしまう。ここでは、第１偏光板３２及び第２偏光板３４を装着し光を偏光させるため、接合焼結体４０での光の散乱の影響を抑制可能である。この結果、図２（ｂ）に示すように、周縁部と中心部との明るさの差の発生が抑制され、接合焼結体４０の全体を視認可能な撮影画像を得ることができる。この撮影画像を検査者がチェックし、接合焼結体４０の検査を行うのである。
【００１９】
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の接合焼結体４０が本発明の検査対象に相当し、固定部２６が固定手段に相当し、照射ユニット３１が照射手段に相当し、カメラ３５及び情報処理装置３８が画像生成手段に相当しこのうちカメラ３５が受光部に相当し、第１偏光板３２が第１偏光手段に相当し、第２偏光板３４が第２偏光手段に相当し、駆動モータ２４が回転駆動手段に相当する。
【００２０】
以上詳述した本実施形態の接合焼結体検査装置２０によれば、曲面を有しこの曲面に本体部材４２同士の接合部４４が形成されている接合焼結体４０へ第１偏光板３２により偏光した光を照射すると共に、接合焼結体４０の曲面を介して入射した光を第２偏光板３４により偏光してカメラ３５が受光する。このように、照射された光を偏光して接合焼結体４０に入射し、接合焼結体４０を透過して散乱した光を更に偏光してカメラ３５で受光することにより、曲面を介した光によって撮影画像の周縁が暗くなってしまうのを抑制可能である。したがって、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能であるため、接合部４４での不具合を検査しやすい。また、接合焼結体４０がメタルハライド用発光管である乳白色で透光性を有するセラミックスにより形成されているため、検査用の光を均一とする本発明を適用する意義が高い。更に、本体部材４２の円周方向に接合部４４が形成されているため、接合焼結体４０の周縁部に向けて接合部の状態を確認しにくくなることを抑制することができる。更にまた、筒状部４３で固定部２６が固定するため、接合焼結体４０を固定しやすいし、検査時に接合焼結体４０の向きを変えやすい。また、固定部２６が吸引により接合焼結体４０を固定するため、把持により接合焼結体４０を固定するものに比して接合焼結体４０に傷などを付けにくい。そして、駆動モータ２４により接合焼結体４０が軸回転するため、接合焼結体４０の接合部４４の全体を検査しやすい。そしてまた、照射ユニット３１が接合焼結体４０へ面照射により光を照射するため、接合焼結体４０の全体に均一な光を照射可能であり、接合焼結体４０の全体を検査しやすい。
【００２１】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
【００２２】
例えば、上述した実施形態では、上側の筒状部４３を固定部２６によって固定するものとしたが、接合焼結体４０の下側の筒状部４３で固定するものとしてもよいし、上側と下側との両方の筒状部４３で固定するものとしてもよい。また、固定部２６は、筒状部４３で固定するものとしたが、本体部材４２で固定するものとしてもよい。
【００２３】
上述した実施形態では、照射ユニット３１は、光を面照射するものとしたが、点照射や線照射するものでもかまわない。こうしても、接合焼結体４０のより広い範囲を検査可能であるため、接合部４４での不具合を検査しやすい。
【００２４】
上述した実施形態では、駆動モータ２４により接合焼結体４０を軸回転可能なものとしたが、これを省略してもかまわない。なお、接合焼結体４０を回転可能とすることが、接合焼結体４０の全体を検査するのに好ましい。
【００２５】
上述した実施形態では、検査対象は、中空部４０ａを有するものとしたが、特にこれに限定されず、検査する曲面に接合部が形成されているものであればどのような形状であってもかまわない。また、筒状部４３が形成されているものとしたが、これを形成していないものとしてもよい。
【００２６】
上述した実施形態では、カメラ３５が光を受光し情報処理装置３８で画像を生成するものとしたが、光を信号に変換し画像として表示可能なものであれば特に限定されずに用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、接合体の検査分野に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】接合焼結体検査装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図１（ａ）が側面図、図１（ｂ）が上方から見た説明図である。
【図２】接合焼結体４０の説明図であり、図２（ａ）が偏光板３２，３４を使用しないときの図、図２（ｂ）が偏光板３２，３４を使用したときの図である。
【符号の説明】
【００２９】
２０ 接合焼結体検査装置、２１ ベース台、２２ 支持部材、２３ 上部ユニット、２４ 駆動モータ、２５ 固定用ロッド、２６ 固定部、３１ 照射ユニット、３２ 第１偏光板、３４ 第２偏光板、３５ カメラ、３８ 情報処理装置、３９ ディスプレイ、４０ 接合焼結体、４０ａ 中空部、４２ 本体部材、４３ 筒状部、４４ 接合部、４５ クラック、４６ 気泡。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象の不具合を検査する検査装置であって、
曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている前記検査対象を固定する固定手段と、
光を照射する照射手段と、
光を受光する受光部を有し該受光した光に基づいて画像を生成する画像生成手段と、
前記照射手段によって照射された光を偏光して前記固定された検査対象へ入射させる第１偏光手段と、
前記固定された検査対象を透過した光を偏光して前記画像生成手段の受光部へ受光させる第２偏光手段と、
を備えた検査装置。
【請求項１】
検査対象の不具合を検査する検査装置であって、
曲面を有し該曲面に第１部材と第２部材との接合部が形成されている前記検査対象を固定する固定手段と、
光を照射する照射手段と、
光を受光する受光部を有し該受光した光に基づいて画像を生成する画像生成手段と、
前記照射手段によって照射された光を偏光して前記固定された検査対象へ入射させる第１偏光手段と、
前記固定された検査対象を透過した光を偏光して前記画像生成手段の受光部へ受光させる第２偏光手段と、
を備えた検査装置。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００８−２３２７１３（Ｐ２００８−２３２７１３Ａ）
【公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−７０４５１（Ｐ２００７−７０４５１）
【出願日】平成１９年３月１９日（２００７．３．１９）
【出願人】（０００００４０６４）日本碍子株式会社 (2,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１０月２日（２００８．１０．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月１９日（２００７．３．１９）
【出願人】（０００００４０６４）日本碍子株式会社 (2,325)
【Ｆターム（参考）】
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