機器管理装置、機器管理方法及びプログラム
【課題】ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供する。
【解決手段】管理対象機器１００で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部２１２と、当該機器管理装置２００に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部２１３と、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベントと操作状態取得部２１３で取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいてモニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部２２０，２１１を備える。
【解決手段】管理対象機器１００で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部２１２と、当該機器管理装置２００に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部２１３と、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベントと操作状態取得部２１３で取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいてモニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部２２０，２１１を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置、当該機器管理装置による機器管理方法、及び、当該機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、機器監視システムにおいて、監視対象機器内部に障害が発生した場合の障害通知に関する制御方法として、障害発生時のメッセージＩＤに基づく制御を行う技術がある（例えば、下記の特許文献１参照）。具体的に、当該技術では、まず、予め障害発生し得るメッセージＩＤのうち、ＳＥが待機する遠隔端末に対してメッセージ送信すべきメッセージＩＤのみを一覧として保持する。その上で、当該メッセージＩＤに符合する障害が発生した場合のみ、遠隔端末に障害メッセージを送信するというものである。この技術では、監視体制として、例えば、日常的に発生し且つ復帰手段が容易な障害に関しては、監視対象機器に物理的距離が近い監視者が対応を行う。一方、例えば、発生頻度が低いものや復帰手段に知識・経験を必要とするものに関しては、遠隔地に待機する専門家に対応を依頼する。この技術の場合、監視者及び専門家の役割分担を明確にする効果がある。
【０００３】
また、従来、例えば、電子会議室のスケジュール管理システムにおいて、予め予約済みの会議時間が近づいたときに、管理対象機器である利用者端末にて警告メッセージやブザー音を鳴らす等の制御を行う技術がある（例えば、下記の特許文献２参照）。具体的に、当該技術は、もし利用者端末の利用者が当該利用者端末を使用中でないと判定した場合には、警告メッセージやブザー音を鳴らさないというものである。即ち、この技術は、もし会議室予約済みであるにもかかわらず警告メッセージやブザー音を鳴らしたくない状況が発生するときには、予めその旨の設定を手動で行わなければならないという煩わしさから利用者を開放するものである。
【０００４】
また、従来、例えば、監視対象機器に対して利用者がユーザ・プリセット値を設定済みの場合、ユーザ・プリセット値の利用時に機器状況の変化を利用者に伝える技術がある（例えば、下記の特許文献３参照）。具体的に、当該技術では、まず、例えば、監視対象機器である複合機に対して予めユーザがコピーモードを設定する。その上で、そのコピーモードを利用してコピーを実行する際、複合機のトナー残量が僅かでそれに影響を受けるコピーモード設定がある場合、例えば濃度自動設定が含まれる場合、ユーザに向けて警告メッセージを表示してコピーモード設定の変更を促すものである。この技術では、コピーの実行直前に機器状態のユーザ・プリセット値への影響が確認されるため、特に、実行時間の消費が問題になる場合や消耗品のコストが問題になる場合には効果がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１０５４３７号公報
【特許文献２】特開平１０−１７１８８６号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１の技術においては、監視対象機器において発生した障害のうち、遠隔端末に対してはＳＥにとって必要な内容のみを伝えることは可能であるものの、遠隔端末上におけるＳＥの操作状況を考慮するものではなかった。例えば、ＳＥが遠隔端末を操作中ではあるが、監視ではなく別の目的で操作している場合、且つ、別の遠隔端末において機器監視が行われていることが保証済みの場合においては、本来、更なる警告メッセージ出力の抑止が要求されるところである。
【０００７】
また、上述した特許文献２の技術においては、会議予定時間が近づいたときに警告メッセージの出力制御において利用者端末の利用状況は考慮されるものの、その利用内容にまで踏み込んだものではなかった。例えば、利用者端末を利用中ではあるが、当該システムとは別の、しかも、非常に操作危険性の高いシステムのグラフィック・ウィンドウを操作中に、会議室予約時刻を伝えるメッセージウィンドウのポップアップ動作は、好ましくないはずである。
【０００８】
また、上述した特許文献３の技術においては、監視対象機器の現在の状態がユーザ・プリセット値の利用時に参照され、その影響が通知されるものの、利用時ではその時期が遅い場合がある。例えば、より複雑な機器においては、ユーザ・プリセット値の種類が多く、その組み合わせの仕方に重要な意味がある場合には、ユーザ・プリセット値の作成時と利用時の時間間隔が大きい程、変更が困難なものである。この場合、例えば、ユーザ・プリセット値の利用時に、ユーザ・プリセット値の変更や、影響のある他プリセット値の変更を要求されても、変更方法を即座に推定できない場合がある。
【０００９】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の機器管理装置は、モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置であって、前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部と、当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部と、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部と、前記機器イベント検出部で検出した機器イベントと前記操作状態取得部で取得した操作状態とを検索キー情報として前記操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部とを有する。
また、本発明は、上述した機器管理装置による機器管理方法、及び、当該機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することができる。これにより、ユーザにおける全体としての作業効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る機器管理システムの概略構成の一例を示す模式図である。
【図２−１】本発明の実施形態に係る機器管理装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図２−２】本発明の実施形態に係る機器管理装置の機能構成の一例を示す模式図である。
【図３】図１に示す機器管理装置におけるステッパのエラー回復処理の一例を示すフローチャートである。
【図４】図１に示す機器管理装置におけるステッパ内部のレシピファイルの編集処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップＳ４０２で編集処理されるプロセスパラメータの構成要素とその構造の一部を示した模式図である。
【図６】図２−２に示す操作状態・機器イベント関連情報記憶部に記憶されている操作状態・機器イベント関連情報の一例を示す模式図である。
【図７】図２−２に示すメッセージＩＤ情報記憶部に記憶されているメッセージＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【図８】図２−２に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部に記憶されているウィンドウレイアウトＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【図９】図２−２に示す強調表示予約情報記憶部に記憶されている強調表示予約情報の一例を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、機器イベントの発生を検出してから警告ウィンドウの出力／表示を行う処理までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１１】図１に示す機器管理装置のモニタに表示されるウィンドウの一例を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、ウェハアライメントエラーに関するメッセージの表示後、レシピ編集作業の中断及び再開するまでの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１に示す機器管理装置のモニタに表示されるプロセスパラメータ編集画面の一例を示す模式図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、プロセスパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、アライメントパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（実施形態）について説明する。なお、以下の説明では、管理対象機器として半導体露光装置（ステッパ）を適用し、当該半導体露光装置を機器管理装置においてリモート（遠隔）で管理する機器管理システムの例について説明を行う。ここで、機器管理装置において管理対象機器を「管理」することには、管理対象機器の「監視及び制御、更には、露光ジョブ定義ファイルを編集」することが含まれるものと定義する。
【００１４】
また、管理対象機器として適用する半導体露光装置に関する用語は、一般には馴染みが少なく、また、半導体露光装置の製造元ごとに異なる用語を使用する場合もあるため、混乱を避ける目的で以下の説明において用いる用語を規定する。
・半導体露光装置：回路パターンが形成されているレチクルに照明光を照射して、ウェハに当該回路パターンを転写することによってウェハに半導体集積回路を形成するための装置であり、以下の本実施形態の説明では「ステッパ」と記述する。
・ウェハ：単結晶シリコン等を薄い板状にしたものであり、半導体素子の基板となる。
・ウェハアライメント：レチクル上の回路パターンをウェハ上の正しい位置に転写するためのウェハ位置合わせ動作のことである。
・レチクル：ウェハに転写する回路パターンが描かれている原板である。
・レチクルアライメント：レチクル上の回路パターンをウェハ上の正しい位置に転写するためのレチクル位置合わせ動作のことである。
・レシピ：レチクル上の回路パターンをウェハ上へ正確に露光するために必要なデータ（パラメータ類）の集合体、または、その内容を集めて管理するファイル（露光ジョブ定義ファイル）のことである。「レシピファイル」と記載した場合も同じ意味である。
・レシピパラメータ：ウェハの露光工程前、即ちジョブの実行前に、実行するジョブの内容（レシピ）を設定するパラメータのことであり、工程に依存するパラメータである。
・システムパラメータ：ステッパの設置及び保守点検時に設定を変更するパラメータである。具体的に、ステッパの基本性能を最適に保つために、装置固有の最適値を設定するものであり、装置に依存するパラメータである。
・照明モード：照明条件に関する属性値の集まりである。通常、予め照明モードを複数用意しておくが、本実施形態ではこれを照明モード・プリセットと記述する。レシピファイルの内部において既に作成済みの照明モード・プリセット中の任意の１つを割り当て、さらに、レシピファイル独自の属性値を追加して照明モードとして完成させる。
・レイアウトパラメータ：レチクルＩＤや露光レイアウト等から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・プロセスパラメータ：露光条件、フォーカス条件等から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・アライメントパラメータ：アライメントマークに関する情報から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・サンプルショット：ウェハ露光前のアライメント等の各種計測に使用するショットのことである。
・エキストラショット：特定の計測用ショットのことである。
【００１５】
次に、本実施形態に係る機器管理システムの概略構成について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る機器管理システムの概略構成の一例を示す模式図である。図１に示す機器管理システム１０は、ステッパ１００、機器管理装置２００、及び、ネットワーク３００を有して構成されている。図１に示す機器管理システム１０には、２台の機器管理装置２００−１及び２００−２が構成された例が示されているが、以下の説明において、特に機器管理装置を特定しない場合には、機器管理装置２００として説明を行う。
【００１６】
図１に示す例では、機器管理装置２００において、イーサネット（登録商標）等の標準的なネットワーク３００を通信手段として、１台のステッパ１００をリモート（遠隔）で管理する場合を示している。
【００１７】
ここで、ステッパ１００は、露光動作稼動中であるものとする。機器管理装置２００は、ステッパ１００を遠隔地から管理（監視及び制御）し、必要に応じてステッパ１００内に保存されているレシピファイルを編集する処理を行う情報処理装置である。この機器管理装置２００は、単に情報処理能力を有するだけでなく、マルチウィンドウ表示が可能な表示部（モニタ）と、文字入力のためのキーボードと、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイスを備えて構成されている。
【００１８】
ここで、本実施形態における説明では、機器管理装置２００−１をステッパ１００の監視目的で使用するものとし、機器管理装置２００−２をステッパ１００内に保存されているレシピファイルの編集目的で使用するものとする。なお、この形態は一例を示したものであり、例えば、１つの機器管理装置２００において、ステッパ１００の監視、及び、ステッパ１００内に保存されているレシピファイルの編集等の制御を行う形態も本発明に適用可能である。
【００１９】
次に、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００の概略構成について説明する。
【００２０】
図２−１は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
図２−１に示す機器管理装置２００は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３、外部メモリ２０４、入力デバイス２０５、表示部２０６、通信インタフェース（通信Ｉ／Ｆ）２０７、及び、バス２０８のハードウェア構成を有して構成されている。
【００２１】
ＣＰＵ２０１は、例えば、ＲＯＭ２０３或いは外部メモリ２０４に記憶されたプログラムやデータを用いて、当該機器管理装置２００全体の制御を行う。
【００２２】
ＲＡＭ２０２は、ＳＤＲＡＭ、ＤＲＡＭなどによって構成され、ＲＯＭ２０３或いは外部メモリ２０４からロードされたプログラムやデータを一時的に記憶するエリアを備えるとともに、ＣＰＵ２０１が各種の処理を行うために必要とするワークエリアを備える。
【００２３】
ＲＯＭ２０３は、変更を必要としないプログラムや各種のパラメータ等の情報などを格納している。
【００２４】
外部メモリ２０４は、例えば、オペレーティングシステム（ＯＳ）やＣＰＵ２０１が実行するプログラム、更には、本実施形態の説明において既知としている情報などを記憶している。なお、本実施形態においては、本実施形態に係る処理を実行するためのプログラムは、外部メモリ２０４に記憶されているものとするが、例えばＲＯＭ２０３に記憶されている形態であっても適用可能である。
【００２５】
入力デバイス２０５は、例えば、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイスやキーボード等を具備して構成されており、例えばユーザが機器管理装置２００に対して各種の指示を行う際に操作され、当該指示をＣＰＵ２０１等に入力する。
【００２６】
表示部２０６は、例えば、モニタ等を具備して構成されており、ＣＰＵ２０１の制御に基づいて、各種のデータや各種の情報をモニタに出力する。
【００２７】
通信Ｉ／Ｆ２０７は、当該機器管理装置２００と外部装置のステッパ１００との間で行われる、各種のデータや各種の情報の送受信を司るものである。
【００２８】
バス２０８は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３、外部メモリ２０４、入力デバイス２０５、表示部２０６及び通信Ｉ／Ｆ２０７を相互に通信可能に接続する。
【００２９】
また、図２−２は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００の機能構成の一例を示す模式図である。
図２−２に示す機器管理装置２００は、ウィンドウ制御部２１１、機器イベント検出部２１２、操作状態取得部２１３、操作イベント検出部２１４、強調表示予約情報記憶部２１５、強調表示予約情報更新部２１６の機能構成を有して構成されている。さらに、機器管理装置２００は、メッセージＩＤ情報記憶部２１７、ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９、警告ウィンドウ出力制御部２２０、ウィンドウ遷移処理部２２１、ウィンドウ表示部２２２、ウィンドウ消去部２２３の機能構成を有して構成されている。
【００３０】
ウィンドウ制御部２１１は、ウィンドウの表示や消去、表示ウィンドウに基づく操作イベントや管理対象機器で発生した機器イベントの検知、操作状態の検知等のウィンドウ表示に関連する機能全体を制御するための手段である。
【００３１】
機器イベント検出部２１２は、管理対象機器であるステッパ１００内で発生した障害等の機器イベントを検出し、当該機器イベントに関する機器イベント情報をウィンドウ制御部２１１に通知するための手段である。ここで、機器イベントとしては、管理対象機器であるステッパ１００の動作の結果発生するイベントだけでなく、他のユーザによる人為的な操作イベントも含むものである。また、管理対象機器であるステッパ１００の動作の結果発生するイベントには、ステッパ１００に発生した障害が含まれ、他のユーザによる人為的な操作イベントには、ステッパ１００に発生した障害から回復するために行われた設定の変更が含まれる。
【００３２】
操作状態取得部２１３は、機器管理装置２００（具体的には、機器管理装置２００−２）に対するユーザの操作状態に関する操作状態情報を取得するための手段である。
操作イベント検出部２１４は、機器管理装置２００（具体的には、機器管理装置２００−２）において、例えば［ＯＫ］ボタンを押下する等のユーザが行った操作イベントを検出し、当該操作イベント情報をウィンドウ制御部２１１に通知するための手段である。即ち、操作イベント検出部２１４は、機器管理装置２００に対するユーザの操作イベントを検出するものである。
【００３３】
強調表示予約情報記憶部２１５は、ユーザが、ウィンドウ内の特定部位（例えば特定のテキストフィールドやラジオボタン等）に着目し易いように、当該特定部位（特定部品）を強調表示するための強調表示予約情報の記憶手段である。
強調表示予約情報更新部２１６は、強調表示予約情報記憶部２１５に記憶されている強調表示予約情報に関する情報を更新するための手段である。
【００３４】
メッセージＩＤ情報記憶部２１７は、ウィンドウ内に表示する全てのメッセージ文言とそのメッセージＩＤとの組に関するメッセージＩＤ情報の記憶手段である。
【００３５】
ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８は、ウィンドウの概観やその中身の部品配置に関するウィンドウレイアウトに係る内容とそのＩＤとの組に関するウィンドウレイアウトＩＤ情報の記憶手段である。
【００３６】
操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９は、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベント情報と操作状態取得部２１３で取得した操作状態情報との各々の情報要素の組み合わせに対して、ウィンドウ出力の要否、メッセージ文言、ウィンドウレイアウト内容、特定部品を強調表示するための情報等の各々を決定付ける操作状態・機器イベント関連情報の記憶手段である。即ち、操作状態・機器イベント関連情報は、当該機器管理装置２００に対するユーザの操作状態ごとに機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した情報である。
【００３７】
警告ウィンドウ出力制御部２２０は、出力されるべき警告ウィンドウ（警告メッセージウィンドウ）の内容を決定するための手段である。
【００３８】
本実施形態において、ウィンドウ制御部２１１及び警告ウィンドウ出力制御部２２０は、本発明における「制御部」を構成する。
この制御部では、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベントと操作状態取得部２１３で取得した操作状態とを検索キー情報として操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から操作状態・機器イベント関連情報を取得する。そして、この制御部では、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいてモニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う。さらに、この制御部では、前記取得した操作状態・機器イベント関連情報に加えて、強調表示予約情報、メッセージＩＤ情報及びウィンドウレイアウトＩＤ情報を用いて、モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う。また、この制御部は、操作イベント検出部２１４で検出した操作イベントに応じてウィンドウ遷移処理部２２１に対する制御を行う。
【００３９】
ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１の制御に基づいてモニタに出力するウィンドウの表示遷移処理を行う手段である。
ウィンドウ表示部２２２は、ウィンドウ遷移処理部２２１による表示遷移処理に基づいてモニタにウィンドウを表示する手段である。
ウィンドウ消去部２２３は、ウィンドウ遷移処理部２２１による表示遷移処理に基づいてモニタに表示されているウィンドウを消去する手段である。
【００４０】
ここで、図２−１に示す機器管理装置２００のハードウェア構成と、図２−２に示す機器管理装置２００の機能構成との対応関係の一例について以下に示す。
例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、並びに、ＲＡＭ２０２から、図２−２のウィンドウ制御部２１１、強調表示予約情報更新部２１６、警告ウィンドウ出力制御部２２０、及び、ウィンドウ遷移処理部２２１が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、通信Ｉ／Ｆ２０７から、図２−２の機器イベント検出部２１２が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、入力デバイス２０５から、図２−２の操作状態取得部２１３、及び、操作イベント検出部２１４が構成される。また、例えば、図２−１のＲＡＭ２０２或いは外部メモリ２０４から、図２−２の強調表示予約情報記憶部２１５、メッセージＩＤ情報記憶部２１７、ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８、及び、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、表示部２０６から、図２−２のウィンドウ表示部２２２、及び、ウィンドウ消去部２２３が構成される。
【００４１】
図３は、図１に示す機器管理装置２００−１におけるステッパ１００のエラー回復処理の一例を示すフローチャートである。具体的に、図３は、ステッパ１００においてエラーが発生後、機器管理装置２００−１を使用中の監視者（管理者）によってエラー回復操作が行われた場合のエラー回復処理の処理手順の一例が示されている。なお、図３に示すフローチャートの処理はあくまでも一例を示したものであり、異なるエラー回復処理の手順となる可能性もあり得る。
【００４２】
まず始めに、図３のステップＳ３０１において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、ステッパ１００におけるエラーの発生を検出する。
【００４３】
続いて、ステップＳ３０２において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えば監視者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、ステッパ１００におけるエラーに関する原因を調査／分析処理する。ここで、管理対象機器がステッパ１００である場合、エラーの種類に応じて予め複数の回復手段が用意されている。しかしながら、仮にエラーの種類を１つ特定できたとしても当該回復手段の種類が多く、また、予め回復手段を特定することは困難である。したがって、エラー発生後の回復作業は、作業者である監視者の知識や経験を伴う試行錯誤的な作業となる場合が多い。
【００４４】
続いて、ステップＳ３０３において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えばステップＳ３０２の調査／分析処理の結果に基づいて、システムパラメータの変更が必要であるか否かを判断する。この判断の結果、システムパラメータの変更が必要でない場合には、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４５】
一方、ステップＳ３０３の判断の結果、システムパラメータの変更が必要である場合には、ステップＳ３０４に進む。
ステップＳ３０４に進むと、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えば監視者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、システムパラメータの変更処理を行う。
【００４６】
システムパラメータの種類によりその変更が照明モード・プリセットに影響する場合があるため、続いて、ステップＳ３０５において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、Ｓ３０４の変更が照明モード・プリセットに影響があるか否かの判断を行う。この判断の結果、照明モード・プリセットに影響がない場合には、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４７】
一方、ステップＳ３０５の判断の結果、照明モード・プリセットに影響がある場合には、ステップＳ３０６に進む。
ステップＳ３０６に進むと、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、ステップＳ３０４のシテムパラメータの変更結果を照明モードに反映する処理を行う。その後、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４８】
図４は、図１に示す機器管理装置２００−２におけるステッパ１００内部のレシピファイルの編集処理の一例を示すフローチャートである。具体的に、図４は、機器管理装置２００−２を使用中のレシピ編集者（管理者）によってステッパ１００内部に保存されるレシピファイルの編集作業（新規作成作業も含む）が行われた際の編集処理の処理手順の一例が示されている。
【００４９】
まず始めに、図４のステップＳ４０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、レイアウトパラメータの編集処理を行う。
【００５０】
続いて、ステップＳ４０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、プロセスパラメータの編集処理を行う。
【００５１】
続いて、ステップＳ４０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、アライメントパラメータの編集処理を行う。
【００５２】
続いて、ステップＳ４０４において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、サンプルショット設定の編集処理を行う。
【００５３】
続いて、ステップＳ４０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、エキストラショット設定の編集処理を行う。その後、図４のフローチャートの処理を終了する。
【００５４】
なお、レシピファイルの新規作成作業の場合には、図４に示すフローチャートの処理に従ってレシピファイルの新規作成が行われるが、例えば、既存のレシピファイルの編集作業の場合には、必ずしもこの図４に示すフローチャートの処理に従う必要はない。この既存のレシピファイルの編集作業の場合に、例えば、途中過程であるステップＳ４０３のアライメントパラメータの編集処理等から作業を開始してもよい。
【００５５】
しかしながら、途中過程から作業を開始した場合であっても、必ず、最後の編集作業、即ち、ステップＳ４０５のエキストラショット設定の編集作業まで、図４のフローチャートの処理手順通りに処理を行う必要がある。なぜならば、当該レシピパラメータ編集処理手順は、パラメータ間の依存関係を表現したものであるため、より前方の処理手順で設定したパラメータがより後方の処理手順で設定するパラメータの依存元となる場合があるからである。そして、依存元のパラメータの値を変更した場合には、その影響を鑑みて少なくとも影響先のパラメータの値を確認しなければならず、場合によっては値の変更が必要となる。
【００５６】
図５は、図４のステップＳ４０２で編集処理されるプロセスパラメータの構成要素とその構造の一部を示した模式図である。
図５において、プロセスパラメータ５０００は、プロセスパラメータの全体を示している。照明モード５１００は、照明モードプリセット５１１０、外σ値５１２０、内σ値５１３０を有して構成されている。また、照明モードプリセット５１１０は、照明モード名５１１１、照明形状５１１２、ＵレンズのＮＡ値５１１３を有して構成されている。また、露光モード５２００は、プロセスパラメータの構成要素の一部である。
【００５７】
以上、図３、図４、図５において説明したように、ステッパ１００のエラー発生から回復作業終了までの手段には、システムパラメータ設定の変更に関する依存関係があることが分かる。また、レシピファイル編集に関しては、レシピパラメータ間に依存関係があるため、その編集手順に依存関係があること、更に、プロセスパラメータ５０００は、照明モードプリセット５１１０を内包していることがわかる。
【００５８】
以上より、ステッパ１００のエラー発生から回復作業終了までの作業内容とシステムパラメータ設定の編集作業の間には、依存関係があることがわかる。本実施形態においては、当該依存関係を利用してウィンドウの出力制御を行う場合の内部構造及びその処理手順について説明する。
【００５９】
図６は、図２−２に示す操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９に記憶されている操作状態・機器イベント関連情報の一例を示す模式図である。
【００６０】
図６に示す操作状態・機器イベント関連情報には、機器イベントＩＤ６００、機器イベント内容６０１、レイアウトパラメータ編集中６０２、プロセスパラメータ編集中６０３、及び、アライメントパラメータ編集中６０４の各情報が定められている。
ここで、機器イベントＩＤ６００及び機器イベント内容６０１の情報は、管理対象機器であるステッパ１００で発生した機器イベント等の情報である。また、レイアウトパラメータ編集中６０２、プロセスパラメータ編集中６０３、及び、アライメントパラメータ編集中６０４の情報は、機器管理装置２００に対するユーザの操作状態の情報である。この操作状態の情報は、ステッパ１００を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階の情報である。
【００６１】
機器イベントＩＤ６００は、管理対象機器であるステッパ１００で発生した機器イベントを一意に特定するための番号である。図６には、機器イベントＩＤ６００として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０が示されている。
機器イベント内容６０１は、機器イベントの概略を説明した文章である。図６には、機器イベント内容６０１として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、機器イベント内容情報６１１〜６５１が示されている。
【００６２】
レイアウトパラメータ編集中６０２は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にレイアウトパラメータを編集中であることを示す。図６には、レイアウトパラメータ編集中６０２として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、レイアウトパラメータ編集中情報６１２〜６５２が示されている。
プロセスパラメータ編集中６０３は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にプロセスパラメータを編集中であることを示す。図６には、プロセスパラメータ編集中６０３として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、プロセスパラメータ編集中情報６１３〜６５３が示されている。
アライメントパラメータ編集中６０４は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にアライメントパラメータを編集中であることを示す。図６には、アライメントパラメータ編集中６０４として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、アライメントパラメータ編集中情報６１４〜６５４が示されている。
【００６３】
レイアウトパラメータ編集中情報６１２やプロセスパラメータ編集中情報６１３などに示す内容は、表示すべきウィンドウを決定付けるための情報で構成されている。また、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から該当する情報の読み取り方としては、例えば、機器イベントＩＤ＝０００１が発生したとき、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集中であり、且つ、レイアウトパラメータ編集中の場合は、レイアウトパラメータ編集中情報６１２、即ち、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００が返される、というような方法に従う。
【００６４】
図７は、図２−２に示すメッセージＩＤ情報記憶部２１７に記憶されているメッセージＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【００６５】
図７に示すメッセージＩＤ情報には、メッセージＩＤ７０００、及び、メッセージ文言７００１の各情報が定めされている。
【００６６】
メッセージＩＤ７０００は、メッセージを一意に特定するための番号である。図７には、メッセージＩＤ７０００として、メッセージＩＤ情報７０１０〜７１４０が示されている。
【００６７】
メッセージ文言７００１は、ウィンドウ上に実際に出力されるメッセージ文章である。図７には、メッセージ文言７００１として、メッセージＩＤ情報７０１０〜７１４０に対応して、メッセージ文言情報７０１１〜７１４１が示されている。
【００６８】
図８は、図２−２に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８に記憶されているウィンドウレイアウトＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【００６９】
図８に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報には、ウィンドウレイアウトＩＤ８００、及び、ウィンドウレイアウト定義８０１の各情報が定めされている。
【００７０】
ウィンドウレイアウトＩＤ８００は、ウィンドウレイアウトを一意に特定するための番号である。図８には、ウィンドウレイアウトＩＤ８００として、ウィンドウレイアウトＩＤ情報８１０〜８３０が示されている。
【００７１】
ウィンドウレイアウト定義８０１は、ウィンドウレイアウト実体を決定するための情報である。図８には、ウィンドウレイアウト定義８０１として、ウィンドウレイアウトＩＤ情報８１０〜８３０に対応して、ウィンドウレイアウト定義情報８１１〜８３１が示されている。このウィンドウレイアウト定義８０１は、実際に、図８に示すウィンドウレイアウト定義情報８１１〜８３１のようにウィンドウのイメージ情報が定義されているわけではなく、これらウィンドウを作成するのにあたって必要な最低限の情報要素で構成されている。例えば、ウィンドウモーダル／モードレス制御、各パネルの大きさと開始位置座標及び色、パネル上に配置されるＵＩ部品の種類（例えば、キャプション、テキストフィールド等）と大きさと開始位置座標等の情報にて構成されている。
【００７２】
図９は、図２−２に示す強調表示予約情報記憶部２１５に記憶されている強調表示予約情報の一例を示す模式図である。
【００７３】
図９に示す強調表示予約情報には、ウィンドウＩＤ９００、強調表示項目ＩＤ９０１、レシピＩＤ９０２、及び、予約情報９０３の各情報が定めされている。
【００７４】
ウィンドウＩＤ９００は、ウィンドウレイアウトを一意に特定するための番号である。図９には、ウィンドウＩＤ９００として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０が示されている。
【００７５】
強調表示項目ＩＤ９０１は、ウィンドウＩＤ９００に基づくウィンドウ内において強調表示すべき項目を一意に特定するための番号である。図９には、強調表示項目ＩＤ９０１として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０に対応して、強調表示項目ＩＤ情報９１１〜９３１が示されている。
【００７６】
レシピＩＤ９０２は、強調表示が必要なレシピファイルのＩＤを一意に特定するための番号である。図９には、レシピＩＤ９０２として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０及び強調表示項目ＩＤ情報９１１〜９３１に対応して、レシピＩＤ情報９１２〜９３２が示されている。
【００７７】
予約情報９０３は、強調表示の必要度に応じて段階的に設定されるフラグ情報である。ここで、「Ｒ」の予約情報９１３は、強調表示は必須ではないが、この後の状況次第では、確認や修正が必要となる可能性が高いことを示す。また、「Ｆ」の予約情報９２３は、強調表示が必須であることを示す。また、「Ｎ」の予約情報９３３は、強調表示の必要性がないことを示す。
【００７８】
図１０は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、機器イベントの発生を検出してから警告ウィンドウ（警告メッセージウィンドウ）の出力／表示を行う処理までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。ここで、本例では、図１０に示すフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われるものとする。
【００７９】
まず始めに、図１０のステップＳ１００１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（機器イベント検出部２１２）は、機器イベントとして、機器エラー、システムパラメータ若しくは照明モード変更を検出する処理を行う。なお、本例では、これら以外の機器イベントを検出した場合には、図１０のフローチャートの処理は開始されない。
【００８０】
続いて、ステップＳ１００２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（操作状態取得部２１３）は、機器管理装置２００−２上においてユーザが行っている操作種類（操作状態）を取得する。
【００８１】
続いて、ステップＳ１００３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、ステップＳ１００２で取得した操作種類（操作状態）がレシピ編集中であるか否かの判断を行う。この判断の結果、ステップＳ１００２で取得した操作種類がレシピ編集中でない場合には、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８２】
一方、ステップＳ１００３の判断の結果、ステップＳ１００２で取得した操作種類がレシピ編集中である場合には、ステップＳ１００４に進む。
ステップＳ１００４に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００１で検出された機器イベント情報とステップＳ１００２で取得された操作状態情報を検索キー情報として、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９からウィンドウ作成のために必要な全ての情報と特定部品を強調表示するための情報を取得する。
【００８３】
続いて、ステップＳ１００５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、メッセージ出力が必要であるか否かを判断する。具体的に、ステップＳ１００５では、ステップＳ１００４で取得したウィンドウ作成のために必要な情報のうち、図６に示すｔｉｔｌｅＩＤを調べて、そのｔｉｔｌｅＩＤの値が「００００」でないか否かによって、メッセージ出力が必要であるか否かを判断する。
【００８４】
ステップＳ１００５の判断の結果、メッセージ出力が必要でない（ｔｉｔｌｅＩＤが「００００」である）場合には、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８５】
一方、ステップＳ１００５の判断の結果、メッセージ出力が必要である（ｔｉｔｌｅＩＤが「００００」でない）場合には、ステップＳ１００６に進む。
ステップＳ１００６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００４で取得した前記強調表示するための情報をウィンドウ制御部２１１に送信する。その後、ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信し、強調表示予約情報更新部２１６では受信した前記特定部品を強調するための情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存する。なお、上述したステップＳ１００６の処理においては、例えば、警告ウィンドウ出力制御部２２０が、ステップＳ１００４で取得した前記強調表示するための情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に直接保存する形態であってもよい。
【００８６】
続いて、ステップＳ１００７において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００４で取得した前記ウィンドウ作成のために必要な情報をウィンドウ制御部２１１に送信する。その後、ウィンドウ制御部２１１は、前記ウィンドウ作成のために必要な情報を構成後、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。そして、ウィンドウ遷移処理部２２１は、受信したウィンドウ作成のために必要な情報をウィンドウ表示部２２２に送信し、ウィンドウ表示部２２２では、受信したウィンドウ作成のために必要な情報を利用してメッセージウィンドウの表示（出力）を行う。その後、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８７】
ここで、発生した機器イベント及びユーザの操作状態により、図１０に示すフローチャートが如何に動作し、また、その結果どのようなウィンドウを出力するかについて例を挙げて説明する。
【００８８】
具体的に、まず、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６の機器イベントＩＤ＝０００１（即ち機器イベント内容６０１＝レチクルアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００８９】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００」であるレイアウトパラメータ編集中情報６１２が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、メッセージ出力が必要でないと判断され、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。
【００９０】
以上は、レチクルアライメントエラー、及び、その後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集には影響しない、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束するものである。
【００９１】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝０００２（即ち機器イベント内容６０１＝ウェハアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００９２】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００」であるレイアウトパラメータ編集中情報６２２が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、メッセージ出力が必要でないと判断され、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。
【００９３】
以上は、ウェハアライメントエラー、及び、その後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性を持つ。しかしながら、図３、図４、図５の依存関係より、レイアウトパラメータ編集の段階では、未だ設定パラメータへの影響が皆無である、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束するものである。
【００９４】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが、図６のイベントＩＤ＝１０１０（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＬａｓｅｒ Ｄｅｃｌｉｎｅ Ｃｏｅｆ．変更）、または、イベントＩＤ＝１０１１（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更）、または、イベントＩＤ＝５０５５（即ち機器イベント内容６０１＝照明モード反映）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００９５】
上記いずれの機器イベントＩＤの場合であっても、レイアウトパラメータ編集中情報６３２〜６５２におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、ステップＳ１００５ではメッセージ出力が必要でないと判断される。そして、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。この場合においても、レイアウトパラメータ編集の段階では、未だ設定パラメータへの影響が皆無であることがわかっているため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束する。
【００９６】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝０００２（即ち機器イベント内容６０１＝ウェハアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のプロセスパラメータ編集中６０３の場合の動作を説明する。
【００９７】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０、ｍｓｇＩＤ＝０５０１、５０５５、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１３、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるプロセスパラメータ編集中情報６２３が取得される。このＨＬｉｇｈｔＩＤｓの情報は、例えば、ユーザが操作中である若しくは以前操作していたウィンドウの全体或いはその一部について強調表示するための情報である。そして、その後のステップＳ１００５では、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【００９８】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【００９９】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９１０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９１１）、レシピＩＤ＝００００１９０１（図９の９１２）、予約情報＝Ｒ（図９の９１３）のように保存される。
【０１００】
予約情報＝Ｒ（図９の９１３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝０００２（図６の６２０）、即ちウェハアライメントエラー（図６の６２１）が発生しており、当該ウェハアライメントエラーは図３のフローチャートによると、システムパラメータの変更が発生し得るか否かについてこの時点では不明であり、警告発生の可能性があることしか分からないためである。
【０１０１】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される。具体的に、プロセスパラメータ編集中情報６２３においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１３が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８２１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１０２】
次いで、ウィンドウイメージ８２１のｔｉｔｌｅ部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０に基づき、図７の「Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ」７０２１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−０部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｍｓｇＩＤ＝０５０１に基づき、図７の「ウェハアライメントエラーが発生しました。」７０６１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−１部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｍｓｇＩＤ＝５０５５に基づき、「＜ｐ＞この後、当該エラーの回復処理が行われますが、その内容如何ではあなたが今編集しているプロセスパラメータを変更する必要があります。＜／ｐ＞＜ｐ＞従って、＜ｃ＝ｒｅｄ＞一旦作業状況を保存し編集行為を中断することをお勧めします＜／ｃ＞。＜ｒ＞作業再開時に変更必要箇所をお知らせします。＜／ｐ＞」７０９１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りとなる。
【０１０３】
図１１は、図１に示す機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるウィンドウの一例を示す模式図である。ここで、ウィンドウ１１００は、上述した処理によって最終的に機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるウィンドウである。
【０１０４】
具体的に、図１１のウィンドウ１１００のタイトル表示欄１１０１には、図７のメッセージ文言７０２１が示されている。また、ウィンドウ１１００の第１のメッセージ表示欄１１０２には、図７のメッセージ文言７０６１が示されており、ウィンドウ１１００の第２のメッセージ表示欄１１０３には、図７のメッセージ文言７０９１が示されている。また、ウィンドウ１１００には、「ＯＫ」ボタン１１０４が構成されている。この図１１のウィンドウ１１００は、図８のウィンドウイメージ８２１に基づくものとなっている。
【０１０５】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業を中断後、再度、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１２は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、ウェハアライメントエラーに関するメッセージの表示後、レシピ編集作業の中断及び再開するまでの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１２のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１０６】
まず、図１２のステップＳ１２０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１００）中の［ＯＫ］ボタン１１０４の押下を検出する処理を行う。
【０１０７】
続いて、ステップＳ１２０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１００に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１００を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１２０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１００が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１００が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１００を消去する。
【０１０８】
続いて、ステップＳ１２０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
具体的に、ステップＳ１２０３では、機器管理装置２００−２を操作するユーザによるレシピ編集作業を中断するための一連のウィンドウ操作を受け付け、暫しの間、機器管理装置２００−２における操作を中断する。
【０１０９】
そして、適切な時間経過後に、ユーザは、機器管理装置２００−２における操作を再開する。本例では、ステップＳ１２０４において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（操作イベント検出部２１４）が、レシピ編集画面への遷移イベントの発生を検出したとき、即ちレシピが１つ選択されてレシピ編集ウィンドウが表示されたとき、制御が開始される。
【０１１０】
続いて、ステップＳ１２０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、強調表示予約情報に情報が存在するか否かを判断する。
具体的に、ステップＳ１２０５では、編集対象としての選択済みのレシピＩＤが、図９に示すレシピＩＤ９０２として登録済みであり、かつ、図９に示す予約情報９０３が「Ｆ」であるか否かの判断を行う。
【０１１１】
ステップＳ１２０５の判断の結果、強調表示予約情報に情報が存在しない場合には、図１２に示すフローチャートの処理を終了する。
【０１１２】
一方、ステップＳ１２０５の判断の結果、強調表示予約情報に情報が存在する（即ち、編集対象としての選択済みのレシピＩＤが、図９のレシピＩＤ９０２として登録済みであり、かつ図９の予約情報９０３が「Ｆ」である）場合には、ステップＳ１２０６に進む。
ステップＳ１２０６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にメッセージウィンドウの表示（出力）する制御を行う。ここでは、図１１に示すウィンドウ１１９０の表示がなされる。
具体的に、ステップＳ１２０６では、ウィンドウ制御部２１１が保有するウィンドウ１１９０の構成情報をウィンドウ遷移処理部２２１に送信することによって、新規にウィンドウ１１９０を作成し表示を行う。
【０１１３】
続いて、ステップＳ１２０７において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
【０１１４】
続いて、ステップＳ１２０８において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１２０８では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９１０）、レシピＩＤ＝００００１９０１（図９の９１２）であるが、予約情報＝Ｒ（図９の９１３）であるため、強調表示は行われない。
【０１１５】
図１３は、図１に示す機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるプロセスパラメータ編集画面の一例を示す模式図である。
図１３において、以上の処理により表示されるウィンドウは、プロセスパラメータ編集画面１３００である。このプロセスパラメータ編集画面１３００に示すように、この時点では特に強調表示された部分が見当たらないため、ユーザはこのまま作業を続行可能である。
【０１１６】
以上は、ウェハアライメントエラーの後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性があり、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、プロセスパラメータ編集の段階では既に編集済みパラメータに影響の可能性がある、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１１７】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝１０１１（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のプロセスパラメータ編集中６０３の場合の動作を説明する。
【０１１８】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２、ｍｓｇＩＤ＝２０５０、５０７５、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１３、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるプロセスパラメータ編集中情報６４３が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【０１１９】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【０１２０】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）のように保存される。
【０１２１】
予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝１０１１（図６の６４０）、即ちシステムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更（図６の６４１）が発生しており、当該エラーは図３のフローチャートによると、ステップＳ３０５の照明モード・プリセットに影響があるかの判断において照明モード・プリセットへの影響を確定しているため、このように設定している。
【０１２２】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される。具体的に、プロセスパラメータ編集中情報６４３においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１３が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８２１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１２３】
次いで、ウィンドウイメージ８２１のｔｉｔｌｅ部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２に基づき、図７の「Ｅｒｒｏｒ」７０４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−０部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｍｓｇＩＤ＝２０５０に基づき、図７の「システムパラメータが変更されました」７０７１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−１部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｍｓｇＩＤ＝５０７５に基づき、「＜ｐ＞この後、照明モード設定の変更が予想されます。＜／ｐ＞＜ｐ＞今あなたが編集しているプロセスパラメータのうち、＜ｃ＝ｒｅｄ＞［Ｏｕｔｅｒ Ｓｉｇｍａ］と［Ｉｎｎｅｒ Ｓｉｇｍａ］の値を必ず確認／変更して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞＜ｐ＞もし、適正な値に変更しなかった場合、露光ジョブが正しく動作しない可能性があります。＜／ｐ＞」７１１１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りであるが、最終的に表示されるウィンドウは、図１１に示すウィンドウ１１１０である。
【０１２４】
具体的に、図１１のウィンドウ１１１０のタイトル表示欄１１１１には、図７のメッセージ文言７０４１が示されている。また、ウィンドウ１１１０の第１のメッセージ表示欄１１１２には、図７のメッセージ文言７０７１が示されており、ウィンドウ１１１０の第２のメッセージ表示欄１１１３には、図７のメッセージ文言７１１１が示されている。また、ウィンドウ１１１０には、「ＯＫ」ボタン１１１４が構成されている。この図１１のウィンドウ１１１０は、図８のウィンドウイメージ８２１に基づくものとなっている。
【０１２５】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１４は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、プロセスパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１４のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１２６】
まず、図１４のステップＳ１４０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１１０）中の［ＯＫ］ボタン１１１４の押下を検出する処理を行う。
【０１２７】
続いて、ステップＳ１４０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１１０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１１０を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１４０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１１０が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１１０が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１１０を消去する。
【０１２８】
続いて、ステップＳ１４０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１４０３では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）である。このため、当該エントリの強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）を取得し、ウィンドウレイアウトＩＤ＝１０４５を新規表示する際、当該項目部分に赤枠を付けて強調表示する。
【０１２９】
以上の処理により表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３１１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３１２）が赤い太線枠にて強調表示されているため、この表示値を確認もしくは変更の必要性があることがユーザにとって明瞭である。一方、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３００では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３０１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３０２）は何ら強調表示されていない。
【０１３０】
その後、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０の強調表示された値等の確認もしくは変更を行った後、［ＯＫ］ボタン１３１４を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリのうち、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に関するエントリにおいて、予約情報＝Ｎに置換される。その後、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあっても、予約情報がＮであるため、強調表示は行われず、プロセスパラメータ編集画面１３００が表示されることになる。
【０１３１】
また、仮に、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０において［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１３１５を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリにおいては、予約情報は変更されない。したがって、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあった場合、同じ形態のウィンドウ、即ち、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４が強調表示されたウィンドウ（１３１０）が表示されることが保証される。
【０１３２】
以上は、システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更の後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性があり、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、プロセスパラメータ編集の段階では既に編集済みパラメータへの影響が確定している、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１３３】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝５０５５（即ち機器イベント内容６０１＝照明モード反映）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のアライメントパラメータ編集中６０４の場合の動作を説明する。
【０１３４】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２、ｍｓｇＩＤ＝２０５１、５０９６、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１４、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるアライメントパラメータ編集中情報６５４が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【０１３５】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【０１３６】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）のように保存される。
【０１３７】
予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝５０５５（図６の６５０）、即ち照明モード反映（図６の６５１）が発生しており、当該エラーは図３のフローチャートによると、ステップＳ３０６のシステムパラメータ変更を照明モードに反映する処理において照明モード・プリセットへの影響を確定しているため、このように設定している。
【０１３８】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される、具体的に、アライメントパラメータ編集中情報６５４においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１４が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８３１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１３９】
次いで、ウィンドウイメージ８３１のｔｉｔｌｅ部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２に基づき、図７の「Ｅｒｒｏｒ」７０４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−０部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｍｓｇＩＤ＝２０５１に基づき、図７の「照明モード設定が変更されました」７０８１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−１部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｍｓｇＩＤ＝５０９６に基づき、「＜ｐ＞今あなたが編集している＜ｃ＝ｒｅｄ＞アライメントパラメータ編集作業を直ちに中止して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞＜ｐ＞［Ｃａｎｃｅｌ］ボタンを押下するとアライメントパラメータ編集中画面に戻ります。＜／ｐ＞＜ｐ＞［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタンを押下すると現在編集中のパラメータを一度保存後、プロセスパラメータ編集画面に遷移します。この画面において＜ｃ＝ｒｅｄ＞照明モードの割り当てなおし、若しくは［ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ］［ＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ］の値を確認／変更して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞」７１４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りであるが、最終的に表示されるウィンドウは、図１１に示すウィンドウ１１４０である。
【０１４０】
具体的に、図１１のウィンドウ１１４０のタイトル表示欄１１４１には、図７のメッセージ文言７０４１が示されている。また、ウィンドウ１１４０の第１のメッセージ表示欄１１４２には、図７のメッセージ文言７０８１が示されており、ウィンドウ１１４０の第２のメッセージ表示欄１１４３には、図７のメッセージ文言７１４１が示されている。また、ウィンドウ１１４０には、［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４及び［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５が構成されている。この図１１のウィンドウ１１４０は、図８のウィンドウイメージ８３１に基づくものとなっている。
【０１４１】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１５は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、アライメントパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１５のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１４２】
まず、図１５のステップＳ１５０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが如何なるボタンであるのかを判断する。具体的に、本例のステップＳ１５０１の判断は、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが、［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４、及び、［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５のうちのいずれのボタンであるかの判断が行われる。
【０１４３】
ステップＳ１５０１の判断の結果、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４である場合には、ステップＳ１５０２に進む。
ステップＳ１５０２に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１４０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１５０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１４０が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１４０が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する。
【０１４４】
続いて、ステップＳ１５０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、アライメントパラメータを保存する制御を行う。具体的に、ステップＳ１５０３では、操作イベント検出部２１４において検出された、ユーザ入力された各種パラメータ情報としてウィンドウ制御部２１１が保有する情報を、レシピファイル内部に保存する制御が行われる。
【０１４５】
続いて、ステップＳ１５０６において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１５０６では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）である。このため、当該エントリの強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）を取得し、ウィンドウレイアウトＩＤ＝１０４５を新規表示する際、当該項目部分に赤枠を付けて強調表示する。
【０１４６】
以上の処理により表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３１１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３１２）が赤い太線枠にて強調表示されているため、この表示値を確認もしくは変更の必要性があることがユーザにとって明瞭である。
【０１４７】
一方、ステップＳ１５０１の判断の結果、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５である場合には、ステップＳ１５０４に進む。
ステップＳ１５０４に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１４０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する処理を行う。このステップＳ１５０４の処理は、ステップＳ１５０３の処理と同様である。
【０１４８】
続いて、ステップＳ１５０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
具体的に、ステップＳ１５０５では、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる独自判断でレシピ編集作業を継続するウィンドウ操作を受け付ける。そして、プロセスパラメータ編集画面に遷移した場合、以降のステップＳ１５０６に進む。
【０１４９】
ステップＳ１５０６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
この場合も、ステップＳ１５０２及びＳ１５０３を介してステップＳ１５０６に進んだ場合と同様に、表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。
【０１５０】
その後、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０の強調表示された値等の確認もしくは変更を行った後、［ＯＫ］ボタン１３１４を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリのうち、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に関するエントリにおいて、予約情報＝Ｎに置換される。その後、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあっても、予約情報がＮであるため、強調表示が行われず、プロセスパラメータ編集画面１３００が表示されることになる。
【０１５１】
また、仮に、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０において［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１３１５を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリにおいては、予約情報は変更されない。したがって、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあった場合、同じ形態のウィンドウ、即ち、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４が強調表示されたウィンドウ（１３１０）が表示されることが保証される。
【０１５２】
以上は、照明モード設定値変更作業がレシピ編集に直接影響することが確定しており、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、アライメントパラメータ編集の段階では、自工程のみならず、既に完了している前工程であるプロセスパラメータ編集にて設定済みのパラメータへの影響が確定している、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１５３】
上述した本発明の実施形態では、機器管理装置２００のユーザ操作状態を鑑みて、表示が必要と判断した場合のみメッセージウィンドウがモニタにポップアップ表示されることになる。また、メッセージ発生元案件の内容に応じて現ユーザ操作への影響が確定している場合にはその旨のメッセージウィンドウがモニタに表示されることになる。仮に、影響が確定していないが影響可能性がある場合には、その旨のメッセージウィンドウが表示されることになる。メッセージ内容としては、ユーザの次操作として何をすべきかが具体的に表示される。
上述した本発明の実施形態によれば、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することができる。これにより、ユーザにおける全体としての作業効率の向上を図ることができる。
【０１５４】
（その他の実施形態）
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。
即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する処理である。
このプログラム及び当該プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０１５５】
２００：機器管理装置、２１１：ウィンドウ制御部、２１２：機器イベント検出部、２１３：操作状態取得部、２１４：操作イベント検出部、２１５：強調表示予約情報記憶部、２１６：強調表示予約情報更新部、２１７：メッセージＩＤ情報記憶部、２１８：ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部、２１９：操作状態・機器イベント関連情報記憶部、２２０：警告ウィンドウ出力制御部、２２１：ウィンドウ遷移処理部、２２２：ウィンドウ表示部、２２３：ウィンドウ消去部
【技術分野】
【０００１】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置、当該機器管理装置による機器管理方法、及び、当該機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、機器監視システムにおいて、監視対象機器内部に障害が発生した場合の障害通知に関する制御方法として、障害発生時のメッセージＩＤに基づく制御を行う技術がある（例えば、下記の特許文献１参照）。具体的に、当該技術では、まず、予め障害発生し得るメッセージＩＤのうち、ＳＥが待機する遠隔端末に対してメッセージ送信すべきメッセージＩＤのみを一覧として保持する。その上で、当該メッセージＩＤに符合する障害が発生した場合のみ、遠隔端末に障害メッセージを送信するというものである。この技術では、監視体制として、例えば、日常的に発生し且つ復帰手段が容易な障害に関しては、監視対象機器に物理的距離が近い監視者が対応を行う。一方、例えば、発生頻度が低いものや復帰手段に知識・経験を必要とするものに関しては、遠隔地に待機する専門家に対応を依頼する。この技術の場合、監視者及び専門家の役割分担を明確にする効果がある。
【０００３】
また、従来、例えば、電子会議室のスケジュール管理システムにおいて、予め予約済みの会議時間が近づいたときに、管理対象機器である利用者端末にて警告メッセージやブザー音を鳴らす等の制御を行う技術がある（例えば、下記の特許文献２参照）。具体的に、当該技術は、もし利用者端末の利用者が当該利用者端末を使用中でないと判定した場合には、警告メッセージやブザー音を鳴らさないというものである。即ち、この技術は、もし会議室予約済みであるにもかかわらず警告メッセージやブザー音を鳴らしたくない状況が発生するときには、予めその旨の設定を手動で行わなければならないという煩わしさから利用者を開放するものである。
【０００４】
また、従来、例えば、監視対象機器に対して利用者がユーザ・プリセット値を設定済みの場合、ユーザ・プリセット値の利用時に機器状況の変化を利用者に伝える技術がある（例えば、下記の特許文献３参照）。具体的に、当該技術では、まず、例えば、監視対象機器である複合機に対して予めユーザがコピーモードを設定する。その上で、そのコピーモードを利用してコピーを実行する際、複合機のトナー残量が僅かでそれに影響を受けるコピーモード設定がある場合、例えば濃度自動設定が含まれる場合、ユーザに向けて警告メッセージを表示してコピーモード設定の変更を促すものである。この技術では、コピーの実行直前に機器状態のユーザ・プリセット値への影響が確認されるため、特に、実行時間の消費が問題になる場合や消耗品のコストが問題になる場合には効果がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１０５４３７号公報
【特許文献２】特開平１０−１７１８８６号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１の技術においては、監視対象機器において発生した障害のうち、遠隔端末に対してはＳＥにとって必要な内容のみを伝えることは可能であるものの、遠隔端末上におけるＳＥの操作状況を考慮するものではなかった。例えば、ＳＥが遠隔端末を操作中ではあるが、監視ではなく別の目的で操作している場合、且つ、別の遠隔端末において機器監視が行われていることが保証済みの場合においては、本来、更なる警告メッセージ出力の抑止が要求されるところである。
【０００７】
また、上述した特許文献２の技術においては、会議予定時間が近づいたときに警告メッセージの出力制御において利用者端末の利用状況は考慮されるものの、その利用内容にまで踏み込んだものではなかった。例えば、利用者端末を利用中ではあるが、当該システムとは別の、しかも、非常に操作危険性の高いシステムのグラフィック・ウィンドウを操作中に、会議室予約時刻を伝えるメッセージウィンドウのポップアップ動作は、好ましくないはずである。
【０００８】
また、上述した特許文献３の技術においては、監視対象機器の現在の状態がユーザ・プリセット値の利用時に参照され、その影響が通知されるものの、利用時ではその時期が遅い場合がある。例えば、より複雑な機器においては、ユーザ・プリセット値の種類が多く、その組み合わせの仕方に重要な意味がある場合には、ユーザ・プリセット値の作成時と利用時の時間間隔が大きい程、変更が困難なものである。この場合、例えば、ユーザ・プリセット値の利用時に、ユーザ・プリセット値の変更や、影響のある他プリセット値の変更を要求されても、変更方法を即座に推定できない場合がある。
【０００９】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の機器管理装置は、モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置であって、前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部と、当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部と、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部と、前記機器イベント検出部で検出した機器イベントと前記操作状態取得部で取得した操作状態とを検索キー情報として前記操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部とを有する。
また、本発明は、上述した機器管理装置による機器管理方法、及び、当該機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することができる。これにより、ユーザにおける全体としての作業効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る機器管理システムの概略構成の一例を示す模式図である。
【図２−１】本発明の実施形態に係る機器管理装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図２−２】本発明の実施形態に係る機器管理装置の機能構成の一例を示す模式図である。
【図３】図１に示す機器管理装置におけるステッパのエラー回復処理の一例を示すフローチャートである。
【図４】図１に示す機器管理装置におけるステッパ内部のレシピファイルの編集処理の一例を示すフローチャートである。
【図５】図４のステップＳ４０２で編集処理されるプロセスパラメータの構成要素とその構造の一部を示した模式図である。
【図６】図２−２に示す操作状態・機器イベント関連情報記憶部に記憶されている操作状態・機器イベント関連情報の一例を示す模式図である。
【図７】図２−２に示すメッセージＩＤ情報記憶部に記憶されているメッセージＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【図８】図２−２に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部に記憶されているウィンドウレイアウトＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【図９】図２−２に示す強調表示予約情報記憶部に記憶されている強調表示予約情報の一例を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、機器イベントの発生を検出してから警告ウィンドウの出力／表示を行う処理までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１１】図１に示す機器管理装置のモニタに表示されるウィンドウの一例を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、ウェハアライメントエラーに関するメッセージの表示後、レシピ編集作業の中断及び再開するまでの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１に示す機器管理装置のモニタに表示されるプロセスパラメータ編集画面の一例を示す模式図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、プロセスパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【図１５】本発明の実施形態に係る機器管理装置において、アライメントパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、図面を参照しながら、本発明を実施するための形態（実施形態）について説明する。なお、以下の説明では、管理対象機器として半導体露光装置（ステッパ）を適用し、当該半導体露光装置を機器管理装置においてリモート（遠隔）で管理する機器管理システムの例について説明を行う。ここで、機器管理装置において管理対象機器を「管理」することには、管理対象機器の「監視及び制御、更には、露光ジョブ定義ファイルを編集」することが含まれるものと定義する。
【００１４】
また、管理対象機器として適用する半導体露光装置に関する用語は、一般には馴染みが少なく、また、半導体露光装置の製造元ごとに異なる用語を使用する場合もあるため、混乱を避ける目的で以下の説明において用いる用語を規定する。
・半導体露光装置：回路パターンが形成されているレチクルに照明光を照射して、ウェハに当該回路パターンを転写することによってウェハに半導体集積回路を形成するための装置であり、以下の本実施形態の説明では「ステッパ」と記述する。
・ウェハ：単結晶シリコン等を薄い板状にしたものであり、半導体素子の基板となる。
・ウェハアライメント：レチクル上の回路パターンをウェハ上の正しい位置に転写するためのウェハ位置合わせ動作のことである。
・レチクル：ウェハに転写する回路パターンが描かれている原板である。
・レチクルアライメント：レチクル上の回路パターンをウェハ上の正しい位置に転写するためのレチクル位置合わせ動作のことである。
・レシピ：レチクル上の回路パターンをウェハ上へ正確に露光するために必要なデータ（パラメータ類）の集合体、または、その内容を集めて管理するファイル（露光ジョブ定義ファイル）のことである。「レシピファイル」と記載した場合も同じ意味である。
・レシピパラメータ：ウェハの露光工程前、即ちジョブの実行前に、実行するジョブの内容（レシピ）を設定するパラメータのことであり、工程に依存するパラメータである。
・システムパラメータ：ステッパの設置及び保守点検時に設定を変更するパラメータである。具体的に、ステッパの基本性能を最適に保つために、装置固有の最適値を設定するものであり、装置に依存するパラメータである。
・照明モード：照明条件に関する属性値の集まりである。通常、予め照明モードを複数用意しておくが、本実施形態ではこれを照明モード・プリセットと記述する。レシピファイルの内部において既に作成済みの照明モード・プリセット中の任意の１つを割り当て、さらに、レシピファイル独自の属性値を追加して照明モードとして完成させる。
・レイアウトパラメータ：レチクルＩＤや露光レイアウト等から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・プロセスパラメータ：露光条件、フォーカス条件等から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・アライメントパラメータ：アライメントマークに関する情報から構成されるパラメータであり、レシピパラメータを分類したもののうちの１つである。
・サンプルショット：ウェハ露光前のアライメント等の各種計測に使用するショットのことである。
・エキストラショット：特定の計測用ショットのことである。
【００１５】
次に、本実施形態に係る機器管理システムの概略構成について説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る機器管理システムの概略構成の一例を示す模式図である。図１に示す機器管理システム１０は、ステッパ１００、機器管理装置２００、及び、ネットワーク３００を有して構成されている。図１に示す機器管理システム１０には、２台の機器管理装置２００−１及び２００−２が構成された例が示されているが、以下の説明において、特に機器管理装置を特定しない場合には、機器管理装置２００として説明を行う。
【００１６】
図１に示す例では、機器管理装置２００において、イーサネット（登録商標）等の標準的なネットワーク３００を通信手段として、１台のステッパ１００をリモート（遠隔）で管理する場合を示している。
【００１７】
ここで、ステッパ１００は、露光動作稼動中であるものとする。機器管理装置２００は、ステッパ１００を遠隔地から管理（監視及び制御）し、必要に応じてステッパ１００内に保存されているレシピファイルを編集する処理を行う情報処理装置である。この機器管理装置２００は、単に情報処理能力を有するだけでなく、マルチウィンドウ表示が可能な表示部（モニタ）と、文字入力のためのキーボードと、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイスを備えて構成されている。
【００１８】
ここで、本実施形態における説明では、機器管理装置２００−１をステッパ１００の監視目的で使用するものとし、機器管理装置２００−２をステッパ１００内に保存されているレシピファイルの編集目的で使用するものとする。なお、この形態は一例を示したものであり、例えば、１つの機器管理装置２００において、ステッパ１００の監視、及び、ステッパ１００内に保存されているレシピファイルの編集等の制御を行う形態も本発明に適用可能である。
【００１９】
次に、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００の概略構成について説明する。
【００２０】
図２−１は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
図２−１に示す機器管理装置２００は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３、外部メモリ２０４、入力デバイス２０５、表示部２０６、通信インタフェース（通信Ｉ／Ｆ）２０７、及び、バス２０８のハードウェア構成を有して構成されている。
【００２１】
ＣＰＵ２０１は、例えば、ＲＯＭ２０３或いは外部メモリ２０４に記憶されたプログラムやデータを用いて、当該機器管理装置２００全体の制御を行う。
【００２２】
ＲＡＭ２０２は、ＳＤＲＡＭ、ＤＲＡＭなどによって構成され、ＲＯＭ２０３或いは外部メモリ２０４からロードされたプログラムやデータを一時的に記憶するエリアを備えるとともに、ＣＰＵ２０１が各種の処理を行うために必要とするワークエリアを備える。
【００２３】
ＲＯＭ２０３は、変更を必要としないプログラムや各種のパラメータ等の情報などを格納している。
【００２４】
外部メモリ２０４は、例えば、オペレーティングシステム（ＯＳ）やＣＰＵ２０１が実行するプログラム、更には、本実施形態の説明において既知としている情報などを記憶している。なお、本実施形態においては、本実施形態に係る処理を実行するためのプログラムは、外部メモリ２０４に記憶されているものとするが、例えばＲＯＭ２０３に記憶されている形態であっても適用可能である。
【００２５】
入力デバイス２０５は、例えば、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイスやキーボード等を具備して構成されており、例えばユーザが機器管理装置２００に対して各種の指示を行う際に操作され、当該指示をＣＰＵ２０１等に入力する。
【００２６】
表示部２０６は、例えば、モニタ等を具備して構成されており、ＣＰＵ２０１の制御に基づいて、各種のデータや各種の情報をモニタに出力する。
【００２７】
通信Ｉ／Ｆ２０７は、当該機器管理装置２００と外部装置のステッパ１００との間で行われる、各種のデータや各種の情報の送受信を司るものである。
【００２８】
バス２０８は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３、外部メモリ２０４、入力デバイス２０５、表示部２０６及び通信Ｉ／Ｆ２０７を相互に通信可能に接続する。
【００２９】
また、図２−２は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００の機能構成の一例を示す模式図である。
図２−２に示す機器管理装置２００は、ウィンドウ制御部２１１、機器イベント検出部２１２、操作状態取得部２１３、操作イベント検出部２１４、強調表示予約情報記憶部２１５、強調表示予約情報更新部２１６の機能構成を有して構成されている。さらに、機器管理装置２００は、メッセージＩＤ情報記憶部２１７、ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９、警告ウィンドウ出力制御部２２０、ウィンドウ遷移処理部２２１、ウィンドウ表示部２２２、ウィンドウ消去部２２３の機能構成を有して構成されている。
【００３０】
ウィンドウ制御部２１１は、ウィンドウの表示や消去、表示ウィンドウに基づく操作イベントや管理対象機器で発生した機器イベントの検知、操作状態の検知等のウィンドウ表示に関連する機能全体を制御するための手段である。
【００３１】
機器イベント検出部２１２は、管理対象機器であるステッパ１００内で発生した障害等の機器イベントを検出し、当該機器イベントに関する機器イベント情報をウィンドウ制御部２１１に通知するための手段である。ここで、機器イベントとしては、管理対象機器であるステッパ１００の動作の結果発生するイベントだけでなく、他のユーザによる人為的な操作イベントも含むものである。また、管理対象機器であるステッパ１００の動作の結果発生するイベントには、ステッパ１００に発生した障害が含まれ、他のユーザによる人為的な操作イベントには、ステッパ１００に発生した障害から回復するために行われた設定の変更が含まれる。
【００３２】
操作状態取得部２１３は、機器管理装置２００（具体的には、機器管理装置２００−２）に対するユーザの操作状態に関する操作状態情報を取得するための手段である。
操作イベント検出部２１４は、機器管理装置２００（具体的には、機器管理装置２００−２）において、例えば［ＯＫ］ボタンを押下する等のユーザが行った操作イベントを検出し、当該操作イベント情報をウィンドウ制御部２１１に通知するための手段である。即ち、操作イベント検出部２１４は、機器管理装置２００に対するユーザの操作イベントを検出するものである。
【００３３】
強調表示予約情報記憶部２１５は、ユーザが、ウィンドウ内の特定部位（例えば特定のテキストフィールドやラジオボタン等）に着目し易いように、当該特定部位（特定部品）を強調表示するための強調表示予約情報の記憶手段である。
強調表示予約情報更新部２１６は、強調表示予約情報記憶部２１５に記憶されている強調表示予約情報に関する情報を更新するための手段である。
【００３４】
メッセージＩＤ情報記憶部２１７は、ウィンドウ内に表示する全てのメッセージ文言とそのメッセージＩＤとの組に関するメッセージＩＤ情報の記憶手段である。
【００３５】
ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８は、ウィンドウの概観やその中身の部品配置に関するウィンドウレイアウトに係る内容とそのＩＤとの組に関するウィンドウレイアウトＩＤ情報の記憶手段である。
【００３６】
操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９は、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベント情報と操作状態取得部２１３で取得した操作状態情報との各々の情報要素の組み合わせに対して、ウィンドウ出力の要否、メッセージ文言、ウィンドウレイアウト内容、特定部品を強調表示するための情報等の各々を決定付ける操作状態・機器イベント関連情報の記憶手段である。即ち、操作状態・機器イベント関連情報は、当該機器管理装置２００に対するユーザの操作状態ごとに機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した情報である。
【００３７】
警告ウィンドウ出力制御部２２０は、出力されるべき警告ウィンドウ（警告メッセージウィンドウ）の内容を決定するための手段である。
【００３８】
本実施形態において、ウィンドウ制御部２１１及び警告ウィンドウ出力制御部２２０は、本発明における「制御部」を構成する。
この制御部では、機器イベント検出部２１２で検出した機器イベントと操作状態取得部２１３で取得した操作状態とを検索キー情報として操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から操作状態・機器イベント関連情報を取得する。そして、この制御部では、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいてモニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う。さらに、この制御部では、前記取得した操作状態・機器イベント関連情報に加えて、強調表示予約情報、メッセージＩＤ情報及びウィンドウレイアウトＩＤ情報を用いて、モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う。また、この制御部は、操作イベント検出部２１４で検出した操作イベントに応じてウィンドウ遷移処理部２２１に対する制御を行う。
【００３９】
ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１の制御に基づいてモニタに出力するウィンドウの表示遷移処理を行う手段である。
ウィンドウ表示部２２２は、ウィンドウ遷移処理部２２１による表示遷移処理に基づいてモニタにウィンドウを表示する手段である。
ウィンドウ消去部２２３は、ウィンドウ遷移処理部２２１による表示遷移処理に基づいてモニタに表示されているウィンドウを消去する手段である。
【００４０】
ここで、図２−１に示す機器管理装置２００のハードウェア構成と、図２−２に示す機器管理装置２００の機能構成との対応関係の一例について以下に示す。
例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、並びに、ＲＡＭ２０２から、図２−２のウィンドウ制御部２１１、強調表示予約情報更新部２１６、警告ウィンドウ出力制御部２２０、及び、ウィンドウ遷移処理部２２１が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、通信Ｉ／Ｆ２０７から、図２−２の機器イベント検出部２１２が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、入力デバイス２０５から、図２−２の操作状態取得部２１３、及び、操作イベント検出部２１４が構成される。また、例えば、図２−１のＲＡＭ２０２或いは外部メモリ２０４から、図２−２の強調表示予約情報記憶部２１５、メッセージＩＤ情報記憶部２１７、ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８、及び、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９が構成される。また、例えば、図２−１のＣＰＵ２０１及び外部メモリ２０４内のプログラム、ＲＡＭ２０２、並びに、表示部２０６から、図２−２のウィンドウ表示部２２２、及び、ウィンドウ消去部２２３が構成される。
【００４１】
図３は、図１に示す機器管理装置２００−１におけるステッパ１００のエラー回復処理の一例を示すフローチャートである。具体的に、図３は、ステッパ１００においてエラーが発生後、機器管理装置２００−１を使用中の監視者（管理者）によってエラー回復操作が行われた場合のエラー回復処理の処理手順の一例が示されている。なお、図３に示すフローチャートの処理はあくまでも一例を示したものであり、異なるエラー回復処理の手順となる可能性もあり得る。
【００４２】
まず始めに、図３のステップＳ３０１において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、ステッパ１００におけるエラーの発生を検出する。
【００４３】
続いて、ステップＳ３０２において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えば監視者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、ステッパ１００におけるエラーに関する原因を調査／分析処理する。ここで、管理対象機器がステッパ１００である場合、エラーの種類に応じて予め複数の回復手段が用意されている。しかしながら、仮にエラーの種類を１つ特定できたとしても当該回復手段の種類が多く、また、予め回復手段を特定することは困難である。したがって、エラー発生後の回復作業は、作業者である監視者の知識や経験を伴う試行錯誤的な作業となる場合が多い。
【００４４】
続いて、ステップＳ３０３において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えばステップＳ３０２の調査／分析処理の結果に基づいて、システムパラメータの変更が必要であるか否かを判断する。この判断の結果、システムパラメータの変更が必要でない場合には、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４５】
一方、ステップＳ３０３の判断の結果、システムパラメータの変更が必要である場合には、ステップＳ３０４に進む。
ステップＳ３０４に進むと、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、例えば監視者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、システムパラメータの変更処理を行う。
【００４６】
システムパラメータの種類によりその変更が照明モード・プリセットに影響する場合があるため、続いて、ステップＳ３０５において、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、Ｓ３０４の変更が照明モード・プリセットに影響があるか否かの判断を行う。この判断の結果、照明モード・プリセットに影響がない場合には、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４７】
一方、ステップＳ３０５の判断の結果、照明モード・プリセットに影響がある場合には、ステップＳ３０６に進む。
ステップＳ３０６に進むと、機器管理装置２００−１のＣＰＵ２０１は、ステップＳ３０４のシテムパラメータの変更結果を照明モードに反映する処理を行う。その後、図３に示すフローチャートの処理を終了する。
【００４８】
図４は、図１に示す機器管理装置２００−２におけるステッパ１００内部のレシピファイルの編集処理の一例を示すフローチャートである。具体的に、図４は、機器管理装置２００−２を使用中のレシピ編集者（管理者）によってステッパ１００内部に保存されるレシピファイルの編集作業（新規作成作業も含む）が行われた際の編集処理の処理手順の一例が示されている。
【００４９】
まず始めに、図４のステップＳ４０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、レイアウトパラメータの編集処理を行う。
【００５０】
続いて、ステップＳ４０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、プロセスパラメータの編集処理を行う。
【００５１】
続いて、ステップＳ４０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、アライメントパラメータの編集処理を行う。
【００５２】
続いて、ステップＳ４０４において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、サンプルショット設定の編集処理を行う。
【００５３】
続いて、ステップＳ４０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１は、例えばレシピ編集者からの入力デバイス２０５を介した入力情報に基づいて、エキストラショット設定の編集処理を行う。その後、図４のフローチャートの処理を終了する。
【００５４】
なお、レシピファイルの新規作成作業の場合には、図４に示すフローチャートの処理に従ってレシピファイルの新規作成が行われるが、例えば、既存のレシピファイルの編集作業の場合には、必ずしもこの図４に示すフローチャートの処理に従う必要はない。この既存のレシピファイルの編集作業の場合に、例えば、途中過程であるステップＳ４０３のアライメントパラメータの編集処理等から作業を開始してもよい。
【００５５】
しかしながら、途中過程から作業を開始した場合であっても、必ず、最後の編集作業、即ち、ステップＳ４０５のエキストラショット設定の編集作業まで、図４のフローチャートの処理手順通りに処理を行う必要がある。なぜならば、当該レシピパラメータ編集処理手順は、パラメータ間の依存関係を表現したものであるため、より前方の処理手順で設定したパラメータがより後方の処理手順で設定するパラメータの依存元となる場合があるからである。そして、依存元のパラメータの値を変更した場合には、その影響を鑑みて少なくとも影響先のパラメータの値を確認しなければならず、場合によっては値の変更が必要となる。
【００５６】
図５は、図４のステップＳ４０２で編集処理されるプロセスパラメータの構成要素とその構造の一部を示した模式図である。
図５において、プロセスパラメータ５０００は、プロセスパラメータの全体を示している。照明モード５１００は、照明モードプリセット５１１０、外σ値５１２０、内σ値５１３０を有して構成されている。また、照明モードプリセット５１１０は、照明モード名５１１１、照明形状５１１２、ＵレンズのＮＡ値５１１３を有して構成されている。また、露光モード５２００は、プロセスパラメータの構成要素の一部である。
【００５７】
以上、図３、図４、図５において説明したように、ステッパ１００のエラー発生から回復作業終了までの手段には、システムパラメータ設定の変更に関する依存関係があることが分かる。また、レシピファイル編集に関しては、レシピパラメータ間に依存関係があるため、その編集手順に依存関係があること、更に、プロセスパラメータ５０００は、照明モードプリセット５１１０を内包していることがわかる。
【００５８】
以上より、ステッパ１００のエラー発生から回復作業終了までの作業内容とシステムパラメータ設定の編集作業の間には、依存関係があることがわかる。本実施形態においては、当該依存関係を利用してウィンドウの出力制御を行う場合の内部構造及びその処理手順について説明する。
【００５９】
図６は、図２−２に示す操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９に記憶されている操作状態・機器イベント関連情報の一例を示す模式図である。
【００６０】
図６に示す操作状態・機器イベント関連情報には、機器イベントＩＤ６００、機器イベント内容６０１、レイアウトパラメータ編集中６０２、プロセスパラメータ編集中６０３、及び、アライメントパラメータ編集中６０４の各情報が定められている。
ここで、機器イベントＩＤ６００及び機器イベント内容６０１の情報は、管理対象機器であるステッパ１００で発生した機器イベント等の情報である。また、レイアウトパラメータ編集中６０２、プロセスパラメータ編集中６０３、及び、アライメントパラメータ編集中６０４の情報は、機器管理装置２００に対するユーザの操作状態の情報である。この操作状態の情報は、ステッパ１００を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階の情報である。
【００６１】
機器イベントＩＤ６００は、管理対象機器であるステッパ１００で発生した機器イベントを一意に特定するための番号である。図６には、機器イベントＩＤ６００として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０が示されている。
機器イベント内容６０１は、機器イベントの概略を説明した文章である。図６には、機器イベント内容６０１として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、機器イベント内容情報６１１〜６５１が示されている。
【００６２】
レイアウトパラメータ編集中６０２は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にレイアウトパラメータを編集中であることを示す。図６には、レイアウトパラメータ編集中６０２として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、レイアウトパラメータ編集中情報６１２〜６５２が示されている。
プロセスパラメータ編集中６０３は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にプロセスパラメータを編集中であることを示す。図６には、プロセスパラメータ編集中６０３として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、プロセスパラメータ編集中情報６１３〜６５３が示されている。
アライメントパラメータ編集中６０４は、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集を行っている際にアライメントパラメータを編集中であることを示す。図６には、アライメントパラメータ編集中６０４として、機器イベントＩＤ情報６１０〜６５０に対応して、アライメントパラメータ編集中情報６１４〜６５４が示されている。
【００６３】
レイアウトパラメータ編集中情報６１２やプロセスパラメータ編集中情報６１３などに示す内容は、表示すべきウィンドウを決定付けるための情報で構成されている。また、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から該当する情報の読み取り方としては、例えば、機器イベントＩＤ＝０００１が発生したとき、機器管理装置２００−２においてユーザがレシピ編集中であり、且つ、レイアウトパラメータ編集中の場合は、レイアウトパラメータ編集中情報６１２、即ち、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００が返される、というような方法に従う。
【００６４】
図７は、図２−２に示すメッセージＩＤ情報記憶部２１７に記憶されているメッセージＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【００６５】
図７に示すメッセージＩＤ情報には、メッセージＩＤ７０００、及び、メッセージ文言７００１の各情報が定めされている。
【００６６】
メッセージＩＤ７０００は、メッセージを一意に特定するための番号である。図７には、メッセージＩＤ７０００として、メッセージＩＤ情報７０１０〜７１４０が示されている。
【００６７】
メッセージ文言７００１は、ウィンドウ上に実際に出力されるメッセージ文章である。図７には、メッセージ文言７００１として、メッセージＩＤ情報７０１０〜７１４０に対応して、メッセージ文言情報７０１１〜７１４１が示されている。
【００６８】
図８は、図２−２に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部２１８に記憶されているウィンドウレイアウトＩＤ情報の一例を示す模式図である。
【００６９】
図８に示すウィンドウレイアウトＩＤ情報には、ウィンドウレイアウトＩＤ８００、及び、ウィンドウレイアウト定義８０１の各情報が定めされている。
【００７０】
ウィンドウレイアウトＩＤ８００は、ウィンドウレイアウトを一意に特定するための番号である。図８には、ウィンドウレイアウトＩＤ８００として、ウィンドウレイアウトＩＤ情報８１０〜８３０が示されている。
【００７１】
ウィンドウレイアウト定義８０１は、ウィンドウレイアウト実体を決定するための情報である。図８には、ウィンドウレイアウト定義８０１として、ウィンドウレイアウトＩＤ情報８１０〜８３０に対応して、ウィンドウレイアウト定義情報８１１〜８３１が示されている。このウィンドウレイアウト定義８０１は、実際に、図８に示すウィンドウレイアウト定義情報８１１〜８３１のようにウィンドウのイメージ情報が定義されているわけではなく、これらウィンドウを作成するのにあたって必要な最低限の情報要素で構成されている。例えば、ウィンドウモーダル／モードレス制御、各パネルの大きさと開始位置座標及び色、パネル上に配置されるＵＩ部品の種類（例えば、キャプション、テキストフィールド等）と大きさと開始位置座標等の情報にて構成されている。
【００７２】
図９は、図２−２に示す強調表示予約情報記憶部２１５に記憶されている強調表示予約情報の一例を示す模式図である。
【００７３】
図９に示す強調表示予約情報には、ウィンドウＩＤ９００、強調表示項目ＩＤ９０１、レシピＩＤ９０２、及び、予約情報９０３の各情報が定めされている。
【００７４】
ウィンドウＩＤ９００は、ウィンドウレイアウトを一意に特定するための番号である。図９には、ウィンドウＩＤ９００として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０が示されている。
【００７５】
強調表示項目ＩＤ９０１は、ウィンドウＩＤ９００に基づくウィンドウ内において強調表示すべき項目を一意に特定するための番号である。図９には、強調表示項目ＩＤ９０１として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０に対応して、強調表示項目ＩＤ情報９１１〜９３１が示されている。
【００７６】
レシピＩＤ９０２は、強調表示が必要なレシピファイルのＩＤを一意に特定するための番号である。図９には、レシピＩＤ９０２として、ウィンドウＩＤ情報９１０〜９３０及び強調表示項目ＩＤ情報９１１〜９３１に対応して、レシピＩＤ情報９１２〜９３２が示されている。
【００７７】
予約情報９０３は、強調表示の必要度に応じて段階的に設定されるフラグ情報である。ここで、「Ｒ」の予約情報９１３は、強調表示は必須ではないが、この後の状況次第では、確認や修正が必要となる可能性が高いことを示す。また、「Ｆ」の予約情報９２３は、強調表示が必須であることを示す。また、「Ｎ」の予約情報９３３は、強調表示の必要性がないことを示す。
【００７８】
図１０は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、機器イベントの発生を検出してから警告ウィンドウ（警告メッセージウィンドウ）の出力／表示を行う処理までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。ここで、本例では、図１０に示すフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われるものとする。
【００７９】
まず始めに、図１０のステップＳ１００１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（機器イベント検出部２１２）は、機器イベントとして、機器エラー、システムパラメータ若しくは照明モード変更を検出する処理を行う。なお、本例では、これら以外の機器イベントを検出した場合には、図１０のフローチャートの処理は開始されない。
【００８０】
続いて、ステップＳ１００２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（操作状態取得部２１３）は、機器管理装置２００−２上においてユーザが行っている操作種類（操作状態）を取得する。
【００８１】
続いて、ステップＳ１００３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、ステップＳ１００２で取得した操作種類（操作状態）がレシピ編集中であるか否かの判断を行う。この判断の結果、ステップＳ１００２で取得した操作種類がレシピ編集中でない場合には、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８２】
一方、ステップＳ１００３の判断の結果、ステップＳ１００２で取得した操作種類がレシピ編集中である場合には、ステップＳ１００４に進む。
ステップＳ１００４に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００１で検出された機器イベント情報とステップＳ１００２で取得された操作状態情報を検索キー情報として、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９からウィンドウ作成のために必要な全ての情報と特定部品を強調表示するための情報を取得する。
【００８３】
続いて、ステップＳ１００５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、メッセージ出力が必要であるか否かを判断する。具体的に、ステップＳ１００５では、ステップＳ１００４で取得したウィンドウ作成のために必要な情報のうち、図６に示すｔｉｔｌｅＩＤを調べて、そのｔｉｔｌｅＩＤの値が「００００」でないか否かによって、メッセージ出力が必要であるか否かを判断する。
【００８４】
ステップＳ１００５の判断の結果、メッセージ出力が必要でない（ｔｉｔｌｅＩＤが「００００」である）場合には、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８５】
一方、ステップＳ１００５の判断の結果、メッセージ出力が必要である（ｔｉｔｌｅＩＤが「００００」でない）場合には、ステップＳ１００６に進む。
ステップＳ１００６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００４で取得した前記強調表示するための情報をウィンドウ制御部２１１に送信する。その後、ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信し、強調表示予約情報更新部２１６では受信した前記特定部品を強調するための情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存する。なお、上述したステップＳ１００６の処理においては、例えば、警告ウィンドウ出力制御部２２０が、ステップＳ１００４で取得した前記強調表示するための情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に直接保存する形態であってもよい。
【００８６】
続いて、ステップＳ１００７において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０）は、ステップＳ１００４で取得した前記ウィンドウ作成のために必要な情報をウィンドウ制御部２１１に送信する。その後、ウィンドウ制御部２１１は、前記ウィンドウ作成のために必要な情報を構成後、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。そして、ウィンドウ遷移処理部２２１は、受信したウィンドウ作成のために必要な情報をウィンドウ表示部２２２に送信し、ウィンドウ表示部２２２では、受信したウィンドウ作成のために必要な情報を利用してメッセージウィンドウの表示（出力）を行う。その後、図１０に示すフローチャートの処理を終了する。
【００８７】
ここで、発生した機器イベント及びユーザの操作状態により、図１０に示すフローチャートが如何に動作し、また、その結果どのようなウィンドウを出力するかについて例を挙げて説明する。
【００８８】
具体的に、まず、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６の機器イベントＩＤ＝０００１（即ち機器イベント内容６０１＝レチクルアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００８９】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００」であるレイアウトパラメータ編集中情報６１２が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、メッセージ出力が必要でないと判断され、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。
【００９０】
以上は、レチクルアライメントエラー、及び、その後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集には影響しない、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束するものである。
【００９１】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝０００２（即ち機器イベント内容６０１＝ウェハアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００９２】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００、ｍｓｇＩＤ＝００００、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝００００、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝００００」であるレイアウトパラメータ編集中情報６２２が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、ｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、メッセージ出力が必要でないと判断され、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。
【００９３】
以上は、ウェハアライメントエラー、及び、その後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性を持つ。しかしながら、図３、図４、図５の依存関係より、レイアウトパラメータ編集の段階では、未だ設定パラメータへの影響が皆無である、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束するものである。
【００９４】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが、図６のイベントＩＤ＝１０１０（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＬａｓｅｒ Ｄｅｃｌｉｎｅ Ｃｏｅｆ．変更）、または、イベントＩＤ＝１０１１（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更）、または、イベントＩＤ＝５０５５（即ち機器イベント内容６０１＝照明モード反映）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のレイアウトパラメータ編集中６０２の場合の動作を説明する。
【００９５】
上記いずれの機器イベントＩＤの場合であっても、レイアウトパラメータ編集中情報６３２〜６５２におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００００であるため、ステップＳ１００５ではメッセージ出力が必要でないと判断される。そして、ステップＳ１００７のメッセージウィンドウの表示（出力）がされずに、図１０のフローチャートの処理が終了する。この場合においても、レイアウトパラメータ編集の段階では、未だ設定パラメータへの影響が皆無であることがわかっているため、機器管理装置２００−２への通知が抑止されることにより、レシピ編集者の作業が中断されずに継続されることを約束する。
【００９６】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝０００２（即ち機器イベント内容６０１＝ウェハアライメントエラー）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のプロセスパラメータ編集中６０３の場合の動作を説明する。
【００９７】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０、ｍｓｇＩＤ＝０５０１、５０５５、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１３、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるプロセスパラメータ編集中情報６２３が取得される。このＨＬｉｇｈｔＩＤｓの情報は、例えば、ユーザが操作中である若しくは以前操作していたウィンドウの全体或いはその一部について強調表示するための情報である。そして、その後のステップＳ１００５では、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【００９８】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【００９９】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９１０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９１１）、レシピＩＤ＝００００１９０１（図９の９１２）、予約情報＝Ｒ（図９の９１３）のように保存される。
【０１００】
予約情報＝Ｒ（図９の９１３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝０００２（図６の６２０）、即ちウェハアライメントエラー（図６の６２１）が発生しており、当該ウェハアライメントエラーは図３のフローチャートによると、システムパラメータの変更が発生し得るか否かについてこの時点では不明であり、警告発生の可能性があることしか分からないためである。
【０１０１】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される。具体的に、プロセスパラメータ編集中情報６２３においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１３が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８２１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１０２】
次いで、ウィンドウイメージ８２１のｔｉｔｌｅ部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１０に基づき、図７の「Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ」７０２１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−０部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｍｓｇＩＤ＝０５０１に基づき、図７の「ウェハアライメントエラーが発生しました。」７０６１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−１部分には、プロセスパラメータ編集中情報６２３におけるｍｓｇＩＤ＝５０５５に基づき、「＜ｐ＞この後、当該エラーの回復処理が行われますが、その内容如何ではあなたが今編集しているプロセスパラメータを変更する必要があります。＜／ｐ＞＜ｐ＞従って、＜ｃ＝ｒｅｄ＞一旦作業状況を保存し編集行為を中断することをお勧めします＜／ｃ＞。＜ｒ＞作業再開時に変更必要箇所をお知らせします。＜／ｐ＞」７０９１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りとなる。
【０１０３】
図１１は、図１に示す機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるウィンドウの一例を示す模式図である。ここで、ウィンドウ１１００は、上述した処理によって最終的に機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるウィンドウである。
【０１０４】
具体的に、図１１のウィンドウ１１００のタイトル表示欄１１０１には、図７のメッセージ文言７０２１が示されている。また、ウィンドウ１１００の第１のメッセージ表示欄１１０２には、図７のメッセージ文言７０６１が示されており、ウィンドウ１１００の第２のメッセージ表示欄１１０３には、図７のメッセージ文言７０９１が示されている。また、ウィンドウ１１００には、「ＯＫ」ボタン１１０４が構成されている。この図１１のウィンドウ１１００は、図８のウィンドウイメージ８２１に基づくものとなっている。
【０１０５】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業を中断後、再度、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１２は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、ウェハアライメントエラーに関するメッセージの表示後、レシピ編集作業の中断及び再開するまでの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１２のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１０６】
まず、図１２のステップＳ１２０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１００）中の［ＯＫ］ボタン１１０４の押下を検出する処理を行う。
【０１０７】
続いて、ステップＳ１２０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１００に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１００を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１２０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１００が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１００が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１００を消去する。
【０１０８】
続いて、ステップＳ１２０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
具体的に、ステップＳ１２０３では、機器管理装置２００−２を操作するユーザによるレシピ編集作業を中断するための一連のウィンドウ操作を受け付け、暫しの間、機器管理装置２００−２における操作を中断する。
【０１０９】
そして、適切な時間経過後に、ユーザは、機器管理装置２００−２における操作を再開する。本例では、ステップＳ１２０４において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（操作イベント検出部２１４）が、レシピ編集画面への遷移イベントの発生を検出したとき、即ちレシピが１つ選択されてレシピ編集ウィンドウが表示されたとき、制御が開始される。
【０１１０】
続いて、ステップＳ１２０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、強調表示予約情報に情報が存在するか否かを判断する。
具体的に、ステップＳ１２０５では、編集対象としての選択済みのレシピＩＤが、図９に示すレシピＩＤ９０２として登録済みであり、かつ、図９に示す予約情報９０３が「Ｆ」であるか否かの判断を行う。
【０１１１】
ステップＳ１２０５の判断の結果、強調表示予約情報に情報が存在しない場合には、図１２に示すフローチャートの処理を終了する。
【０１１２】
一方、ステップＳ１２０５の判断の結果、強調表示予約情報に情報が存在する（即ち、編集対象としての選択済みのレシピＩＤが、図９のレシピＩＤ９０２として登録済みであり、かつ図９の予約情報９０３が「Ｆ」である）場合には、ステップＳ１２０６に進む。
ステップＳ１２０６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にメッセージウィンドウの表示（出力）する制御を行う。ここでは、図１１に示すウィンドウ１１９０の表示がなされる。
具体的に、ステップＳ１２０６では、ウィンドウ制御部２１１が保有するウィンドウ１１９０の構成情報をウィンドウ遷移処理部２２１に送信することによって、新規にウィンドウ１１９０を作成し表示を行う。
【０１１３】
続いて、ステップＳ１２０７において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
【０１１４】
続いて、ステップＳ１２０８において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１２０８では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９１０）、レシピＩＤ＝００００１９０１（図９の９１２）であるが、予約情報＝Ｒ（図９の９１３）であるため、強調表示は行われない。
【０１１５】
図１３は、図１に示す機器管理装置２００−２のモニタ２０６に表示されるプロセスパラメータ編集画面の一例を示す模式図である。
図１３において、以上の処理により表示されるウィンドウは、プロセスパラメータ編集画面１３００である。このプロセスパラメータ編集画面１３００に示すように、この時点では特に強調表示された部分が見当たらないため、ユーザはこのまま作業を続行可能である。
【０１１６】
以上は、ウェハアライメントエラーの後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性があり、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、プロセスパラメータ編集の段階では既に編集済みパラメータに影響の可能性がある、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１１７】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝１０１１（即ち機器イベント内容６０１＝システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のプロセスパラメータ編集中６０３の場合の動作を説明する。
【０１１８】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２、ｍｓｇＩＤ＝２０５０、５０７５、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１３、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるプロセスパラメータ編集中情報６４３が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【０１１９】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【０１２０】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）のように保存される。
【０１２１】
予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝１０１１（図６の６４０）、即ちシステムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更（図６の６４１）が発生しており、当該エラーは図３のフローチャートによると、ステップＳ３０５の照明モード・プリセットに影響があるかの判断において照明モード・プリセットへの影響を確定しているため、このように設定している。
【０１２２】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される。具体的に、プロセスパラメータ編集中情報６４３においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１３が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８２１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１２３】
次いで、ウィンドウイメージ８２１のｔｉｔｌｅ部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２に基づき、図７の「Ｅｒｒｏｒ」７０４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−０部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｍｓｇＩＤ＝２０５０に基づき、図７の「システムパラメータが変更されました」７０７１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−１部分には、プロセスパラメータ編集中情報６４３におけるｍｓｇＩＤ＝５０７５に基づき、「＜ｐ＞この後、照明モード設定の変更が予想されます。＜／ｐ＞＜ｐ＞今あなたが編集しているプロセスパラメータのうち、＜ｃ＝ｒｅｄ＞［Ｏｕｔｅｒ Ｓｉｇｍａ］と［Ｉｎｎｅｒ Ｓｉｇｍａ］の値を必ず確認／変更して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞＜ｐ＞もし、適正な値に変更しなかった場合、露光ジョブが正しく動作しない可能性があります。＜／ｐ＞」７１１１が適用される。また、ウィンドウイメージ８２１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りであるが、最終的に表示されるウィンドウは、図１１に示すウィンドウ１１１０である。
【０１２４】
具体的に、図１１のウィンドウ１１１０のタイトル表示欄１１１１には、図７のメッセージ文言７０４１が示されている。また、ウィンドウ１１１０の第１のメッセージ表示欄１１１２には、図７のメッセージ文言７０７１が示されており、ウィンドウ１１１０の第２のメッセージ表示欄１１１３には、図７のメッセージ文言７１１１が示されている。また、ウィンドウ１１１０には、「ＯＫ」ボタン１１１４が構成されている。この図１１のウィンドウ１１１０は、図８のウィンドウイメージ８２１に基づくものとなっている。
【０１２５】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１４は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、プロセスパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１４のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１２６】
まず、図１４のステップＳ１４０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１１０）中の［ＯＫ］ボタン１１１４の押下を検出する処理を行う。
【０１２７】
続いて、ステップＳ１４０２において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１１０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１１０を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１４０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１１０が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１１０が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１１０を消去する。
【０１２８】
続いて、ステップＳ１４０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１４０３では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）である。このため、当該エントリの強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）を取得し、ウィンドウレイアウトＩＤ＝１０４５を新規表示する際、当該項目部分に赤枠を付けて強調表示する。
【０１２９】
以上の処理により表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３１１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３１２）が赤い太線枠にて強調表示されているため、この表示値を確認もしくは変更の必要性があることがユーザにとって明瞭である。一方、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３００では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３０１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３０２）は何ら強調表示されていない。
【０１３０】
その後、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０の強調表示された値等の確認もしくは変更を行った後、［ＯＫ］ボタン１３１４を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリのうち、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に関するエントリにおいて、予約情報＝Ｎに置換される。その後、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあっても、予約情報がＮであるため、強調表示は行われず、プロセスパラメータ編集画面１３００が表示されることになる。
【０１３１】
また、仮に、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０において［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１３１５を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリにおいては、予約情報は変更されない。したがって、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあった場合、同じ形態のウィンドウ、即ち、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４が強調表示されたウィンドウ（１３１０）が表示されることが保証される。
【０１３２】
以上は、システムパラメータＤｅｌａｙ Ｔｉｍｅ変更の後に発生し得る障害復旧作業がレシピ編集に影響する可能性があり、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、プロセスパラメータ編集の段階では既に編集済みパラメータへの影響が確定している、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１３３】
次に、Ｓ１００１で検出された機器イベントが図６のイベントＩＤ＝５０５５（即ち機器イベント内容６０１＝照明モード反映）、Ｓ１００２で取得した操作状態が図６のアライメントパラメータ編集中６０４の場合の動作を説明する。
【０１３４】
この場合、ステップＳ１００４において、当該操作状態情報と当該機器イベント情報に基づき、操作状態・機器イベント関連情報記憶部２１９から情報の検索が行われる。具体的に、ステップＳ１００４では、「ｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２、ｍｓｇＩＤ＝２０５１、５０９６、ＷｉｎＬａｙＩＤ＝２０１４、ＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５（ｉｔ−１３、ｉｔ−１４）」であるアライメントパラメータ編集中情報６５４が取得される。そして、その後のステップＳ１００５では、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２であるため、メッセージ出力が必要であると判断され、ステップＳ１００６の強調表示予約情報保存処理に進むことになる。
【０１３５】
そして、その後のステップＳ１００６では、次以降にユーザがウィンドウを開いたときに特定部品を強調表示する目的で、当該ウィンドウとしてＨＬｉｇｈｔＩＤｓ＝１０４５が指定され、また、その内部の部品ＩＤとしてｉｔ−１３，ｉｔ−１４が構成される。そして、このようにして構成された特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報が、例えば警告ウィンドウ出力制御部２２０からウィンドウ制御部２１１に送信される。ウィンドウ制御部２１１は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報更新部２１６に送信する。そして、強調表示予約情報更新部２１６は、前記特定部品を強調するための情報、及び、編集中のレシピＩＤに関する情報を強調表示予約情報として強調表示予約情報記憶部２１５に保存（記憶）する。
【０１３６】
この強調表示予約情報記憶部２１５に保存直後の状況の具体例としては、例えば、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）のように保存される。
【０１３７】
予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に設定される理由は、機器イベントＩＤ＝５０５５（図６の６５０）、即ち照明モード反映（図６の６５１）が発生しており、当該エラーは図３のフローチャートによると、ステップＳ３０６のシステムパラメータ変更を照明モードに反映する処理において照明モード・プリセットへの影響を確定しているため、このように設定している。
【０１３８】
そして、その後のステップＳ１００７では、まず、ウィンドウ作成のための基礎情報が形成される、具体的に、アライメントパラメータ編集中情報６５４においてウィンドウレイアウトＩＤとして２０１４が指定されているため、例えば図８に示すウィンドウイメージ８３１に相当するウィンドウ部品情報が取得される。
【０１３９】
次いで、ウィンドウイメージ８３１のｔｉｔｌｅ部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｔｉｔｌｅＩＤ＝００１２に基づき、図７の「Ｅｒｒｏｒ」７０４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−０部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｍｓｇＩＤ＝２０５１に基づき、図７の「照明モード設定が変更されました」７０８１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−１部分には、アライメントパラメータ編集中情報６５４におけるｍｓｇＩＤ＝５０９６に基づき、「＜ｐ＞今あなたが編集している＜ｃ＝ｒｅｄ＞アライメントパラメータ編集作業を直ちに中止して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞＜ｐ＞［Ｃａｎｃｅｌ］ボタンを押下するとアライメントパラメータ編集中画面に戻ります。＜／ｐ＞＜ｐ＞［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタンを押下すると現在編集中のパラメータを一度保存後、プロセスパラメータ編集画面に遷移します。この画面において＜ｃ＝ｒｅｄ＞照明モードの割り当てなおし、若しくは［ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ］［ＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ］の値を確認／変更して下さい＜／ｃ＞。＜／ｐ＞」７１４１が適用される。また、ウィンドウイメージ８３１のｍｓｇ−２部分には、以降のｍｓｇＩＤが未指定のため、文字列が適用されない。その後の処理は、前記図１０のフローチャートにおける説明の通りであるが、最終的に表示されるウィンドウは、図１１に示すウィンドウ１１４０である。
【０１４０】
具体的に、図１１のウィンドウ１１４０のタイトル表示欄１１４１には、図７のメッセージ文言７０４１が示されている。また、ウィンドウ１１４０の第１のメッセージ表示欄１１４２には、図７のメッセージ文言７０８１が示されており、ウィンドウ１１４０の第２のメッセージ表示欄１１４３には、図７のメッセージ文言７１４１が示されている。また、ウィンドウ１１４０には、［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４及び［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５が構成されている。この図１１のウィンドウ１１４０は、図８のウィンドウイメージ８３１に基づくものとなっている。
【０１４１】
その後、機器管理装置２００−２のユーザがメッセージ内容に従って、レシピ編集作業に復帰した場合の処理について、以下の説明を行う。
図１５は、本発明の実施形態に係る機器管理装置２００において、アライメントパラメータ編集中のエラーメッセージ表示後のレシピ編集作業再開までの機器管理方法の一例を示すフローチャートである。具体的に、図１５のフローチャートの処理は、機器管理装置２００−２において行われる。
【０１４２】
まず、図１５のステップＳ１５０１において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが如何なるボタンであるのかを判断する。具体的に、本例のステップＳ１５０１の判断は、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが、［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４、及び、［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５のうちのいずれのボタンであるかの判断が行われる。
【０１４３】
ステップＳ１５０１の判断の結果、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが［ＳａｖｅＡｎｄＥｄｉｔ］ボタン１１４４である場合には、ステップＳ１５０２に進む。
ステップＳ１５０２に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１４０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する処理を行う。
具体的に、ステップＳ１５０２では、まず、図２−２に示すウィンドウ制御部２１１において、ウィンドウ１１４０が保有するウィンドウＩＤをウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。次いで、ウィンドウ遷移処理部２２１は、ウィンドウ制御部２１１から受信したウィンドウＩＤをウィンドウ消去部２２３に送信する。次いで、ウィンドウ消去部２２３は、このウィンドウ１１４０が保有するウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する。
【０１４４】
続いて、ステップＳ１５０３において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、アライメントパラメータを保存する制御を行う。具体的に、ステップＳ１５０３では、操作イベント検出部２１４において検出された、ユーザ入力された各種パラメータ情報としてウィンドウ制御部２１１が保有する情報を、レシピファイル内部に保存する制御が行われる。
【０１４５】
続いて、ステップＳ１５０６において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
具体的に、ステップＳ１５０６では、まず、ウィンドウ制御部２１１において、プロセスパラメータ編集画面の表示要求のみ、ウィンドウ遷移処理部２２１に送信する。ウィンドウ遷移処理部２２１では、プロセスパラメータ編集画面のウィンドウＩＤとレシピＩＤをウィンドウ表示部２２２に送信する。そして、ウィンドウ表示部２２２では、ウィンドウＩＤが図９のウィンドウＩＤ９００内に記録されたものであって、レシピＩＤ９０２も等しいものであり、かつ、予約情報９０３がＦの場合のみ、強調表示項目ＩＤ９０１部分に赤枠を付けて強調表示を行う。例えば、図９に示す例では、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）である。このため、当該エントリの強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）を取得し、ウィンドウレイアウトＩＤ＝１０４５を新規表示する際、当該項目部分に赤枠を付けて強調表示する。
【０１４６】
以上の処理により表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０では、ＯｕｔｅｒＳｉｇｍａ（１３１１）及びＩｎｎｅｒＳｉｇｍａ（１３１２）が赤い太線枠にて強調表示されているため、この表示値を確認もしくは変更の必要性があることがユーザにとって明瞭である。
【０１４７】
一方、ステップＳ１５０１の判断の結果、警告メッセージウィンドウ（１１４０）中の押下ボタンが［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１１４５である場合には、ステップＳ１５０４に進む。
ステップＳ１５０４に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（ウィンドウ消去部２２３）は、ウィンドウ１１４０に基づくウィンドウＩＤを使用して、機器管理装置２００−２のモニタ２０６からウィンドウ１１４０を消去する処理を行う。このステップＳ１５０４の処理は、ステップＳ１５０３の処理と同様である。
【０１４８】
続いて、ステップＳ１５０５において、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる任意ウィンドウ操作の継続を受け付ける。
具体的に、ステップＳ１５０５では、機器管理装置２００−２を操作するユーザによる独自判断でレシピ編集作業を継続するウィンドウ操作を受け付ける。そして、プロセスパラメータ編集画面に遷移した場合、以降のステップＳ１５０６に進む。
【０１４９】
ステップＳ１５０６に進むと、機器管理装置２００−２のＣＰＵ２０１（例えばウィンドウ制御部２１１）は、モニタ２０６にプロセスパラメータ編集画面を強調表示部品とともに表示（出力）する制御を行う。
この場合も、ステップＳ１５０２及びＳ１５０３を介してステップＳ１５０６に進んだ場合と同様に、表示されるウィンドウは、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０である。
【０１５０】
その後、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０の強調表示された値等の確認もしくは変更を行った後、［ＯＫ］ボタン１３１４を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリのうち、ウィンドウＩＤ＝１０４５（図９の９２０）、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４（図９の９２１）、レシピＩＤ＝００００１９９３（図９の９２２）、予約情報＝Ｆ（図９の９２３）に関するエントリにおいて、予約情報＝Ｎに置換される。その後、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあっても、予約情報がＮであるため、強調表示が行われず、プロセスパラメータ編集画面１３００が表示されることになる。
【０１５１】
また、仮に、ユーザが、図１３に示すプロセスパラメータ編集画面１３１０において［Ｃａｎｃｅｌ］ボタン１３１５を押下した場合について説明する。この場合、図９の強調表示予約情報のエントリにおいては、予約情報は変更されない。したがって、ユーザが、レシピ編集作業を継続して再度、プロセスパラメータ編集画面を開くことがあった場合、同じ形態のウィンドウ、即ち、強調表示項目ＩＤ＝ｉｔ−１３、ｉｔ−１４が強調表示されたウィンドウ（１３１０）が表示されることが保証される。
【０１５２】
以上は、照明モード設定値変更作業がレシピ編集に直接影響することが確定しており、かつ、図３、図４、図５の依存関係より、アライメントパラメータ編集の段階では、自工程のみならず、既に完了している前工程であるプロセスパラメータ編集にて設定済みのパラメータへの影響が確定している、というステッパ１００の特性を生かしたものである。このため、機器管理装置２００−２への通知が行われることにより、レシピ編集者の注意を促すことができる。
【０１５３】
上述した本発明の実施形態では、機器管理装置２００のユーザ操作状態を鑑みて、表示が必要と判断した場合のみメッセージウィンドウがモニタにポップアップ表示されることになる。また、メッセージ発生元案件の内容に応じて現ユーザ操作への影響が確定している場合にはその旨のメッセージウィンドウがモニタに表示されることになる。仮に、影響が確定していないが影響可能性がある場合には、その旨のメッセージウィンドウが表示されることになる。メッセージ内容としては、ユーザの次操作として何をすべきかが具体的に表示される。
上述した本発明の実施形態によれば、ユーザが本来行うべき優先度の高い操作を確実に行わせることが可能であり、かつ、不要な情報は非通知とする仕組みを提供することができる。これにより、ユーザにおける全体としての作業効率の向上を図ることができる。
【０１５４】
（その他の実施形態）
また、本発明は、以下の処理を実行することによっても実現される。
即ち、上述した実施形態の機能を実現するソフトウェア（プログラム）を、ネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ等）がプログラムを読み出して実行する処理である。
このプログラム及び当該プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、本発明に含まれる。
【符号の説明】
【０１５５】
２００：機器管理装置、２１１：ウィンドウ制御部、２１２：機器イベント検出部、２１３：操作状態取得部、２１４：操作イベント検出部、２１５：強調表示予約情報記憶部、２１６：強調表示予約情報更新部、２１７：メッセージＩＤ情報記憶部、２１８：ウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部、２１９：操作状態・機器イベント関連情報記憶部、２２０：警告ウィンドウ出力制御部、２２１：ウィンドウ遷移処理部、２２２：ウィンドウ表示部、２２３：ウィンドウ消去部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置であって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部と、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部と、
前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部と、
前記機器イベント検出部で検出した機器イベントと前記操作状態取得部で取得した操作状態とを検索キー情報として前記操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部と
を有することを特徴とする機器管理装置。
【請求項２】
前記モニタに出力されるウィンドウ内の特定部位を強調表示するための強調表示予約情報を記憶する強調表示予約情報記憶部と、
ウィンドウ内に表示するメッセージ文言とそのメッセージＩＤとの組に関するメッセージＩＤ情報を記憶するメッセージＩＤ情報記憶部と、
ウィンドウレイアウトに係る内容とそのＩＤとの組に関するウィンドウレイアウトＩＤ情報を記憶するウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部と
を更に有し、
前記制御部は、前記取得した操作状態・機器イベント関連情報に加えて、前記強調表示予約情報、前記メッセージＩＤ情報およびウィンドウレイアウトＩＤ情報を用いて、前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の機器管理装置。
【請求項３】
前記強調表示予約情報記憶部に記憶されている強調表示予約情報を更新する処理を行う強調表示予約情報更新部を更に有することを請求項２に記載の機器管理装置。
【請求項４】
前記制御部の制御に基づいて前記モニタに出力するウィンドウの遷移処理を行うウィンドウ遷移処理部と、
前記ウィンドウ遷移処理部による遷移処理に基づいて前記モニタにウィンドウを表示するウィンドウ表示部と、
前記ウィンドウ遷移処理部による遷移処理に基づいて前記モニタに表示されているウィンドウを消去するウィンドウ消去部と
を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項５】
当該機器管理装置に対するユーザの操作イベントを検出する操作イベント検出部を更に有し、
前記制御部は、前記操作イベント検出部で検出した操作イベントに応じて前記ウィンドウ遷移処理部に対する制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の機器管理装置。
【請求項６】
前記機器イベントは、前記管理対象機器の動作の結果発生するイベントだけでなく、他のユーザによる人為的な操作イベントも含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項７】
前記管理対象機器の動作の結果発生するイベントには、前記管理対象機器に発生した障害が含まれ、
前記他のユーザによる人為的な操作イベントには、前記管理対象機器に発生した障害から回復するために行われた設定の変更が含まれることを特徴とする請求項６に記載の機器管理装置。
【請求項８】
前記操作状態は、前記管理対象機器を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項９】
前記操作状態は、前記管理対象機器を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階であり、
前記管理対象機器に発生した障害から回復するために行われた設定と、前記パラメータの設定との間に依存関係があることを特徴とする請求項７に記載の機器管理装置。
【請求項１０】
前記操作状態・機器イベント関連情報には、ユーザが操作中である若しくは以前操作していたウィンドウの全体或いはその一部について強調表示するための情報が含まれていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項１１】
前記管理対象機器は、半導体露光装置であり、
当該機器管理装置は、前記半導体露光装置の動作を監視、若しくは、制御する、または、露光ジョブ定義ファイルを編集するための装置であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項１２】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置による機器管理方法であって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出ステップと、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得ステップと、
前記機器イベント検出ステップで検出した機器イベントと前記操作状態取得ステップで取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御ステップと
を有することを特徴とする機器管理方法。
【請求項１３】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置による機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出ステップと、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得ステップと、
前記機器イベント検出ステップで検出した機器イベントと前記操作状態取得ステップで取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御ステップと
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置であって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出部と、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得部と、
前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部と、
前記機器イベント検出部で検出した機器イベントと前記操作状態取得部で取得した操作状態とを検索キー情報として前記操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御部と
を有することを特徴とする機器管理装置。
【請求項２】
前記モニタに出力されるウィンドウ内の特定部位を強調表示するための強調表示予約情報を記憶する強調表示予約情報記憶部と、
ウィンドウ内に表示するメッセージ文言とそのメッセージＩＤとの組に関するメッセージＩＤ情報を記憶するメッセージＩＤ情報記憶部と、
ウィンドウレイアウトに係る内容とそのＩＤとの組に関するウィンドウレイアウトＩＤ情報を記憶するウィンドウレイアウトＩＤ情報記憶部と
を更に有し、
前記制御部は、前記取得した操作状態・機器イベント関連情報に加えて、前記強調表示予約情報、前記メッセージＩＤ情報およびウィンドウレイアウトＩＤ情報を用いて、前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の機器管理装置。
【請求項３】
前記強調表示予約情報記憶部に記憶されている強調表示予約情報を更新する処理を行う強調表示予約情報更新部を更に有することを請求項２に記載の機器管理装置。
【請求項４】
前記制御部の制御に基づいて前記モニタに出力するウィンドウの遷移処理を行うウィンドウ遷移処理部と、
前記ウィンドウ遷移処理部による遷移処理に基づいて前記モニタにウィンドウを表示するウィンドウ表示部と、
前記ウィンドウ遷移処理部による遷移処理に基づいて前記モニタに表示されているウィンドウを消去するウィンドウ消去部と
を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項５】
当該機器管理装置に対するユーザの操作イベントを検出する操作イベント検出部を更に有し、
前記制御部は、前記操作イベント検出部で検出した操作イベントに応じて前記ウィンドウ遷移処理部に対する制御を行うことを特徴とする請求項４に記載の機器管理装置。
【請求項６】
前記機器イベントは、前記管理対象機器の動作の結果発生するイベントだけでなく、他のユーザによる人為的な操作イベントも含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項７】
前記管理対象機器の動作の結果発生するイベントには、前記管理対象機器に発生した障害が含まれ、
前記他のユーザによる人為的な操作イベントには、前記管理対象機器に発生した障害から回復するために行われた設定の変更が含まれることを特徴とする請求項６に記載の機器管理装置。
【請求項８】
前記操作状態は、前記管理対象機器を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項９】
前記操作状態は、前記管理対象機器を実行するためのジョブを定義するためのパラメータの編集作業における各段階であり、
前記管理対象機器に発生した障害から回復するために行われた設定と、前記パラメータの設定との間に依存関係があることを特徴とする請求項７に記載の機器管理装置。
【請求項１０】
前記操作状態・機器イベント関連情報には、ユーザが操作中である若しくは以前操作していたウィンドウの全体或いはその一部について強調表示するための情報が含まれていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項１１】
前記管理対象機器は、半導体露光装置であり、
当該機器管理装置は、前記半導体露光装置の動作を監視、若しくは、制御する、または、露光ジョブ定義ファイルを編集するための装置であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の機器管理装置。
【請求項１２】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置による機器管理方法であって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出ステップと、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得ステップと、
前記機器イベント検出ステップで検出した機器イベントと前記操作状態取得ステップで取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御ステップと
を有することを特徴とする機器管理方法。
【請求項１３】
モニタを有して構成され、管理対象機器の管理を行う機器管理装置による機器管理方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記管理対象機器で発生した機器イベントを検出する機器イベント検出ステップと、
当該機器管理装置に対するユーザの操作状態を取得する操作状態取得ステップと、
前記機器イベント検出ステップで検出した機器イベントと前記操作状態取得ステップで取得した操作状態とを検索キー情報として、前記操作状態ごとに前記機器イベントが発生した際の振る舞いを定義した操作状態・機器イベント関連情報を記憶する操作状態・機器イベント関連情報記憶部から操作状態・機器イベント関連情報を取得し、当該取得した操作状態・機器イベント関連情報に基づいて前記モニタにメッセージウィンドウを出力する制御を行う制御ステップと
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【図１】
【図２−１】
【図２−２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図２−１】
【図２−２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【公開番号】特開２０１１−４８７６９（Ｐ２０１１−４８７６９Ａ）
【公開日】平成２３年３月１０日（２０１１．３．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１９８５５６（Ｐ２００９−１９８５５６）
【出願日】平成２１年８月２８日（２００９．８．２８）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月１０日（２０１１．３．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年８月２８日（２００９．８．２８）
【出願人】（０００００１００７）キヤノン株式会社 (59,756)
【Ｆターム（参考）】
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